JP5707423B2 - パターンマッチング装置、及びコンピュータープログラム - Google Patents
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Description
この場合、ROIの内側だけについて一致度を求めれば良い。具体的なステップとして、まず、位置合わせ結果に基づいて設計データ画像を切り出して設計データROI画像1007を生成する。設計データROI画像1007に含まれるROI1008を位置合わせ結果1006に重ねたものが一致度算出画像1010である。一致度算出領域1011について式1を用いると、Aは5、Bは9となり一致度は44%となる。このことから、設計データROIを用いれば精度よく位置合わせの正解と失敗を判断することができる。
103 制御装置
104 計算機
109 表示装置
201 検査画像
301 設計データ画像
402 設計データ
404 設計データROI生成部
405 設計データROI画像
408 位置合わせ判定部
601 検査画像ROI生成部
602 検査画像ROI画像
Claims (12)
- 設計データに基づいて形成されたテンプレートを用いて、画像上でパターンマッチングを実行する画像処理部を備えたパターンマッチング装置において、
前記画像処理部は、前記パターンマッチングを実行した後、前記テンプレート内の所定の評価領域に含まれる前記画像が所定の条件を満たすか否かの判定を行うものであって、前記評価領域は、前記設計データに基づいて得られる画像に対する膨張処理によって塗りつぶされなかった部分の抽出に基づいて得られることを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1において、
前記評価領域は、前記塗りつぶされなかった部分を膨張することによって得られるものであることを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1において、
前記画像処理部は、前記評価領域内に、所定のパターンが含まれているか否かによって、前記判定を行うことを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1において、
前記テンプレートには、繰り返しパターンが含まれることを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項4において、
前記評価領域には、前記繰り返しパターンの周期性が途切れた部分が含まれることを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1において、
前記評価領域は、前記テンプレートと比較して小さいことを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1において、
前記テンプレートは、前記設計データに基づいて得られる画像に対し、縦方向、または横方向に選択的に膨張処理を施すことによって形成されるものであることを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1において、
前記画像処理部は、前記評価領域を、周囲と中心で重みに相当する画素値が異なるよう生成することを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項8において、
前記画像処理部は、前記評価領域内に、所定のパターンが含まれているか否かを、前記評価領域の画素値との演算を行った値で判定することを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1において、
前記評価領域は、設計データから抽出したコーナ点を膨張処理して抽出したものであることを特徴とするパターンマッチング装置。 - 設計データに基づいて形成されたテンプレートを用いて、画像上でパターンマッチングをコンピューターに実行させるコンピュータープログラムにおいて、
当該プログラムは、前記コンピューターに前記パターンマッチングを実行させた後、前記テンプレート内の所定の評価領域内に含まれる前記画像が所定の条件を満たすか否かの判定を行わせるものであって、前記評価領域は、前記設計データに基づいて得られる画像に対する膨張処理によって塗りつぶされなかった部分の抽出に基づいて得られることを特徴とするコンピュータープログラム。 - 請求項11において、
前記プログラムは、前記コンピューターに、前記塗り潰されなかった部分を、膨張させることによって前記評価領域を生成させることを特徴とするコンピュータープログラム。
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