JP5719948B2 - 光学素子の製造方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 73
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 58
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 39
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 22
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 18
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 13
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016006 MoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Description
以下に、本発明の一実施形態を、主に図3,図6(a)を参照しながら説明する。図3は、本実施形態に係る光学素子300の製造方法のフロー図である。図6(a)は本実施形態に係る光学素子300の部分断面図である。
図6(a)に示すように、光学素子300は、基板301上に形成された遮光膜302がパターニングされてなる遮光部320と、基板301の一部表面が露出してなる透光部311と、基板301の一部表面がエッチングされてなる位相シフタ部310と、を有する。なお、図6(a)は光学素子300の積層構造を例示するものであり、実際のパターンはこれと同一とは限らない。
続いて、本実施形態に係る光学素子300の製造方法について説明する。
まず、図3(a)に例示するような、基板301上に遮光膜302と第1のレジスト膜303とがこの順に積層された光学素子ブランク300bを用意する。基板301及び遮光膜302の構成は上述のとおりである。第1のレジスト膜303、後述する第2のレジスト膜304、及び後述する第3のレジスト膜305は、ポジ型レジスト材料或いはネガ型レジスト材料により形成されている。以下では、第1のレジスト膜303、第2のレジスト膜304、及び第3のレジスト膜305が、それぞれポジ型レジスト材料より形成されているものとして説明する。第1のレジスト膜303、第2のレジスト膜304、及び第3のレジスト膜305は、例えばスピン塗布やスリットコータ等の手法を用いて塗布された後にベークされて形成され、その厚さは例えば500nm以下である。
次に、電子ビーム描画機やレーザ描画機等により描画露光を行い、第1のレジスト膜303の一部を感光させ、スプレー方式等の方法により第1のレジスト膜303に現像液を供給して現像することにより、遮光部320の形成予定領域320’を覆うと共に、位相シフタ部310の形成予定領域310’を画定する第1のレジストパターン303pを形成する。
次に、第1のレジストパターン303pをマスクとして、遮光膜302を部分的にエッチングし、遮光膜パターン302pとすることにより、遮光部320を形成すると共に、位相シフタ部310の形成予定領域310’を画定する画定パターン302bを形成する。
次に、少なくとも基板301の露出面、すなわち、少なくとも位相シフタ部310の形成予定領域310’と、画定パターン302bに覆われていない透光部311の形成予定領域311’と、をそれぞれ覆う第2のレジスト膜304を形成する。
次に、上記同様の描画露光を行い、第2のレジスト膜304の一部を感光させ、現像することにより、少なくとも位相シフタ部310の形成予定領域310’を露出させる第2のレジストパターン304pを形成する。
次に、画定パターン302b及び第2のレジストパターン304pをマスクとして基板301の露出面を部分的にエッチングすることにより、位相シフタ部310を形成する。ここでは、露出させた画定パターン302b(特にその位相シフタ部310の形成予定領域310’側エッジ)及び第2のレジストパターン304pをマスクとして、基板301の露出面をエッチングする。
次に、第2のレジストパターン304p及び画定パターン302bを除去することにより、基板301の一部表面を露出させて透光部311を形成する。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
また、遮光部320と位相シフタ部310との相対位置を、設計上の相対位置に対して±5nm以内、好ましくは±3nm以内とすることが可能となるため、被転写体上に所定の転写パターンを高精度に転写することができる。
続いて、本発明の他の実施形態を、主に図4,図6(b)を参照しながら説明する。図4は、本実施形態に係る光学素子400の製造方法のフロー図である。図6(b)は本実施形態に係る光学素子400の部分断面図である。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
300b 光学素子ブランク
301 基板
302 遮光膜
303 第1のレジスト膜
303p 第1のレジストパターン
310 位相シフタ部
311’ 位相シフタ部の形成予定領域
311 透光部
320 遮光部
320’ 遮光部の形成予定領域
Claims (6)
- 透明基材上に下層膜と、上層膜と、第1のレジスト膜が積層された光学素子ブランクを用い、前記透明基材上に下層膜と上層膜が形成された積層部、前記透明基材が露出した基材露出部、前記下層膜が露出した下層膜露出部とを有し、かつ、前記基材露出部と前記下層膜露出部が隣接する部分、及び、前記下層膜露出部と前記積層部が隣接する部分を有する光学素子を製造する方法において、
前記光学素子ブランクを用意する工程と、
前記第1のレジスト膜に描画と現像を施し、第1のレジストパターンを形成する工程と、
前記第1のレジストパターンを用い、前記上層膜をエッチングすることにより、前記積層部を形成するとともに、前記基材露出部の形成予定領域を画定する、画定パターンを形成する工程と、
第2のレジスト膜を形成する工程と、
前記第2のレジスト膜に描画と現像を施し、前記基材露出部の形成予定領域にある下層膜を露出させる、第2のレジストパターンを形成する工程と、
前記画定パターンと前記第2のレジストパターンとをマスクとして用いて前記下層膜をエッチングすることにより、前記基材露出部を形成する工程と、
前記第2のレジストパターン及び前記画定パターンを除去する工程と、
を有し、
前記第2のレジストパターンを形成する工程では、前記基材露出部の形成予定領域の寸法に、アライメントマージンを加えた寸法のパターンデータを用いて前記描画を行うことにより、前記画定パターンにおける、前記基材露出部の形成予定領域側のエッジを露出させ、
前記基材露出部を形成する工程では、前記画定パターンにおける前記エッジ及び前記第2のレジストパターンをマスクとして用い、前記下層膜をエッチングすることを特徴とする、光学素子の製造方法。 - 前記画定パターンは、前記下層膜露出部の形成予定領域において、前記基材露出部の形成予定領域の外周側を、所定の幅で覆うことにより、前記基材露出部の形成予定領域を画定することを特徴とする、請求項1に記載の光学素子の製造方法。
- 前記下層膜は、位相シフタ膜であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の光学素子の製造方法。
- 前記下層膜は、ハーフトーン膜であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の光学素子の製造方法。
- 前記上層膜は、遮光膜であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の光学素子の製造方法。
- 前記下層膜露出部における透過光と、前記基材露出部における透過光の位相差が45度以上200度以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光学素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014024253A JP5719948B2 (ja) | 2014-02-12 | 2014-02-12 | 光学素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014024253A JP5719948B2 (ja) | 2014-02-12 | 2014-02-12 | 光学素子の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009289010A Division JP5479074B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 光学素子の製造方法、光学素子 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015059402A Division JP5907634B2 (ja) | 2015-03-23 | 2015-03-23 | 光学素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014130364A JP2014130364A (ja) | 2014-07-10 |
JP5719948B2 true JP5719948B2 (ja) | 2015-05-20 |
Family
ID=51408739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014024253A Active JP5719948B2 (ja) | 2014-02-12 | 2014-02-12 | 光学素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5719948B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20240000446A (ko) * | 2021-04-30 | 2024-01-02 | 가부시키가이샤 니콘 | 위상 시프트 마스크, 검출 소자, 디포커스량 검출 방법,포커스 조정 방법, 및 디바이스의 제조 방법 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07295204A (ja) * | 1994-04-28 | 1995-11-10 | Fujitsu Ltd | 位相シフトマスクの修正方法 |
KR100322537B1 (ko) * | 1999-07-02 | 2002-03-25 | 윤종용 | 블랭크 마스크 및 이를 이용한 위상 반전 마스크 제조방법 |
JP2002156739A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-05-31 | Toppan Printing Co Ltd | 位相シフトマスクブランク及び位相シフトマスク |
US6569581B2 (en) * | 2001-03-21 | 2003-05-27 | International Business Machines Corporation | Alternating phase shifting masks |
JP2003121988A (ja) * | 2001-10-12 | 2003-04-23 | Hoya Corp | ハーフトーン型位相シフトマスクの欠陥修正方法 |
JP3727319B2 (ja) * | 2002-04-30 | 2005-12-14 | 松下電器産業株式会社 | フォトマスク及びその作成方法 |
JP4443873B2 (ja) * | 2003-08-15 | 2010-03-31 | Hoya株式会社 | 位相シフトマスクの製造方法 |
JP2005129688A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP4566666B2 (ja) * | 2004-09-14 | 2010-10-20 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 露光用マスクとその製造方法 |
JP4823711B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2011-11-24 | Hoya株式会社 | パターン形成方法及び位相シフトマスクの製造方法 |
JP4883278B2 (ja) * | 2006-03-10 | 2012-02-22 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランク及びフォトマスクの製造方法 |
US8048616B2 (en) * | 2008-03-12 | 2011-11-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Double patterning strategy for contact hole and trench in photolithography |
JP5274393B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2013-08-28 | アルバック成膜株式会社 | ハーフトーンマスクの製造方法 |
-
2014
- 2014-02-12 JP JP2014024253A patent/JP5719948B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014130364A (ja) | 2014-07-10 |
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Legal Events
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141022 |
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