JP5734177B2 - 電界効果型の電子又は光電子デバイス - Google Patents
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Description
・直流又は無線周波数の陰極スパッタリング
・真空における熱抵抗又は電子銃蒸着
・無線周波数プラズマ又は超高周波による蒸気の支援又は非支援化学的分解
・真空加熱
・エピタキシャル原子成長
・インクジェットを介する蒸着
・化学的エマルジョン
・絶縁体が、一方の面に金属を、そして、上述した技術((1),(2),(3))のいずれかを用いて他方の面に蒸着された能動半導体を含む一枚のペーパーである、金属−絶縁体−半導体構造(MIS構造)のダイオードを創造かつ製造すること;
・薄膜に基づくn型又はp型電界効果型トランジスタ(図3〜図5)を創造かつ製造すること;
誘電体は、天然、合成又は混合されたセルロース系繊維からなり、電気陰性度とイオン性度が制御された樹脂及び接着剤によって多層構造内で一塊にされ(lumped)、そして機械的に圧縮されたペーパーである。チャネル領域を形成する能動半導体は、イオン結合性の無機半導体、共有結合性の無機半導体又は有機半導体(1)である。そして、ドレイン及びソース領域はそれぞれ、切替キーとして機能し、情報のコンダクタ/レシーバ及び増幅器として機能することが可能な、高濃度導電性酸化物、金属、又は、n型あるいはp型の高濃度ドープ共有結合半導体に基づく。
これらのデバイスは、図3〜図5に示される構成を有する。チャネル(1)は、1nm〜1000μmの範囲の長さを有し、ペーパー上又は接点アダプテーション層上に直接蒸着され、ソース及びドレイン領域(5)を形成する膜とともにペーパー(4)上に予め蒸着されてもよい。そして、ペーパー(2)の他方の面上に、ゲート電極(3)が直接、又は、金属又は高濃度導電性酸化物からなるアダプテーション層を介して蒸着される。
これらのデバイスは、0.5cm2V−1s−1を超える可動性と、104を超える閉鎖状態/開放状態の比率とを有し、エンハンスメント・モード又はデプレッション・モードで動作する。すなわち、エネルギはそれらに対してオンオフするために要求され、それらはエネルギを利用することなく、既にオン状態にある。
・上述した状態に処理された電界効果型トラジスタを創造かつ製造すること。しかしながら、ゲート電極、又はドレイン及びソース領域を形成する、能動半導体又は材料は、例えば特に、テトラセン、ペンタセン、銅フタロシアニン、オキシチタニウムフタロシアニン、亜鉛フタロシアニン等の有機材料である。
・CMOS又はC−MESFETデバイスを創造かつ製造すること。誘電材料はペーパーであり、かつ、デバイスに組み込まれる相補的なn型及びp型の半導体は共有結合性の無機半導体、イオン結合性の無機半導体、有機半導体、又は、図6に示されるようなその可能なハイブリッド組合せのいずれかである。すなわち、デバイスは、出力端子(ソース及びドレイン又はその逆)の一つが共通であり、他の2つの出力端子が独立である共通ゲートを備える、2つのp型及びn型半導体に基づく。
1−n型又はp型の能動有機半導体、又は、無機共有結合又は無機イオン結合の半導体;
2−誘電体であると共に、電子構成要素の物理的支持体(基板)として、使用されるセルロース又はバイオ有機由来のペーパー;
3−金属、金属合金、2種類の金属多層形態での連続する蒸着物、非常に高導電性の半導体酸化物、又は、非常に高導電性の有機材料によって構成されるデバイスを備える電気接点を定めるために用いられるゲート電極。
4−ペーパーの片面又は表面に存在する接点の、パッシベーション層又はアダプテーション層。
1−電界効果型半導体のチャネル領域として機能するn型又はp型の能動半導体;
2−電界効果型トランジスタの誘電体として機能するペーパー。
3−ゲート電極(金属、高導電性の酸化物、又は高導電性の有機半導体)。
4−誘電チャネルアダプテーション層(Dielectric channel adaptation layer)(4)及び/又は誘電ゲート電極
5−例えば、チャネル領域が共有結合半導体に基づくときのP−dot、金属、P−dot、特異な半導体酸化物(singular semiconductor oxide)、チャネル領域がイオン結合性酸化物又は有機半導体であるときの高導電率の単一構成要素又は複数構成要素等の、高濃度ドープ半導体又は高導電率の有機半導体からなる電界効果型トランジスタのソース領域及びドレイン領域
6−封止層(Encapsulation layer)、表面パッシベーション
7− 半導体のタイプが図1の参照符号に対応する半導体のチャネルに相補的であるチャネル領域。仮にn型である場合、p型で補う。また、逆も同様である。
図1及び図2は、MIS構造と呼ばれる金属−絶縁体−半導体型ダイオードの図である。図1は、ペーパーの両面に蒸着される金属接点のアダプテーション層が存在しない。第2の実施例は、そのような場合で、さらに、金属電極が縮退した半導体酸化物に基づく場合を説明する。すべての場合、能動半導体は、有機又は無機、イオン結合性又は共有結合性の公知の半導体であってもよい。デバイスを形成する構成要素のいずれも、周知の物理的、化学的、又は物理化学的蒸着技術、例えば以下に区別される技術等によって製造され得る。
最初に、用いられるペーパーのタイプ及び重量に関わらず、表面構造と連続薄膜を製造するための意図とを考慮して、表面を準備して調整することが必要である。これは、次のいずれかによって達成される。
a)10分間、UV処理をペーパーの両面に受けさせる;
b)または、蒸着前に、表面を、1〜10−2Paの範囲の圧力下、0.1〜3Wcm−2の範囲の出力密度を用いて5分間、アルゴン、窒素又はキセノン雰囲気中で直流放電(dc discharge)又は高周波放電(RF discharge)の真空処理を、ペーパーの両面に受けさせる;
c)または、厚さ2〜200nmの範囲の、酸化物、窒化物又はフッ化物であるセラミックス製のパッシベーション膜を蒸着する;
d)または、自由ナノ粒子を取り除き、(窒素混合物中の水素の機能である)表面活性化するために、表面を窒素/水素噴流でクリーニングする。
i)無機金属、導電性酸化物材料、又は有機材料、例えば次の技術のいずれかによって製造されたP−dot等の蒸着物からなる、図1及び図2に参照符号3で表わされた金属電極の処理
I)10−3Pa以下の真空圧を用いる、熱抵抗又は電子銃真空蒸発工程、及び基板温度が冷却により制御されるシステム。用いられる最小厚さは、10nmである。本工程により、実施され、連続体にすることができる(ロール・ツー・ロール方式(roll to roll))。
II)マグネトロン−1Pa〜10−1Paの間の真空圧で、(冷却して)基板温度が制御されたアルゴン雰囲気中での(DC又はRF)支援陰極スパッタリング。そして、基板の目標距離は、目標及び蒸着されたペーパーの大きさによって決定される、5cm〜15cmの範囲で変化させることができる。
III)有機又は無機構成要素をコーティングする化学溶液のインクジェット印刷。そして、蒸着された材料の最小厚さは10nmである。
IV)厚さ400nm以下で蒸着されるエレメントを含む化学溶液のエマルジョンの迅速な拡大。
ii)図1及び図2において参照符号1で表わされる有機又は無機の、イオン結合性又は共有結合性の能動半導体の処理のために、次の技術の一つが用いられる:
V)異なる構成及び純度で、反応性雰囲気で金属ターゲットを、又は反応性又は未反応性の雰囲気でセラミックターゲットを使用するマグネトロン(DC又はRF)支援陰極スパッタリング。用いられる真空圧は1Pa〜10−1Paの間で変化し、酸素の分圧は10−4Pa〜10−2Paの間で変化させることができる。;ターゲット基板の距離は、用いられるターゲットの大きさ及び蒸着されるシート状のペーパーの大きさにより、5cm〜15cmの間で変化する。用いられる厚さは10〜5000nmである。
VI)蒸着される金属エレメントを含むセラミック/酸化物材料から、本技術に対して上述した手順に従い、処理が10−3Pa以下の真空圧で実施される、抵抗法又は電子銃法による真空熱蒸発。使用される厚さはほぼ10〜20000nm程度である。
VII)無線周波数プラズマ又はUHFの支援化学蒸気分解。この場合、蒸着されるエレメントはガス状の形態である。例えば、シリコン蒸着の場合、シランの形態で、かつ、圧力10〜200Paの範囲で、0.03〜2Wcm−2の出力密度及び13.56〜60MHzの励起周波数を用いて、RF放電により分解される。能動半導体の有用な厚さは、20〜8000nmの範囲である。
VIII)有機又は無機構成要素をコーティングする化学溶液のインクジェット印刷。蒸着された材料の最小厚さは、20〜5000nmである。
IX)蒸着されるエレメントをコーティングする化学溶液の迅速な拡大。蒸着された材料の厚さが20〜20000nmである。
iii)図1及び図2において参照符号4で言及されるアダプテーション層、及び図1及び図2において参照符号6で言及される封止層(Encapsulation layer)の処理のために、用いられる製造工程は、アイテムii)で示され、同じ種類の材料で、どのようなものでよいが、能動半導体によって示された電気抵抗率より少なくとも3桁大きい電気抵抗率の材料が用いられる。
このセクションでは、図3〜図6で示される接点で、エンハンスメント・モード又はデプレッション・モードで動作するアダプテーション層を有する又は有さない、すなわち、ON状態又は増幅状態にあるためのゲート電極に電圧を印加する必要がある又はない、封止又は非封止のn型又はp型の電界効果型トランジスタの処理を説明する。この機能は、情報アドレス回路又は増幅回路に切り替え、かつ、半導体内を循環する電流が繊維の分布され方により決まるインターストレートペーパーの単位面積当たりの電気容量及びイオン電荷容量(ionic charge capacity)により決まる単一の導電回路としても機能するための、キー(key)である。図3〜図6は、異なる形式の接点パッシベーション層又はアダプテーション層を備える電界効果型トランジスタの概略図である。
明細書で表された実施例は、2つの電界効果型トランジスタの使用からなる。2つの電界効果型トランジスタは、上述した技術により製造された、図7及び図8において参照符号1で示される、エンハンスト・モードでのn型動作のものと、参照符号7で示される動的電荷としてp型動作の他のものである。2つのトランジスタの能動領域の分離は、その容量を決定し、かつC−MOSと呼ばれるデバイスの製造に対応する、繊維で構成されるシート状のペーパーの表面の両面又は片面のパッシベーション層の有無により、100nm〜100μmの間で変化させることができる。この形式の回路において、2つのトランジスタは、決して同時にON状態にはならず、デジタル回路の概念及び論理ゲートの概念に用いられる。
本発明の使用で得られるデバイス及び集積回路を現実に使用し得る主要な産業は、電子産業、半導体産業、フラットスクリーン産業、論理回路産業、計装及び測定装置産業(instrumentation and sensor industry)、医療及びバイオテクノロジー産業、光電子産業、及び、マイクロ及びナノ電子産業である。本発明に基づくデバイスは、情報配信のための回路(ドライバ回路)、フラットスクリーン用のアドレスマトリックス、論理回路の概念、すなわち、インバータ論理ゲート、e又は(AND又はOR)型論理ゲート、それと相補的な形態(NAND及びNOR)、リング発信器、ヘテロ接合の製造、すなわち、MISダイオード及びCMOSデバイスのための回路を含むことができる、スイッチ又は増幅器として機能する電界効果型デバイスに基づくすべての電子機器;計器産業;制御回路及び信号伝達回路を切り替えるキーエレメントとして、医療及び/又は食料産業;防衛産業(特にステルスで不可視な表示に);の直接利用に向いている。
Claims (6)
- p型又はn型の電界効果型の電子又は光電子デバイスであって、
前記デバイスの物理的支持体であると共に誘電体として使用されるペーパーの薄膜(2)が、水素結合によって物理的かつ化学的に結合されて層になった天然繊維、合成繊維又は混合セルロース系繊維を備え、
前記ペーパーの薄膜(2)を形成する繊維の単位面積当たりの蓄積された電荷によって、切替モード又は増幅モードで、前記デバイスのゲート電極に電気信号電圧の印加を要求することなくON状態にすることを特徴とするデバイス。 - 請求項1記載のデバイスであって、
前記繊維、前記層、又は、前記繊維と前記層が接着剤で接着され、
前記接着剤は電気陰性度及びイオン性の調整剤であることを特徴とするデバイス。 - 請求項1又は2記載のデバイスであって、
前記ペーパーの薄膜(2)は、前記繊維の厚さの1/100〜1/10の能動半導体が蒸着されることを特徴とするデバイス。 - 請求項1又は2記載のデバイスであって、
ダイオード、又はトランジスタ、2、3あるいは4つのハイブリッド端子のデバイス、又は相補的な金属酸化物の半導体のCMOSを含む能動デバイスを実現するように、単一構造、組み立てられたタンデム構造又はマルチレイヤ構造において、少なくとも金属の電気的特性を有する有機物由来又は無機物由来の材料で形成され、電極として使用される、1又は複数の構成要素である半導体構成要素、誘電体(6)、又はアダプテーション層(4)を備えることを特徴とするデバイス。 - 請求項1又は2記載のデバイスであって、
前記ペーパーの薄膜(2)の真上に、パッシベーション層又はアダプテーション層(4)を備えることを特徴とするデバイス。 - 請求項4記載のデバイスであって、
前記半導体構成要素が、共有結合性の無機材料、単一のイオン性材料、化合したイオン性材料、又は有機材料を含み、少なくとも2nm〜20μmの間の厚さを有することを特徴とするデバイス。
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