JP5718613B2 - 熱反応型レジスト材料 - Google Patents
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Description
近年、光記録などの分野においては、加熱により熱的変質した領域と未変質の領域との間の組成差を利用する熱反応型レジスト材料を用いた微細パターンの形成が検討されている。酸化銅(II)は、加熱による熱分解で酸化銅(I)となるため、熱反応型レジスト材料として用いることが可能である。しかしながら、酸化銅(II)を熱反応型レジスト材料として用いて大気雰囲気化下で露光した場合には、熱分解によって生成した酸化銅(I)が、その一部、又は 全部が再酸化されて酸化銅(II)に戻る。このため、酸化銅(II)を熱反応型レジスト材料として用いた場合には、熱反応型レジスト材料の露光部の組成と、未露光部の組成と、が近くなるため、露光後の現像工程において十分な微細パターンが得られないことがある。
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施例及び比較例によって何ら限定されるものではない。まず、本実施例に用いた評価法について説明する。
再酸化は、示差熱天秤(TG8120、リガク社製)を用いた熱重量分析より算出した酸化度により評価した。熱重量分析は、以下の条件で実施した。Ptパン中に、各種の再酸化防止剤を含む酸化銅(II)を10mgセットして、1100℃まで10℃/分で加熱して酸化銅(I)とした。次に、この酸化銅(I)を室温まで冷却し、室温に戻った時の重量増減量から酸化度を算出した。酸化度は、CuOxのX値として表記し、X=1の場合はCuOすなわち酸化銅(II)を表し、X=0.5の場合はCuO0.5(=Cu2O)すなわち酸化銅(I)を表す。
再酸化防止剤の量は、誘導結合プラズマ発光分光装置(ICP−AES、サーモフィッシャーサイエンティフィック社製)を用いた定量分析により評価した。
純度99.99%の酸化銅(II)に99.9%〜99.99%以上の純度の下記表1に示す再酸化防止剤をそれぞれ添加して、乳鉢で均一に混合して20種類の熱反応型レジスト材料を調整した。各熱反応型レジスト材料について、それぞれ熱重量分析を行い、重量増減測定を実施して酸化度を算出した。その結果、全ての熱反応型レジスト材料において、酸化銅(I)の再酸化が抑制されていた。
純度99%の酸化銅(II)を準備しICP分析を行った。その結果0.12at%のNaが含まれていた。この純度99%の酸化銅(II)に再酸化防止剤を加えずに熱重量分析を行い、重量増減測定を実施して酸化度を算出した。その結果、酸化銅(I)の再酸化が抑制されていた。
純度99.99%の酸化銅(II)に再酸化防止剤を加えないで、熱重量分析を行い、重量増減測定を実施して酸化度を算出した。その結果、酸化銅(I)の再酸化が確認された。なお、純度99.99%の酸化銅(II)のICP分析を行ったところ、0.002at%のNaが含まれていた。
純度99.99%の酸化銅(II)に純度99.9%〜99.99%以上の下記表1に示す再酸化防止剤をそれぞれ添加して、 乳鉢で均一に混合して7種類の熱反応型レジスト材料を調整した。各熱反応型レジスト材料について、それぞれ熱重量分析を行い、重量増減測定を実施して酸化度を 算出した。その結果、酸化銅(I)の再酸化が確認された。
基材としてΦ80mm×L400mmの円筒状基材を選択した。純度99.99%の酸化銅(II)と下記表2に示す再酸化防止剤とを熱反応型レジスト材料として選択し、エッチング層の材料としてSiO2を選択した。各々3inΦのターゲットを用いて、RF100Wの電力でスパッタリング法によってレジスト層とエッチング層とを成膜して積層体を作製した。レジスト層の膜厚は、20nmであり、エッチング層の膜厚は、250nmであった。
以上のように成膜した積層体を以下の条件で露光した。
露光用半導体レーザー波長:405nm
レンズ開口数:0.85
露光レーザーパワー:1mW〜10mW
送りピッチ:120nm〜350nm
Claims (9)
- リチウム、ナトリウム、マグネシウム、カルシウム、ゲルマニウム、鉛、及びテルル並びにその酸化物、塩化物、フッ化物、及び炭酸化物からなる群から選択された少なくとも1つの再酸化防止剤と、酸化銅(II)と、を含有し、前記再酸化防止剤の含有量が、前記酸化銅(II)に対して、0.01at%以上20at%以下であることを特徴とする熱反応型レジスト材料。
- 平板状基材、円筒状基材、又はレンズ状基材のいずれかの基材と、前記基材上に設けられた請求項1記載の熱反応型レジスト材料を含有するレジスト層と、を備えたことを特徴とする積層体。
- 前記基材と前記レジスト層との間に設けられるエッチング層を備えたことを特徴とする請求項2記載の積層体。
- 請求項2記載の積層体を用いたモールドの製造方法であって、
前記レジスト層をレーザーで露光後、前記レジスト層を現像する現像工程と、
現像後の前記レジスト層をマスクとして、フロン系ガスで前記基材をドライエッチングするエッチング工程と、
前記レジスト層を除去して、モールドを製造する除去工程と、
を含むことを特徴とするモールドの製造方法。 - 請求項3記載の積層体を用いたモールドの製造方法であって、
前記レジスト層をレーザーで露光後、前記レジスト層を現像する現像工程と、
現像後の前記レジスト層をマスクとして、フロン系ガスで前記エッチング層をドライエッチングするエッチング工程と、
前記レジスト層を除去して、モールドを製造する除去工程と、
を含むことを特徴とするモールドの製造方法。 - 前記積層体が、スパッタリング法、蒸着法又はCVD法を用いて形成されたことを特徴とする請求項4又は請求項5記載のモールドの製造方法。
- 請求項4から請求項6のいずれか1項に記載のモールドの製造方法により得られたことを特徴とするモールド。
- 1nm以上1μm以下の微細パターンを有することを特徴とする請求項7記載のモールド。
- 請求項1記載の熱反応型レジスト材料を加熱分解することを特徴とする酸化銅(I)の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010243090A JP5718613B2 (ja) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | 熱反応型レジスト材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010243090A JP5718613B2 (ja) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | 熱反応型レジスト材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2012093677A JP2012093677A (ja) | 2012-05-17 |
JP5718613B2 true JP5718613B2 (ja) | 2015-05-13 |
Family
ID=46387046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010243090A Active JP5718613B2 (ja) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | 熱反応型レジスト材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5718613B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101616210B1 (ko) * | 2011-11-22 | 2016-04-27 | 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤 | 열반응형 레지스트 재료, 몰드의 제조 방법, 몰드, 현상 방법 및 패턴 형성 재료 |
JP6097028B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2017-03-15 | 旭化成株式会社 | モールドの製造方法及びレジストパターンの形成方法 |
CA2941836A1 (en) * | 2014-03-12 | 2015-09-17 | Basf Se | Improved catalyzed soot filter |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008135090A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-12 | Canon Inc | レジスト、これを用いた光ディスク用スタンパの製造方法、及び光ディスク用スタンパ |
TWI417181B (zh) * | 2008-01-25 | 2013-12-01 | Asahi Kasei E Materials Corp | The manufacturing method of seamless mold |
US9257142B2 (en) * | 2008-10-14 | 2016-02-09 | Asahi Kasei E-Materials Corporation | Heat-reactive resist material, layered product for thermal lithography using the material, and method of manufacturing a mold using the material and layered product |
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2010
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012093677A (ja) | 2012-05-17 |
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Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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