JP5744734B2 - ターボ機械向け羽根付きディスク（ブリスク）の研磨方法及び研磨装置 - Google Patents

Description

本発明は、主にターボ機械向けの空気流経路を含む羽根付きディスクを研磨する方法に関し、より具体的には、ターボ機械圧縮機及び一体型羽根付きディスク向けの遠心羽根車を研磨する方法、及びそのような方法を実行する研磨装置に関する。

ターボ機械は伝統的に、圧縮機、圧縮チャンバ、及びタービンを含む。

圧縮機は大気圧を上昇させるように意図され、燃焼チャンバは圧縮機によって圧縮された空気を燃料と混合させて混合物を燃焼し、排出流の中に配置されたタービンは、超高温空気のこの流れによって駆動される。これは、ターボ機械の軸を通じて圧縮機を駆動するのに役立つ。

圧縮機は、ロータであって、羽根付きディスクを含み、そのうちいくつかは遠心羽根車と称されるロータと、ステータとを含む。遠心圧縮機羽根車は、以後羽根車と称されるが、実質的に先細の本体と、本体の表面全体に分布する羽根と、を含む。

これらの羽根は、先細本体とともに２つずつで、らせん部の形状の空気流経路を画定する。

したがって、遠心圧縮機羽根車は複雑な形状を有する。

この羽根車は、特定の用途において、たとえばチタンまたはニッケル合金のブロックなど、塊から直接切り出される。このような羽根車は、高速試作品製造によって、または電気化学的に、鋳造によって獲得されることも可能である。

さらに、遠心圧縮機羽根車が実行しなければならない空気力学的作用のため、羽根車の表面状態、より具体的には空気が流れる経路の底部を形成する先細本体の表面、および羽根の表面は、非常に重要であり、その製造には特に細心の注意が払われる。

羽根車上を流れる空気の空気力学的な条件を満たすために、表面パラメータＲａは０．６μｍを超えてはならない（Ｒａは統計値であり、中心線に対する平均数学的偏差に対応し、Ｒｔはピークの最大高さである）。しかしながら、この粗さ値は、機械加工、鋳造、または羽根車を作るためのその他の技術によって、直接獲得することができない。したがって、必要とされる表面品質を達成するためには、研磨ステップが必要である。

このような部品を研磨する技術は、いくつかある。

研磨は、研磨ベルトを使用して、手作業で実行されることが可能である。この技術は、複雑な形状の部品を研磨することを可能にするという利点を有する。しかしながら、この研磨には非常に長い時間がかかり、したがって人件費の面で高コストである。さらにその品質は、研磨を実行する作業者に完全に依存する。

米国特許第２５４７０５６号明細書に記載されるもののような機械が使用されることも可能であるが、しかしながらこれらは非常に複雑な構造であり、複雑な形状の部品を研磨することが可能ではない。

研磨は、特開昭５７−２１１４６９号公報に記載されるような、研磨粒子を使用して実行されることも可能である。この技術は、閉鎖された空間内に羽根を含む羽根車の活性領域を包含するように、羽根車にカバーを装着し、その容積に研磨粒子を配置し、その後その水平軸回りで羽根車を回転させることを提供する。回転及び重力は、研磨される表面上で粒子を運動させる。必要とされる表面状態に到達すると、羽根車の回転が中断され、カバーおよび粒子が除去される。この技術を用いると、問題の領域内での研磨粒子のよどみのため、所望の表面パラメータＲａを達成できない危険性がある。

米国特許第２５４７０５６号明細書 特開昭５７−２１１４６９号公報

本発明の目的の１つは、単純で、その形状の複雑さにかかわらず全てのタイプの羽根車に適合し、空気の流れに関して特に高性能な表面状態を提供する、遠心羽根車、より一般的には羽根付きターボ機械部品を研磨する方法を提案することである。

本発明のもう１つの目的は、単純で堅牢な、羽根付きディスクを研磨するための装置を提供することである。

本発明の目的は、このらせんのピッチに近いピッチを有するらせん運動に従い、羽根車、より一般的にはらせん部によって形成される空気流経路を規定する羽根を含む羽根付きディスクの運動が提供される、少なくとも１つの研磨剤を使用する研磨方法を通じて達成される。

羽根車の２つの羽根が空気流経路を画定し、この空気流経路は実質的に円錐らせん部のプロファイルを有する。そのため、「羽根車のらせんのピッチ」とは、空気流経路によって形成されるらせんのピッチを指す。２つの連続する羽根によって画定される全ての空気流経路は、実質的に同じらせんプロファイルを有する。

本発明によれば、羽根車は、空気流経路によって描かれるらせん部を再現するように、並進および回転運動する。回転および並進の速度はその後、羽根車のいずれの点も、その軌道が羽根車のらせんに近い運動を有するように、調整される。

このように、羽根配列に対する研磨剤の運動は実質的に、羽根の間の空気の流れの運動であり、これが本方法の性能を向上させる。

有利には、本発明による方法は交互運動の適用を提供し、その後羽根配列が回転の第一方向および並進の第一方向に移動し、そして回転の第一方向とは逆の回転の第二方向および並進の第一方向とは逆の並進の第二方向に移動し、これらの運動の２つの組合せが交互に再現される。

そして本発明は主に、羽根付きディスクを研磨する方法に関し、羽根配列は、ピッチｐのらせん部の形状の全体プロファイルを実質的に有する空気流経路を２つずつで画定する複数の羽根を含み、前記ディスクは研磨剤漕に浸漬され、前記方法は少なくとも、
前記ディスクの各点の移動が、そのピッチが空気流経路の全体的形状が由来するらせんのピッチｐに近いらせんの少なくとも一部となるように、前記ディスクを、ディスクの長手軸回りの回転の第一方向に、および同時に前記長手軸に沿った並進の第一方向に、移動するステップＡを含む。

本発明による方法は、
ディスクの全ての点が、ステップＡと同じらせんを、ただし逆方向にそれぞれ通過するように、第一方向とは逆の第二方向へのディスクの長手軸回りの回転運動、および同時に第一方向とは逆の第二方向への前記長手軸に沿った並進運動の、ステップＡの後のステップＢを少なくとも含むことができる。

特に有利には、ステップＡおよびステップＢは、交互に繰り返される。

羽根車の回転速度および羽根車の並進速度は、空気流経路の全体的形状が由来するらせん部の接線に応じて計算される比例定数によって、有利に関連づけられる。

本発明による方法は、ステップＡの前に、ディスクに加圧される静圧を決定し、事前に決定された静圧に応じて所与の量の研磨剤を前記ディスク上に配置するステップＣを含むことができる。

研磨剤は、羽根車の羽根配列の間で循環するのに適した形状の、固形研磨粒子によって形成されても良い。

有利には、研磨剤は、水と、研磨される物質に適した酸と混合されることが可能であり、またはペーストを形成するように媒質と混合されることが可能である。

研磨方法は、ターボ機械圧縮機向けの遠心圧縮機の羽根車に、有利に適用可能である。

本発明は、研磨剤で満たされるように意図されたタンクと、羽根付きディスク支持体であって、羽根配列が、ピッチｐのらせん部の形状の全体プロファイルを実質的に有する空気流経路を２つずつで定義する複数の羽根を含む、羽根付きディスク支持体と、その長手軸回りを回転し、同時に前記長手軸に沿って並進するように、支持体を駆動することが可能な駆動手段であって、そのピッチが、研磨されるディスクの空気流経路の全体的形状が由来するピッチｐに近いらせんの少なくとも一部分を、支持体の各点まで移動させるようにプログラムされている駆動手段と、を含む研磨装置にも関する。

支持体は、研磨されるディスクがそれと同軸に固定されるように意図されている長手軸を備えるシャフトを含むことができ、タンクは支持体の前記シャフトが貫通する開口部が設けられた底部を含み、装置はタンクの底部とディスクとの間の封止手段も含む。

封止手段は有利には、封止可能に長手方向に前記開口部内で摺動することが可能な管と、ディスクが装着されるように意図されているプレートとを含み、前記プレートは、タンクを貫通する管の長手方向末端上に固定されており、前記管は、管上に支承するディスクの部分の外径およびタンク内に形成された開口部の直径と実質的に等しい外径を有している。

特に有利には、ディスクと接触するように意図されているプレートの面は、ディスクと接触して、ディスクとプレートとの間に研磨剤が入り込むのを防止するように意図された、封止装置を受ける環状スロットを含む。

本発明による装置は、ディスクを支持体上に保持するための手段を含むことができ、前記ディスクは、支持体のシャフトの自由末端上に固定されたプラテンとプレートとの間で握持することによって保持されるように意図されている。

本発明による装置は、有利には、Ｏリングまたはリップシール型の、タンクと管との間の封止装置を含む。

有利には、管の直径は、その後縁側のディスクの直径と実質的に等しい。

駆動手段は、たとえば、その長手軸回りを回転するように支持体を駆動するように意図された第一モータと、前記長手軸に沿って並進するように支持体を駆動するように意図された第二モータとを含み、第一モータは、第一方向、および第一方向とは逆の第二方向に、交互に回転するように支持体を駆動することができ、第二モータは、並進の第一方向、および第一方向とは逆の並進の第二方向に、交互に並進するように支持体を駆動することができる。

本発明による研磨装置は、ターボ機械圧縮機の遠心圧縮機羽根車を研磨するために、有利に使用される。

本発明は、以下の説明および添付図面を使用して、より良く理解される。

本発明を適用できる遠心圧縮機羽根車の斜視図である。 羽根車が所定位置にある、本発明による研磨装置の模式的断面図である。 研磨装置が異なる状態にあり、羽根車が所定位置にある、図２の研磨装置の図である。

説明を続けるにあたり、ターボ機械圧縮機の遠心圧縮機羽根車に研磨方法を適用するが、本発明は、タービンに使用される一体型羽根付きディスクなど、いずれの羽根付き部品にも適用可能である。

図１は、本発明が適用される圧縮機の遠心羽根車２の一例を示す。

遠心圧縮機羽根車は、ターボ機械の長手軸回りを回転可能な部品であり、タービンによって駆動される。

羽根車２は、軸Ｘを備える実質的に環状のフランジ３を含む。フランジ３は、第一長手方向末端に大径の大型基部３．１を、そして第二長手方向末端に小径の小型基部３．２を含み、大径および小径は、経路と称される凹型環状面４によって接続されている。

羽根車２は、凹型環状面４から突起している羽根６も含む。羽根６は、フランジ３の外周全体に規則的に分布し、フランジの小型基部３．２からフランジ３の大型基部３．１まで延在し、スポークを通じてフランジに接続している。

小型基部３．２側の羽根の末端６．１は前縁を形成し、大型基部３．１側の末端は後縁を形成する。

上記から、各羽根６は、ほぼらせん部の形状を有する。全ての羽根は実質的に同一であり、したがってピッチｐの同じらせん部に由来する。

羽根は、２つずつで、圧縮される空気が前縁から後縁に向かって循環する空気流経路を画定する。したがって空気流経路は、羽根６と実質的に同一のらせん部の形状の全体プロファイルを有する。

羽根車は、たとえばチタンなどの金属のブロックを機械加工することによって作られることが可能である。機械加工ステップの最後に、羽根車の表面に加工面が残る（ｆａｃｅｔｅｄ )が、この状態では許容不可能である。これは鋳造、高速試作品製造、または電気化学的方法によって、直接作られることも可能である。

この羽根車は次に、知られている方法で、研磨ステップを受ける。

本発明は、実行しやすい研磨方法、およびそのような羽根車を研磨し、改善された空気力学的特性を羽根車に提供もする堅牢な装置を提案する。

図２および図３は、研磨材を収容するように意図されたタンク８を含む、本発明による研磨装置の実施形態を示す。羽根車２は、模式的に示されている。

研磨材は、少なくとも部分的に、固形研磨粒子によって形成されている。研磨剤は、ペーストに含まれてもよく、または水などの流体と混合されてもよい。研磨剤を形成する粒子は、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、炭化ホウ素、などで構成されることが可能である。このリストは包括的なものではなく、粒子の材料は、研磨される部品の材料に応じて選択される。これらの粒子の大きさも、実現される表面状態に応じて選択される。研磨粒子は、酸などの化学研磨剤と組み合わせられることも可能である。

本発明によれば、研磨装置は、タンク８内で軸Ｘ１回りを回転し、軸Ｘ１に沿って並進するように、羽根車２を動かすことができる可動支持体１０も含む。

本発明によれば、タンク内の支持体の運動は、そのいずれの点も、羽根車の羽根が由来するピッチｐと同じ、または少なくともそれに近いピッチのらせんにしたがって移動するように、制御される。

この目的のため、研磨装置は、支持体１０に回転運動および並進運動を同時に加えるように意図された支持体のための駆動手段（図示せず）を含み、各運動は、らせんのピッチｐを再現するように決定された速度を有している。

有利には、駆動手段は、そのいずれの点も、たとえば下から上へなど、ある方向に所与のピッチのらせんを通り、その後逆方向、すなわち上から下へ、同じらせんを通って移動するように、支持体１０を移動させることができる。

このように、支持体は交互運動を有し、上方向に、その後下方向に、交互に移動する。すると羽根６の間の研磨剤が、ピッチｐのらせん状羽根車に対する往復運動を有する。ディスクの移動運動が減少されることが可能なので、この往復運動によって、より小型の装置を有することも可能になる。

駆動手段は、１らせんピッチ未満だけ、１らせんピッチだけ、または１らせんピッチより多く、支持体１０を移動することができる。

その結果、羽根車２の軸Ｘが支持体の回転の軸Ｘ１と同軸になるように羽根車２を支持体上に固定することにより、研磨剤は、実質的に空気流経路内の空気流ラインを再現しながら、羽根６の間で移動することになる。したがって、研磨は一方向に生じ、羽根車２の空気力学的性能を向上させる。

より具体的には、図示される装置は、支持体１０の経路のために、タンク８の底部に開口部１１を含む。支持体１０は、その周囲に羽根車２が装着される軸Ｘ１を備えるシャフト１２によって形成され、駆動手段によって駆動される。支持体１０は、タンク８内に位置するシャフト１２の自由末端（図示せず）上に羽根車２をしっかりと固定する手段を含む。これらの固定手段は、たとえば、本発明の装置による研磨を必要としない羽根車２の中心部を挟持する握持システムによって形成される。

羽根車２の中心孔を覆うプラテン１４が設けられ、これは握持システムの一部である。プラテン１４は、たとえばシャフト１２にねじ込まれるボルトを使用して保持される。

支持体１０とタンク８との間、より具体的には支持体１０と開口部１１との間に、封止も設けられる。

図示される実施形態において、ロッド１２の上に、羽根車２を支持するのに役立つプレート１９があり、その上に羽根車の大型基部３．１が配置されている。後縁側の羽根車の外径と実質的に等しい外径を有する管１６が、長手方向末端１６．１によって、プレート１９上に、たとえば溶接によって固定され、そのプレート１９は管１６の底部を形成する。管１６と開口部１１の外周との間の摺動接触を確実にするために、開口部１１の直径は、管１６の外径と実質的に等しい。

プレート１９は、その外周において、ジョイントジョイント２１がその中に位置する環状溝を含む。このジョイント２１は、粒子または流体、たとえば酸が、羽根車とプレートとの間に入るのを防止するために、プレート１９と羽根車２との間の封止を確実にする。

管１６は、羽根車２の後に続いて接触し続けるために、少なくとも軸Ｘ１に沿って並進するように、移動することができる。

管１６とタンク８の底部との間の封止を確実にするために、Ｏリングまたはリップシール型の封止装置１７も設けられる。

代替実施形態において、羽根車は管１６の長手方向末端１６．１上に直接設けられることも可能であり、管１６と羽根車２との間の封止はその後、単純な金属／金属接触によって、または付加的なジョイントによって獲得される。有利には、管１６は、羽根車２に対して移動せず、すなわちこれは、管１６と羽根車２との間のいかなる相対的なずれも防止するために、羽根車２と同じ運動を追跡して移動し、それによって管１６と羽根車２との間の封止を向上させ、管１６および／または羽根車２の摩耗を防止する。管を羽根車に固定すること、または回転および並進するように管を移動支持体１０に固定するようにすることも可能である。

羽根車は、プラテン１４とプレート１９との間に握持することによって、有利に保持される。

羽根車２は、研磨剤漕（図示せず）に浸漬される。この実施形態において、研磨粒子は、研磨される表面の上方に配置され、したがって羽根車２上の研磨粒子の静圧は羽根車２の上方の粒子の高さに正比例し、これはタンク８内の羽根車２の平均浸漬距離に相当する。

研磨粒子は、流体のように振る舞うようになっている。

すると、タンク内の粒子の量、より正確には粒子の高さを単純に変更することによって、研磨の有効性を変化させること、したがって所望の表面状態を獲得するために要する時間を変化させることが可能である。すると、粒子に対して付加的な圧力をかける特別な手段は、必要とされない。圧力調整は、研磨剤の高さを選択することによって、機械的にのみなされる。この装置は非常に単純であり、いかなる特別な監視手段も必要としない。したがって、これは非常に堅牢である。しかしながら、タンクの底部に向かって軸力をかける、ピストン式の同様な手段も考えられる。

さらに、研磨剤と羽根車との間の相対速度は、羽根車２の回転速度、したがって支持体１０の移動速度に直接的に依存する。その結果、支持体１０の移動速度を変更することによって、羽根車２の研磨時間を変更することが可能である。

駆動手段は、回転するように支持体を駆動するように意図された第一モータと、軸Ｘに沿って並進するように支持体１０を駆動するように意図された第二モータとを含む。

一例として、羽根車に対する粒子の移動速度は、２ｍ／分から２０ｍ／分の間とすることができ、そうすると研磨時間は１０分から５時間の間とすることができる。これらは予測速度であることに注意すべきである。一般的に、処理時間、部品の保存、および獲得された表面パラメータＲａの間の妥協点を見出す実験の後に、パラメータが調整される。

並進および回転の速度は、羽根車のらせんの接線の値から得られる比例定数によって結びつけられる。したがって、らせんの接線が変化するので、回転および並進速度は移動中に変化するが、２つの速度の間にも一定の比例が与えられる。羽根車の経路の底部が凹型環状面を有することが想起される。

ここで、本発明による研磨装置を使用する研磨ステップについて説明する。

図２において、本発明による研磨装置は、アイドル位置に対応する低位置にある。

第一ステップ中、羽根車２は支持体１０上に固定されており、この目的のため、羽根車２は支持体１０のシャフト１２の周りに装着され、シャフトは羽根車の中心孔を貫通し、羽根車２および支持体１０はその後同軸となり、互いに対する運動に関して不動となる。

羽根車２はその後、プレート１９に載せる。プラテン１４はその後支持体１０のシャフト１２の上部末端上に固定され、プレート１９とプラテン１４との間に握持された状態で羽根車を維持する。

研磨剤がその後タンク８内に配置され、研磨剤の量、より具体的には羽根車２を覆う研磨剤の高さは、実行しようとする研磨、具体的にはその実施時間に応じて決定される。

駆動手段がその後起動されるが、その制御は、再現される羽根車２の羽根６のらせんのピッチにしたがってプログラムされている。図２に示されるように、第一および第二モータはその後、それぞれ回転および並進するように支持体１０を駆動し、これが研磨材で満たされたタンク８内で羽根車２を動かし、管１６はタンク８の底部を通じて封止可能に摺動する。

支持体の回転の速度および羽根車が研磨される時間は、好ましくは必要とされる研磨のレベルに応じて決定され、これらの特性は一般的に、実験によって決定される。

羽根車はその後、回転および並進させられ、図示される例では、反時計回り（矢印１８）に回転し、上方（矢印２０）に移動する。したがって、羽根車２の全ての点は、図３に示される高位置に到達するまで、下から上へ、ピッチｐの仮想らせん上を移動する。

その後、第一および第二モータの制御が逆転され、羽根車は時計回り（図２の矢印１８’）に回転し、上から下へ（矢印２１）並進して、羽根車の全ての点は、同じらせん上を上から下に向かって移動する。

その結果、研磨剤と羽根車との相対移動の方向、より具体的には空気流経路を画定する部分の方向は、圧縮機を備える場合に羽根車上を空気が移動するのと、実質的に同じである。

図示される例では、羽根車２はタンク８の下部末端によってタンク８を貫通するが、羽根車がその上部末端を経由してタンクを貫通し、タンクの下部末端に向かって移動するようにすることも可能であろう。その場合、粒子によってかけられる圧力は、単純に粒子の高さに比例する静圧ではなく、タンクの底部に向けて配向される軸方向に、支持体によって加圧される静圧であろう。その結果、この圧力の制御は、図示される例よりも複雑になる。

たとえば振動運動など、ある運動を研磨剤に与えるようにすることも可能であり、この目的のため、タンクを振動させることが可能な手段が提供されてもよい。

本発明による方法は、その寸法に関係なく、いかなるタイプの羽根車を研磨することも可能にする。

さらに、本発明の方法による研磨は、容易に自動化されることが可能であり、研磨中に人間の介入を必要としない。これは単純かつ堅牢でもある。

さらに、本方法は、適切な研磨剤を選択することにより、全ての材料に適用される。

Claims (16)

1. 羽根付きディスク（２）を研磨する方法であって、羽根付きディスクが、ピッチｐのらせん部の形状の全体プロファイルを実質的に有する空気流経路を２つずつで画定する複数の羽根（６）からなる配列を含み、
   前記ディスク（２）が、研磨剤漕に浸漬され、
   前記方法が少なくとも、
   前記ディスク（２）を、当該ディスク（２）の各点が、羽根付きディスクの空気流経路により描かれるらせん部を再現するように、前記ディスク（２）の長手軸（Ｘ）を中心とする回転の第一方向に、および同時に前記長手軸（Ｘ）に沿った並進の第一方向に動かすステップＡを含む、方法。
2. ステップＡの後に、前記ディスク（２）の全ての点が、ステップＡと同じらせん部を、ただし逆方向にそれぞれ通過するように、前記第一方向とは逆の第二方向へのディスク（２）の長手軸を中心とする回転運動、および同時に前記第一方向とは逆の第二方向への前記長手軸に沿った並進運動のステップＢを少なくとも含む、請求項１に記載の研磨方法。
3. ステップＡおよびステップＢが交互に繰り返される、請求項２に記載の研磨方法。
4. ステップＡの前に、前記ディスク（２）に加圧される静圧を決定し、事前に決定された静圧に応じて所与の量の研磨剤を当該ディスク（２）上に配置するステップＣを含む、請求項１から３のいずれか一項に記載の研磨方法。
5. 研磨剤が、前記ディスク（２）の羽根の間を循環するのに適した形状の、少なくとも固形研磨粒子を含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の研磨方法。
6. 研磨剤が、水および研磨される物質に適した酸と混合され、またはペーストを形成するように媒質と混合される、請求項１から５のいずれか一項に記載の研磨方法。
7. 前記ディスク（２）が、ターボ機械圧縮機向けの遠心圧縮機羽根車である、請求項１から６のいずれか一項に記載の研磨方法。
8. 研磨剤で満たされるように意図されたタンク（８）と、
   羽根付きディスク（２）の支持体（１０）であって、羽根付きディスクが、ピッチｐのらせん部の形状の全体プロファイルを実質的に有する空気流経路を２つずつで画定する複数の羽根（６）からなる配列を含む支持体（１０）と、
   前記ディスク（２）の各点が、羽根付きディスクの空気流経路により描かれるらせん部を再現するように、前記支持体（１０）をその長手軸を中心として回転させ、同時に前記長手軸に沿って並進させるように駆動する駆動手段と
   を含む、研磨装置。
9. 支持体１０が、研磨されるディスク（２）がそれと同軸に固定されるように意図されている長手軸（Ｘ１）を備えるシャフト（１２）を含み、タンク（８）が、支持体（１０）の前記シャフト（１２）が貫通する開口部（１１）が設けられた底部を含み、装置がタンク（８）の底部とディスク（２）との間の封止手段も含む、請求項８に記載の研磨装置。
10. 前記封止手段が、封止可能に長手方向（Ｘ１）に前記開口部（１１）内で摺動することが可能な管（１６）と、前記ディスク（２）が装着されるように意図されているプレート（１９）とを含み、前記プレート（１９）が、タンクを貫通する管（１６）の長手方向末端（１６．１）上に固定されており、前記管（１６）が管（１６）上に支承するディスク（２）の部分の外径およびタンク（８）内に形成された開口部（１１）の直径と実質的に等しい外径を有している、請求項９に記載の研磨装置。
11. 前記ディスク（２）と接触するように意図されているプレート（１９）の面が、前記ディスク（２）と接触して、当該ディスク（２）とプレート（１９）との間に研磨剤が入り込むのを防止するように意図された封止装置を受ける環状溝（２１）を含む、請求項１０に記載の研磨装置。
12. 前記ディスク（２）を支持体（１０）上に保持するための手段を含み、前記ディスク（２）が、前記支持体（１０）のシャフト（１２）の自由末端上に固定されたプラテン（１４）と、前記プレート（１９）との間で握持することによって保持されるように意図されている、請求項１０または１１に記載の研磨装置。
13. Ｏリングまたはリップシール型の、前記タンク（８）および管（１６）の間の封止装置（１７）を含む、請求項１０から１２のいずれか一項に記載の研磨装置。
14. 前記管（１６）の直径が、その後縁側のディスク（２）の直径と実質的に等しい、請求項１０から１３のいずれか一項に記載の研磨装置。
15. 前記駆動手段が、前記支持体（１０）をその長手軸（Ｘ１）を中心として回転させるように駆動することが意図された第一モータと、前記支持体（１０）を前記長手軸（Ｘ１）に沿って並進させるように駆動することが意図された第二モータとを含み、前記第一モータが、回転の第一方向、および第一方向とは逆の第二方向に、前記支持体（１０）を交互に回転させるように駆動することができ、前記第二モータが、並進の第一方向、および第一方向とは逆の第二方向に、前記支持体（１０）を交互に並進させるように駆動することができる、請求項８から１４のいずれか一項に記載の研磨装置。
16. 前記ディスク（２）が、ターボ機械圧縮機の遠心圧縮機羽根車である、請求項８から１５のいずれか一項に記載の研磨装置。

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