JP5750727B2 - ナノ結晶半導体材料及びその製造方法 - Google Patents
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Description
アモルファスSiは、液晶の薄膜トランジスタなどに利用されている半導体材料である。しかし、n型で1cm2/Vsec、p型で0.1cm2/Vsec程度の結晶Siよりも低い移動度を持つことから、LSIなど高速で動作するデバイスの材料には利用することができない。
Siは間接遷移半導体であり、室温で発光することはなく、Siをナノ結晶化し直径が10nm以下のシングルナノサイズになると、量子閉じ込め効果によりエネルギーバンド構造が疑似直接遷移的になり、室温で可視から近赤外の領域の光を発光する。
熱電変換材料は、高い電気伝導特性と、低い熱伝導特性が求められる。Siは高い熱伝導性を持つために、熱電変換材料開発の中心ではなかったが、Siナノワイヤーやナノ結晶などのナノ材料の熱伝導がバルクSiよりも低く、熱電変換材料として注目されている(非特許文献3参照)。
アモルファスシリコン、微結晶シリコンは、薄膜太陽電池材料として利用されている。太陽光を吸収する観点から考えると、材料のエネルギーギャップが重要なパラメータとなる。一般に、PN単接合の太陽電池では、高い変換効率1.3〜1.4eVのエネルギーギャップを持つ材料が理想とされている。
Claims (5)
- 金属とシリコンの合金が、熱処理されてシリコンナノ結晶と金属シリサイド化合物ナノ結晶に相分離し、シリコンナノ結晶の間に金属シリサイド化合物ナノ結晶を形成することで得られた、直径10nm以下のシリコンナノ結晶が分布する領域と直径10nm以下の金属シリサイド化合物ナノ結晶が分布する領域を備えており、
シリコンナノ結晶が分布する領域と金属シリサイド化合物ナノ結晶が分布する領域は、それぞれバンドギャップを有することで、可視から赤外領域にわたる吸収性能を持ち、
金属シリサイドを構成する金属Mが、マグネシウムMg、チタンTi、バナジウムV、クロムCr、マンガンMn、鉄Fe、コバルトCo、ニッケルNi、ジルコニウムZr、ニオブNb、モリブデンMo、ルテニウムRu、ロジウムRh、バリウムBa、ハフニウムHf、タンタルTa、タングステンW、レニウムRe、オスミウムOs、イリジウムIrのいずれかであることを特徴とするシリコンナノ結晶と金属シリサイド化合物ナノ結晶を有する半導体材料。 - 直径10nm以下のシリコンナノ結晶が分布する領域と直径10nm以下の金属シリサイド化合物ナノ結晶が分布する領域を備えたシリコンナノ結晶と金属シリサイド化合物ナノ結晶を有する半導体材料の製造方法であって、
金属とシリコンの合金を、熱処理によってシリコンナノ結晶と金属シリサイド化合物ナノ結晶に相分離し、シリコンナノ結晶の間に金属シリサイド化合物ナノ結晶を形成し、
金属シリサイドを構成する金属Mが、マグネシウムMg、チタンTi、バナジウムV、クロムCr、マンガンMn、鉄Fe、コバルトCo、ニッケルNi、ジルコニウムZr、ニオブNb、モリブデンMo、ルテニウムRu、ロジウムRh、バリウムBa、ハフニウムHf、タンタルTa、タングステンW、レニウムRe、オスミウムOs、イリジウムIrのいずれかであることを特徴とするシリコンナノ結晶と金属シリサイド化合物ナノ結晶を有する半導体材料の製造方法。 - スパッタリング法によって、金属とシリコンの非晶質合金(M−Si非晶質合金)を固体基板上に堆積し、熱処理することを特徴とする請求項2に記載のシリコンナノ結晶と金属シリサイド化合物ナノ結晶を有する半導体材料の製造方法。
- 金属とSiの比率が、1:8〜1:12であることを特徴とする請求項2〜3のいずれかに記載のシリコンナノ結晶と金属シリサイド化合物ナノ結晶を有する半導体材料の製造方法。
- 熱処理温度が、550℃以上であることを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のシリコンナノ結晶と金属シリサイド化合物ナノ結晶を有する半導体材料の製造方法。
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