JP5731881B2 - プラズマ処理装置及びその運転方法 - Google Patents
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Description
予め定められた間隔で前記処理室内にプラズマを形成してこの処理室内側の壁面の付着物を除去するクリーニング処理を少なくとも1回実施するクリーニング用モードを有し、
前記クリーニング用モードにおいて、前記クリーニング処理中に検知したデータを用いて検出された前記処理室内の付着物の量と前記クリーニング処理の終了後の前記処理室のリーク量とが各々所定の値以下である場合に前記クリーニング用モードを終了することを特徴とする。
(1)処理済みのエッチングレシピ
(2)ステップ208でエッチング処理と同時に実施した発光分光器105から行ったOES解析結果
101 プラズマ発生高周波電源
102 プラズマ
103 観測窓
104 光ファイバ
105 発光分光器
106 インターフェース
107 ソレノイドコイル
108 圧力計
109 可変コンダクタンスバルブ
110 排気系真空ポンプ
111 マスフローコントローラ
112 ガス供給系
113 試料台
114 バイアス用高周波電源
115 制御装置
116 画面表示機器
117 点灯信号
118 アラーム
119 ネットワーク
120 HOSTコンピュータ
Claims (10)
- 真空容器の内部に配置された処理室内にウエハを配置してこの処理室内にプラズマを形成して当該ウエハを処理するプラズマ処理装置の運転方法であって、
予め定められた間隔で前記処理室内にプラズマを形成してこの処理室内側の壁面の付着物を除去するクリーニング処理を少なくとも1回実施するクリーニング用モードを有し、
前記クリーニング用モードにおいて、前記クリーニング処理中に検知したデータを用いて検出された前記処理室内の付着物の量と前記クリーニング処理の終了後の前記処理室のリーク量とが各々所定の値以下である場合に前記クリーニング用モードを終了することを特徴とするプラズマ処理装置の運転方法。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、
前記ウエハのプラズマ処理が終了後に前記処理室のリーク量を検出した結果に応じて前記クリーニング用モードの運転を実施するものであり、
検出された前記処理室のリーク量の値の大小に応じて、当該処理室のリーク量の検出の間隔が調節されて設定されることを特徴とするプラズマ処理装置の運転方法。 - 請求項1または2に記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、
前記検出された付着物の量が前記所定の値より大きいと判定された場合に再度前記クリーニング処理を行うことを特徴とするプラズマ処理装置の運転方法。 - 請求項1または2に記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、
前記検出された付着物の量が前記所定の値以下であって且つこの付着物の量が検出されたクリーニング処理後のリーク量が前記所定の値より大きな場合に再度プラズマを用いた前記クリーニング処理を行うことを特徴とするプラズマ処理装置の運転方法。 - 請求項1乃至4の何れかに記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、
前記クリーニング用モードにおいて前記クリーニング処理の回数が所定の値を超えていると判定された場合は当該判定の結果またはWETクリーニングの必要を報知することを特徴とするプラズマ処理装置の運転方法。 - 真空容器の内部に配置された処理室内にウエハを配置してこの処理室内にプラズマを形成して当該ウエハを処理し、予め定められた間隔で前記処理室内にプラズマを形成してこの処理室内側の壁面の付着物を除去するクリーニング処理を少なくとも1回実施するクリーニング用モードを実施するプラズマ処理装置であって、
前記クリーニング用モードにおいて、前記クリーニング処理中に検知したデータを用いて検出された前記処理室内の付着物の量と前記クリーニング処理の終了後の前記処理室のリーク量とが各々所定の値以下である場合に前記クリーニング用モードを終了する制御部を備えていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項6に記載のプラズマ処理装置であって、
前記ウエハのプラズマ処理が終了後に前記処理室のリーク量を検出した結果に応じて前記クリーニング用モードの運転を実施するものであり、
前記制御部は、検出された前記処理室のリーク量の値の大小に応じて、当該処理室のリーク量の検出の間隔が調節されて設定されることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項6または7に記載のプラズマ処理装置であって、
前記制御部は、前記検出された付着物の量が前記所定の値より大きいと判定された場合に再度前記クリーニング処理を行うことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項6乃至8の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記制御部は、前記検出された付着物の量が前記所定の値以下であって且つこの付着物の量が検出されたクリーニング処理後のリーク量が前記所定の値より大きな場合に再度プラズマを用いた前記クリーニング処理を行うことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項6乃至9の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記制御部は、前記クリーニング用モードにおいて前記クリーニング処理の回数が所定の値を超えていると判定された場合は当該判定の結果またはWETクリーニングの必要を報知することを特徴とするプラズマ処理装置。
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