JP5679453B2 - 変位検出装置 - Google Patents
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Description
3 回転軸
4、4’ 磁性体
5 基板
6 磁石
7 磁気センサ
9 ヨーク
Claims (5)
- 磁性体と磁石と磁気センサとを備え、
磁気センサの出力値に基づいて、磁性体の変位を検出する変位検出装置において、
前記磁石および前記磁気センサの下方にヨークを設け、
前記磁性体は、常に前記磁石の上方に位置していて、前記磁気センサの上方の位置と、前記磁気センサの上方から外れた位置との間を変位し、
前記磁石は、常に前記磁性体と前記ヨークの間にあって、前記磁性体と前記ヨークを磁化している、ことを特徴とする変位検出装置。 - 請求項1に記載の変位検出装置において、
前記磁石と前記磁気センサとを上下方向に対して側方に並べた、ことを特徴とする変位検出装置。 - 請求項2に記載の変位検出装置において、
前記磁性体は、前記磁石と前記磁気センサの並ぶ方向と平行に変位する、ことを特徴とする変位検出装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の変位検出装置において、
前記磁性体は回転することにより変位し、
前記磁石を前記磁気センサより前記磁性体の回転中心の近くに設けた、ことを特徴とする変位検出装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の変位検出装置において、
前記磁石と前記磁気センサとを同一の基板の表面に設け、
前記基板の裏面に前記ヨークを設け、
前記基板の表面側に前記磁性体を設けた、ことを特徴とする変位検出装置。
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JP2011255141A JP5679453B2 (ja) | 2011-11-22 | 2011-11-22 | 変位検出装置 |
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