JP5681563B2 - 密着性評価方法 - Google Patents
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Description
図1は本実施形態において基材から薄膜を剥離する様子を示す説明図である。
本実施形態では、剥離進行時の切刃10の水平力FHと試験時間tとの関係を用いて、剥離(凝集破壊)に要した単位剥離面積当たりのエネルギー(以下、単位剥離エネルギーと称する)Gaを算出する。以下、その算出方法を詳細に説明する。
2 薄膜
3 界面
10 切刃
20 剥離部
21 折れ曲がり部
FH 水平力
Ga 単位剥離エネルギー
KH 水平力の経時的変化
lc 剥離長さ
ta 剥離進行時間
V 切刃の水平速度
Claims (6)
- 基材とその上に形成された薄膜との密着性を評価する密着性評価方法であって、
切刃により前記基材から前記薄膜を剥離させる剥離工程を有し、
剥離した薄膜は、第1の折れ曲がり部と当該第1の折れ曲がり部に隣接する第2の折れ曲がり部とを有しており、
さらに、前記第1の折れ曲がり部と前記第2の折れ曲がり部とに挟まれる前記薄膜の剥離面積を算出する剥離面積算出工程と、
前記薄膜を剥離させる際の前記切刃の水平力を得る水平力取得工程と、
前記水平力の時間についての積分値と前記切刃の水平速度との積により、前記剥離に要する剥離エネルギーを算出する剥離エネルギー算出工程と、
前記剥離エネルギーを前記剥離面積で除算することにより、単位面積当たりの単位剥離エネルギーを算出する単位剥離エネルギー算出工程と、
を有することを特徴とする密着性評価方法。 - 前記剥離エネルギー算出工程においては、算出した前記剥離エネルギーから、前記剥離時の前記薄膜の曲げによるひずみエネルギー、および前記薄膜と前記切刃との摩擦エネルギーを減算するようにする請求項1に記載の密着性評価方法。
- 前記水平力は周期的に極大値が現われる変化を示し、
前記剥離面積算出工程においては、前記極大値の一周期の時間と前記切刃の水平速度との積を、前記第1の折れ曲がり部から前記第2の折れ曲がり部までの長さである剥離長さと擬制し、当該剥離長さと前記薄膜の剥離幅との積によって前記剥離面積を算出する請求項1または2に記載の密着性評価方法。 - 前記剥離面積算出工程においては、試験中または試験後に測定した前記第1の折れ曲がり部から前記第2の折れ曲がり部までの長さと前記薄膜の剥離幅との積によって前記剥離面積を算出する請求項1または2に記載の密着性評価方法。
- 前記剥離エネルギー算出工程における積分値は、前記水平力が極大値になる時間を少なくとも含む時間区間を積分区間としたものである請求項1〜4のいずれか1項に記載の密着性評価方法。
- 前記積分区間は、前記水平力が極大値になった後でかつ当該極大値の80%未満になる時間区間を含まない請求項5に記載の密着性評価方法。
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