JP5727303B2 - 表示装置 - Google Patents
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Description
System,微小電子機械システム)技術を用いて形成した可動式シャッターを備えた表示装置に関する。
第1基板(SUB1)の上に、図3(a)に示すように、可動式シャッターの構造や台座の形状に合わせて、フォト・レジストパターンRE1及びRE2を形成する。レジストパターンRE1は、第1基板(SUB1)に配置された配線から導通を得るためのコンタクトホールを形成するために、またシャッターSHや第1及び第2バネを第1基板(SUB1)の表面から離すために使用される。レジストパターンRE2は、シャッターSHや第1及び第2バネ等の垂直方向(図3の高さ方向)の形状を形成するために使用される。
(1) 透明基板上に可動式のシャッターを備えた第1基板と、他の透明基板上に光を透過するアパーチャを前記シャッターの開口に対応して備えた第2基板とを有し、両基板を所定の間隔で対向配置する表示装置において、前記第2基板の前記第1基板に対向する面上には、複数の支柱が形成され、前記第1基板には、前記支柱が挿入され、前記支柱を保持するコンタクトホールが形成されていることを特徴とする。
本発明は、図4乃至6に示すように、透明基板上に可動式のシャッター1を備えた第1基板(SUB1)と、他の透明基板上に光を透過するアパーチャを、可動式のシャッター1の構成要素の一つであるシャッターSH(即ち平板状シャッター)の開口に対応して備えた第2基板(SUB2)とを有し、両基板を所定の間隔で対向配置する表示装置において、該第2基板の該第1基板に対向する面上には、複数の支柱(CO)が形成され、該第1基板の該可動式のシャッターが形成された面上には、該支柱が挿入され、該支柱を保持するコンタクトホール(CH)が形成されていることを特徴とする。
AN1,AN2 アンカー部
CH コンタクトホール
CL 導電膜
CO 支柱
IN 絶縁膜
ME1,ME2 金属膜
OP1,OP2 開口部
RE1〜RE3 レジストパターン
SH シャッター
SP1,SP2 バネ
SUB1,SUB2 透明基板
Claims (7)
- 透明基板上に可動式のシャッターを備えた第1基板と、他の透明基板上に光を透過するアパーチャを前記可動式のシャッターの開口に対応して備えた第2基板とを有し、前記第1基板と前記第2基板とを所定の間隔で対向配置する表示装置において、
前記第2基板の前記第1基板に対向する面上には、複数の支柱が形成され、
前記第1基板の表面上の微小電気機械システム構造が、前記複数の支柱のうちの1つの支柱を受けるためのコンタクトホールを画定し、前記支柱が前記コンタクトホールに挿入されていることを特徴とする表示装置。 - 前記コンタクトホールは、前記可動式のシャッターと同じ製造プロセスで同時に形成されていることを特徴とする請求項1に記載表示装置。
- 前記可動式のシャッターは、前記開口が形成されている平板状シャッターと、前記平板状シャッターと接続しているバネ部と、前記バネ部の前記平板状シャッタと接続している側とは反対側に接続しているアンカー部とを有し、
前記透明基板上には、第1の層と前記第1の層に接して積層された第2の層とが形成され、
前記コンタクトホールは、前記第1の層と前記第2の層とが積層している箇所に形成され、
前記アンカー部の少なくとも一部は、前記第1の層で形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の表示装置。 - 前記バネ部の少なくとも一部は、前記第2の層で形成されていることを特徴とする請求項3に記載の表示装置。
- 前記第1の層と前記第2の層とは、レジスト膜で形成されていることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の表示装置。
- 前記コンタクトホールの高さhは、前記支柱の高さHの半分以上の高さであり、前記コンタクトホールの底面幅は、前記支柱の幅と同じに設定され、かつ前記コンタクトホールの上部開口の幅は前記底面幅よりも大きいことを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項に記載の表示装置。
- 前記コンタクトホールの数は、前記支柱の数よりも少なく、前記コンタクトホールの底面に形成される膜体は、前記支柱が前記コンタクトホールを介さずに第1基板と接触する場所と同じ膜厚の膜体が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項6の何れか1項に表示装置。
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