JP5688217B2 - Paste composition and fired product pattern - Google Patents
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Description
本発明は、例えば、プラズマディスプレイパネルのバス電極などの作成に用いられるペースト組成物及びこのペースト組成物のパターンを焼成して得られる焼成物パターンに関する。 The present invention relates to, for example, a paste composition used for producing a bus electrode of a plasma display panel and a fired product pattern obtained by firing a pattern of this paste composition.
プラズマディスプレイパネル(以下PDPと記す)において、前面板に形成されるバス電極や、ブラックパターンには、コントラストを向上させるために、黒色顔料が含有される。例えば、二層構造のバス電極においては、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明電極上に、下層に黒色顔料を含む黒層が、上層にAgなどを含む白層が形成される。 In a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP), a black pigment is contained in a bus electrode and a black pattern formed on a front plate in order to improve contrast. For example, in a bus electrode having a two-layer structure, a black layer containing a black pigment as a lower layer and a white layer containing Ag or the like as an upper layer are formed on a transparent electrode such as ITO (Indium Tin Oxide).
このような黒層における黒色顔料としては、一般に、カーボンブラックや、銅・鉄・マンガン系複合酸化物、四三酸化コバルトなどの無機酸化物が用いられる。これらのうち、四三酸化コバルトは、赤みや黄色みを呈しない、すなわち通常L値として評価される黒色度に優れるとともに、過酷な使用条件下においても安定であることが知られている(例えば、特許文献1など参照)。 As the black pigment in such a black layer, generally used is an inorganic oxide such as carbon black, a copper / iron / manganese composite oxide, or cobalt trioxide. Of these, cobalt tetroxide does not exhibit redness or yellowness, that is, it is known that it is excellent in blackness, which is usually evaluated as an L value, and is stable even under severe use conditions (for example, , See Patent Document 1).
しかしながら、四三酸化コバルトは、透明電極や白層との接触抵抗値が高く、特に大画面のPDPにおいて、消費電力が増大するという問題がある。さらに、電極パターン形成のために、感光性樹脂などを加えてペースト化すると、経時的に粘度上昇が起こり、ペースト組成物の長期間の保存が困難であるという問題がある。 However, cobalt trioxide has a high contact resistance value with a transparent electrode or a white layer, and there is a problem that power consumption increases particularly in a large-screen PDP. Furthermore, when a photosensitive resin or the like is added to form an electrode pattern to form a paste, there is a problem that the viscosity increases with time and it is difficult to store the paste composition for a long period of time.
本発明は、黒色度が良好で、接触抵抗値の低い黒層を形成することができ、良好な保存安定性を得ることが可能なペースト組成物及び黒色度が良好で、接触抵抗値の低い黒層として用いることが可能な焼成物パターンを提供することを目的とする。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention provides a paste composition that can form a black layer with good blackness and low contact resistance, can obtain good storage stability, and has good blackness and low contact resistance. It aims at providing the baked material pattern which can be used as a black layer.
本発明の一態様のペースト組成物は、Mnと、Fe、Srの少なくともいずれかとの複合酸化物を含む黒色無機酸化物、および有機バインダーとを含有することを特徴とする。このような構成のペースト組成物により、黒色度が良好で、接触抵抗値の低い黒層を形成することができ、良好な保存安定性を得ることが可能となる。 The paste composition of one embodiment of the present invention includes Mn, a black inorganic oxide containing a composite oxide of at least one of Fe and Sr, and an organic binder. With such a paste composition, a black layer with good blackness and low contact resistance can be formed, and good storage stability can be obtained.
また、本発明の一態様のペースト組成物において、黒色無機酸化物は、Mn、Fe、およびSrの複合酸化物を含むことが好ましい。このような構成により、さらに保存安定性を向上させることができる。 In the paste composition of one embodiment of the present invention, the black inorganic oxide preferably contains a composite oxide of Mn, Fe, and Sr. With such a configuration, the storage stability can be further improved.
また、本発明の一態様のペースト組成物において、黒色無機酸化物は、MnとFeのモル比が、MnxFe1−x(0<x≦0.8)であるMn−Fe酸化物であることが好ましい。Mn−Fe複合酸化物におけるMnとFeのモル比をこの範囲とすることにより、より良好な保存安定性を得ることが可能となる。 In the paste composition of one embodiment of the present invention, the black inorganic oxide is a Mn—Fe oxide in which the molar ratio of Mn to Fe is Mn x Fe 1-x (0 <x ≦ 0.8). Preferably there is. By setting the molar ratio of Mn to Fe in the Mn—Fe composite oxide within this range, better storage stability can be obtained.
また、本発明の一態様のペースト組成物において、黒色無機酸化物は、Mn、Fe及びSrのモル比が、MnxFeySr1−x−y(0<x≦0.8、0<y≦0.6、0<1−x−y≦0.6)であるMn−Fe−Sr複合酸化物であることが好ましい。Mn−Fe−Sr複合酸化物におけるMn、Fe及びSrのモル比をこの範囲とすることにより、さらなる保存安定性の向上、黒色度劣化の抑制の少なくともいずれかを図ることが可能となる。
In the paste composition of one embodiment of the present invention, the black inorganic oxide has a molar ratio of Mn, Fe, and Sr of Mn x Fe y Sr 1-xy (0 <x ≦ 0.8, 0 < It is preferable that the Mn—Fe—Sr composite oxide satisfying y ≦ 0.6 and 0 <1-xy ≦ 0.6). Mn in Mn-Fe-Sr composite oxide, by a molar ratio of Fe and Sr in this range, further improving storage stability of, it is possible to achieve at least one of suppression of blackness deteriorated.
また、本発明の一態様の焼成物パターンは、基体上に形成され、Mnと、Fe、Srの少なくともいずれかとの複合酸化物を含むことを特徴とする。特に、複合酸化物がMn−Fe複合酸化物のとき、MnとFeのモル比が、MnxFe1−x(0<x≦0.8)、Mn−Fe−Sr複合酸化物のとき、Mn、Fe及びSrのモル比が、MnxFeySr1−x−y(0<x≦0.8、0<y≦0.6、0<1−x−y≦0.6)とすることにより、より黒色度が良好で、接触抵抗値の低い黒層を構成することができる。 The fired product pattern of one embodiment of the present invention is formed over a substrate and includes a composite oxide of Mn and at least one of Fe and Sr. In particular, when the complex oxide is a Mn—Fe complex oxide, the molar ratio of Mn to Fe is Mn x Fe 1-x (0 <x ≦ 0.8), Mn—Fe—Sr complex oxide, The molar ratio of Mn, Fe and Sr is Mn x Fe y Sr 1-xy (0 <x ≦ 0.8, 0 <y ≦ 0.6, 0 <1-xy ≦ 0.6) By doing so, a black layer with better blackness and a low contact resistance value can be constituted.
さらに、このような焼成物パターンが、PDPに用いられることが好ましい。PDPにおいて、本発明の一態様の焼成物パターンを有することにより、発光むら、画像欠陥や、消費電力の増大を抑えることが可能となる。 Further, such a fired product pattern is preferably used for the PDP. In the PDP, by having the fired product pattern of one embodiment of the present invention, uneven light emission, image defects, and increase in power consumption can be suppressed.
本発明の一態様によれば、黒色度が良好で、接触抵抗値の低い黒層を形成することができ、保存安定性が良好なペースト組成物、及び黒色度が良好で、接触抵抗値の低い黒層を形成することが可能な焼成物パターンを提供することが可能となる。 According to one embodiment of the present invention, a black composition with good blackness and a low contact resistance value can be formed, a paste composition with good storage stability, and blackness with good contact resistance value. It is possible to provide a fired product pattern capable of forming a low black layer.
以下に本実施形態のペースト組成物について詳細に説明する。
本実施形態のペースト組成物は、Mnと、Fe、Srの少なくともいずれかとの複合酸化物を含む黒色無機酸化物、および有機バインダーとを含有するものである。
Below, the paste composition of this embodiment is demonstrated in detail.
The paste composition of this embodiment contains Mn, a black inorganic oxide containing a composite oxide of at least one of Fe and Sr, and an organic binder.
本実施形態の黒色無機酸化物は、Mnと、Fe、Srの少なくともいずれかとの複合酸化物が含まれる。このような複合酸化物を含むことにより、黒色度、接触抵抗値を劣化させることなく、保存安定性を向上させることができる。このうち、Mn、Fe、およびSrの複合酸化物を含むことがより好ましい。FeとSrを共に含有することにより、さらに保存安定性を向上させることができる。 The black inorganic oxide of the present embodiment includes a complex oxide of Mn and at least one of Fe and Sr. By including such a complex oxide, the storage stability can be improved without deteriorating the blackness and the contact resistance value. Among these, it is more preferable to include a composite oxide of Mn, Fe, and Sr. By containing both Fe and Sr, the storage stability can be further improved.
Srを含まないMn−Fe複合酸化物とする場合には、MnとFeのモル比が、MnxFe1−x(0<x≦0.8)であることが好ましい。Mnのモル比が0.8を超えると、保存安定性が劣化する傾向となる。 When the Mn—Fe composite oxide does not contain Sr, the molar ratio of Mn to Fe is preferably Mn x Fe 1-x (0 <x ≦ 0.8). When the molar ratio of Mn exceeds 0.8, the storage stability tends to deteriorate.
Srを含む、Mn−Fe−Srの複合酸化物とする場合には、MnとFeとSrのモル比が、MnxFeySr1−x−y(0<x≦0.8、0<y≦0.6、0<(1−x−y)≦0.6)であることが好ましい。Srを含むことで、より保存安定性を向上させることができるが、このモル比の範囲とすることにより、さらなる保存安定性の向上、黒色度劣化の抑制の少なくともいずれかを図ることが可能となる。 In the case of a composite oxide of Mn—Fe—Sr containing Sr, the molar ratio of Mn, Fe, and Sr is Mn x Fe y Sr 1-xy (0 <x ≦ 0.8, 0 < It is preferable that y ≦ 0.6 and 0 <(1-xy) ≦ 0.6). By including Sr, the storage stability can be further improved, but by making this molar ratio range, it is possible to achieve at least one of further improvement of storage stability and suppression of blackness deterioration. Become.
また、黒色無機酸化物の粒子は、一次粒径D50(一次粒径の個数分布曲線において、その累積頻度が50%の粒径を意味する)が0.10〜0.60μmであることが好ましい。一次粒径D50が0.10μmよりも小さくなると、粒子の赤み、黄色みが強くなり、0.60μmよりも大きくなると、粒子の黒色度が低くなる。より好ましくは、0.16〜0.60μmであり、更に好ましくは0.20〜0.40μmである。かつ、最大一次粒径が2.0μm以下であることが好ましい。最大一次粒径が2.0μmよりも大きくなると、粒子の黒色度が低くなる傾向にある。 The black inorganic oxide particles preferably have a primary particle size D50 (meaning a particle size having a cumulative frequency of 50% in the number distribution curve of the primary particle size) of 0.10 to 0.60 μm. . When the primary particle size D50 is smaller than 0.10 μm, the redness and yellowness of the particles become strong, and when the primary particle size D50 is larger than 0.60 μm, the blackness of the particles becomes low. More preferably, it is 0.16-0.60 micrometer, More preferably, it is 0.20-0.40 micrometer. And it is preferable that a maximum primary particle size is 2.0 micrometers or less. When the maximum primary particle size is larger than 2.0 μm, the blackness of the particles tends to decrease.
このような黒色無機酸化物は、例えば以下のようにして調製することができる。
まず、反応槽において、不活性ガス雰囲気下、反応温度30〜70℃に維持しつつ、十分な攪拌を加えながら、金属塩(Mn塩、Fe塩、Sr塩)の混合水溶液に、錯化剤としてアンモニア水溶液を添加する。そして、pHを9〜12に維持するよう、アルカリ金属水酸化物の水溶液を加えて、Mn−(Fe−Sr)複合水酸化物を生成する。このMn−(Fe−Sr)複合水酸化物を、固液分離、水洗、乾燥後、空気雰囲気下または酸素雰囲気下、温度600〜800℃で熱処理し、必要に応じて粉砕する。
このようにして、黒色無機酸化物を得ることができる。
Such a black inorganic oxide can be prepared, for example, as follows.
First, in a reaction tank, a complexing agent is added to a mixed aqueous solution of metal salts (Mn salt, Fe salt, Sr salt) while maintaining a reaction temperature of 30 to 70 ° C. in an inert gas atmosphere while adding sufficient stirring. As an aqueous ammonia solution is added. And the aqueous solution of an alkali metal hydroxide is added so that pH may be maintained at 9-12, and a Mn- (Fe-Sr) composite hydroxide is produced | generated. The Mn— (Fe—Sr) composite hydroxide is solid-liquid separated, washed with water, dried, then heat-treated at a temperature of 600 to 800 ° C. in an air atmosphere or an oxygen atmosphere, and pulverized as necessary.
In this way, a black inorganic oxide can be obtained.
黒色無機酸化物は、ペースト組成物中の含有量が1〜30質量%であることが好ましい。1質量%未満であると、黒層を形成した際に良好な黒色度を得られず、30質量%を超えると分散性が劣化する。より好ましくは5〜25質量%である。 The content of the black inorganic oxide in the paste composition is preferably 1 to 30% by mass. When it is less than 1% by mass, good blackness cannot be obtained when a black layer is formed, and when it exceeds 30% by mass, dispersibility is deteriorated. More preferably, it is 5-25 mass%.
本実施形態の有機バインダーは、塗膜の密着性、光硬化性などを付与するために用いられる。有機バインダーとしては、カルボキシル基を有する樹脂、具体的にはそれ自体がエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂およびエチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂を用いることができる。具体的には、以下の樹脂(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が好適に用いられる。 The organic binder of this embodiment is used for imparting adhesiveness of the coating film, photocuring property, and the like. Examples of the organic binder include a resin having a carboxyl group, specifically, a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group-containing resin having no ethylenically unsaturated double bond. Can be used. Specifically, the following resins (any of oligomers and polymers) are preferably used.
(1)不飽和カルボン酸と不飽和二重結合を有する化合物を共重合させることによって得られるカルボキシル基含有樹脂。
(2)不飽和カルボン酸と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体にエチレン性不飽和基をペンダントとして付加させることによって得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3)エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、不飽和カルボン酸を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(4)不飽和二重結合を有する酸無水物と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、水酸基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(5)エポキシ化合物と不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(6)不飽和二重結合を有する化合物とグリシジル(メタ)アクリレートの共重合体のエポキシ基に、1分子中に1つのカルボキシル基を有し、エチレン性不飽和結合を持たない有機酸を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。
(7)水酸基含有ポリマーに多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。
(8)水酸基含有ポリマーに多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂に、エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物をさらに反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
これらのカルボキシル基含有感光性樹脂およびカルボキシル基含有樹脂は、単独で又は混合して用いることができる。
なお、ここで(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。
(1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and a compound having an unsaturated double bond.
(2) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding an ethylenically unsaturated group as a pendant to a copolymer of an unsaturated carboxylic acid and a compound having an unsaturated double bond.
(3) An unsaturated carboxylic acid is reacted with a copolymer of an epoxy group, a compound having an unsaturated double bond, and a compound having an unsaturated double bond, and a polybasic acid anhydride is added to the resulting secondary hydroxyl group. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reaction.
(4) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a copolymer of an acid anhydride having an unsaturated double bond and a compound having an unsaturated double bond with a compound having a hydroxyl group and an unsaturated double bond. .
(5) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting an epoxy compound with an unsaturated monocarboxylic acid and reacting the resulting secondary hydroxyl group with a polybasic acid anhydride.
(6) Reaction of an organic acid having one carboxyl group in one molecule and not having an ethylenically unsaturated bond with the epoxy group of a copolymer of a compound having an unsaturated double bond and glycidyl (meth) acrylate And a carboxyl group-containing resin obtained by reacting the resulting secondary hydroxyl group with a polybasic acid anhydride.
(7) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a hydroxyl group-containing polymer with a polybasic acid anhydride.
(8) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by further reacting a carboxyl group-containing resin obtained by reacting a hydroxyl group-containing polymer with a polybasic acid anhydride and a compound having an epoxy group and an unsaturated double bond.
These carboxyl group-containing photosensitive resins and carboxyl group-containing resins can be used alone or in combination.
Here, (meth) acrylate is a term that collectively refers to acrylate, methacrylate, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.
また、これらのカルボキシル基含有感光性樹脂およびカルボキシル基含有樹脂において、重量平均分子量が1,000〜100,000であることが好ましい。分子量が1,000より低い場合、現像時の塗膜の密着性に悪影響を与え、一方、100,000よりも高い場合、現像不良を生じ易くなる。より好ましくは5,000〜70,000である。 In these carboxyl group-containing photosensitive resins and carboxyl group-containing resins, the weight average molecular weight is preferably 1,000 to 100,000. When the molecular weight is lower than 1,000, the adhesion of the coating film during development is adversely affected. On the other hand, when the molecular weight is higher than 100,000, poor development tends to occur. More preferably, it is 5,000-70,000.
そして、その酸価は50〜250mgKOH/gはであることが好ましい。酸価が50mgKOH/gより低い場合、アルカリ水溶液に対する溶解性が不充分で現像不良を生じ易く、一方、250mgKOH/gより高い場合、現像時に塗膜の密着性の劣化や光硬化部(露光部)の溶解が生じてしまう。 And it is preferable that the acid value is 50-250 mgKOH / g. When the acid value is lower than 50 mg KOH / g, the solubility in an alkaline aqueous solution is insufficient, and development failure tends to occur. On the other hand, when the acid value is higher than 250 mg KOH / g, the adhesion of the coating film is deteriorated during development and the photocured part (exposed part). ) Will be dissolved.
また、カルボキシル基含有感光性樹脂の場合、その二重結合当量が350〜2,000であることが好ましい。二重結合当量が350よりも小さいと、焼成時に残渣が残り易くなり、一方、2,000よりも大きいと、現像時の作業余裕度が狭く、また光硬化時に高露光量が必要となる。より好ましくは400〜1,500である。 In the case of a carboxyl group-containing photosensitive resin, the double bond equivalent is preferably 350 to 2,000. If the double bond equivalent is less than 350, a residue is likely to remain during baking. On the other hand, if it is greater than 2,000, the work margin during development is narrow, and a high exposure amount is required during photocuring. More preferably, it is 400-1500.
このような有機バインダーは、ペースト組成物全量の10〜80質量%の割合で配合することが好ましい。10質量%未満の場合、形成する塗膜中の分布が不均一になり易くなり、充分な光硬化性、光硬化深度が得られにくくなるため、選択的露光、現像によるパターニングが困難となる。一方、80質量%を超えると、焼成時のパターンのよれや、線幅収縮を生じてしまう。 Such an organic binder is preferably blended at a rate of 10 to 80% by mass of the total amount of the paste composition. When the amount is less than 10% by mass, the distribution in the coating film to be formed tends to be non-uniform, and it becomes difficult to obtain sufficient photocurability and photocuring depth, so that patterning by selective exposure and development becomes difficult. On the other hand, when it exceeds 80 mass%, the pattern at the time of baking and line width shrinkage will arise.
本実施形態のペースト組成物において、黒色無機酸化物をスラリー中に分散させるために、分散剤を配合することができる。このような分散剤は、スラリーの長期保存時に、スラリー中の溶剤と黒色無機酸化物との分離を抑えるために、水溶性であることが好ましい。 In the paste composition of this embodiment, a dispersant can be blended in order to disperse the black inorganic oxide in the slurry. Such a dispersant is preferably water-soluble in order to suppress separation of the solvent and the black inorganic oxide in the slurry during long-term storage of the slurry.
このような分散剤は、酸価が30mgKOH/g以上、かつアミン価が20mgKOH/g以上の両性系の分散剤であることが好ましい。酸価が30mgKOH/gより小さい、あるいはアミン価が20mgKOH/gより小さいと、黒色無機酸化物と有機バインダーとの分散性が低下するため、現像性が低下し、残渣が発生しやすくなる。また、保存安定性が低下し、経時的に分離が発生しやすくなる。 Such a dispersant is preferably an amphoteric dispersant having an acid value of 30 mgKOH / g or more and an amine value of 20 mgKOH / g or more. When the acid value is less than 30 mgKOH / g or the amine value is less than 20 mgKOH / g, the dispersibility between the black inorganic oxide and the organic binder is lowered, so that developability is lowered and a residue is easily generated. In addition, the storage stability is lowered, and separation is likely to occur over time.
このような分散剤は、その10質量%水溶液pHが6.0〜10.0であることが好ましい。pHが6.0よりも小さくなると、ペースト組成物中の黒色無機酸化物と分散剤が反応し、長期保存した場合、黒色無機酸化物が溶解する可能性がある。一方、pHが10.0よりも大きくなると、ペースト組成物の長期保存時に、黒色無機酸化物と溶剤の分離が生じやすくなる。 Such a dispersant preferably has a 10 mass% aqueous solution pH of 6.0 to 10.0. When the pH is less than 6.0, the black inorganic oxide in the paste composition reacts with the dispersant, and the black inorganic oxide may be dissolved when stored for a long period of time. On the other hand, when the pH is higher than 10.0, the black inorganic oxide and the solvent are easily separated during long-term storage of the paste composition.
このような特性を有する分散剤としては、市販品では、例えばDisperbyk−180、Disperbyk−187、Disperbyk−191(いずれもビックケミー社製)が挙げられる。 Examples of the dispersant having such characteristics include Disperbyk-180, Disperbyk-187, Disperbyk-191 (all manufactured by Big Chemie) as commercial products.
このような分散剤の配合量は、有機バインダー100質量部に対して、0.1〜20質量部であることが好ましい。0.1質量部未満であると、十分な分散性が得られず、一方、20質量部を超えると、黒色度が低下してしまう。より好ましくは0.5〜10質量部、更に好ましくは1〜6質量部である。 It is preferable that the compounding quantity of such a dispersing agent is 0.1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of organic binders. When the amount is less than 0.1 parts by mass, sufficient dispersibility cannot be obtained. On the other hand, when the amount exceeds 20 parts by mass, the blackness is lowered. More preferably, it is 0.5-10 mass parts, More preferably, it is 1-6 mass parts.
また、本実施形態において、組成物の光硬化性の促進および現像性を向上させるために光重合性モノマーを配合することができる。このような光重合性モノマーとしては、具体的には、例えば2−ヒドロキシエチルアクリレート,2−ヒドロキシプロピルアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリウレタンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイド変性トリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよび上記アクリレートに対応する各メタクリレート類;フタル酸、アジピン酸、マレイン酸、イタコン酸、こはく酸、トリメリット酸、テレフタル酸等の多塩基酸とヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとのモノ−、ジ−、トリ−又はそれ以上のポリエステルなどが挙げられるが、特定のものに限定されるものではない。 In the present embodiment, a photopolymerizable monomer can be blended in order to promote photocurability and improve developability of the composition. Specific examples of such photopolymerizable monomers include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyurethane diacrylate, and trimethylolpropane. Triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, trimethylolpropane ethylene oxide modified triacrylate, trimethylolpropane propylene oxide modified triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate and each methacrylate corresponding to the above acrylate Phthalic acid, adipic acid, ma Mono-, di-, tri- or higher polyesters of polybasic acids such as inacid, itaconic acid, succinic acid, trimellitic acid, terephthalic acid and the like and hydroxyalkyl (meth) acrylate may be mentioned. It is not limited to things.
これらのうち、1分子中に2個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する多官能モノマーが好ましい。これらの光重合性モノマーは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Among these, a polyfunctional monomer having two or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule is preferable. These photopolymerizable monomers can be used alone or in combination of two or more.
このような光重合性モノマーの配合量は、有機バインダー100質量部当り20〜100質量部が適当である。光重合性モノマーの配合量が20質量部未満であると、ペースト組成物の充分な光硬化性を得ることが困難となる。一方、100質量部を超えると、塗膜の深部に比べて表面部の光硬化が早くなるため、硬化むらを生じ易くなる。 The amount of such a photopolymerizable monomer is appropriately 20 to 100 parts by mass per 100 parts by mass of the organic binder. When the blending amount of the photopolymerizable monomer is less than 20 parts by mass, it is difficult to obtain sufficient photocurability of the paste composition. On the other hand, when the amount exceeds 100 parts by mass, photocuring of the surface portion is accelerated as compared with the deep portion of the coating film, so that uneven curing tends to occur.
また、本実施形態のペースト組成物において、光硬化を促進するために、光重合開始剤を配合することができる。このような光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとベンゾインアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシー2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシー2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1等のアミノアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;又はキサントン類;(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エチル−2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィネイト等のフォスフィンオキサイド類;各種パーオキサイド類などが挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Moreover, in the paste composition of this embodiment, in order to accelerate | stimulate photocuring, a photoinitiator can be mix | blended. Examples of such photopolymerization initiators include benzoin and benzoin alkyl ethers such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2- Acetophenones such as diethoxy-2-phenylacetophenone and 1,1-dichloroacetophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino Aminoacetophenones such as -1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone; 2 Thioxanthones such as 4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyldimethyl ketal; benzophenones such as benzophenone; or xanthones; (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-pentylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, ethyl Phosphine oxides such as -2,4,6-trimethylbenzoylphenyl phosphinate; various peroxides. These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.
これらの光重合開始剤の配合量は、有機バインダー100質量部当り1〜30質量部が適当である。1質量部未満であると、ペースト組成物の充分な光硬化性を得ることが困難となる。一方、30質量部を超えると、充分な黒色度を得ることが困難となる。より好ましくは、5〜20質量部である。 The blending amount of these photopolymerization initiators is suitably 1 to 30 parts by mass per 100 parts by mass of the organic binder. If it is less than 1 part by mass, it will be difficult to obtain sufficient photocurability of the paste composition. On the other hand, when it exceeds 30 parts by mass, it is difficult to obtain sufficient blackness. More preferably, it is 5-20 mass parts.
また、このような光重合開始剤は、例えばN,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、トリエチルアミン、トリエタノールアミンなど三級アミン類の光増感剤を1種あるいは2種以上と組み合わせて用いることができる。さらに、より深い光硬化深度を要求される場合、必要に応じて、硬化助剤として可視領域でラジカル重合を開始するチタノセン系光重合開始剤、ロイコ染料等を組み合わせて用いることができる。チタノセン系光重合開始剤としては、市販品では、例えばイルガキュア784(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)などが挙げられる。 Examples of such photopolymerization initiators include tertiary compounds such as N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, triethylamine, and triethanolamine. One or a combination of two or more amine photosensitizers can be used. Furthermore, when a deeper photocuring depth is required, a titanocene photopolymerization initiator that initiates radical polymerization in the visible region, a leuco dye, or the like can be used in combination as a curing aid if necessary. Examples of titanocene photopolymerization initiators include Irgacure 784 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) as a commercial product.
さらに、本実施形態のペースト組成物において、焼成後におけるパターンの密着性向上のため、必要に応じてガラス粉末を配合することができる。このようなガラス粉末としては、下地ガラス基材の観点から、ガラス転移点(Tg)300〜500℃、ガラス軟化点(Ts)400〜600℃のものが好ましい。
また、解像度の観点からは、平均粒径が20μm以下、より好ましくは5μm以下のガラス粉末を用いることが好ましい。
Furthermore, in the paste composition of this embodiment, a glass powder can be mix | blended as needed for the adhesive improvement of the pattern after baking. As such a glass powder, those having a glass transition point (Tg) of 300 to 500 ° C. and a glass softening point (Ts) of 400 to 600 ° C. are preferable from the viewpoint of the base glass substrate.
From the viewpoint of resolution, it is preferable to use glass powder having an average particle size of 20 μm or less, more preferably 5 μm or less.
このようなガラス粉末としては、酸化鉛、酸化ビスマス、又は酸化亜鉛などを主成分とする非結晶性フリットが好適に使用される。
このようなガラス粉末の配合量は、ペースト組成物中に1〜25質量%が適当である。1質量%未満であると、十分な密着性を得ることができず、25質量%を超えると、良好な黒色度を得ることが困難となる。より好ましくは5〜20質量%である。
As such a glass powder, an amorphous frit mainly composed of lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide or the like is preferably used.
The blending amount of such glass powder is suitably 1 to 25% by mass in the paste composition. If it is less than 1% by mass, sufficient adhesion cannot be obtained, and if it exceeds 25% by mass, it is difficult to obtain good blackness. More preferably, it is 5-20 mass%.
本実施形態のペースト組成物において、保存安定性の低下や、ゲル化や流動性の低下による塗布作業性の悪化を抑えるために、黒色無機酸化物やガラス粉末の成分である金属やその酸化物との錯体、塩を形成する化合物、例えば有機酸や無機酸などの安定剤を添加することが好ましい。このような安定剤の添加量は、黒色無機酸化物、ガラス粉末100質量部当り0.1〜10質量部の割合が好ましい。0.1質量部未満であると、十分な添加効果が得られず、10質量部を超えると、選択的露光、現像による充分なパターニングが困難となる。 In the paste composition of the present embodiment, in order to suppress deterioration of storage stability and application workability due to gelation and fluidity reduction, black inorganic oxides and metals that are components of glass powder and oxides thereof It is preferable to add a stabilizer, such as a complex or a salt-forming compound such as an organic acid or an inorganic acid. The amount of the stabilizer added is preferably 0.1 to 10 parts by mass per 100 parts by mass of the black inorganic oxide and glass powder. When the amount is less than 0.1 parts by mass, a sufficient addition effect cannot be obtained, and when the amount exceeds 10 parts by mass, sufficient patterning by selective exposure and development becomes difficult.
その他、本実施形態のペースト組成物においては、ペースト化のため、あるいは各種塗布方法に応じた粘度調整のための希釈剤として、適宜有機溶剤を配合することができる。具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの酢酸エステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、テルピネオールなどのアルコール類;オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石油系溶剤が挙げられる。これらの希釈剤は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 In addition, in the paste composition of the present embodiment, an organic solvent can be appropriately blended as a diluent for making a paste or adjusting the viscosity according to various coating methods. Specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, di Glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate Acetic acid esters such as ethanol, propanol, ethylene glycol, propylene glycol , Alcohols such as terpineol; octane, aliphatic hydrocarbons such as decane; petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and petroleum solvents such as solvent naphtha. These diluents can be used alone or in combination of two or more.
さらに必要に応じて、シリコーン系、アクリル系等の消泡・レベリング剤、塗膜の密着性向上のためのシランカップリング剤等の添加剤を配合することもできる。また、必要に応じて、公知の酸化防止剤や、焼成時における基板との結合成分としての金属酸化物、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物などの微粒子を添加することもできる。 Further, if necessary, additives such as a defoaming / leveling agent such as silicone and acrylic, and a silane coupling agent for improving the adhesion of the coating film can be blended. Further, if necessary, fine particles such as known antioxidants and metal oxides, silicon oxides, boron oxides and the like as a binding component with the substrate at the time of firing can be added.
このように構成されるペースト組成物は、所定の組成で調製された後、例えば、希釈剤で塗布方法に適した粘度に調整され、例えばPDPの前面基板となるガラス基板などの基材上に塗布される。塗布方法としては、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法などの方法が用いられる。このような塗布方法を用いて、所望の膜厚の塗膜が形成される。 After the paste composition configured in this way is prepared with a predetermined composition, it is adjusted to a viscosity suitable for the application method with a diluent, for example, on a base material such as a glass substrate that becomes a front substrate of a PDP. Applied. As a coating method, a dip coating method, a flow coating method, a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method, a curtain coating method, or the like is used. Using such a coating method, a coating film having a desired film thickness is formed.
このようにして形成された塗膜は、指触乾燥性を得るために、揮発乾燥される。揮発乾燥には、例えば熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉などが用いられる。このような乾燥炉を用いて、例えば約60〜120℃で5〜40分程度乾燥させて有機溶剤を蒸発させ、乾燥塗膜(タックフリーの塗膜)が形成される。 The coating film thus formed is volatilized and dried in order to obtain touch dryness. For the volatile drying, for example, a hot-air circulating drying furnace, a far-infrared drying furnace, or the like is used. Using such a drying furnace, for example, the organic solvent is evaporated by drying at about 60 to 120 ° C. for about 5 to 40 minutes to form a dry coating film (tack-free coating film).
このようにして基材上に形成された乾燥塗膜に、選択的に活性エネルギー線を照射(露光)し、パターンを形成する。露光方法としては、所定のネガパターンが形成されたフォトマスクを用いた接触式又は非接触式露光、あるいは直接描画が用いられる。露光光源としては、ハロゲンランプ、高圧水銀灯、レーザー光、メタルハライドランプ、ブラックランプ、無電極ランプなどが用いられる。 The dry coating film thus formed on the substrate is selectively irradiated (exposed) with active energy rays to form a pattern. As the exposure method, contact type or non-contact type exposure using a photomask on which a predetermined negative pattern is formed, or direct drawing is used. As the exposure light source, a halogen lamp, a high-pressure mercury lamp, a laser beam, a metal halide lamp, a black lamp, an electrodeless lamp, or the like is used.
具体的には、メタルハライドランプを搭載した露光機、(超)高圧水銀ランプを搭載した露光機、水銀ショートアークランプを搭載した露光機や、例えばコンピューターからのCADデータにより、直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置などの直接描画装置、もしくは(超)高圧水銀ランプ等の紫外線ランプを使用した直接描画装置などを用いることができる。 Specifically, an exposure machine equipped with a metal halide lamp, an exposure machine equipped with a (super) high-pressure mercury lamp, an exposure machine equipped with a mercury short arc lamp, or, for example, directly draws an image with a laser using CAD data from a computer. A direct drawing apparatus such as a laser direct imaging apparatus or a direct drawing apparatus using an ultraviolet lamp such as a (super) high pressure mercury lamp can be used.
活性エネルギー線としては、波長が350〜410nmのもの用いることが好ましい。波長をこの範囲とすることにより、光重合開始剤から効率よくラジカルを生成することができ、光重合反応を促進させることができる。また、その露光量は、50〜1000mJ/cm2程度が好ましい。 It is preferable to use an active energy ray having a wavelength of 350 to 410 nm. By setting the wavelength within this range, radicals can be efficiently generated from the photopolymerization initiator, and the photopolymerization reaction can be promoted. The exposure amount is preferably about 50 to 1000 mJ / cm 2 .
このようにして、乾燥塗膜を選択的に露光することにより、露光部(活性エネルギー線により照射された部分)が硬化される。 In this manner, the exposed portion (the portion irradiated with the active energy ray) is cured by selectively exposing the dry coating film.
次いで、このようにして選択的に硬化された塗膜を現像する。このとき、現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができる。 Subsequently, the coating film selectively cured in this way is developed. At this time, as a developing method, a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, or the like can be used.
また、現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウムなどの金属アルカリ水溶液や、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどのアミン水溶液、特に約1.5質量%以下の濃度の希アルカリ水溶液が好適に用いられるが、これらに限定されるものではない。例えば、ペースト組成物中にカルボキシル基含有樹脂を含有する場合、カルボキシル基がケン化され、未硬化部(未露光部)が除去されればよい。なお、このようにして現像を行った後に、不要な現像液の除去のため、水洗や酸中和を行なうことが好ましい。 Further, as the developer, aqueous metal alkali solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate and sodium silicate, and aqueous amine solutions such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, particularly about 1.5 mass. A dilute alkaline aqueous solution having a concentration of not more than% is preferably used, but is not limited thereto. For example, when a carboxyl group-containing resin is contained in the paste composition, the carboxyl group may be saponified and the uncured part (unexposed part) may be removed. In addition, after developing in this way, it is preferable to perform water washing and acid neutralization in order to remove an unnecessary developer.
さらに、このようにして現像された塗膜を焼成する。焼成工程においては、現像後の塗膜を、空気中又は窒素雰囲気下、約400〜600℃で加熱処理を行ない、所望のパターンを形成する。なお、この時の昇温速度は、ペース組成物中の有機成分の充分な焼成のため、20℃/分以下に設定することが好ましい。 Further, the coating film thus developed is baked. In the baking step, the coated film after development is subjected to heat treatment at about 400 to 600 ° C. in air or in a nitrogen atmosphere to form a desired pattern. In addition, it is preferable to set the temperature increase rate at this time to 20 ° C./min or less for sufficient baking of the organic component in the pace composition.
このようにして焼成されることにより、基体上に黒層となる焼成物パターンが形成される。このとき、焼成物パターンは、Mnと、Fe、Srの少なくともいずれかとの複合酸化物を含む。このような焼成物パターンにおける複合酸化物は、複合酸化物がMn−Fe複合酸化物のとき、MnとFeのモル比が、MnxFe1−x(0<x≦0.8)、Mn−Fe−Sr複合酸化物のとき、Mn、Fe及びSrのモル比が、MnxFeySr1−x−y(0<x≦0.8、0<y≦0.6、0≦1−x−y≦0.6)であることが好ましい。この範囲とすることにより、より黒色度が良好で、接触抵抗値の低い黒層を構成することができる。 By firing in this way, a fired product pattern that becomes a black layer is formed on the substrate. At this time, the fired product pattern includes a composite oxide of Mn and at least one of Fe and Sr. In the composite oxide in such a fired product pattern, when the composite oxide is a Mn—Fe composite oxide, the molar ratio of Mn to Fe is Mn x Fe 1-x (0 <x ≦ 0.8), Mn In the case of -Fe-Sr composite oxide, the molar ratio of Mn, Fe and Sr is Mn x Fe y Sr 1-xy (0 <x ≦ 0.8, 0 <y ≦ 0.6, 0 ≦ 1). -X-y ≦ 0.6). By setting it as this range, a black layer with more favorable blackness and a low contact resistance value can be comprised.
また、焼成物パターン中に、このような複合酸化物を含む黒色無機酸化物が10〜100質量%の割合で含まれていることが好ましい。10質量%未満であると、良好な接触抵抗値と黒色度を得ることが困難となるためである。 Moreover, it is preferable that 10-100 mass% of black inorganic oxides containing such a complex oxide are contained in the fired product pattern. It is because it will become difficult to obtain a favorable contact resistance value and blackness as it is less than 10 mass%.
このような焼成物パターンは、例えばPDPの前面板に形成されるバス電極や、ブラックパターンなどとして用いられる。 Such a fired product pattern is used as, for example, a bus electrode formed on a front plate of a PDP, a black pattern, or the like.
以下、実施例および比較例を示して、本実施形態について具体的に説明するが、本発明が以下の実施例に限定されるものでないことはもとよりである。なお、「部」および「%」とあるのは、特に断りがない限り全て質量基準である。 Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this embodiment is described concretely, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the following Examples. “Parts” and “%” are based on mass unless otherwise specified.
(黒色無機酸化物の調製)
硫酸マンガン、硫酸鉄および炭酸ストロンチウムが、所定のモル比率になるようにイオン交換水に溶解して、1.5mol/L金属塩水溶液を調製した。
(Preparation of black inorganic oxide)
Manganese sulfate, iron sulfate and strontium carbonate were dissolved in ion-exchanged water so as to have a predetermined molar ratio to prepare a 1.5 mol / L metal salt aqueous solution.
調製された金属塩水溶液を、窒素雰囲気下、反応槽温度が50℃になるように制御しながら、10Lのイオン交換水の入った有効容積15L反応槽に、硫酸アンモニウム水溶液とともに滴下しながら、pHが10.8を維持するように水酸化ナトリウム水溶液を滴下した。このようにして、球状の複合水酸化物を得た。 While controlling the prepared aqueous metal salt solution in a nitrogen atmosphere so that the reaction vessel temperature is 50 ° C., the pH of the aqueous solution is dropped into an effective volume 15 L reaction vessel containing 10 L of ion exchange water together with the aqueous ammonium sulfate solution. An aqueous sodium hydroxide solution was added dropwise so as to maintain 10.8. In this way, a spherical composite hydroxide was obtained.
この球状の複合水酸化物を、焼成温度650℃で5時間熱処理し、粉砕することにより、表1に示す組成、モル比の黒色無機酸化物を得た。 The spherical composite hydroxide was heat-treated at a firing temperature of 650 ° C. for 5 hours and pulverized to obtain black inorganic oxides having the compositions and molar ratios shown in Table 1.
ここで、得られた黒色無機酸化物の一部を塩酸溶解し、ICP発光分析法を用いて、各金属の含有率の測定を行った。 Here, a part of the obtained black inorganic oxide was dissolved in hydrochloric acid, and the content of each metal was measured using ICP emission analysis.
(黒色無機酸化物スラリーの調製)
このようにして得られた黒色無機酸化物15kgを、希釈剤であるトリプロピレングリコールモノメチルエーテル5.09kgと分散剤であるBYK(登録商標)180(ビックケミー社製)0.21kgの混合溶液に混合した。そして、黒色無機酸化物粉末の凝集した粉末塊が混合溶液中に残らないように、ビーズミルを用いて1時間攪拌し、予備スラリーを得た。
(Preparation of black inorganic oxide slurry)
15 kg of the black inorganic oxide thus obtained was mixed with a mixed solution of 5.09 kg of tripropylene glycol monomethyl ether as a diluent and 0.21 kg of BYK (registered trademark) 180 (manufactured by Big Chemie) as a dispersant. did. And it stirred for 1 hour using the bead mill so that the powder lump which the black inorganic oxide powder aggregated did not remain in a mixed solution, and the preliminary | backup slurry was obtained.
このようにして得られた予備スラリーを、直径0.1mmジルコニアビーズが体積換算で充填率85%充填されたビーズミル(アシザワ・ファインテック社製LMZ4型)へポンプにて導入して、ローターの回転周速12m/sで循環、湿式粉砕を行ない、表1に示す組成、モル比の黒色無機酸化物を含む黒色無機酸化物スラリーを得た。このとき、レーザー回折法による粒子径測定で、スラリー中の黒色無機酸化物の平均粒径が0.26〜0.31μmに達したところを終点とした。 The pre-slurry thus obtained was introduced into a bead mill (LMZ4 type manufactured by Ashizawa Finetech Co., Ltd.) filled with zirconia beads having a diameter of 0.1 mm in a volume conversion by a volume, and the rotation of the rotor. Circulation and wet pulverization were performed at a peripheral speed of 12 m / s to obtain a black inorganic oxide slurry containing a black inorganic oxide having the composition and molar ratio shown in Table 1. At this time, when the average particle size of the black inorganic oxide in the slurry reached 0.26 to 0.31 μm in the particle size measurement by the laser diffraction method, the end point was set.
(有機バインダーの合成)
温度計、攪拌機、滴下ロート、および還流冷却機を備えたフラスコに、メチルメタクリレートとメタクリル酸を0.87:0.13のモル比で仕込み、溶媒としてジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルを入れ、窒素雰囲気下、80℃で2〜6時間攪拌して有機バインダーを得た。
(Synthesis of organic binder)
A flask equipped with a thermometer, stirrer, dropping funnel, and reflux condenser is charged with methyl methacrylate and methacrylic acid in a molar ratio of 0.87: 0.13, diethylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent, and azobisisobutyrate as a catalyst. Ronitrile was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 2 to 6 hours under a nitrogen atmosphere to obtain an organic binder.
得られた有機バインダーは、重量平均分子量が約30,000、酸価が90mgKOH/g、固形分50%であった。なお、重量平均分子量は、島津製作所製ポンプLC−6ADと昭和電工製カラムShodex(登録商標)KF−804、KF−803、KF−802を三本つないだ高速液体クロマトグラフィーにより測定した。 The obtained organic binder had a weight average molecular weight of about 30,000, an acid value of 90 mgKOH / g, and a solid content of 50%. The weight average molecular weight was measured by high performance liquid chromatography in which three Shimadzu pumps LC-6AD and Showa Denko columns Shodex (registered trademark) KF-804, KF-803, and KF-802 were connected.
(ガラススラリーの調製)
ガラス粉末として、Bi2O3 50%、B2O3 16%、ZnO 14%、SiO2 2%、BaO 18%、熱膨張係数α300=86×10−7/℃、ガラス軟化点501℃のものを使用した。
(Preparation of glass slurry)
As glass powder, Bi 2 O 3 50%, B 2 O 3 16%, ZnO 14%,
このようなガラス粉末を、ビーズミルを用いて粉砕した。このとき、メディア径が0.3〜0.8mmφのZrO2製のビーズを使用し、粉砕条件は、回転数2,000〜3,300rpmで、3〜9時間とした。 Such glass powder was pulverized using a bead mill. At this time, beads made of ZrO 2 with a media diameter of 0.3 to 0.8 mmφ were used, and the grinding conditions were 2,000 to 3,300 rpm and 3 to 9 hours.
ガラス粉末を粗粉砕した後、300メッシュのスクリーンにてフィルタリングを行なった。そして、このガラス粉末70質量部に、希釈剤として、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノブチレートを29.16質量部、分散剤として、BYK−410(ビックケミー社製)を0.14質量部、BYK−182(ビックケミー社製)を0.7質量部加えて、ビーズミルにて微粉砕した。このようにして、ガラス粉末の含有量が70質量%のスラリーを得た。なお、堀場レーザー回折/散乱式粒度分布測定装置LA−920を用いて、ガラス粉末の粒度分布を測定したところ、D50:1.0μm、Dmax:3.9μmであった。
さらに、作製したガラススラリーを、SUS製200×1400綾畳織りのメッシュにてろ過を行った。このとき粒度分布に変化は見られなかった。
After roughly pulverizing the glass powder, filtering was performed with a 300-mesh screen. And, 70 parts by mass of this glass powder, 29,16 parts by mass of 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol monobutyrate as a diluent, and BYK-410 (by Big Chemie) as a dispersant 0.14 parts by mass and 0.7 parts by mass of BYK-182 (manufactured by Big Chemie) were added and finely pulverized with a bead mill. In this way, a slurry having a glass powder content of 70% by mass was obtained. Incidentally, by using a Horiba laser diffraction / scattering particle size distribution analyzer LA-920, was measured particle size distribution of the glass powder, D 50: 1.0μm, D max : was 3.9 .mu.m.
Furthermore, the produced glass slurry was filtered with a mesh made of SUS 200 × 1400 twill. At this time, no change was observed in the particle size distribution.
(ペーストの調製)
このようにして得られた表1に示す組成、モル比の黒色無機酸化物を含む各黒色無機酸化物スラリーと、有機バインダー、ガラススラリーおよびその他添加物を、それぞれ以下の配合比でポリ容器において混合し、ディゾルバーを用いて500rpmで10分間攪拌を行なった。そして、得られた混合物について、セラミック製3本ロールにて2回練肉を行ない、各ペーストを得た。
黒色無機酸化物スラリー:67.0部
有機バインダー:100.0部
ガラススラリー:43.0部
希釈剤:ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート:110.0部
トリメチロールプロパンEO変性トリアクリレート:30.0部
ジベンタエリスリトールヘキサアクリレート:15.0部
ポリエステルアクリレート(商品名M−7100、東亜合成社製):50.0部
2,4-ジエチルチオキサントン:3.0部
4,4-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン:1.0部
レベリング剤(モダフロー(登録商標)、モンサント社製):3.0部
リン酸エステル:1.0部
2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モリフォリノプロパン-1-オン:10.0部
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン:3.0部
(Preparation of paste)
The black inorganic oxide slurry containing the black inorganic oxide having the composition and molar ratio shown in Table 1 thus obtained, the organic binder, the glass slurry, and other additives in a plastic container at the following blending ratios, respectively. The mixture was mixed and stirred for 10 minutes at 500 rpm using a dissolver. Then, the obtained mixture was kneaded twice with a ceramic three roll to obtain each paste.
Black inorganic oxide slurry: 67.0 parts Organic binder: 100.0 parts Glass slurry: 43.0 parts Diluent: Diethylene glycol monomethyl ether acetate: 110.0 parts Trimethylolpropane EO-modified triacrylate: 30.0 parts Diventa Erythritol hexaacrylate: 15.0 parts Polyester acrylate (trade name M-7100, manufactured by Toagosei Co., Ltd.): 50.0
得られた各ペースト組成物について、以下のような評価を行った。
(黒色度の評価)
〈黒色度測定用試験片の作製〉
まず、ガラス基板上に、300メッシュのポリエステルスクリーンを用いて、各ペーストを全面に塗布した。次いで、熱風循環式乾燥炉を用いて、90℃で20分間乾燥して、約4μm厚の乾燥塗膜を形成した。
Each paste composition obtained was evaluated as follows.
(Evaluation of blackness)
<Preparation of blackness measurement specimen>
First, each paste was applied on the entire surface of a glass substrate using a 300 mesh polyester screen. Subsequently, it dried for 20 minutes at 90 degreeC using the hot-air circulation type drying furnace, and formed the dry coating film about 4 micrometers thick.
得られた乾燥塗膜を、光源として超高圧水銀灯を用い、露光量(乾燥塗膜上の積算光量)600mJ/cm2でパターン露光した後、液温25℃の0.4wt%炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像を行い、水洗した。
このようにして得られたパターンの形成されたベタ膜を、昇温速度:14℃/min、焼成温度:590℃で10分間焼成した。
The obtained dried coating film was subjected to pattern exposure at an exposure amount (integrated light amount on the dried coating film) of 600 mJ / cm 2 using an ultra-high pressure mercury lamp as a light source, and then a 0.4 wt% sodium carbonate aqueous solution having a liquid temperature of 25 ° C. It was used for development and washed with water.
The solid film with the pattern thus obtained was baked at a heating rate of 14 ° C./min and a baking temperature of 590 ° C. for 10 minutes.
次いで、焼成後の膜上に、誘電体(YPT−065F(AP5655AE)、旭硝子社製)を、100メッシュのポリエステルスクリーンを用いて全面に塗布した。
さらに、熱風循環式乾燥炉を用いて、90℃で20分間乾燥した後、昇温速度:14℃/min、焼成温度:590℃で10分間焼成して、試験片を得た。
Next, a dielectric (YPT-065F (AP5655AE), manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) was applied over the entire surface of the fired film using a 100 mesh polyester screen.
Furthermore, after drying at 90 ° C. for 20 minutes using a hot-air circulating drying furnace, the test piece was obtained by firing at a heating rate of 14 ° C./min and a firing temperature of 590 ° C. for 10 minutes.
〈黒色度の測定〉
このようにして作製された試験片について、分光測色計(ミノルタカメラ(株)CM2600d)を用いてL値を測定し、明度を表す指数であるL値を黒色度の指標として評価した。評価基準は以下の通りである。
○:L値が30以下
×:L値が30を超える
<Measurement of blackness>
About the test piece produced in this way, L value was measured using the spectrocolorimeter (Minolta Camera Co., Ltd. CM2600d), and L value which is an index representing brightness was evaluated as an index of blackness. The evaluation criteria are as follows.
○: L value is 30 or less ×: L value exceeds 30
(接触抵抗値の評価)
〈Agペーストの調製〉
以下のようにして、接触抵抗値測定用基板の作成に用いられるAgペーストを調製した。
(Evaluation of contact resistance value)
<Preparation of Ag paste>
An Ag paste used for preparing a contact resistance measurement substrate was prepared as follows.
まず、温度計、攪拌機、滴下ロート、および還流冷却器を備えたフラスコに、溶媒としてジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルを入れ、窒素雰囲気下で、80℃に加熱しながら、メタクリル酸:0.4mol、メチルメタアクリレート:0.6molのモル比で混合したモノマーを、約2時間かけて滴下した。 First, in a flask equipped with a thermometer, a stirrer, a dropping funnel, and a reflux condenser, diethylene glycol monoethyl ether acetate as a solvent and azobisisobutyronitrile as a catalyst are placed and heated to 80 ° C. in a nitrogen atmosphere. A monomer mixed at a molar ratio of methacrylic acid: 0.4 mol and methyl methacrylate: 0.6 mol was added dropwise over about 2 hours.
さらに1時間攪拌後、温度を115℃まで上げて失活させ、樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を冷却後、触媒として臭化テトラブチルアンモニウムを用い、95〜115℃、30時間の条件で、ブチルグリジルエーテル:0.4molを得られた樹脂溶液のカルボキシル基の等量と付加反応させ、冷却した。さらに、得られた樹脂溶液のOH基に対して、95〜105℃、8時間の条件で、無水テトラヒドロフタル酸0.26molを付加反応させ、冷却後取り出して固形分の55%の有機バインダーを得た。 After further stirring for 1 hour, the temperature was raised to 115 ° C. to inactivate to obtain a resin solution. After cooling this resin solution, tetrabutylammonium bromide was used as a catalyst, and 95 mol to 115 ° C. for 30 hours. Reacted and cooled. Further, 0.26 mol of tetrahydrophthalic anhydride was added to the OH group of the obtained resin solution under the conditions of 95 to 105 ° C. and 8 hours, cooled and taken out to obtain an organic binder having a solid content of 55%. Obtained.
得られた有機バインダーと、平均粒径(D50)2.2μm、最大粒径(Dmax)6.3μm、表面積0.3m2/gの銀粉、およびその他添加物を、以下の配合比でポリ容器において混合し、ディゾルバーを用いて500rpmで10分間攪拌を行なった。そして、得られた混合物について、セラミック製3本ロールにて2回練肉を行ない、Agペーストを得た。
有機バインダー:100.0部
銀粉:450.0部
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート:90.0部
トリメチロールプロパントリアクリレート:25.0部
トリメチロールプロパンEO変性トリアクリレート:25.0部
2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン:10.0部
ガラススラリー:22.0部
リン酸エステル:1.0部
消泡剤(BYK−354:ビックケミージャパン社製):1.0部
The obtained organic binder, silver powder having an average particle size (D50) of 2.2 μm, a maximum particle size (Dmax) of 6.3 μm, a surface area of 0.3 m 2 / g, and other additives are mixed in a plastic container at the following blending ratio. And stirred for 10 minutes at 500 rpm using a dissolver. Then, the obtained mixture was kneaded twice with a ceramic three roll to obtain an Ag paste.
Organic binder: 100.0 parts Silver powder: 450.0 parts Diethylene glycol monoethyl ether acetate: 90.0 parts Trimethylolpropane triacrylate: 25.0 parts Trimethylolpropane EO-modified triacrylate: 25.0 parts 2-Benzyl-2 -Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one: 10.0 parts Glass slurry: 22.0 parts Phosphate ester: 1.0 part Antifoam agent (BYK-354: Big Chemie Japan) Manufactured): 1.0 part
〈接触抵抗値測定用基板の作製〉
あらかじめITO皮膜が形成されているガラス基板(PD200旭硝子社製)上に、各ペーストを200メッシュのポリエステルスクリーンを用いて、全面に塗布した。次いで、熱風循環式乾燥炉を用いて、90℃で20分間乾燥して約5μmの乾燥塗膜を形成した。
<Preparation of substrate for contact resistance measurement>
Each paste was applied to the entire surface of a glass substrate (PD200 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) on which an ITO film was previously formed using a 200 mesh polyester screen. Subsequently, it dried for 20 minutes at 90 degreeC using the hot-air circulation type drying furnace, and formed the dry coating film of about 5 micrometers.
次に、光源として超高圧水銀灯を用い、乾燥塗膜上の積算光量が600mJ/cm2となるように露光した後、露光塗膜上に、調製したAgペーストを、200メッシュのポリエステルスクリーンを用いて全面に塗布した。
得られたAgペースト塗布膜を、熱風循環式乾燥炉にて90℃で20分間乾燥して約10μmの乾燥塗膜を形成した。
Next, using an ultra-high pressure mercury lamp as a light source and exposing so that the integrated light quantity on the dried coating film becomes 600 mJ / cm 2 , the prepared Ag paste is used on the exposed coating film using a 200 mesh polyester screen. Applied to the entire surface.
The obtained Ag paste coating film was dried at 90 ° C. for 20 minutes in a hot air circulation type drying furnace to form a dry coating film of about 10 μm.
得られた乾燥塗膜を、光源として超高圧水銀灯を用い、露光量(乾燥塗膜上の積算光量)400mJ/cm2でパターン露光した後、液温25℃の0.4wt%炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像を行い、水洗した。
このようにして得られたパターンの形成されたベタ膜を、昇温速度:14℃/min、焼成温度:590℃で10分間焼成して、図1に示すパターンを有する試験片を得た。
The obtained dried coating film was subjected to pattern exposure at an exposure amount (cumulative light amount on the dried coating film) of 400 mJ / cm 2 using an ultra-high pressure mercury lamp as a light source, and then a 0.4 wt% sodium carbonate aqueous solution having a liquid temperature of 25 ° C. It was used for development and washed with water.
The solid film with the pattern thus obtained was baked at a heating rate of 14 ° C./min and a baking temperature of 590 ° C. for 10 minutes to obtain a test piece having the pattern shown in FIG.
〈接触抵抗値の測定〉
図1に示す焼成パターンにおいて、HIOKI社製:HIOKI(登録商標)3540mΩハイテスタを用いて、各ペースト組成物より形成されたパターンにおける接触抵抗値の測定((1)〜(5))を行い、それぞれこれらの平均値を求めた。
<Measurement of contact resistance value>
In the firing pattern shown in FIG. 1, measurement of the contact resistance value ((1) to (5)) in the pattern formed from each paste composition is performed using a HIOKI (registered trademark) 3540 mΩ hitester manufactured by HIOKI, The average value of each was obtained.
(保存安定性の評価)
各ペースト組成物において、初期粘度を測定し、40℃で7日間保存した後、初期粘度と同様に、保存後粘度を測定した。
測定された初期粘度、保存後粘度より、以下の式により粘度増加率を求めた。
(保存後粘度−初期粘度)×100/初期粘度(%)
(Evaluation of storage stability)
In each paste composition, the initial viscosity was measured and stored at 40 ° C. for 7 days, and then the viscosity after storage was measured in the same manner as the initial viscosity.
From the measured initial viscosity and viscosity after storage, the rate of increase in viscosity was determined by the following formula.
(Viscosity after storage-initial viscosity) x 100 / initial viscosity (%)
このようにして求められた粘度増加率より、保存安定性を評価した。評価基準は以下の通りである。
○:粘度増加率が30%未満
×:粘度増加率が30%を超えるもの
ゲル化:保存後、ペースト組成物が液状から半固形状になったもの
The storage stability was evaluated from the viscosity increase rate thus determined. The evaluation criteria are as follows.
○: Viscosity increase rate is less than 30% ×: Viscosity increase rate is more than 30% Gelation: Paste composition is changed from liquid to semi-solid after storage
黒色度、接触抵抗値、保存安定性の評価結果を表1に示す。
表1に示すように、Mn酸化物や、Srの代わりにCuを用いたMn−Fe−Cu複合酸化物を用いた比較例1、2においては、保存安定性が明らかに劣化している。また、比較例2、Co酸化物を用いた比較例3においては、接触抵抗値が高くなっている。一方、実施例1〜3は、焼成物において、良好な黒色度と低い接触抵抗値が得られるとともに、ペーストにおける良好な保存安定性を得ることができることがわかる。 As shown in Table 1, in Comparative Examples 1 and 2 using Mn oxide or Mn—Fe—Cu composite oxide using Cu instead of Sr, the storage stability is clearly deteriorated. In Comparative Example 2 and Comparative Example 3 using Co oxide, the contact resistance value is high. On the other hand, in Examples 1 to 3 , it can be seen that in the fired product, good blackness and low contact resistance can be obtained, and good storage stability in the paste can be obtained.
Claims (3)
前記複合酸化物のMn、Fe及びSrのモル比が、MnxFeySr1−x−y(0<x≦0.8、0<y≦0.6、0<1−x−y≦0.6)であることを特徴とするペースト組成物。 It contains a resin having a black inorganic oxide, and a carboxyl group containing a composite oxide of M n, Fe and Sr,
The molar ratio of Mn, Fe and Sr of the composite oxide is Mn x Fe y Sr 1-xy (0 <x ≦ 0.8, 0 <y ≦ 0.6, 0 <1-xy ≦). 0.6). A paste composition characterized in that it is 0.6).
前記複合酸化物のMn、Fe及びSrのモル比が、MnxFeySr1−x−y(0<x≦0.8、0<y≦0.6、0<1−x−y≦0.6)であることを特徴とする焼成物パターン。 Is formed on a substrate, a sintered product pattern comprising a composite oxide of M n, Fe and Sr,
The molar ratio of Mn, Fe and Sr of the composite oxide is Mn x Fe y Sr 1-xy (0 <x ≦ 0.8, 0 <y ≦ 0.6, 0 <1-xy ≦). 0.6) , a fired product pattern.
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