JP5739630B2 - Y系超電導線材の製造方法及びy系超電導線材 - Google Patents
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Description
Y系超電導体を用いた超電導線材(以下、「Y系超電導線材」と記載する)は、一般に、テープ状の金属基板、中間層、Y系超電導体からなる層(以下、「Y系超電導層」と記載する)、安定化層、が順に形成された積層構造を有している。このY系超電導線材は、例えば、低磁性の無配向金属基板(例えば、ハステロイ(登録商標))上に、IBAD(Ion Beam Assist Deposition)法により2軸配向した中間層を成膜し、この中間層上に、パルスレーザ蒸着法(PLD:Pulsed Laser Deposition)や有機金属気相成長法(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)等により、Y系超電導層を成膜することにより製造される(例えば、特許文献1及び2参照)。
前記Y系超電導層を形成する超電導薄膜の成膜温度まで、前記金属基板を加熱する加熱工程と、
前記中間層上に10nm以上、50nm以下の膜厚を有する前記超電導薄膜を成膜する成膜工程と、
前記超電導薄膜の成膜温度未満まで、前記金属基板温度を冷却する冷却工程と、
を含み、
前記加熱工程、前記成膜工程及び前記冷却工程からなる超電導薄膜形成工程を複数回行い、当該超電導薄膜形成工程において、総膜圧が1.0μm以上、5.0μm以下となるように複数の前記超電導薄膜からなる前記Y系超電導層を形成することを特徴とするY系超電導線材の製造方法が提供される。
前記Y系超電導層は、複数の超電導薄膜からなり、
前記複数の超電導薄膜の各膜厚は、10nm以上、50nm以下からなり、
前記複数の超電導薄膜の総膜圧が、1.0μm以上、5.0μm以下であることを特徴とするY系超電導線材が提供される。
Y系超電導線材1は、金属基板11、中間層12、Y系超電導層13、安定化層14が順に積層されて構成される。
Y系超電導層13は、金属基板11及び中間層12からなるテープ基材に対し、MOCVD装置(図5参照)を使用して700℃〜900℃の成膜温度でテープ基材を加熱して成膜される。本実施形態では、図2に示すように、Y系超電導層13はn層の超電導薄膜13−1、13−2、・・・,13−nから構成されている。超電導薄膜1層あたりの厚さは、10nm〜200nmとなるように成膜を行う。なお、Y系超電導層13を構成するn層の超電導薄膜は、n=2〜200程度であり、超電導薄膜1層あたりの厚さによって調整することができる。このときの、Y系超電導層13は、0.5μm〜5.0μmとすることが好ましい。
なお、超電導薄膜の1層あたりの厚さは、原料ガスの供給量及び/又はテープ基板の搬送速度を制御することで、変化させることができる。
安定化層14は、銀からなり、スパッタ法により成膜される。
積層構造は、図1に示したY系超電導線材1と同様である。
金属基板11aは、100μm厚の合金からなり、無配向のものが用いられる。
中間層12aは、例えばセリア/イットリア安定化ジルコニアの2層からなる2軸配向層である。中間層12aは、金属基板11aに対し、IBAD(ion beam assisted deposition)法と呼ばれるイオンビームアシストを用いたスパッタ装置を使用して、金属基板11a上に成膜される。なお、その後、更に中間層12aをスパッタ装置又はPLD装置により成膜して、複数層としてもよい。
Y系超電導層13aは、金属基板11a及び中間層12aからなるテープ基材に対し、MOCVD装置(図5参照)を使用して700℃〜900℃の成膜温度でテープ基材を加熱して成膜される。本実施形態では、Y系超電導層13aは多数回にわたって成膜され、1層辺りの膜厚が10nm〜200nmの範囲、好ましくは10nm〜50nmの範囲、となるように成膜される。200nmを超えると、異方位結晶の成長要因となるCuxOが増え、Ic特性が悪化する。また、10nmより薄くすると、膜厚の均一性が悪化するため、好ましくない。なお、「1層辺りの膜厚」については、上述した定義と同様である。
以上のように、他の例のY系超電導線材1aの成膜方法及び構成は、基本的にはY系超電導線材1と同様である。以下の説明では、Y系超電導線材1を例に挙げて説明する。
MOCVD装置100は、原料供給部101、気化器102、反応炉103、基材搬送部104、テープ巻き取り器105、キャリアガス供給部106、酸素ガス供給部107及びヒータ108を備えて構成される。
なお、テープ基材110の金属基板11aは、例えば100μm厚、幅10mm、長さ200mの無配向のハステロイが用いられる。また、中間層12aは、IBAD法により金属基板11a上に成膜される。
以上より、MOCVD装置100は、テープ基材110の温度を制御しつつ移動させ、Y系超電導層13を成膜する。ここで、テープ基板の温度が700℃未満の状態で成膜を行った場合には、超電導電流が流れない異方位結晶が主に成長し、超電導電流が流れない超電導層が形成されるという問題がある。また、900℃よりも高温の状態で成膜を行った場合には、超電導層と中間層の反応が生じ、超電導特性が低下したり、成長温度が高温すぎることにより、超電導層自体の形成が困難になるという問題がある。よって、Y系超電導層13の成膜は、テープ基材110の温度が700℃〜900℃の状態で行うことが好ましい。
図6に示すように、MOCVD法によるY系超電導層13の成膜において、最終成膜膜厚を一定とし、多数回成膜の1層辺りの膜厚を薄膜化させることにより、CuxOのピーク強度を減少させることができる。ここで、1層膜厚が200nmを超えた場合には、CuxOのピーク強度が2.5%を超えてしまい、CuxOは異方位結晶の核となり、異方位結晶の成長要因になるため、好ましくない。1層膜厚は、CuxOのピーク強度が0.5%以下となる100nm以下が好ましく、更に、CuxOのピーク強度がほぼ0%となる50nm以下とすることが望ましい。
図7に示す結晶性は、本実施形態の成膜方法により成膜したY系超電導層13の結晶性と、従来の成膜方法により成膜したY系超電導層の結晶性である。
なお、本実施形態の成膜方法とは、上記(1)〜(3)の特徴を有する成膜方法であり、従来の成膜方法とは、Y系超電導層の成膜を1回で行う成膜方法である。膜厚は1.0μmと1.4μmの2種類とした。
以上の結果から、CuxOの抑制により、CuxOを核とする異方位結晶を減少させることができる。
なお、本実施形態の成膜方法による成膜において、1層辺りの膜厚は10nm〜50nmとした(図8参照)。図9に示すように、総膜厚が1μmの場合のIc特性は、本実施形態の成膜方法により成膜した方が従来の成膜方法で成膜したよりも若干向上する。また、総膜厚が1.4μmの場合のIc特性は、本実施形態の成膜方法により成膜した場合にIc特性が飽和することなく大幅に向上する。なお、超電導層の総膜厚が5.0μmより厚い場合には、製造上現実的ではないため、好ましくない。よって、超電導層の厚さは、5.0μm以下であることが望ましい。
11、11a 金属基板
12、12a 中間層
13、13a Y系超電導層
14、14a 安定化層
100 MOCVD装置
101 原料供給部
102 気化器
103 反応炉
104 基材搬送部
105 テープ巻き取り器
106 キャリアガス供給部
107 酸素ガス供給部
108 ヒータ
Claims (4)
- 金属基板上に中間層を介してY系超電導層が形成されてなるY系超電導線材の製造方法であって、
前記Y系超電導層を形成する超電導薄膜の成膜温度まで、前記金属基板を加熱する加熱工程と、
前記中間層上に10nm以上、50nm以下の膜厚を有する前記超電導薄膜を成膜する成膜工程と、
前記超電導薄膜の成膜温度未満まで、前記金属基板温度を冷却する冷却工程と、
を含み、
前記加熱工程、前記成膜工程及び前記冷却工程からなる超電導薄膜形成工程を複数回行い、当該超電導薄膜形成工程において、総膜圧が1.0μm以上、5.0μm以下となるように複数の前記超電導薄膜からなる前記Y系超電導層を形成することを特徴とするY系超電導線材の製造方法。 - 前記加熱工程において前記金属基板を加熱する温度が、700℃以上900℃以下であることを特徴とする請求項1に記載のY系超電導線材の製造方法。
- 前記超電導薄膜は、有機金属気相成長法によって形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のY系超電導線材の製造方法。
- 金属基板上に中間層を介してY系超電導層が形成されてなるY系超電導線材であって、
前記Y系超電導層は、複数の超電導薄膜からなり、
前記複数の超電導薄膜の各膜厚は、10nm以上、50nm以下からなり、
前記複数の超電導薄膜の総膜圧が、1.0μm以上、5.0μm以下であることを特徴とするY系超電導線材。
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