JP5725733B2

JP5725733B2 - Thin blade

Info

Publication number: JP5725733B2
Application number: JP2010124798A
Authority: JP
Inventors: 池田　吉隆; 吉隆池田
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2010-05-31
Filing date: 2010-05-31
Publication date: 2015-05-27
Anticipated expiration: 2030-05-31
Also published as: JP2011251351A

Description

本発明は、薄刃ブレードに関するものである。 The present invention relates to a thin blade.

従来から、センサなどに用いられる水晶や石英などの硬脆材料（被切断材）に溝加工を施したり、切断することによって個片化したりする加工には、高精度が要求されており、このような溝加工や切断加工など（以下、「切断加工」と省略する。）には、円形薄板状の薄刃ブレードが使用されている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１の薄刃ブレード（薄刃砥石）は、略リング状の薄板状の砥石本体における外周近傍部分に、周方向に沿って、厚み方向に貫通する貫通孔を複数形成したものである。 Conventionally, high precision has been required for machining grooves or cutting into hard and brittle materials (materials to be cut) such as quartz and quartz used in sensors, etc. For such grooving or cutting (hereinafter abbreviated as “cutting”), a thin blade blade of a circular thin plate shape is used (for example, see Patent Document 1).
The thin blade (thin blade grindstone) of Patent Document 1 is formed by forming a plurality of through holes penetrating in the thickness direction along the circumferential direction in a portion near the outer periphery of a substantially ring-shaped thin plate-shaped grindstone main body.

特開２００２−３６１２１号公報JP 2002-36121 A

しかしながら、特許文献１の薄刃ブレードのように、ブレードの基体を金属で形成すると、ブレード自体の強度は確保できるが、砥石として作用させるためには硬すぎるため、加工品位を保持することができないという問題があるとともに、ブレード自体の寿命が短いという問題がある。
また、上述の薄刃ブレードを用いて、例えばＱＦＮパッケージのようなＣｕ＋エポキシモールのような複合材料を切断加工すると、Ｃｕのバリが加工精度に影響を与えるという問題がある。 However, if the base of the blade is made of metal like the thin blade of Patent Document 1, the strength of the blade itself can be ensured, but it is too hard to act as a grindstone, so that the processing quality cannot be maintained. There is a problem that the life of the blade itself is short.
Further, when a composite material such as Cu + epoxy molding such as a QFN package is cut using the above-described thin blade blade, there is a problem that Cu burrs affect the processing accuracy.

そこで、本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、加工品位を向上することができるとともに、ブレード自体の寿命を長くすることができる薄刃ブレードを提供するものである。 Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a thin blade that can improve the processing quality and extend the life of the blade itself.

上記の課題を解決するために、本発明は以下の手段を提案している。
すなわち、本発明に係る薄刃ブレードは、金属材料をベースとして、超砥粒を分散させてなるメタル基材と、該メタル基材の外周縁部に形成された切刃と、を有し、前記メタル基材が軸周りに回転されるとともに、前記切刃で被切断材を切断加工する薄刃ブレードであって、前記メタル基材に、前記軸方向に貫通する貫通孔および前記軸方向に沿って形成された凹部の少なくともいずれかが放射状または格子状に形成されるとともに、前記貫通孔または前記凹部には、前記メタル基材よりも軟質材料で形成された部位と、砥粒とからなる軟質部材が配されており、前記軟質部材のうち、前記砥粒は、前記貫通孔または前記凹部における前記軸方向の端部の開口を塞ぐように、該端部内に挿入され、前記軟質材料で形成された部位は、前記砥粒の前記軸方向の内側に隣接配置され、前記軟質部材の砥粒は、前記超砥粒に比べて、同一粒径または大きい粒径であることを特徴としている。
本発明に係る薄刃ブレードによれば、軟質部材が貫通孔または凹部に配されることにより、所望の剛性を確保しつつ加工品位を向上することができるとともに、メタル基材の寿命を長くすることができる。 In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
That is, the thin blade according to the present invention has a metal base material in which superabrasive grains are dispersed based on a metal material, and a cutting blade formed on the outer peripheral edge of the metal base material. A metal substrate is rotated around an axis, and is a thin blade blade for cutting a material to be cut with the cutting blade, and the metal substrate has a through-hole penetrating in the axial direction and along the axial direction. At least one of the formed recesses is formed in a radial or lattice shape, and the through-hole or the recess has a portion formed of a softer material than the metal base and a soft member made of abrasive grains Of the soft member, the abrasive grains are inserted into the end portion so as to close the opening of the end portion in the axial direction in the through-hole or the concave portion, and are formed of the soft material. The abrasive grains are the abrasive grains Disposed adjacent to the inner side of the axial direction, the abrasive grains of the soft member, the compared to superabrasive, and wherein the at least one particle size or larger particle size.
According to the thin blade according to the present invention, the soft member is arranged in the through hole or the concave portion, so that the processing quality can be improved while ensuring the desired rigidity, and the life of the metal substrate is lengthened. Can do.

また、軟質部材が砥粒を弾性的に支持するため、砥粒が加工する際に発生する力を軟質部材が吸収する。したがって、加工品位を向上することができる。 Further, since the soft substance member supports the abrasive elastically, the force generated when the abrasive grains are processing soft member absorbs. Therefore, the processing quality can be improved.

また、本発明に係る薄刃ブレードにおいて、前記軟質部材の径方向の大きさが、０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下であることを特徴としている。
本発明に係る薄刃ブレードによれば、軟質部材の大きさを制限することにより軟質部材の効果を確実に得ることができる。したがって、所望の剛性を確保しつつ加工品位を向上することができるとともに、メタル基材の寿命を長くすることができる。 In the thin blade according to the present invention, the size of the soft member in the radial direction is 0.5 mm or more and 3 mm or less.
According to the thin blade according to the present invention, the effect of the soft member can be reliably obtained by limiting the size of the soft member. Accordingly, the processing quality can be improved while ensuring the desired rigidity, and the life of the metal substrate can be extended.

また、本発明に係る薄刃ブレードにおいて、前記軟質部材が、前記メタル基材の径方向に対して少なくとも１層は配されていることを特徴としている。
本発明に係る薄刃ブレードによれば、薄刃ブレード自体が摩耗しても軟質部材の効果を持続させることができる。したがって、所望の剛性を確保しつつ加工品位を向上することができるとともに、メタル基材の寿命を長くすることができる。
また、本発明に係る薄刃ブレードにおいて、前記軟質部材の砥粒が、前記メタル基材の端面から突出するように配されていることを特徴としている。 In the thin blade according to the present invention, the soft member is characterized in that at least one layer is arranged in the radial direction of the metal base.
According to the thin blade according to the present invention, even if the thin blade itself is worn, the effect of the soft member can be maintained. Accordingly, the processing quality can be improved while ensuring the desired rigidity, and the life of the metal substrate can be extended.
In the thin blade according to the present invention, the abrasive grains of the soft member are arranged so as to protrude from the end face of the metal base material.

本発明に係る薄刃ブレードによれば、軟質部材が貫通孔または凹部に配されることにより、所望の剛性を確保しつつ加工品位を向上することができるとともに、メタル基材の寿命を長くすることができる。 According to the thin blade according to the present invention, the soft member is arranged in the through hole or the concave portion, so that the processing quality can be improved while ensuring the desired rigidity, and the life of the metal substrate is lengthened. Can do.

本発明の実施形態における薄刃ブレードの正面図である。It is a front view of the thin blade in embodiment of this invention. 図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the AA line of FIG. 図２のＢ部拡大図である。It is the B section enlarged view of FIG. 本発明の実施形態における薄刃ブレードの別の態様を示す正面図である。It is a front view which shows another aspect of the thin blade blade in embodiment of this invention.

次に、本発明の実施形態を図１〜図４に基づいて説明する。
図１は、薄刃ブレードの正面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図３は、図２のＢ部拡大図である。なお、本実施形態の薄刃ブレードは、ガラス・セラミックなどの脆性材料を切断するものや、Ｃｕリードフレーム＋ガラスエポキシ樹脂パッケージを切断することなどに使用するものである。
図１に示すように、薄刃ブレード１０は、軸線Ｏを中心とした円環形状を有しており、厚さ０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍ程度の薄肉板状をなしている。薄刃ブレード１０は、円環形状のメタル基材１１と、メタル基材１１の外周縁に形成された切刃１３と、を備えている。メタル基材１１は、例えば、Ｃｕ−Ｓｎにより形成されている。また、薄刃ブレード１０には、被切断材を切断など加工するためのダイヤモンド砥粒２１が配されている。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a front view of a thin blade. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 3 is an enlarged view of a portion B in FIG. In addition, the thin blade of this embodiment is used for cutting a brittle material such as glass or ceramic, or for cutting a Cu lead frame + glass epoxy resin package.
As shown in FIG. 1, the thin blade 10 has an annular shape centered on the axis O, and has a thin plate shape with a thickness of about 0.05 mm to 0.5 mm. The thin blade 10 includes an annular metal base 11 and a cutting edge 13 formed on the outer peripheral edge of the metal base 11. The metal substrate 11 is made of, for example, Cu—Sn. Further, the thin blade 10 is provided with diamond abrasive grains 21 for processing the material to be cut, such as cutting.

また、メタル基材１１の正面視略中央に形成された貫通孔１５は、図示しない加工装置の主軸に挿入されて、該加工装置に取り付け可能に構成されている。そして、軸線Ｏ回りに回転されつつ、該軸線Ｏに垂直な方向に送り出されることにより、メタル基材１１の外周縁に形成された切刃１３によって、例えば半導体チップなどの電子部品の切断や溝入れなどの超精密加工に使用される。 Moreover, the through-hole 15 formed in the approximate center in the front view of the metal base material 11 is configured to be inserted into a main shaft of a processing apparatus (not shown) and attachable to the processing apparatus. Then, while being rotated around the axis O and fed in a direction perpendicular to the axis O, the cutting blade 13 formed on the outer peripheral edge of the metal base 11 cuts or grooves an electronic component such as a semiconductor chip. Used for ultra-precision machining such as container.

ここで、本実施形態のメタル基材１１には、軟質部材２５が放射状に複数配されている。軟質部材２５は、メタル基材１１に軸方向に沿って形成された貫通孔２７に挿入するようにして配されている。また、軟質部材２５は、軸方向両端に配された砥粒２９，２９と、砥粒２９，２９の間に配された樹脂材料３１と、樹脂材料３１に混入されたフィラー３３と、を有している。砥粒２９は、ダイヤモンド砥粒２１よりは粒径の大きいものが用いられている。また、砥粒２９はメタル基材１１の端面から突出するように配されている。なお、砥粒２９の粒径、つまり軟質部材２５の径方向の大きさは０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下になっている。 Here, a plurality of soft members 25 are radially arranged on the metal base 11 of the present embodiment. The soft member 25 is arranged so as to be inserted into a through hole 27 formed in the metal base material 11 along the axial direction. The soft member 25 includes abrasive grains 29 and 29 disposed at both ends in the axial direction, a resin material 31 disposed between the abrasive grains 29 and 29, and a filler 33 mixed in the resin material 31. doing. Abrasive grains 29 having a larger particle diameter than diamond abrasive grains 21 are used. Further, the abrasive grains 29 are arranged so as to protrude from the end face of the metal substrate 11. The particle size of the abrasive grains 29, that is, the size of the soft member 25 in the radial direction is 0.5 mm or more and 3 mm or less.

さらに、本実施形態では、軟質部材２５が放射状に２層形成されている。具体的には、径方向外側に放射状に複数配された１層目の軟質部材２５の周方向の隙間を埋めるように、径方向内側の２層目の軟質部材２５が放射状に複数配されている。 Furthermore, in this embodiment, the soft member 25 is formed in two layers radially. Specifically, a plurality of radial second inner soft members 25 are radially arranged so as to fill a circumferential gap between a plurality of first radial soft members 25 radially outward. Yes.

本実施形態の薄刃ブレード１０によれば、軸方向に貫通する貫通孔２７を放射状に形成するとともに、貫通孔２７にメタル基材１１よりも軟質材料で形成された軟質部材２５を挿入するように配したため、メタル基材１１により所望の剛性を確保しつつ、軟質部材２５により加工品位を向上することができる。また、メタル基材１１に軟質部材２５を配することにより、メタル基材１１の寿命を長くすることができるという効果が得られる。 According to the thin blade 10 of the present embodiment, the through holes 27 penetrating in the axial direction are formed radially, and the soft member 25 formed of a softer material than the metal base material 11 is inserted into the through holes 27. Therefore, the processing quality can be improved by the soft member 25 while ensuring the desired rigidity by the metal base material 11. Moreover, the effect that the lifetime of the metal base material 11 can be lengthened by providing the soft member 25 on the metal base material 11 is acquired.

また、軟質部材２５にダイヤモンド砥粒２１より大きい粒径の砥粒２９を配したため、軟質部材２５の摩耗を周囲のメタル基材１１より遅らせることができ、軟質部材２５が砥粒２９と被切断材との間に生じる衝撃を吸収するため、加工品位を向上することができる。また、軟質部材２５に配された砥粒２９に、粒径の大きい砥粒を使用してもチッピングが生じるのを抑制することができる。 Moreover, since the abrasive grains 29 having a particle size larger than the diamond abrasive grains 21 are arranged on the soft member 25, the wear of the soft members 25 can be delayed from the surrounding metal base material 11, and the soft member 25 and the abrasive grains 29 are cut. In order to absorb the impact which arises between materials, processing quality can be improved. Further, even when abrasive grains 29 having a large particle diameter are used for the abrasive grains 29 arranged on the soft member 25, it is possible to suppress chipping.

さらに、軟質部材２５の径方向の大きさを０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下と制限したため、軟質部材２５の効果を確実に得ることができる。したがって、所望の剛性を確保しつつ加工品位を向上することができるとともに、メタル基材１１の寿命を長くすることができる。 Furthermore, since the size in the radial direction of the soft member 25 is limited to 0.5 mm or more and 3 mm or less, the effect of the soft member 25 can be reliably obtained. Accordingly, the processing quality can be improved while ensuring the desired rigidity, and the life of the metal base 11 can be extended.

そして、軟質部材２５が、メタル基材１１の径方向に対して少なくとも１層は配されるように構成したため、薄刃ブレード１０自体が摩耗しても軟質部材２５の効果を持続させることができる。 And since the soft member 25 was comprised so that at least 1 layer might be distribute | arranged with respect to the radial direction of the metal base material 11, even if the thin blade blade 10 itself wears, the effect of the soft member 25 can be maintained.

実施例１では、粒度♯４００のダイヤモンド超砥粒を、金属結合層に均一に分散した電鋳ブレードからなるベースブレードを作製した。このベースブレードの各寸法は、外径５８ｍｍ、内径４０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍである。 In Example 1, a base blade composed of an electroformed blade in which diamond superabrasive grains having a particle size of # 400 were uniformly dispersed in a metal bonding layer was produced. The dimensions of this base blade are an outer diameter of 58 mm, an inner diameter of 40 mm, and a thickness of 0.3 mm.

本発明による発明品１〜５は、ベースブレードと同じ材料を用い、発明品１はベースブレードに粒度♯２００の砥粒が配された軟質部材を配して形成し、発明品２はベースブレードに粒度♯２３０の砥粒が配された軟質部材を配して形成し、発明品３はベースブレードに粒度♯２７０の砥粒が配された軟質部材を配して形成し、発明品４はベースブレードに粒度♯３２５の砥粒が配された軟質部材を配して形成した。発明品５はベースブレードに粒度♯４００の砥粒が配された軟質部材を配して形成した。なお、軟質部材の径方向の大きさは直径１ｍｍであり、軟質部材を３層に亘って配置した。また、ベースブレード、発明品１〜５をまとめてサンプル品という。 Inventions 1 to 5 according to the present invention are formed by using the same material as the base blade, Invention 1 is formed by arranging a soft member in which abrasive grains of grain size # 200 are arranged on the base blade, and Invention 2 is a base blade. Inventive product 3 is formed by arranging a soft member with abrasive particles of particle size # 270 on the base blade, and inventive product 4 is The base blade was formed by arranging a soft member in which abrasive grains of grain size # 325 were arranged. Inventive product 5 was formed by arranging a soft member in which abrasive grains of particle size # 400 were arranged on the base blade. The size of the soft member in the radial direction was 1 mm in diameter, and the soft member was arranged in three layers. The base blades and invention products 1 to 5 are collectively referred to as sample products.

（切断試験１）
切断試験１では、上記各サンプル品のブレードを使用して、ワークの切断加工を行った。なお、ワークとしては、長さ３ｍｍ、幅３ｍｍで１６ピンを有するＱＦＮ（ＱｕａｄＦｌａｔＮｏｎ−ｌｅａｄｅｄ）パッケージを用いた。
この切断加工において、ワークに生じた縦バリおよび横バリの大きさを計測した。また、切断加工中に、主軸電流値を測定した。
なお、切断装置は、各ブレードを外径５２ｍｍのフランジによってその主軸を狭着して、主軸回転数２００００ｍｉｎ^−１、送り速度６０ｍｍ／ｓｅｃとして切断加工を行った。この切断試験１によって得られた縦バリ、横バリの大きさ、主軸電流値を表１に示す。 (Cutting test 1)
In the cutting test 1, the workpiece was cut using the blade of each sample product. As a work, a QFN (Quad Flat Non-leaded) package having a length of 3 mm, a width of 3 mm, and 16 pins was used.
In this cutting process, the size of the vertical and horizontal burrs generated on the workpiece was measured. Further, the spindle current value was measured during the cutting process.
The cutting device cut each blade at a spindle rotation speed of 20000 min ⁻¹ and a feed rate of 60 mm / sec with each blade narrowed by a flange having an outer diameter of 52 mm. Table 1 shows the vertical burrs, horizontal burrs, and spindle current values obtained by the cutting test 1.

表１に示すように、発明品１〜４と比較して、ベースブレードおよび発明品５の縦バリおよび横バリの大きさが大きくなっていることが理解される。また、主軸電流値については、ベースブレードおよび発明品５に対して発明品１〜４が小さくなることが理解される。
上記の結果より、本発明に係る発明品１〜４は、ベースブレード、発明品５と比較して、縦バリおよび横バリが小さく抑えられるとともに、主軸電流値も小さく、すなわち低い抵抗で切断可能であることが理解される。つまり、ベースブレードにダイヤモンド砥粒より粒径の大きい砥粒を有する軟質部材を配することにより、上記効果が得られることが理解できる。 As shown in Table 1, it is understood that the vertical burrs and the horizontal burrs of the base blade and the inventive product 5 are larger than those of the inventive products 1 to 4. In addition, with respect to the spindle current value, it is understood that the inventive products 1 to 4 are smaller than the base blade and the inventive product 5.
From the above results, the inventive products 1 to 4 according to the present invention have smaller vertical burrs and horizontal burrs than the base blade and the inventive product 5, and also have a small spindle current value, that is, can be cut with low resistance. It is understood that That is, it can be understood that the above-described effect can be obtained by arranging a soft member having abrasive grains having a grain size larger than diamond abrasive grains on the base blade.

実施例２では、粒度♯３２５のダイヤモンド超砥粒を金属結合層（Ｃｕ−Ｓｎ−Ｃｏ）に均一に分散したメタルボンドのベースブレードを作製した。このベースブレードの各寸法は、外径５８ｍｍ、内径４０ｍｍ、厚さ０．３２ｍｍである。 In Example 2, a metal bond base blade in which diamond superabrasive grains having a particle size of # 325 were uniformly dispersed in a metal bonding layer (Cu—Sn—Co) was produced. The dimensions of this base blade are an outer diameter of 58 mm, an inner diameter of 40 mm, and a thickness of 0.32 mm.

本発明による発明品１〜６は、ベースブレードと同じ材料を用い、発明品１はベースブレードに径方向の大きさが直径０．５ｍｍの軟質部材を配して形成し、発明品２はベースブレードに径方向の大きさが直径１．０ｍｍの軟質部材を配して形成し、発明品３はベースブレードに径方向の大きさが直径２．０ｍｍの軟質部材を配して形成し、発明品４はベースブレードに径方向の大きさが直径３．０ｍｍの軟質部材を配して形成した。発明品５はベースブレードに径方向の大きさが直径０．３ｍｍの軟質部材を配して形成し、発明品６はベースブレードに径方向の大きさが直径３．５ｍｍの軟質部材を配して形成した。なお、軟質部材の両端に配された砥粒は粒度２３０のものを使用し、軟質部材を１層配置したものを用いた。また、ベースブレード、発明品１〜６をまとめてサンプル品という。 Inventions 1 to 6 according to the present invention use the same material as the base blade, Invention 1 is formed by arranging a soft member having a diameter of 0.5 mm in the radial direction on the base blade, and Invention 2 is a base. The blade 3 is formed by arranging a soft member having a diameter of 1.0 mm in diameter in the blade, and the invention product 3 is formed by arranging a soft member having a diameter in the diameter direction of 2.0 mm on the base blade. The product 4 was formed by arranging a soft member having a diameter of 3.0 mm in the radial direction on the base blade. Inventive product 5 is formed by placing a soft member having a diameter of 0.3 mm on the base blade, and Inventive product 6 is provided with a soft member having a diameter of 3.5 mm on the base blade. Formed. In addition, the abrasive grain distribute | arranged to the both ends of a soft member used the thing of the particle size 230, and used what arranged one layer of soft members. The base blades and invention products 1 to 6 are collectively referred to as sample products.

（切断試験２）
切断試験２では、上記各サンプル品のブレードを使用して、ワークの切断加工を行った。なお、ワークとしては、長さ４ｍｍ、幅４ｍｍで２４ピンを有するＱＦＮを用いた。
この切断加工において、上述した切断試験１と同様に、縦バリ、横バリの大きさおよび主軸電流値を測定した。また、一つのブレードでワークをどれ位連続して切断できるか（連続切断距離）を測定した。
なお、切断装置は、各ブレードを外径５２ｍｍのフランジによってその主軸を狭着して、主軸回転数２００００ｍｉｎ^−１、送り速度１２０ｍｍ／ｓｅｃとして切断加工を行った。この切断試験２によって得られた縦バリ、横バリの大きさ、主軸電流値、連続切断距離を表２に示す。 (Cutting test 2)
In the cutting test 2, the workpiece was cut using the blade of each sample product. As the workpiece, QFN having a length of 4 mm and a width of 4 mm and having 24 pins was used.
In this cutting process, the size of the vertical and horizontal burrs and the spindle current value were measured in the same manner as the cutting test 1 described above. In addition, it was measured how long a workpiece can be cut with one blade (continuous cutting distance).
In addition, the cutting apparatus cut | disconnected each blade by narrowing the main axis | shaft with the flange with an outer diameter of 52 mm, and the main-axis | shaft rotation speed 20000min < ^-1 > and the feed rate of 120 mm / sec. Table 2 shows the vertical burrs, horizontal burrs, spindle current values, and continuous cutting distances obtained by the cutting test 2.

表２に示すように、縦バリ、横バリの大きさは、ベースブレードおよび発明品５，６に対して、発明品１〜４が小さくなっていることが理解される。また、主軸電流値も、発明品５は発明品１と同じ値になっているが、ベースブレードおよび発明品６に対して発明品１〜４が小さくなっていることが理解される。
また、表２に示すように、連続切断距離は、ベースブレードおよび発明品５，６に対して発明品１〜４は明らかに長くなっていることが理解される。つまり、ブレードの長寿命化を図ることができる。 As shown in Table 2, it is understood that the vertical burrs and horizontal burrs are smaller in the inventive products 1 to 4 than in the base blade and the inventive products 5 and 6. Further, the spindle current value of the invention 5 is the same value as that of the invention 1, but it is understood that the inventions 1 to 4 are smaller than the base blade and the invention 6.
Moreover, as shown in Table 2, it is understood that the continuous cutting distance is clearly longer in the inventive products 1 to 4 than in the base blade and the inventive products 5 and 6. That is, the life of the blade can be extended.

実施例３では、粒度♯８００のダイヤモンド超砥粒を金属結合層（Ｃｕ−Ｓｎ−Ａｇ）に均一に分散したメタルボンドのベースブレードを作製した。このベースブレードの各寸法は、外径５８ｍｍ、内径４０ｍｍ、厚さ０．１５ｍｍである。 In Example 3, a metal bond base blade in which diamond superabrasive grains having a particle size of # 800 were uniformly dispersed in a metal bonding layer (Cu—Sn—Ag) was produced. The base blade has an outer diameter of 58 mm, an inner diameter of 40 mm, and a thickness of 0.15 mm.

本発明による発明品１〜５は、ベースブレードと同じ材料を用い、発明品１はベースブレードに粒度♯３２５の砥粒が配された軟質部材を配して形成し、発明品２はベースブレードに粒度♯４００の砥粒が配された軟質部材を配して形成し、発明品３はベースブレードに粒度♯５００の砥粒が配された軟質部材を配して形成し、発明品４はベースブレードに粒度♯６００の砥粒が配された軟質部材を配して形成した。発明品５はベースブレードに粒度♯８００の砥粒が配された軟質部材を配して形成した。なお、軟質部材の径方向の大きさは直径１ｍｍであり、軟質部材を５層に亘って配置した。また、ベースブレード、発明品１〜５をまとめてサンプル品という。 Inventions 1 to 5 according to the present invention use the same material as the base blade. Invention 1 is formed by arranging a soft member having a grain size # 325 on the base blade, and Invention 2 is a base blade. Inventive product 3 is formed by arranging a soft member with abrasive particles of particle size # 500 on the base blade, and inventive product 4 is formed by arranging a soft member with abrasive particles of particle size # 400. A soft member in which abrasive grains of grain size # 600 are arranged is arranged on the base blade. Invention 5 was formed by arranging a soft member in which abrasive grains of particle size # 800 were arranged on the base blade. The size of the soft member in the radial direction was 1 mm in diameter, and the soft member was arranged over five layers. The base blades and invention products 1 to 5 are collectively referred to as sample products.

（切断試験３）
切断試験３では、上記各サンプル品のブレードを使用して、ワークの切断加工を行った。なお、ワークとしては、長さ１００ｍｍ、幅１００ｍｍ、厚さ１．０ｍｍのＡｌ２０３を用いた。
この切断加工において、ワークに生じた角かけの有無、チッピングの大きさおよび主軸電流値を測定した。
なお、切断装置は、各ブレードを外径５２ｍｍのフランジによってその主軸を狭着して、主軸回転数２１０００ｍｉｎ^−１、送り速度１０ｍｍ／ｓｅｃとして切断加工を行った。この切断試験３によって得られた角かけの有無、チッピングの大きさ、主軸電流値を表３に示す。 (Cutting test 3)
In the cutting test 3, the workpiece was cut using the blade of each sample product. As a workpiece, Al203 having a length of 100 mm, a width of 100 mm, and a thickness of 1.0 mm was used.
In this cutting process, the presence / absence of cornering generated in the workpiece, the magnitude of chipping, and the spindle current value were measured.
In addition, the cutting apparatus cut | disconnected each blade by narrowing the main axis | shaft with the flange with an outer diameter of 52 mm, main axis | shaft rotation speed 21000min < ^-1 >, and feed speed 10mm / sec. Table 3 shows the presence or absence of squatting, the size of chipping, and the spindle current value obtained by the cutting test 3.

表３に示すように、発明品１〜４にはワークに角かけが生じたものは無かったのに対し、ベースブレードおよび発明品５には角かけが生じていることが理解される。また、チッピングの大きさおよび主軸電流値については、ベースブレードおよび発明品５に対して発明品１〜４が小さくなることが理解される。
上記の結果より、本発明に係る発明品１〜４は、ベースブレード、発明品５と比較して、ワークに角かけが生じるのを防止できるとともに、チッピングの大きさおよび主軸電流値も小さく、すなわち低い抵抗で切断可能であることが理解される。つまり、ベースブレードにダイヤモンド砥粒より粒径の大きい砥粒を有する軟質部材を配することにより、上記効果が得られることが理解できる。 As shown in Table 3, it is understood that the invention products 1 to 4 did not have any cornering on the workpiece, whereas the base blade and the invention product 5 had cornering. In addition, it is understood that the inventive products 1 to 4 are smaller than the base blade and the inventive product 5 with respect to the size of the chipping and the spindle current value.
From the above results, the inventive products 1 to 4 according to the present invention can prevent the workpiece from being squashed compared to the base blade, the inventive product 5, and the chipping size and the spindle current value are also small. That is, it can be understood that cutting is possible with a low resistance. That is, it can be understood that the above-described effect can be obtained by arranging a soft member having abrasive grains having a grain size larger than diamond abrasive grains on the base blade.

なお、本発明は上述した実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、実施形態で挙げた具体的な構造や形状などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
例えば、本実施形態では、軟質部材を放射状に複数配置した場合の説明をしたが、図４に示すように、格子状に配置してもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes various modifications made to the above-described embodiment without departing from the spirit of the present invention. That is, the specific structure and shape described in the embodiment are merely examples, and can be changed as appropriate.
For example, in the present embodiment, a case where a plurality of soft members are arranged radially has been described, but as shown in FIG. 4, they may be arranged in a lattice shape.

１０…薄刃ブレード１１…メタル基材１３…切刃２１…ダイヤモンド砥粒（超砥粒）２５…軟質部材２７…貫通孔Ｏ…軸線（軸） DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Thin blade 11 ... Metal base material 13 ... Cutting blade 21 ... Diamond abrasive grain (superabrasive grain) 25 ... Soft member 27 ... Through-hole O ... Axis (axis)

Claims

Based on a metal material, a metal substrate formed by dispersing superabrasive grains,
A cutting edge formed on the outer peripheral edge of the metal substrate,
The metal base is rotated around an axis, and is a thin blade blade for cutting a material to be cut with the cutting blade,
In the metal base material, at least one of a through-hole penetrating in the axial direction and a recess formed along the axial direction is formed in a radial or lattice shape,
In the through-hole or the recess, a soft member made of a portion made of a softer material than the metal base material and abrasive grains is disposed,
Among the soft members,
The abrasive grains are inserted into the end portion so as to close the opening of the end portion in the axial direction in the through hole or the concave portion,
The portion formed of the soft material is disposed adjacent to the inner side of the abrasive grain in the axial direction,
A thin blade blade, wherein the abrasive grains of the soft member have the same grain size or a larger grain size than the super abrasive grains.

2. The thin blade according to claim 1 , wherein a size of the soft member in a radial direction is not less than 0.5 mm and not more than 3 mm.

The thin blade blade according to claim 1 or 2 , wherein at least one layer of the soft member is disposed in a radial direction of the metal base material.

The thin blade blade according to any one of claims 1 to 3, wherein abrasive grains of the soft member are arranged so as to protrude from an end face of the metal base material.