JP5680334B2 - Vacuum pump - Google Patents

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    • F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps

Description

本発明は、請求項１の上位概念に記載の真空ポンプに関するものである。   The present invention relates to a vacuum pump according to the superordinate concept of claim 1.

サイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプは従来技術において既知であり、且つますます経済的意義を高めている。サイド・チャネル・ポンプ段は、ターボ分子ポンプ内に使用されたとき、ターボ分子ポンプをより高い圧力に対して排出させることを可能にする。ホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）ポンプ段およびサイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプは、きわめてコンパクトな構造サイズにおいて、分子流動範囲内の終端圧力を達成させる。このような真空ポンプに対する一例をドイツ特許公開第１９９３０９５２号が提供し、ドイツ特許公開第１９９３０９５２号は、吸込領域内において並列に作動するホルベック・ポンプ段を備え、且つそれに続くガス流れ内に複数のサイド・チャネル・ポンプ段を備えている。このサイド・チャネル・ポンプ段内に使用されている羽根車は簡単な構造に形成されている。即ち、ディスク形状の羽根車の羽根は羽根車の外周部に配置され、且つディスクから半径方向に突出している。羽根の間に中間ウェブが伸長し、中間ウェブは羽根車の全外周に沿って羽根と同じ高さを有している。   Vacuum pumps with side channel pump stages are known in the prior art and are becoming increasingly economical. The side channel pump stage, when used in a turbomolecular pump, allows the turbomolecular pump to be discharged for higher pressures. Vacuum pumps with Holweck and side channel pump stages achieve end pressures in the molecular flow range in a very compact structure size. An example for such a vacuum pump is provided by German Patent Publication No. 19930952, which comprises a Holbeck pump stage operating in parallel in the suction region, and a plurality of subsequent gas flows. It has a side channel pump stage. The impeller used in this side channel pump stage has a simple structure. In other words, the blades of the disk-shaped impeller are arranged on the outer peripheral portion of the impeller and project radially from the disk. An intermediate web extends between the blades, and the intermediate web has the same height as the blades along the entire circumference of the impeller.

サイド・チャネル・ポンプ段の真空特性値、特にポンプの排気速度および入口と出口との間の圧力比は、羽根、チャネルおよび回転部分と固定部分との間の隙間などの形態の関数である。一般に、良好な真空特性値は製造コストを上昇させることになる。   The vacuum characteristics of the side channel pump stage, in particular the pumping speed of the pump and the pressure ratio between the inlet and outlet, are a function of the form such as the vanes, the channel and the gap between the rotating part and the stationary part. In general, a good vacuum characteristic value increases the manufacturing cost.

他方で、サイド・チャネル・ポンプのポンプ能動部品の製造コストを低く抑える必要性が存在する。
上記の羽根車は従来良好な妥協を示してきたが、この妥協に対してさらに改善が求められる。 On the other hand, there is a need to keep the manufacturing costs of the pump active parts of the side channel pump low.
Although the above impellers have shown good compromises in the past, further improvements are required for this compromise.

ドイツ特許公開第１９９３０９５２号German Patent Publication No. 19930952

したがって、本発明の課題は、真空ポンプのサイド・チャネル・ポンプ段が、改善された真空特性値と、同時に、ポンプ能動部品の簡単に製造可能な形状とを有する、真空ポンプを提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a vacuum pump in which the side channel pump stage of the vacuum pump has an improved vacuum characteristic value and at the same time a shape that allows the pump active components to be easily manufactured. is there.

この課題は、独立請求項１の特徴により解決される。本発明の有利な形態が従属請求項２−３に記載されている。
請求項１に記載の羽根の形状は、コスト的に有利に製造可能である。冒頭記載の従来技術に比較して、少なくとも１つの部分羽根と羽根の運動方向との間の、９０°より小さい角度により、低真空の範囲内における、サイド・チャネル・ポンプ段の入口と出口との間の圧力比の改善が結果として得られる。 This problem is solved by the features of independent claim 1. Advantageous embodiments of the invention are described in the dependent claims 2-3 .
The shape of the blade according to claim 1 can be advantageously manufactured in terms of cost. Compared to the prior art described at the outset, the angle between the at least one partial vane and the direction of movement of the vane is less than 90 °, so that the inlet and outlet of the side channel pump stage in the range of low vacuum An improvement in the pressure ratio between is obtained as a result.

さらに、隣接する羽根の間の中間ウェブが、少なくとも部分的に、羽根より小さい高さを有するとき、この利点はさらに顕著となる。
少なくとも１つの部分羽根が回転方向に関して後方に位置する後部を有し、この後部が羽根車の外周部の中心線を超えて伸長するとき、真空特性値、特に圧力比のさらなる改善が達成される。 Furthermore, this advantage is even more pronounced when the intermediate web between adjacent blades has a height that is at least partially less than the blades.
When the at least one partial vane has a rear part located rearward with respect to the direction of rotation and this rear part extends beyond the centerline of the outer periphery of the impeller, further improvements in the vacuum characteristic values, in particular the pressure ratio, are achieved. .

羽根の後部に面取り部が設けられているとき、利点のさらなる拡大が達成される。
周方向における部分羽根のオフセットは有利に働き、且つ結果をさらに改善させる。
ガス流れ内において、サイド・チャネル・ポンプ段が他のサイド・チャネル・ポンプ段の後方に配置され、他のサイド・チャネル・ポンプ段はロータ羽根を備えたロータを含み、ロータ羽根が、回転方向に関して後方に位置する側に面取り部を有するとき、有利な組み合わせが得られる。羽根形態のこの選択は、従来技術に比較して、サイド・チャネル・ポンプ段の数を少なくすることを可能にし、したがって、改善された真空特性値において製造コストを低減させる。 Further expansion of the advantages is achieved when a chamfer is provided at the rear of the blade.
The partial vane offset in the circumferential direction is advantageous and further improves the results.
Within the gas flow, a side channel pump stage is arranged behind the other side channel pump stage, the other side channel pump stage comprising a rotor with rotor blades, the rotor blades being in the direction of rotation An advantageous combination is obtained when it has a chamfer on the side located on the rear side. This choice of vane configuration allows for a reduced number of side channel pump stages compared to the prior art, thus reducing manufacturing costs with improved vacuum characteristics.

これらの変更態様の一実施例により本発明を詳細に説明し、且つそれらの利点を掘り下げることとする。   The invention will be described in detail by way of an example of these modifications and their advantages will be explored.

図１は、サイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプの軸方向断面図を示す。FIG. 1 shows an axial cross-section of a vacuum pump with a side channel pump stage. 図２は、線Ｉ−Ｉ′による、軸中心線に直角な断面図を示す。FIG. 2 shows a cross-sectional view perpendicular to the axial center line, taken along line II ′. 図３は、第１および第２の羽根を備えた羽根車を見た図を示す。FIG. 3 shows a view of an impeller with first and second blades. 図４は、線ＩＩ−ＩＩ′による、第１および第２の羽根を備えた羽根車の断面図を示す。FIG. 4 shows a cross-sectional view of an impeller with first and second blades, taken along line II-II ′. 図５は、一変更態様における、いくつかの羽根を備えた一部分を見た図を示す。FIG. 5 shows a partial view with several vanes in one variation. 図６は、他のポンプ段のロータの部分を見た図を示す。FIG. 6 shows a view of the rotor portion of another pump stage.

図１に、この実施例の真空ポンプ１が縦断面図で示されている。ガス入口２およびガス出口３を設けた真空ポンプのハウジングは複数のハウジング部分２０、２１、２２および２３を有し、これらのハウジング部分内に、以下に説明される構成要素が装着されている。   FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a vacuum pump 1 of this embodiment. The housing of the vacuum pump provided with the gas inlet 2 and the gas outlet 3 has a plurality of housing parts 20, 21, 22 and 23 in which the components described below are mounted.

ガスは、ガス入口を通過して、はじめに、分子ポンプ段４内に到達し、分子ポンプ段は、ここでは、ホルベック構造様式で形成されている。分子ポンプ段は、内部ねじ山溝４０７を設けた内部ステータ４０５、および外部ねじ山溝４０８を設けた外部ステータ４０６を含む。ねじ山溝はねじ山状に伸長し、且つ内部ステータと外部ステータとの間に存在する回転シリンダ４０２と協働して、分子流動範囲内においてポンプ作用が設定される。シリンダは支持体４００上に装着され、一方、支持体は軸８と結合されている。分子ポンプ段は対称に形成され且つ第２のシリンダ４０２′を有し、第２のシリンダは、それに付属のステータ構造部分と協働する。この形態により、並列供給機構が得られる。   The gas passes through the gas inlet and first reaches into the molecular pump stage 4, which is here formed in a Holbeck fashion. The molecular pump stage includes an internal stator 405 provided with an internal thread groove 407 and an external stator 406 provided with an external thread groove 408. The thread groove extends in the form of a thread, and in cooperation with the rotating cylinder 402 existing between the inner stator and the outer stator, the pump action is set within the molecular flow range. The cylinder is mounted on the support 400, while the support is coupled to the shaft 8. The molecular pump stage is formed symmetrically and has a second cylinder 402 ', which cooperates with its associated stator structure. With this configuration, a parallel supply mechanism is obtained.

軸は駆動装置７により回転させられる。この駆動装置は、ステータ側に電気コイル１２を含み、軸側に永久磁石１３を含む。軸は転がり軸受１０および１１内に支持されている。   The shaft is rotated by the drive device 7. This drive device includes an electric coil 12 on the stator side and a permanent magnet 13 on the shaft side. The shaft is supported in rolling bearings 10 and 11.

分子ポンプ段から、ガスは、下流側に、第１の移送チャネル２４を通過して高真空側のサイド・チャネル・ポンプ段５内に流入する。高真空側のサイド・チャネル・ポンプ段はロータ５００を有し、ロータには少なくとも１つのロータ羽根が設けられている。ロータ羽根はサイド・チャネル５０１内において円運動を行う。このポンプ段内においてさらに圧縮されたガスは、第２の移送チャネル２５を介してサイド・チャネル・ポンプ段６に移送され、ここでさらに圧縮され、最終的に、ガス出口を介して真空ポンプから排出される。   From the molecular pump stage, the gas flows downstream through the first transfer channel 24 and into the high vacuum side channel pump stage 5. The side channel pump stage on the high vacuum side has a rotor 500, which is provided with at least one rotor blade. The rotor blades make a circular motion in the side channel 501. The gas further compressed in this pump stage is transferred to the side channel pump stage 6 via the second transfer channel 25 where it is further compressed and finally from the vacuum pump via the gas outlet. Discharged.

図２に、サイド・チャネル・ポンプ段６が線Ｉ−Ｉ′による断面図で示されている。サイド・チャネル・ポンプ段を包囲するハウジング部分２２は、リング状のサイド・チャネル６０１を有している。このサイド・チャネルのリングは中断部６０４により中断される。中断部は吸込側および吐出側を相互に分離し、且つ羽根車において搬送されたガス流れを羽根車から切り離す。サイド・チャネル内において、羽根車６００の外周部６０３に配置されている少なくとも１つの羽根６０２が円運動を行う。羽根はこの外周部において半径方向に伸長している。羽根車が軸８により回転させられ且つガスが移送チャネル２５を通過してサイド・チャネル内に流入したとき、ガスは羽根によりチャネルに沿って移動される。周方向におけるガスのこの搬送は中断部６０４において終端する。中断部において、ガスは後続のチャネルに移送される。チャネルは、このとき、他のポンプ段またはガス出口３に連絡している。   In FIG. 2, the side channel pump stage 6 is shown in cross-section by line II ′. The housing portion 22 surrounding the side channel pump stage has a ring-shaped side channel 601. This side channel ring is interrupted by an interrupter 604. The interruption part separates the suction side and the discharge side from each other and separates the gas flow conveyed in the impeller from the impeller. In the side channel, at least one blade 602 arranged on the outer peripheral portion 603 of the impeller 600 performs a circular motion. The blades extend in the radial direction at the outer periphery. When the impeller is rotated by the shaft 8 and gas passes through the transfer channel 25 and into the side channel, the gas is moved along the channel by the vanes. This transport of gas in the circumferential direction terminates at the interrupting portion 604. In the interruption, the gas is transferred to a subsequent channel. The channel then communicates with another pump stage or gas outlet 3.

図３に、羽根車の羽根の形態が外周部を見た図で示されている。羽根６０２は、第１の部分羽根６２１および第２の部分羽根６２２を有している。これらの部分羽根の各々は部分羽根後部６２５および６２６を有している。これらの両方の部分羽根の少なくとも１つは、羽根の運動方向６０７と、９０°より小さい角度６１５を形成している。両方の部分羽根がこのような角度に傾斜され、且つ両方が共に運動方向に開いたＶを形成するとき、それは好ましい。この手段は、羽根により達成される圧力比を上昇させる。さらなる上昇が面取り部６１６により達成され、面取り部は、部分羽根後部６２５および６２６に設けられ、且つ羽根車の面内に存在する部分羽根の外側角部に位置している。羽根の表面は平面から構成することが有利であり、その理由は、このとき、羽根はのこ引き加工によりきわめて簡単に且つコスト的に有利に製造可能であるからである。この方法においては、のこ歯が羽根車の外周部をのこ引き加工し、このとき、のこ歯は、羽根車の回転軸に対して傾斜され、即ち、回転軸はのこ歯の面内には存在していない。   FIG. 3 shows the shape of the impeller blades as viewed from the outer periphery. The blade 602 has a first partial blade 621 and a second partial blade 622. Each of these partial vanes has partial vane rear portions 625 and 626. At least one of both of these partial vanes forms an angle 615 of less than 90 ° with the vane movement direction 607. It is preferred when both partial vanes are tilted at such an angle and both form a V that is both open in the direction of motion. This measure increases the pressure ratio achieved by the vanes. A further rise is achieved by the chamfer 616, which is located at the rear part 625 and 626 of the partial blade and is located at the outer corner of the partial blade that lies in the plane of the impeller. The surface of the blade is advantageously constructed from a plane because the blade can be manufactured very simply and advantageously in a cost-effective manner by sawing. In this method, the saw teeth are machined on the outer peripheral portion of the impeller, and at this time, the saw teeth are inclined with respect to the rotation shaft of the impeller, that is, the rotation shaft is the surface of the saw blade. Does not exist within.

羽根車は羽根６０２のほかにさらに他の羽根６１２を有し、他の羽根は同じに形成されていることが有利である。羽根６０２および６１２の間に中間ウェブ６３０が配置されている。   In addition to the blades 602, the impeller further has other blades 612, which are advantageously formed identically. An intermediate web 630 is disposed between the blades 602 and 612.

中間ウェブの形態は図４から明らかである。図４は、線ＩＩ−ＩＩ′による断面図を示す。中間ウェブ６３０は羽根６０２および６１２の間に配置されている。中間ウェブ高さ６３１は、少なくとも部分的に、羽根高さ６３２より小さいので、羽根の間に貫通空間が形成されている。貫通空間は圧力比を改善させる。この場合、形状は同様にのこ引き加工により容易に形成可能である。のこ引き加工の間に、のこ歯は羽根車の外周部の中心線を超えて入り込み、且つ中間ウェブの材料を除去する。のこ歯が上記のように傾斜されている場合、のこ引き過程内に形状が形成され、この形状において、中間ウェブのより高い部分は、運動方向６０７に関して、羽根６０２の前方に配置されている。   The form of the intermediate web is apparent from FIG. FIG. 4 shows a cross-sectional view along line II-II ′. Intermediate web 630 is disposed between vanes 602 and 612. The intermediate web height 631 is at least partially smaller than the blade height 632 so that a through space is formed between the blades. The through space improves the pressure ratio. In this case, the shape can be easily formed by sawing as well. During sawing, the saw teeth penetrate beyond the centerline of the outer periphery of the impeller and remove the intermediate web material. If the saw teeth are inclined as described above, a shape is formed in the sawing process, in which the higher part of the intermediate web is placed in front of the blade 602 with respect to the direction of movement 607. Yes.

図５における羽根車の外周部を見た図は、羽根の一変更態様を示す。羽根６０２′は２つの部分羽根６５１および６５２を有している。部分羽根の各々は部分羽根後部６５３および６５４を有している。これらの部分羽根後部の各々に面取り部６５６が配置され、面取り部は、羽根車の面内に存在する部分羽根の外側角部に位置している。部分羽根は、運動方向６０７と、９０°より小さい角度６１５′を形成している。部分羽根は運動方向にオフセット量６６１だけ相互にオフセットされている。部分羽根後部は羽根車の中心線６６０を超えて伸長している。この変更態様は、同様に、のこ引き加工により簡単に製造可能であり、且つ達成可能な圧力比を上昇させる。   The figure which looked at the outer peripheral part of the impeller in FIG. 5 shows one change aspect of a blade | wing. The blade 602 ′ has two partial blades 651 and 652. Each of the partial vanes has partial vane rear portions 653 and 654. A chamfered portion 656 is disposed at each of the rear portions of the partial blades, and the chamfered portions are located at the outer corners of the partial blades existing in the plane of the impeller. The partial vanes form a direction of movement 607 and an angle 615 'less than 90 °. The partial blades are offset from each other by an offset amount 661 in the movement direction. The rear part of the partial blade extends beyond the impeller center line 660. This variant is likewise easy to manufacture by sawing and increases the achievable pressure ratio.

図６に、高真空側のサイド・チャネル・ポンプ段５のロータの外周部を見た図が示されている。ロータの外周部に配置されている羽根５０２は、部分羽根後部５１３を設けた部分羽根５５１および５５２を有している。部分羽根後部に面取り部５１６が設けられている。   FIG. 6 shows a view of the outer periphery of the rotor of the side channel pump stage 5 on the high vacuum side. A blade 502 arranged on the outer periphery of the rotor has partial blades 551 and 552 provided with a partial blade rear portion 513. A chamfered portion 516 is provided at the rear portion of the partial blade.

図３−６に示されている構造は複数回反復され、且つ羽根車の外周部に沿って整数倍だけ現われる。
分子ポンプ段４と、図６に示すように形成されたロータを有する高真空側のサイド・チャネル・ポンプ段および図３−５に示す特徴をもつ羽根車を有するサイド・チャネル・ポンプ段との組み合わせは、改善された真空特性値を有する、コスト的に有利に製造可能な、コンパクトな真空ポンプを提供する。 The structure shown in FIGS. 3-6 is repeated multiple times and appears in integral multiples along the outer periphery of the impeller.
A molecular pump stage 4 and a high vacuum side channel pump stage with a rotor formed as shown in FIG. 6 and a side channel pump stage with an impeller having the characteristics shown in FIGS. The combination provides a compact vacuum pump that can be advantageously manufactured in a cost-effective manner with improved vacuum characteristics.

１ 真空ポンプ
２ ガス入口
３ ガス出口
４ 分子ポンプ段
５ 高真空側のサイド・チャネル・ポンプ段
６ サイド・チャネル・ポンプ段
７ 駆動装置
８ 軸
１０、１１ 転がり軸受
１２ 電気コイル
１３ 永久磁石
２０、２１、２２、２３ ハウジング部分
２４ 第１の移送チャネル
２５ 第２の移送チャネル
４００ 支持体
４０２、４０２′ シリンダ
４０５ 内部ステータ
４０６ 外部ステータ
４０７ 内部ねじ山溝
４０８ 外部ねじ山溝
５００、６００ 羽根車、ロータ
５０１、６０１ サイド・チャネル
５０２、６０２、６０２′、６１２ 羽根
５１３、６２５、６２６、６５３、６５４ 部分羽根後部
５１６、６１６、６５６ 面取り部
５５１、５５２、６２１、６２２、６５１、６５２ 部分羽根
６０３ 外周部
６０４ 中断部
６０７ 運動方向
６１５、６１５′ 角度
６３０ 中間ウェブ
６３１ 中間ウェブ高さ
６３２ 羽根高さ
６６０ 中心線
６６１ オフセット量 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum pump 2 Gas inlet 3 Gas outlet 4 Molecular pump stage 5 Side channel pump stage of high vacuum side 6 Side channel pump stage 7 Drive device 8 Shaft 10, 11 Rolling bearing 12 Electric coil 13 Permanent magnet 20, 21 , 22, 23 Housing part 24 First transfer channel 25 Second transfer channel 400 Support 402, 402 'Cylinder 405 Internal stator 406 External stator 407 Internal thread groove 408 External thread groove 500, 600 Impeller, rotor 501, 601 Side channel 502, 602, 602 ′, 612 Blade 513, 625, 626, 653, 654 Partial blade rear 516, 616, 656 Chamfered portion 551, 552, 621, 622, 651, 652 Partial blade 603 Outer portion 604 Interrupted portion 607 Direction of motion 6 15, 615 ′ Angle 630 Intermediate web 631 Intermediate web height 632 Blade height 660 Center line 661 Offset amount

Claims (3)

ガス入口（２）、ガス出口（３）およびサイド・チャネル・ポンプ段（６）を備えた真空ポンプ（１）であって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部（６０３）と半径方向に突出する羽根（６０２；６０２′）とを設けた回転運動させられる羽根車（６００）を含む、真空ポンプにおいて、
各羽根（６０２；６０２′）が、互いに連結された第１の部分羽根（６２１；６５１）および第２の部分羽根（６２２；６５２）を有し、各部分羽根（６２１、６２２；６５１、６５２）と羽根の運動方向（６０７）との間の角度（６１５；６１５′）が９０°より小さい値であり、各部分羽根が、互いに平行な平面として形成された、回転方向に関する前部及び後部を有すること、
第１および第２の部分羽根（６２１、６２２）が周方向にオフセットされることなく配置され、前記羽根（６０２；６１２）の間において羽根車（６００）の周方向に中間ウェブ（６３０）が配置され、中間ウェブ高さ（６３１）は、羽根高さ（６３２）より小さく、羽根の運動方向（６０７）に減少する、または、第１および第２の部分羽根（６５１、６５２）が、周方向に相互にオフセット配置され、各部分羽根（６５１、６５２）の後部（６５３、６５４）は羽根車の外周部の中心線（６６０）を超えて伸長すること、
真空ポンプが、ガス入口の領域にホルベック・ポンプ段（４）を含み、このホルベック・ポンプ段（４）と前記サイド・チャネル・ポンプ段（６）の間に別のサイド・チャネル・ポンプ段（５）を含むことを特徴とする真空ポンプ。 A vacuum pump (1) comprising a gas inlet (2), a gas outlet (3) and a side channel pump stage (6), said side channel pump stage being in radial direction with the outer periphery (603) vanes projecting (602; 602 ') and the impeller to be rotated motion provided the (600) including, in a vacuum pump,
Each blade (602; 602 ') has a first partial blade (621; 651) and a second partial blade (622; 652) connected to each other, and each partial blade (621 , 622; 651, 652). ) and angle (615 between the blades of the motion direction (607); Ri 615 ') is smaller than 90 ° value der, each part blade, formed as a plane parallel to each other, the front associated with the direction of rotation and Having a rear ,
The first and second partial blades (621, 622) are arranged without being offset in the circumferential direction, and an intermediate web (630) is disposed between the blades (602; 612) in the circumferential direction of the impeller (600). The intermediate web height (631) is less than the blade height (632) and decreases in the blade movement direction (607) or the first and second partial blades (651, 652) are Offset from each other in the direction, the rear (653, 654) of each partial vane (651, 652) extends beyond the center line (660) of the outer periphery of the impeller,
The vacuum pump includes a Holbeck pump stage (4) in the region of the gas inlet, and between this Holbeck pump stage (4) and said side channel pump stage (6) another side channel pump stage ( 5) The vacuum pump characterized by including . 羽根（６０２；６０２′；６１２）がその後部（６２５、６２６；６５３、６５４）に、平面として形成された面取り部（６１６；６５６）を有することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。 In; (653 and 654 625 and 626), the chamfered portion formed as a flat blade (602; 602 '612) is its rear; vacuum pump according to claim 1, characterized in that it has a (616 656) . 別のサイド・チャネル・ポンプ段（５）は、ロータ羽根（５０２）を備えたロータ（５００）を含み、前記ロータ羽根は、回転方向に関して後方に位置する側に面取り部（５１６）を有することを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。 Another side channel pump stage (5) comprises a rotor (500) with rotor blades (502), said rotor blades having a chamfer (516) on the side located rearward with respect to the direction of rotation. The vacuum pump according to claim 1 or 2 .
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