JP5766011B2 - 静電容量素子 - Google Patents
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Description
本発明の静電容量素子の実施形態の一例である静電容量素子10について、図面を参照しつつ説明する。図1および図2に示した例の静電容量素子10は、支持基板20と、第1コンデンサ30と、第2コンデンサ40と、配線導体50と、保護層60とを含んで構成されている。
ある。この誘電体材料としては、例えば、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、およびチタン酸ストロンチウムバリウム(以下、BST)などが挙げられる。本例では、第1誘電体32および第2誘電体42としてBSTを採用している。また、本例では、第1誘電体32および第2誘電体42を高温下でスパッタリングによって形成している。このスパッタリングの際の温度としては、例えば500℃〜800℃の範囲が挙げられる。
誘電体32および第2誘電体42との間において、不純物等の介在を抑制することができる。その結果、誘電体(32,42)の結晶性を高めることができるため、高い誘電率を有する静電容量素子を提供することができる。
本発明の静電容量素子の実施形態の他の例である静電容量素子10Aについて、図面を参照しつつ説明する。図3および図4に示した例の静電容量素子10Aは、支持基板20と、第1コンデンサとしての第1コンデンサ部30Aと、第2コンデンサとしての第2コンデンサ部40Aと、配線導体50Aと、保護層60Aとを含んで構成されている。
本発明の静電容量素子の実施形態の他の例である静電容量素子10Bについて、図面を参照しつつ説明する。図5および図6に示した例の静電容量素子10Bは、支持基板20と、第1コンデンサとしての第1コンデンサ部30Bと、第2コンデンサとしての第2コンデンサ部40Bと、配線導体50Bと、保護層60Bとを含んで構成されている。また、第2下部電極41Bは、支持基板20側から順に第1層41Bxおよび第2層41Byが積層されて成り、第1下部電極31Bと第2層41Byとが一体的に形成されている。このような構成により、第1下部電極31Bと第2下部電極41Bの第2層41Byとを電気的に接続するために新たな配線導体を設ける必要がない。このため、生産性の高いものとすることができる。
よい。第1上部電極と第2上部電極とが1つの上部電極として構成されている場合は、第1下部電極および第2下部電極を基準にして第1コンデンサ部と第2コンデンサ部とに区別される。
20・・・支持基板
30・・・第1コンデンサ
30A,30B・・・第1コンデンサ
31,31A,31B・・・第1下部電極
32・・・第1誘電体
33,33A,33B・・・第1上部電極
40・・・第2コンデンサ
40A,40B・・・第2コンデンサ部
41,41A,41B・・・第2下部電極
41x、41Ax,41Bx・・・第1層
41y、41Ay,41By・・・第2層
42・・・第2誘電体
43,43A,43B・・・第2上部電極
50,50A,50B・・・配線導体
51,51A,51B・・・第1導体
52,52A,52B・・・第2導体
60,60A,60B・・・保護層
70A,70B・・・誘電体
Claims (4)
- 基板と、該基板の上に位置する第1コンデンサと、前記基板の上に位置して前記第1コンデンサと電気的に並列接続されている第2コンデンサとを有し、
前記第1コンデンサは、第1下部電極と第1誘電体と第1上部電極とで構成され、
前記第2コンデンサは、前記基板側から順に前記第1下部電極と異なる材料からなる第1層および前記第1下部電極と同じ材料からなる第2層が積層されてなる第2下部電極と、前記第1誘電体と同じ組成の材料からなる第2誘電体と、第2上部電極とで構成され、
温度が上昇する際の前記第1コンデンサの静電容量の変化量と前記第2コンデンサの静電容量の変化量とで変化の正負が異なっており、
前記第1下部電極はイリジウムからなり、前記第2下部電極は前記第1層が白金からなるとともに前記第2層がイリジウムからなり、前記第1誘電体および前記第2誘電体はチタン酸ストロンチウムバリウムからなる、静電容量素子。 - 前記第1誘電体は、前記第2誘電体と一体的に構成されている、請求項1に記載の静電容量素子。
- 前記第1下部電極は、前記第2下部電極の前記第2層と一体的に構成されている、請求項1または2に記載の静電容量素子。
- 前記第1誘電体および前記第2誘電体は、前記第1下部電極および前記第2下部電極の周縁部よりも内側に位置する、請求項1乃至3のいずれかに記載の静電容量素子。
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JP2011103490A JP5766011B2 (ja) | 2011-05-06 | 2011-05-06 | 静電容量素子 |
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JP2012235006A JP2012235006A (ja) | 2012-11-29 |
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Family Applications (1)
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- 2011-05-06 JP JP2011103490A patent/JP5766011B2/ja active Active
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