JP5679542B2 - 品質優先回路抽出装置、品質優先回路抽出方法、品質優先回路抽出プログラム、マスク作成システム、及びレイアウト制約作成システム - Google Patents
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本発明に係る品質優先回路抽出装置は、回路のネットリストから品質優先回路のネットリストを抽出する品質優先回路ネットリスト抽出装置と、回路のレイアウトデータから回路の規則情報を抽出する品質優先回路レイアウト抽出装置と、品質優先回路のネットリストと規則情報から回路品質の優先順位を決定する優先順位決定装置と、を有する。
図1は、回路設計からマスク検査までのフローチャートである。設計工程は、回路設計とレイアウト設計からなる。回路設計S1が終了した後、回路ネットリストが作成される。回路ネットリストに対するレイアウト設計S2を行い、終了した後でレイアウトデータが作成される。
最後にマスク検査S5を行い、集積回路設計は終了する。
一方で、品質優先回路ネットリスト抽出装置3に回路ネットリストを転送し、カレントミラー回路、及び差動増幅回路(以下、差動対回路)のネットリストを抽出する。カレントミラー回路と差動対回路は、アナログ回路において回路特性上重要となる部分回路である。ここで、カレントミラー回路とは、図3に示すように、Iref側のトランジスタとIout側のトランジスタサイズが同じで同じ電流値を流したとき、ゲート・ソース間電圧が等しい場合、Iref=Ioutになることを利用して電流を複製する回路である。また、差動対回路とは、図4に示すように、2つの入力電圧(Vin+、Vin−)の差分を増幅し、2つの入力に共通な電圧を取り除く回路である。
次に、レイアウトデータ及び品質優先部分回路情報記憶装置4から品質優先回路レイアウト抽出装置5へレイアウトデータを転送し、規則構造の抽出を行う。図12は比較器回路のレイアウトデータである。このレイアウトデータから図13に示すようにMOSトランジスタに対応する図形の抽出を行う。このMOS抽出は、レイアウトエディタ上でMOSトランジスタを構成する物理層(デバイスレイヤ)を指定することで処理できる。次に、LVS(Layout V.S. Schematic)を実行することにより、図14に示すように、レイアウト上のMOSトランジスタと回路ネットリスト上での素子名の対応付けが実現できる。LVSとは、作製したレイアウトデータもしくはマスクデータが、設計した回路図と一致しているかを検証するためのCADツール(プログラム)である。
優先順位決定装置6においては、品質優先回路ネットリスト抽出装置3で抽出した品質優先回路のネットリスト情報(差動対回路、カレントミラー回路)と品質優先回路レイアウト抽出装置5で抽出した品質優先回路のレイアウト情報(行/列/アレイ構造)から、レイアウトデータに含まれる素子図形に対してマスク検査精度の優先順位を決定する。
最後にマスク検査装置9のマスク検査では、図19に示すように、MOSトランジスタのアクティブ領域191aから191fのサイズ192aから191f、間隔193aから191eが厳密に等しくなっているかを検査する。ダミー素子がある場合には、ダミー素子のサイズは検査する必要はない。
品質優先回路抽出の技術は、マスク検査時におけるマスク検査優先箇所を決定する技術以外に、レイアウトの再利用設計に応用できる。通常、レイアウトは、電源電圧、ゲート長/配線幅の最小加工寸法、ゲート酸化膜厚、拡散層間距離などに関する様々な半導体製造プロセス条件から定まるレイアウト設計ルールに従って作成される。集積回路チップ開発では、回路ネットリストが同じ場合でもレイアウト設計はこのレイアウト設計ルールが異なる場合には、再設計がなされる。この再設計の際には、品質優先箇所が分かっている場合には、それらの箇所について、近接配置・対称配置・アレイ配置などを指定することによりレイアウト設計の効率化を図ることができる。これらの品質優先箇所の指定をレイアウト制約と呼ぶ。レイアウト制約は、レイアウト自動設計ツールで利用することで、さらなるレイアウト設計の効率化が可能となる。図20はレイアウト制約作成システムである。ネットリストと優先順位決定装置6で決定された優先順位より、レイアウト制約作成装置200でレイアウト制約を行う。これにより、回路のネットリストとレイアウトデータから、このレイアウト制約の作成装置に応用することができる。
2…レイアウト設計装置
3…品質優先回路ネットリスト抽出装置
4…レイアウトデータ及び品質優先部分回路情報記憶装置
5…品質優先回路レイアウト抽出装置
6…優先順位決定装置
7…マスク作成装置
8…マスクデータ及び検査品質優先図形座標記憶装置
9…マスク検査装置
61、62、63、64、65、66、67…素子
71、72、73、74…素子
81、82、83、84…素子
91、93、94…カレントミラー回路
92…差動対回路
151a、151b…MOSトランジスタ
152a、152b、152c…拡散領域
160a、160b、160c、160d、160e…集合
160f、160g、160h、160i、160j…集合
161…アレイ構造集合
162…差動対集合
163…(多段)列/行構造集合
164…カレントミラー集合
181…差動対回路
182…カレントミラー回路
191a、191b、191c、191d、191e、191f…アクティブ領域
192a、192b、192c、192d、192e、192f…サイズ
193a、193b、193c、193d、193e…間隔
200…レイアウト制約作成装置
Claims (10)
- 回路のネットリストから品質優先回路のネットリストを抽出する品質優先回路ネットリスト抽出装置と、
前記回路のレイアウトデータから前記回路の多段行構造、多段列構造ならびに前記多段行構造および前記多段列構造を構成するグループから構成されるアレイ構造の規則情報を抽出する品質優先回路レイアウト抽出装置と、
前記品質優先回路のネットリストと前記規則情報から回路品質の優先順位を決定する優先順位決定装置と、を有する品質優先回路抽出装置。 - 前記品質優先回路は、カレントミラー回路である請求項1に記載の品質優先回路抽出装置。
- 前記品質優先回路は、差動対回路である請求項1に記載の品質優先回路抽出装置。
- 回路のネットリストから品質優先回路のネットリストを抽出する品質優先回路ネットリスト抽出装置と、
前記回路のレイアウトデータから前記回路の多段行構造、多段列構造ならびに前記多段行構造および前記多段列構造を構成するグループから構成されるアレイ構造の規則情報を抽出する品質優先回路レイアウト抽出装置と、
前記品質優先回路のネットリストと前記規則情報から回路品質の優先順位を決定する優先順位決定装置と、
前記レイアウトデータを用いて前記回路のマスクを作成するマスク作成装置と、
前記優先順位を用いて検査優先順位を決定し、前記マスクを検査するマスク検査装置と、を有するマスク作成システム。 - 回路のネットリストから品質優先回路のネットリストを抽出する品質優先回路ネットリスト抽出装置と、
前記回路のレイアウトデータから前記回路の多段行構造、多段列構造ならびに前記多段行構造および前記多段列構造を構成するグループから構成されるアレイ構造の規則情報を抽出する品質優先回路レイアウト抽出装置と、
前記品質優先回路のネットリストと前記規則情報から回路品質の優先順位を決定する優先順位決定装置と、
前記優先順位を用いて、前記ネットリストと前記レイアウトデータから前記回路を異なる製造プロセス条件で再利用設計するレイアウト制約作成装置と、を有するレイアウト制約作成システム。 - 回路のネットリストから品質優先回路のネットリストを抽出する工程と、
前記回路のレイアウトデータから前記回路の多段行構造、多段列構造ならびに前記多段行構造および前記多段列構造を構成するグループから構成されるアレイ構造の規則情報を抽出する工程と、
前記品質優先回路のネットリストと前記規則情報から回路品質の優先順位を決定する工程と、からなる品質優先回路抽出方法。 - 前記品質優先回路は、カレントミラー回路である請求項6に記載の品質優先回路抽出方法。
- 前記品質優先回路は、差動対回路である請求項6に記載の品質優先回路抽出方法。
- 前記優先順位は回路のマスク検査の優先順位である請求項6から8のいずれか一つに記載の品質優先回路抽出方法。
- 回路のネットリストから品質優先回路のネットリストを抽出する工程と、
前記回路のレイアウトデータから前記回路の多段行構造、多段列構造ならびに前記多段行構造および前記多段列構造を構成するグループから構成されるアレイ構造の規則情報を抽出する工程と、
前記品質優先回路のネットリストと前記規則情報から回路品質の優先順位を決定する工程と、をコンピュータに実行させる品質優先回路抽出プログラム。
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