JP5679290B2 - Flexible substrate laminate - Google Patents
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Description
本発明は、フレキシブル基板と、フレキシブル基板に粘着層を介して貼り合せれ、フレキシブル基板に対して剥離自在な剥離フィルムとを備えたフレキシブル基板積層体に係り、とりわけ、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができるフレキシブル基板積層体に関する。 The present invention relates to a flexible substrate laminate comprising a flexible substrate and a release film that is bonded to the flexible substrate via an adhesive layer and is detachable from the flexible substrate, and more particularly, a pattern formed on the flexible substrate. It is related with the flexible substrate laminated body which can improve the dimensional accuracy of this easily.
近年、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ、電子ペーパーディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの急速な普及に伴って、このようなディスプレイを構成するディスプレイ部材の需要が拡大している。現在のフラットパネルディスプレイは、その用途を、テレビやデスクトップモニターのみならず、携帯用ノートパソコン、携帯電話、携帯用ゲーム機、電子リーダー、電子ブックなどの携帯型電子機器にまで広く拡大していることから、さらなる軽量化、小型化、および薄型化が必要とされている。このため、ディスプレイ部材としても、軽量化、小型化、および薄型化が求められている。 In recent years, with the rapid spread of flat panel displays such as liquid crystal displays, organic EL displays, and electronic paper displays, the demand for display members constituting such displays has increased. Current flat panel displays are widely used not only for TVs and desktop monitors, but also for portable electronic devices such as portable notebook computers, mobile phones, portable game consoles, electronic readers, and electronic books. For this reason, further weight reduction, size reduction, and thickness reduction are required. For this reason, as a display member, weight reduction, size reduction, and thickness reduction are required.
このような状況において、従来、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ、電子ペーパーディスプレイ等を構成するディスプレイ部材としては、これまで主として用いられてきたガラス基板に替わり、可撓性を有するフレキシブル基板を用いたディスプレイ部材が提案されている。ディスプレイ部材において、ガラス基板の替わりにフレキシブル基板を用いることにより、ディスプレイを、フレキシブルディスプレイとすることも可能となる。現に、このようなフレキシブルディスプレイとしては、例えば、透明タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等が知られている。 Under such circumstances, as a display member constituting a liquid crystal display, an organic EL display, an electronic paper display, etc., a display using a flexible flexible substrate instead of the glass substrate which has been mainly used so far. Members have been proposed. By using a flexible substrate instead of the glass substrate in the display member, the display can be a flexible display. Actually, as such a flexible display, for example, a transparent touch panel, a liquid crystal display, an organic EL display, and the like are known.
しかしながら、フレキシブル基板は、従来のガラス基板等に比べて機械的強度が低いことから、フレキシブル基板を用いてディスプレイ部材を製造する場合、フレキシブル基板がひずみ、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度が低下するという問題があった。特に、パターンが形成されたフレキシブル基板に、粘着層を介して貼り合わされ、フレキシブル基板に対して剥離自在な剥離フィルムとを備えたフレキシブル基板積層体においては、剥離フィルムの剥離前後で、パターンの寸法がずれるという問題があった。この場合、他の対向基板と位置合わせして接合することが困難となる。例えば、解像度200dpiで1ピクセルに赤色画素、緑色画素、青色画素が一列に並んでいるカラーフィルターにおいて、200mmの距離を有するパターン間が40μm変化する(200ppmの寸法変化に相当)場合には、一色分のずれが生じることになり、重大な欠陥となる。このため、フレキシブル基板を用いて大面積のカラーフィルターを製造することは困難であった。また、フレキシブル基板に、パターニング工程に3〜5μmの位置合わせ精度を必要とするアクティブマトリックス方式のスイッチング素子を形成することも困難であった。 However, since the flexible substrate has a lower mechanical strength than a conventional glass substrate or the like, when manufacturing a display member using the flexible substrate, the flexible substrate is distorted, and the dimensional accuracy of the pattern formed on the flexible substrate is low. There was a problem of lowering. In particular, in a flexible substrate laminate including a release film that is bonded to a flexible substrate on which a pattern is formed via an adhesive layer and is peelable from the flexible substrate, the dimension of the pattern before and after peeling of the release film. There was a problem of slipping. In this case, it is difficult to align and join with another counter substrate. For example, in a color filter in which red pixels, green pixels, and blue pixels are arranged in a row at a resolution of 200 dpi, when a pattern having a distance of 200 mm changes by 40 μm (corresponding to a dimensional change of 200 ppm), one color A minute shift will occur, which becomes a serious defect. For this reason, it has been difficult to produce a color filter having a large area using a flexible substrate. In addition, it is difficult to form an active matrix switching element that requires a positioning accuracy of 3 to 5 μm in the patterning process on the flexible substrate.
ところで、フレキシブル基板の寸法変化を抑制するために、フレキシブル基板に応力緩和孔を設ける方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。ここでは、フレキシブル基板の表示領域に負荷される応力を、応力緩和孔を変形させることによって緩和し、当該表示領域に歪みが生じることを防止している。しかしながら、このような方法では、フレキシブル基板に、上述したような応力緩和孔を設ける工程が必要となり、ディスプレイ部材を製造する工程が煩雑になるという問題がある。 By the way, in order to suppress the dimensional change of a flexible substrate, the method of providing a stress relaxation hole in a flexible substrate is disclosed (for example, refer patent document 1). Here, the stress applied to the display area of the flexible substrate is relaxed by deforming the stress relaxation hole, thereby preventing the display area from being distorted. However, in such a method, there is a problem that a step of providing the stress relaxation hole as described above is required in the flexible substrate, and the step of manufacturing the display member becomes complicated.
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができるフレキシブル基板積層体を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of such points, and an object of the present invention is to provide a flexible substrate laminate that can easily improve the dimensional accuracy of a pattern formed on a flexible substrate.
本発明は、フレキシブル基板と、前記フレキシブル基板に粘着層を介して貼り合わされ、前記フレキシブル基板に対して剥離自在な剥離フィルムと、を備え、前記フレキシブル基板に、パターンが形成されており、前記フレキシブル基板のうち前記パターンが形成された部分において、前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみが、±0.01%以内であることを特徴とするフレキシブル基板積層体を提供する。 The present invention comprises: a flexible substrate; and a release film that is bonded to the flexible substrate via an adhesive layer and is detachable from the flexible substrate, wherein the flexible substrate has a pattern formed thereon, and the flexible substrate Provided is a flexible substrate laminate in which a strain generated by bonding the flexible substrate and the release film is within ± 0.01% in a portion of the substrate where the pattern is formed. To do.
本発明によれば、フレキシブル基板のうちパターンが形成された部分において、フレキシブル基板と剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみを低減することができる。このことにより、剥離フィルムをフレキシブル基板から剥離する前のパターンの寸法と、剥離した後のパターンの寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルムを剥離する前後でパターンの寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置合わせすることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the distortion produced by bonding a flexible substrate and a peeling film in the part in which the pattern was formed among flexible substrates can be reduced. Thereby, the difference between the dimension of the pattern before peeling the release film from the flexible substrate and the dimension of the pattern after peeling can be reduced. For this reason, it can suppress that the dimension of a pattern changes before and after peeling a peeling film, and can improve the dimensional accuracy of the pattern formed in the flexible substrate easily. In this case, it is possible to easily and accurately align the pattern with the counter substrate on which another pattern to be bonded in a later step is formed.
なお、上述したフレキシブル基板積層体において、前記フレキシブル基板に、前記パターンが複数形成されており、前記フレキシブル基板のうち一の前記パターンが形成された部分において、前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみと、他の前記パターンが形成された部分において、当該貼り合せにより生じたひずみとの差が、±0.01%以内である、ようにしてもよい。この場合、フレキシブル基板のうち一のパターンが形成された部分において、フレキシブル基板と剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターンが形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルムの剥離前後で各パターンの寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板に形成された各パターンの寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、各パターンを位置合わせすることができ、精度良いパターンを、量産することができる。 In the flexible substrate laminate described above, a plurality of the patterns are formed on the flexible substrate, and the flexible substrate and the release film are attached to a portion of the flexible substrate where the one pattern is formed. You may make it the difference between the distortion | strain produced by having combined and the distortion | strain produced by the said bonding in the part in which the said other pattern was formed be less than +/- 0.01%. In this case, the distortion generated by bonding the flexible substrate and the release film in the portion where one pattern is formed in the flexible substrate, and the bonding generated in the portion where the other pattern is formed The difference from strain can be reduced. For this reason, it can suppress that the dimension of each pattern differs before and after peeling of a peeling film, and can improve the dimensional accuracy of each pattern formed in the flexible substrate easily. In this case, each pattern can be easily and accurately aligned with the counter substrate on which another pattern to be bonded in a later step is formed, and the highly accurate pattern can be mass-produced.
なお、上述したフレキシブル基板積層体において、前記剥離フィルムは、前記粘着層に対して剥離自在になっている、ようにしてもよい。 In the flexible substrate laminate described above, the release film may be peelable from the adhesive layer.
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記粘着層は、前記フレキシブル基板に対して剥離自在になっている、ようにしてもよい。 Moreover, the flexible substrate laminated body mentioned above WHEREIN: The said adhesion layer may be made to be able to peel with respect to the said flexible substrate.
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記パターンは、前記フレキシブル基板の前記粘着層側の面に形成されている、ようにしてもよい。 Moreover, the flexible substrate laminated body mentioned above WHEREIN: You may make it the said pattern be formed in the surface at the side of the said adhesion layer of the said flexible substrate.
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記パターンは、前記フレキシブル基板の前記粘着層とは反対側の面に形成されている、ようにしてもよい。 Moreover, the flexible substrate laminated body mentioned above WHEREIN: You may make it the said pattern be formed in the surface on the opposite side to the said adhesion layer of the said flexible substrate.
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記フレキシブル基板に、バリア層が設けられている、ようにしてもよい。 In the flexible substrate laminate described above, a barrier layer may be provided on the flexible substrate.
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記フレキシブル基板に、反射防止層が設けられている、ようにしてもよい。 In the flexible substrate laminate described above, an antireflection layer may be provided on the flexible substrate.
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記フレキシブル基板に、ハードコート層が設けられている、ようにしてもよい。 Moreover, in the flexible substrate laminate described above, a hard coat layer may be provided on the flexible substrate.
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記パターンは、カラーフィルター用の画素パターンを有する、ようにしてもよい。 In the flexible substrate laminate described above, the pattern may include a pixel pattern for a color filter.
本発明によれば、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができ、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置合わせすることができる。 According to the present invention, it is possible to easily improve the dimensional accuracy of the pattern formed on the flexible substrate, the counter substrate on which another pattern to be joined in a later step is formed, and easily and accurately, Patterns can be aligned.
第1の実施の形態
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。ここで、図1乃至図7は、本発明の第1の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体を説明するための図である。
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS First Embodiment Hereinafter, an embodiment of the invention will be described with reference to the drawings. Here, FIG. 1 thru | or FIG. 7 is a figure for demonstrating the flexible substrate laminated body in the 1st Embodiment of this invention.
まず、図1により、本実施の形態におけるフレキシブル基板積層体10について説明する。図1に示すフレキシブル基板積層体10は、帯状のフレキシブル基板11と、フレキシブル基板11に、粘着層13を介して貼り合わされ、フレキシブル基板11に対して剥離自在な剥離フィルム(例えば、剥離ライナー)12とを備えている。このうち剥離フィルム12の粘着層13側の面には、シリコン処理等により剥離処理が施されており、剥離フィルム12は、粘着層13に剥離自在になっている。
First, the
図1および図2に示すように、フレキシブル基板11には、カラーフィルター用のパターン14が複数形成されている。各パターン14は、赤色画素15a、緑色画素15b、および青色画素15c(必要に応じてブラックマトリックス(図示せず))を含むカラーフィルター用の矩形状の画素パターン15と、画素パターン15の四隅に対応する位置にそれぞれ形成された十字状のマーク16とを有している。このようなパターン14は、フレキシブル基板11の粘着層13側の面に形成され、粘着層13はパターン14に粘着されている。
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, a plurality of
フレキシブル基板11のうち各パターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひずみが、±0.01%以内、好ましくは、±0.005%以内となっている。すなわち、フレキシブル基板11の当該部分の寸法の貼り合せ前後における変形量が、貼り合せ前の当該部分の寸法に対して、±0.01%(例えば、100mmの基準寸法に対するずれ量が±10μm)以内、好ましくは、±0.005%(例えば、100mmの基準寸法に対するずれ量が±5μm)以内となっている。この場合、フレキシブル基板11と剥離フィルム12を貼り合せる前のパターン14の寸法と、フレキシブル基板11と剥離フィルム12を貼り合せた後のパターン14の寸法との差は、±0.01%以内、好ましくは、±0.005%以内になる。
In the portion of the
ところで、剥離フィルム12を粘着層13から剥離した場合、フレキシブル基板11から、剥離フィルム12による応力の影響が取り除かれる。また、フレキシブル基板11に粘着されている粘着層13は柔軟性を有している。このことから、剥離フィルム12が剥離された後のフレキシブル基板11の変形の状態は、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せる前の状態に戻る。このため、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とが貼り合わされている状態でのフレキシブル基板11に形成されたパターン14の寸法と、剥離フィルム12を粘着層13から剥離した後のパターン14の寸法との差は、±0.01%以内、好ましくは、±0.005%以内になる。このことにより、各パターン14の寸法精度を向上させて、カラーフィルターとしての表示画像の精度を向上させることができる。具体的には、カラーフィルター用の画素パターン15を有するフレキシブル基板積層体10とTFTアレイの貼り合せにおいては、寸法のずれ量を±10μm以内とすることにより、液晶素子の駆動に不具合が生じることを防止し、画素の透過率や色を所定の範囲に維持でき、画像の表示を良好にすることができる。
By the way, when the peeling
また、フレキシブル基板11のうち一のパターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン14が形成された部分において、当該貼り合せにより生じたひずみとの差が、±0.01%以内、好ましくは、±0.005%以内となっている。この場合、一のパターン14の寸法と、他のパターン14の寸法との差は、±0.01%以内、好ましくは、±0.005%以内になっている。このことにより、各パターン14の寸法精度を向上させて、複数のパターン14を、精度良く量産することができる。
Further, in the portion of the
次に、フレキシブル基板11の材料について説明する。本実施の形態におけるフレキシブル基板11は、引張力が負荷された場合であっても可塑性が著しく高いものでなければ特に限定されることはなく、ディスプレイ用途に応じて適宜選択して用いることができる。このようなフレキシブル基板11としては、例えば、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエーテルサルフォン(PES)、ポリイミド(PI)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリカーボネート(PC)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリエーテルイミド(PEI)、セルローストリアセテート(CTA)、環状ポリオレフィン(COP)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリサルフォン(PSF)、ポリアミドイミド(PAI)、ノボルネン系樹脂、アリルエステル樹脂等の合成樹脂を挙げることができる。このうち、PEN、PETを用いることが好適である。
Next, the material of the
フレキシブル基板11の厚さとしては、10μm〜500μmの範囲内、好ましくは20μm〜300μmの範囲内であることが好ましい。フレキシブル基板11の厚さが上記範囲よりも厚すぎると、可撓性が損なわれ、折れやすくなり、ロール状に巻き取ることが困難になるからである。一方、上記範囲よりも薄すぎると、こしが無くなり、各工程における取り扱いが困難になるからである。
The thickness of the
フレキシブル基板11の幅としては、特に限定されるものではないが、例えば、50mm〜2000mmの範囲内、好ましくは100mm〜1500mmの範囲内であることが好ましい。
Although it does not specifically limit as a width | variety of the
なお、フレキシブル基板11は、単一層よりなる構成であっても良く、あるいは、複数の層が積層された構成を有するものであっても良い。
In addition, the
剥離フィルム12に用いる材料としては、フレキシブル基板11と同様の材料を用いることができる。また、剥離フィルム12の厚さ、幅についても、フレキシブル基板11と同様にすることが好適である。さらには、剥離フィルム12は、単一層よりなる構成であっても、複数の層が積層された構成を有するものであっても良い。
As a material used for the
粘着層13の材料としては、柔軟性を有しているものであれば、特に限定されるものではなく、アクリル系、スチレン系等の樹脂材料からなっていることが好ましい。また、粘着層13の厚さとしては、柔軟性が喪失されない程度の厚さであれば良い。
The material of the pressure-
次に、図3を用いて、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せる貼合装置20について説明する。図3に示す貼合装置20は、パターン14が形成されたフレキシブル基板11を繰り出す第1繰出ロール21と、粘着層13が設けられた剥離フィルム12を繰り出す第2繰出ロール22とを有している。
Next, the
第1繰出ロール21および第2繰出ロール22の下流側に、第1繰出ロール21から繰り出されたフレキシブル基板11と、第2繰出ロール22から繰り出された剥離フィルム12をラミネートするラミネート部23が設けられている。このラミネート部23において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12が粘着層13を介して貼り合わされ、フレキシブル基板積層体10が作製される。また、ラミネート部23は、一対の押圧ローラ23aからなっており、一対の押圧ローラ23a間の圧力を調整することにより、フレキシブル基板11と剥離フィルム12をラミネートする際のラミネート圧力を調整することができるようになっている。
A laminating
ラミネート部23の下流側には、フレキシブル基板積層体10をロール状に巻き取る巻取ロール24が設けられている。この巻取ロール24は、フレキシブル基板積層体10を搬送する駆動部としての機能を有している。
A take-
また、図3に示す貼合装置20においては、第1繰出ロール21および第2繰出ロール22に搬送方向とは反対側にトルクを負荷して、このトルクを調整することにより、搬送されているフレキシブル基板11および剥離フィルム12に負荷される張力をそれぞれ調整可能になっている。
Moreover, in the
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用、すなわち本実施の形態によるフレキシブル基板と剥離フィルムとを貼り合せる方法(フレキシブル基板積層体の製造方法)について説明する。 Next, the effect | action of this Embodiment which consists of such a structure, ie, the method (the manufacturing method of a flexible substrate laminated body) of bonding the flexible substrate and peeling film by this Embodiment is demonstrated.
まず、フレキシブル基板11に、画素パターン15とマーク16とを有する複数のパターン14(図1および図2参照)が形成される。
First, a plurality of patterns 14 (see FIGS. 1 and 2) having
その後、パターン14が半径方向外側に配置されるようにフレキシブル基板11がロール状に巻き付けられて、第1繰出ロール21(図3参照)に取り付けられる。
Thereafter, the
一方、剥離フィルム12の剥離処理が施された面に粘着層13が設けられ、当該粘着層13が半径方向外側に配置されるように剥離フィルム12がロール状に巻き付けられて、第2繰出ロール22に取り付けられる。
On the other hand, the
次に、巻取ロール24が駆動され、フレキシブル基板11と剥離フィルム12が貼り合わされて(図4(a)参照)、フレキシブル基板積層体10が作製される(図4(b)参照)。
Next, the winding
この場合、まず、第1繰出ロール21からフレキシブル基板11が繰り出されると共に、第2繰出ロール22から剥離フィルム12が繰り出される。続いて、繰り出されたフレキシブル基板11および剥離フィルム12が、ラミネート部23において、粘着層13を介して、互いに貼り合わされる。ラミネート部23では、フレキシブル基板11に形成されたパターン14と、剥離フィルム12に設けられた粘着層13とが、互いに向かい合うように(図4(a)参照)、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とが貼り合わされる。
In this case, first, the
フレキシブル基板11および剥離フィルム12が搬送されている間、フレキシブル基板11に負荷される単位断面積当たりの張力と、剥離フィルム12に負荷される単位断面積当たりの張力が、それぞれ小さく、かつ同程度の値となることが好ましい。例えば、各単位断面積当たりの張力は、0.026N/mm2以上4000N/mm2以下であることが好ましい。このことにより、貼り合せ時にフレキシブル基板11と剥離フィルム12にしわが形成されることを防止すると共にフレキシブル基板11の変形と剥離フィルム12の変形を抑制することができる。ここで、フレキシブル基板11に負荷される単位断面積当たりの張力(応力)は、搬送されているフレキシブル基板11に負荷される張力を、フレキシブル基板の断面積(幅×厚さ)で割ることにより求められ、剥離フィルム12に負荷される単位断面積当たりの張力(応力)は、搬送されている剥離フィルム12に負荷される張力を、剥離フィルム12の断面積(幅×厚さ)で割ることにより求められる。
While the
各単位断面積当たりの張力の差は、一対のフレキシブル基板11、12が同一のヤング率を有する場合には、±0.01%以内であることが好ましい。このことにより、フレキシブル基板11の変形量と剥離フィルム12の変形量を同程度にすることができる。なお、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とで材料が異なる場合には、上述した単位断面積当たりの張力から、それぞれの材料のヤング率を用いて張力によるひずみを算出して、フレキシブル基板11の張力によるひずみと剥離フィルム12の張力によるひずみが同程度(例えば、張力によるひずみの差が±0.01%以内)となるように張力を設定すれば良い。
The difference in tension per unit cross-sectional area is preferably within ± 0.01% when the pair of
また、この間、フレキシブル基板11と剥離フィルム12をラミネートする際のラミネート圧力は、低くすることが好ましく、例えば、0MPa以上1MPa以下とすることが好ましい。このことにより、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを確実に貼り合せると共に、フレキシブル基板11の変形と剥離フィルム12の変形を抑制することができる。
Further, during this time, the laminating pressure when laminating the
このようにして、図1に示すような、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とが粘着層13によって貼り合わされたフレキシブル基板積層体10が得られる。このフレキシブル基板積層体10において、フレキシブル基板11のうち各パターン14が形成された部分において貼り合せにより生じたひずみを、少なくとも±0.01%以内とすることができると共に、フレキシブル基板11のうち一のパターン14が形成された部分において貼り合せにより生じたひずみと、他のパターン14が形成された部分において貼り合せにより生じたひずみとの差を、少なくとも±0.01%以内とすることができる。このため、フレキシブル基板11および剥離フィルム12にそれぞれ負荷される単位断面積当たりの張力と、フレキシブル基板11と剥離フィルム12との間のラミネート圧力とを調整することにより、パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。
Thus, the flexible substrate laminated
その後、フレキシブル基板積層体10は、巻取ロール24に巻き取られ、ロール状に形成される。
Thereafter, the
このようにして得られたフレキシブル基板積層体10において、この後、剥離フィルム12が粘着層13から剥離されて(図4(c)参照)、フレキシブル基板11に形成されたパターン14に、他のパターン(例えば、TFT、画像表示素子など)が形成されたマーク付き対向基板30が接合される(図4(d)参照)。
In the
ここで、フレキシブル基板11において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひずみを確認する方法について説明する。このようなひずみは、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せる前後において、フレキシブル基板11のパターン14の寸法を測定することにより得られる。パターン14の寸法として、マーク16間の寸法を用いる場合には、例えば、フレキシブル基板11の幅方向のマーク16間のA寸法と、長手方向のマーク16間のB寸法とを測定すれば良い(図2参照)。なお、寸法の測定には、一般に測長機を用いることが好ましい。とりわけ、マイクロメートル単位まで寸法を測定することができる精密な測長機がより好ましい。例えば、SOKKIA製の超精密自動2次元座標測定機や、ニコンインストルメンツカンパニー製のCNC画像測定システムなどを使用することができる。
Here, in the
貼り合せ前の各パターン14のマーク16間のA寸法およびB寸法と、貼り合せ後の当該A寸法およびB寸法とを用いて、各寸法の差を求め、フレキシブル基板11のうち各パターン14が形成された部分の貼り合せにより生じたひずみを確認することができる。また、貼り合せ後(剥離フィルム12を剥離する前)の各パターン14のマーク16間のA寸法およびB寸法と、剥離フィルム12を剥離した後の当該A寸法およびB寸法とを用いることにより、剥離前後におけるパターン14の寸法の差を求めることもできる。
Using the A dimension and B dimension between the
パターン14の寸法として、マーク16間のA寸法およびB寸法を測定することに限られることはなく、画素パターン15の寸法を測定しても良い。この場合、画素パターン15の幅方向の寸法と、長手方向の寸法とを測定すれば良い。あるいは、幅方向に連続した所定数の赤色画素15a、緑色画素15b、および青色画素15cの集合体の寸法と、長手方向に連続した所定数の赤色画素15a、緑色画素15b、および青色画素15cの集合体の寸法を測定しても良い。
The dimension of the
また、図1に示すフレキシブル基板積層体10が作製された後(すなわち、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とが貼り合わされた後)に、フレキシブル基板11上のパターン14の貼り合せ前の寸法を求める方法について説明する。
Further, after the
この場合、まず、フレキシブル基板積層体10をアセトンなどの有機溶剤に十分に浸す。続いて、フレキシブル基板11から剥離フィルム12と粘着層13とが、フレキシブル基板11に大きな張力が負荷されないように剥離される。このことにより、剥離フィルム12の応力によるパターン14への影響を取り除くと共に、フレキシブル基板11が変形することを防止しながら、剥離フィルム12をフレキシブル基板11から剥離することができる。
In this case, first, the
なお、剥離フィルム12による応力の影響を取り除くための別の方法として、剥離フィルム12をフレキシブル基板11から剥離することなく、剥離フィルム12のみを、例えば10mm間隔で格子状にハーフカットしても良い。
As another method for removing the influence of the stress caused by the
次に、フレキシブル基板11が、剥離フィルム12を剥離する前にマーク16間の寸法を測定した際の雰囲気と同じ温湿度の雰囲気に曝され、フレキシブル基板11から溶剤が蒸発して平衡状態となるまで放置される。このことにより、剥離されたフレキシブル基板11の温度および吸水率を、剥離前のフレキシブル基板11の温度および吸水率と等しくすることができる。このため、周囲環境の変化による寸法変化の要因を取り除くことができる。
Next, the
その後、このフレキシブル基板11上の各パターン14のマーク16間のA寸法およびB寸法が測定される。このようにして得られたマーク16間のA寸法およびB寸法は、剥離フィルム12を貼り合わせる前のA寸法およびB寸法に相当する。このことにより、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合わせた後であっても、貼り合わせる前のA寸法およびB寸法を得ることができる。このため、このようにして得られた貼り合せ前のパターン14のマーク16間のA寸法およびB寸法と、貼り合せ後のA寸法およびB寸法とにより、貼り合せ前後における各寸法の差をそれぞれ求めて、フレキシブル基板11のうちパターン14が形成された部分のひずみを確認することができる。
Thereafter, the A dimension and the B dimension between the
このように本実施の形態によれば、フレキシブル基板11のうちパターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひすみは、少なくとも±0.01%以内となっている。このことにより、フレキシブル基板11のパターン14が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、剥離フィルム12を粘着層13から剥離する前のパターン14の寸法と、剥離した後のパターン14の寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルム12を剥離する前後でパターン14の寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板11に形成されたパターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン14が形成されたマーク付き対向基板30と、容易に、かつ精度良く、パターン14を位置合わせすることができる。
As described above, according to the present embodiment, at the portion of the
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板11のうち一のパターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン14が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルム12の剥離前後で各パターン14の寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板11に形成された各パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板30と、容易に、かつ精度良く、各パターン14を位置合わせすることができ、精度良いパターン14を、量産することができる。
Moreover, according to this Embodiment, the distortion produced by bonding the
さらに、本実施の形態によれば、貼り合せ前に粘着層13が剥離フィルム12に設けられることにより、例えば、後述するように、貼り合せ前のフレキシブル基板11に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層40(図6および図7参照)、反射防止層41、42、若しくはレンズシート(図示せず)が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
Furthermore, according to the present embodiment, the
なお、本実施の形態においては、粘着層13が、貼り合せ前に、剥離フィルム12に設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、粘着層13を、貼り合せ前に、剥離フィルム12に設けることなく、フレキシブル基板11に形成されたパターン14上に設けるようにしても良い。
In addition, in this Embodiment, the
この場合、粘着層13を半径方向外側に配置させるように、フレキシブル基板11がロール状に巻き付けられた第1繰出ロール21(図3参照)を準備する。また、剥離フィルム12がロール状に巻き付けられた第2繰出ロール22を準備する。このこと以外は、上述した実施の形態と同様にして、フレキシブル基板11と剥離フィルム12が、粘着層13を介して貼り合わされて(図5(a)参照)、剥離フィルム12が粘着層13に剥離自在に付着された図1に示すフレキシブル基板積層体10を作製することができる(図5(b)参照)。その後、剥離フィルム12が粘着層13から剥離されて(図5(c)参照)、フレキシブル基板11に形成されたパターン14に、他のパターン(例えば、TFT、画像表示素子など)が形成されたマーク付き対向基板30が接合される(図5(d)参照)。
In this case, the 1st delivery roll 21 (refer FIG. 3) by which the
また、本実施の形態においては、フレキシブル基板11にパターン14のみが設けられている例について説明した。しかしながらこのことに限られることはなく、図6に示すように、フレキシブル基板11のパターン14とは反対側の面に、各種機能層が設けられるようにしても良い。
Moreover, in this Embodiment, the example in which only the
このようなフレキシブル基板積層体10としては、例えば、図6(a)に示すように、フレキシブル基板11に、第2の粘着層45、第2のフレキシブル基板46、酸素が透過することを抑制するバリア層40が順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板11と剥離フィルム12との貼り合せ、フレキシブル基板11と第2のフレキシブル基板46との貼り合せの順序は限定されるものではない。また、バリア層40が予め設けられた第2のフレキシブル基板46に、フレキシブル基板11を貼り合せるようにしても良く、フレキシブル基板11と第2のフレキシブル基板46が第2の粘着層45によって貼り合わされた後にバリア層40を設けるようにしても良く、バリア層40は、任意のタイミングで、第2のフレキシブル基板46に形成することができる。このようにして、図6(a)に示すフレキシブル基板積層体10を作製することができる。このことにより、バリア層40を有するフレキシブル基板積層体10であっても、パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。
As such a flexible substrate laminated
また、例えば、図6(b)、(c)に示すように、フレキシブル基板11に、第2の粘着層45、第2のフレキシブル基板46、画面のちらつきを抑制する反射防止層(AG(アンチグレア)層41、またはAR(アンチリフレクション)層42)が順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板11と剥離フィルム12との貼り合せ、フレキシブル基板11と第2のフレキシブル基板46との貼り合せの順序は限定されるものではない。また、反射防止層41、42が予め設けられた第2のフレキシブル基板46に、フレキシブル基板11を貼り合せるようにしても良く、フレキシブル基板11と第2のフレキシブル基板46が第2の粘着層45によって貼り合わされた後に反射防止層41、42を設けるようにしても良く、反射防止層41、42は、任意のタイミングで、第2のフレキシブル基板46に形成することができる。このようにして、図6(b)、(c)に示すフレキシブル基板積層体10を作製することができる。このことにより、反射防止層41、42を有するフレキシブル基板積層体10であっても、パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。
Further, for example, as shown in FIGS. 6B and 6C, the
さらに、例えば、図6(d)に示すように、フレキシブル基板11に、第2の粘着層45、第2のフレキシブル基板46、ディスプレイに傷が付くことを防止するハードコート層43が順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板11と剥離フィルム12との貼り合せ、フレキシブル基板11と第2のフレキシブル基板46との貼り合せの順序は限定されるものではない。また、ハードコート層43が予め設けられた第2のフレキシブル基板46に、フレキシブル基板11を貼り合せるようにしても良く、フレキシブル基板11と第2のフレキシブル基板46が第2の粘着層45によって貼り合わされた後にハードコート層43を設けるようにしても良く、ハードコート層43は、任意のタイミングで、第2のフレキシブル基板46に形成することができる。このようにして、図6(d)に示すフレキシブル基板積層体10を作製することができる。このことにより、ハードコート層43を有するフレキシブル基板積層体10であっても、パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。
Furthermore, for example, as shown in FIG. 6D, the
また、フレキシブル基板積層体10は、図7に示すように、2つの機能層を有していても良い。
Moreover, the flexible substrate laminated
このようなフレキシブル基板積層体10としては、例えば、図7(a)に示すように、フレキシブル基板11に、第2の粘着層45、第2のフレキシブル基板46、バリア層40、第3の粘着層47、第3のフレキシブル基板48、ハードコート層43が、順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板11と剥離フィルム12との貼り合せ、フレキシブル基板11と第2のフレキシブル基板46との貼り合せ、第2のフレキシブル基板46と第3のフレキシブル基板48との貼り合せの順序は限定されるものではなく、また、図6に示すフレキシブル基板積層体10と同様に、バリア層40およびハードコート層43は、任意のタイミングで、第2のフレキシブル基板46および第3のフレキシブル基板48にそれぞれ形成することができる。このようにして、図7(a)に示すフレキシブル基板積層体10を作製することができる。このことにより、バリア層40とハードコート層43とを有するフレキシブル基板積層体10であっても、パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。
As such a
また、例えば、図7(b)、(c)に示すように、フレキシブル基板11に、第2の粘着層45、第2のフレキシブル基板46、バリア層40、第3の粘着層47、第3のフレキシブル基板48、反射防止層(AG層41またはAR層42)が、順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板11と剥離フィルム12との貼り合せ、フレキシブル基板11と第2のフレキシブル基板46との貼り合せ、第2のフレキシブル基板46と第3のフレキシブル基板48との貼り合せの順序は限定されるものではなく、また、図6に示すフレキシブル基板積層体10と同様に、バリア層40および反射防止層41、42は、任意のタイミングで、第2のフレキシブル基板46および第3のフレキシブル基板48にそれぞれ形成することができる。このようにして、図7(b)、(c)に示すフレキシブル基板積層体10を作製することができる。このことにより、バリア層40と反射防止層41、42とを有するフレキシブル基板積層体10であっても、パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。
Further, for example, as shown in FIGS. 7B and 7C, the
なお、上述した各種機能層が設けられる例においては、パターン14と粘着層13とが互いに向き合うように構成されている例について述べたが、このことに限られることはなく、パターン14が、フレキシブル基板11の粘着層13とは反対側の面に形成された場合(後述する図8参照)においても、パターン14上に、同様にして上述のような各種機能層を設けることができる。
In the example in which the various functional layers are provided, the example in which the
第2の実施の形態
次に、図8および図9により、本発明の第2の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体について説明する。
Second Embodiment Next, a flexible substrate laminate in a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
図8および図9に示す第2の実施の形態においては、パターンが、フレキシブル基板の粘着層とは反対側の面に形成されている点が主に異なり、他の構成は、図1乃至図7に示す第1の実施の形態と略同一である。なお、図8および図9において、図1乃至図7に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 The second embodiment shown in FIGS. 8 and 9 is mainly different in that the pattern is formed on the surface of the flexible substrate on the side opposite to the adhesive layer. This is substantially the same as the first embodiment shown in FIG. 8 and FIG. 9, the same parts as those of the first embodiment shown in FIG. 1 to FIG.
図8に示すフレキシブル基板積層体50においては、パターン14は、フレキシブル基板11の粘着層13とは反対側の面に形成されている。すなわち、粘着層13は、フレキシブル基板11に直接粘着されている。
In the
このようなフレキシブル基板積層体50を作製する場合、フレキシブル基板11が、パターン14を半径方向内側に配置させるように、ロール状に巻き付けられた第1繰出ロール21(図3参照)を準備する。このこと以外は、第1の実施の形態と同様にして、フレキシブル基板11と剥離フィルム12が、粘着層13を介して貼り合わされて(図9(a)参照)、図8に示すフレキシブル基板積層体50が作製される(図9(b)参照)。
When producing such a flexible substrate laminated
作製されたフレキシブル基板積層体50において、この後、剥離フィルム12が粘着層13から剥離されて(図9(c)参照)、フレキシブル基板11のパターン14とは反対側の面に、他のパターン(例えば、TFT、画像表示素子など)が形成されたマーク付き対向基板30が接合される(図9(d)参照)。
In the manufactured
このように本実施の形態によれば、フレキシブル基板11のうちパターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひすみは、少なくとも±0.01%以内となっている。このことにより、フレキシブル基板11のパターン14が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、剥離フィルム12を粘着層13から剥離する前のパターン14の寸法と、剥離した後のパターン14の寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルム12を剥離する前後でパターン14の寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板11に形成されたパターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン14が形成されたマーク付き対向基板30と、容易に、かつ精度良く、パターン14を位置合わせすることができる。
As described above, according to the present embodiment, at the portion of the
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板11のうち一のパターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン14が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルム12の剥離前後で各パターン14の寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板11に形成された各パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板30と、容易に、かつ精度良く、各パターン14を位置合わせすることができ、精度良いパターン14を、量産することができる。
Moreover, according to this Embodiment, the distortion produced by bonding the
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板積層体10の最表面に、カラーフィルター用の画素パターン15が配置されるため、LCDパネルを組み立てる際、液晶層に画素パターン15を接近させることができ、視差の問題を回避することができる。
Further, according to the present embodiment, since the color
さらに、本実施の形態によれば、貼り合せ前に粘着層13が剥離フィルム12に設けられることにより、例えば、貼り合せ前のフレキシブル基板11に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層40(図6および図7参照)、反射防止層41、42、若しくはレンズシート(図示せず)が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
Furthermore, according to the present embodiment, by providing the
なお、本実施の形態においては、粘着層13が、貼り合せ前に、剥離フィルム12に設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、粘着層13を、貼り合せ前に、剥離フィルム12に設けることなく、フレキシブル基板11のパターン14とは反対側の面に設けても良い。
In addition, in this Embodiment, the
この場合、粘着層13を半径方向外側に配置させるように、フレキシブル基板11がロール状に巻き付けられた第1繰出ロール21(図3参照)を準備する。また、剥離フィルム12がロール状に巻き付けられた第2繰出ロール22を準備する。このこと以外は、第1の実施の形態と同様にして、フレキシブル基板11と剥離フィルム12が、粘着層13を介して貼り合わされて(図10(a)参照)、剥離フィルム12が粘着層13に剥離自在に付着された図8に示すフレキシブル基板積層体50を作製することができる(図10(b)参照)。その後、剥離フィルム12が粘着層13から剥離されて(図10(c)参照)、フレキシブル基板11のパターン14とは反対側の面に、他のパターン(例えば、TFT、画像表示素子など)が形成されたマーク付き対向基板30が接合される(図10(d)参照)。
In this case, the 1st delivery roll 21 (refer FIG. 3) by which the
第3の実施の形態
次に、図11により、本発明の第3の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体について説明する。
Third Embodiment Next, a flexible substrate laminate in a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
図11に示す第3の実施の形態においては、粘着層が、フレキシブル基板に対して剥離自在になっている点が主に異なり、他の構成は、図1乃至図7に示す第1の実施の形態と略同一である。なお、図11において、図1乃至図7に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 The third embodiment shown in FIG. 11 is mainly different from the first embodiment shown in FIGS. 1 to 7 in that the adhesive layer is detachable from the flexible substrate. The form is substantially the same. In FIG. 11, the same parts as those of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 7 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
図11(b)に示すように、本実施の形態におけるフレキシブル基板積層体60において、粘着層13は、フレキシブル基板11に対して剥離自在になっている。すなわち、粘着層13は、フレキシブル基板11のパターン14側の面に設けられ、パターン14に直接粘着されると共に、パターン14に対して剥離自在になっている。このようにして、剥離フィルム12は、粘着層13と共に、フレキシブル基板11から剥離可能に構成され、パターン14が形成されたフレキシブル基板11を保護する保護フィルムを構成している。
As shown in FIG. 11B, in the
ところで、剥離フィルム12を、粘着層13と共に、フレキシブル基板11から剥離した場合、フレキシブル基板11から、剥離フィルム12による応力の影響が取り除かれる。このことから、剥離フィルム12が剥離された後のフレキシブル基板11の変形の状態は、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せる前の状態に戻る。このため、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とが貼り合わされている状態でのフレキシブル基板11に形成されたパターン14の寸法と、剥離フィルム12を粘着層13と共にフレキシブル基板11から剥離した後のパターン14の寸法との差は、±0.01%以内、好ましくは、±0.005%以内になる。このことにより、各パターン14の寸法精度を向上させて、カラーフィルターとしての表示画像の精度を向上させることができる。
By the way, when the peeling
このようなフレキシブル基板積層体60は、第1の実施の形態と同様にして作製することができる。まず、パターン14を半径方向外側に配置させるように、フレキシブル基板11がロール状に巻き付けられた第1繰出ロール21(図3参照)を準備する。また、粘着層13を半径方向外側に配置させるように、剥離フィルム12がロール状に巻き付けられた第2繰出ロール22を準備する。
Such a
次に、巻取ロール24が駆動され、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とが貼り合わされて(図11(a)参照)、粘着層13がフレキシブル基板11に剥離自在に粘着されたフレキシブル基板積層体60が作製される(図11(b)参照)。
Next, the winding
このようにして作製されたフレキシブル基板積層体60において、剥離フィルム12が、粘着層13と共に、フレキシブル基板11から剥離されて(図11(c)参照)、フレキシブル基板11に形成されたパターン14に、他のパターン(例えば、TFT、画像表示素子など)が形成されたマーク付き対向基板30が接合される(図11(d)参照)。
In the
このように本実施の形態によれば、フレキシブル基板11のうちパターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひすみは、少なくとも±0.01%以内となっている。このことにより、フレキシブル基板11のパターン14が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、剥離フィルム12を粘着層13と共に、フレキシブル基板11から剥離する前のパターン14の寸法と、剥離した後のパターン14の寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルム12を剥離する前後でパターン14の寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板11に形成されたパターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン14が形成されたマーク付き対向基板30と、容易に、かつ精度良く、パターン14を位置合わせすることができる。
As described above, according to the present embodiment, at the portion of the
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板11のうち一のパターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン14が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルム12の剥離前後で各パターン14の寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板11に形成された各パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板30と、容易に、かつ精度良く、各パターン14を位置合わせすることができ、精度良いパターン14を、量産することができる。
Moreover, according to this Embodiment, the distortion produced by bonding the
また、本実施の形態によれば、剥離フィルム12と粘着層13とにより、パターン14が形成されたフレキシブル基板11を保護する保護フィルムが構成されている。このため、剥離フィルム12の剥離前後でパターン14の寸法が変化することを抑制しながら、フレキシブル基板11およびパターン14を保護することができる。
Moreover, according to this Embodiment, the protective film which protects the
さらに、本実施の形態によれば、貼り合せ前に粘着層13が剥離フィルム12に設けられることにより、例えば、貼り合せ前のフレキシブル基板11に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層40(図6および図7参照)、反射防止層41、42、若しくはレンズシート(図示せず)が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
Furthermore, according to the present embodiment, by providing the
第4の実施の形態
次に、図12により、本発明の第4の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体について説明する。
Fourth Embodiment Next, a flexible substrate laminate according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
図12に示す第4の実施の形態においては、粘着層が、フレキシブル基板に対して剥離自在になっていると共に、フレキシブル基板のパターンとは反対側の面に設けられている点が主に異なり、他の構成は、図1乃至図7に示す第1の実施の形態と略同一である。なお、図12において、図1乃至図7に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 The fourth embodiment shown in FIG. 12 is mainly different in that the adhesive layer is detachable from the flexible substrate and is provided on the surface opposite to the pattern of the flexible substrate. Other configurations are substantially the same as those of the first embodiment shown in FIGS. In FIG. 12, the same parts as those of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 7 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
図12(b)に示すように、本実施の形態におけるフレキシブル基板積層体70において、粘着層13は、フレキシブル基板11に対して剥離自在になっている。すなわち、粘着層13は、フレキシブル基板11のパターン14とは反対側の面に設けられ、フレキシブル基板11に直接粘着されると共に、フレキシブル基板11に対して剥離自在になっている。このようにして、剥離フィルム12は、粘着層13と共に、フレキシブル基板11から剥離可能に構成され、パターン14が形成されたフレキシブル基板11を保護する保護フィルムを構成している。
As shown in FIG. 12B, in the
ところで、剥離フィルム12を、粘着層13と共に、フレキシブル基板11から剥離した場合、フレキシブル基板11から、剥離フィルム12による応力の影響が取り除かれる。このことから、剥離フィルム12が剥離された後のフレキシブル基板11の変形の状態は、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せる前の状態に戻る。このため、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とが貼り合わされている状態でのフレキシブル基板11に形成されたパターン14の寸法と、剥離フィルム12を粘着層13と共にフレキシブル基板11から剥離した後のパターン14の寸法との差は、±0.01%以内、好ましくは、±0.005%以内になる。このことにより、各パターン14の寸法精度を向上させて、カラーフィルターとしての表示画像の精度を向上させることができる。
By the way, when the peeling
このようなフレキシブル基板積層体70は、第1の実施の形態と同様にして作製することができる。まず、パターン14を半径方向内側に配置させるように、フレキシブル基板11がロール上に巻き付けられた第1繰出ロール21(図3参照)を準備する。また、粘着層13を半径方向外側に配置させるように、剥離フィルム12がロール状に巻き付けられた第2繰出ロール22を準備する。
Such a
次に、巻取ロール24が駆動され、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とが貼り合わされて(図12(a)参照)、粘着層13がフレキシブル基板11に剥離自在に粘着されたフレキシブル基板積層体70が作製される(図12(b)参照)。
Next, the winding
このようにして作製されたフレキシブル基板積層体70において、剥離フィルム12が、粘着層13と共に、フレキシブル基板11から剥離されて(図12(c)参照)、フレキシブル基板11に形成されたパターン14に、他のパターン(例えば、TFT、画像表示素子など)が形成されたマーク付き対向基板30が接合される(図12(d)参照)。
In the
このように本実施の形態によれば、フレキシブル基板11のうちパターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひすみは、少なくとも±0.01%以内となっている。このことにより、フレキシブル基板11のパターン14が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、剥離フィルム12を粘着層13と共に、フレキシブル基板11から剥離する前のパターン14の寸法と、剥離した後のパターン14の寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルム12を剥離する前後でパターン14の寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板11に形成されたパターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン14が形成されたマーク付き対向基板30と、容易に、かつ精度良く、パターン14を位置合わせすることができる。
As described above, according to the present embodiment, at the portion of the
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板11のうち一のパターン14が形成された部分において、フレキシブル基板11と剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン14が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルム12の剥離前後で各パターン14の寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板11に形成された各パターン14の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板30と、容易に、かつ精度良く、各パターン14を位置合わせすることができ、精度良いパターン14を、量産することができる。
Moreover, according to this Embodiment, the distortion produced by bonding the
また、本実施の形態によれば、剥離フィルム12と粘着層13とにより、パターン14が形成されたフレキシブル基板11を保護する保護フィルムが構成されている。このため、剥離フィルム12の剥離前後でパターン14の寸法が変化することを抑制しながら、カラーフィルターの観察者側となるフレキシブル基板11の表面(図12における下面)に傷等が形成されることを防止して、フレキシブル基板11を保護することができる。
Moreover, according to this Embodiment, the protective film which protects the
さらに、本実施の形態によれば、貼り合せ前に粘着層13が剥離フィルム12に設けられることにより、例えば、貼り合せ前のフレキシブル基板11に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層40(図6および図7参照)、反射防止層41、42、若しくはレンズシート(図示せず)が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
Furthermore, according to the present embodiment, by providing the
以上、本発明による実施の形態について説明してきたが、当然のことながら、本発明の要旨の範囲内で、これらの実施の形態を、部分的に、適宜組み合わせることも可能である。また、これらの本実施の形態においては、本発明の要旨の範囲内で、上述した変形例以外の種々の変形も可能である。 As mentioned above, although embodiment by this invention has been described, naturally, within the scope of the gist of this invention, these embodiment can also be combined suitably partially. Further, in the present embodiment, various modifications other than the above-described modifications are possible within the scope of the present invention.
本発明のフレキシブル基板積層体30において、剥離フィルム12を剥離する前後のパターン14の寸法を測定した。
In the
まず、フレキシブル基板11として、300mm幅×0.125mm厚さ、10m長さのPETフィルム(東洋紡績株式会社製、コスモシャインA4100)を準備し、また、粘着層13が設けられた剥離フィルム12として、270mm幅×0.050mm厚さ、10mの長さの両面粘着フィルム(日東電工株式会社製、CS9621T)を準備した。なお、剥離フィルム12は、PETよりなっている。
First, as a
PETフィルムに、複数の画素パターン15を形成すると共に、寸法測定用のマーク16を、各画素パターン15の四隅に対応する位置に形成した(図2参照)。なお、マーク16間の距離は、212mmとした。ここで、PETフィルムと剥離フィルム12とを貼り合せる前に、上述した方法により、PETフィルム上に形成されたマーク16間の寸法を測定した。
A plurality of
貼合装置20には、株式会社ディー・エヌ・ケー(DNK)製の貼合装置(品名:LM−203−SB)を用いた。
As the
PETフィルムと剥離フィルム12とを貼り合せる際、搬送速度は0.6m/minとし、PETフィルムおよび剥離フィルム12に負荷されるラミネート圧力(実効圧力)は、0.28MPaに設定した。また、各フィルムにおける変形量を小さくすると共に同程度とするために、各フィルムに負荷される張力をそれぞれ調整し、PETフィルムにかかる単位断面積あたりの張力を1.33N/mm2、剥離フィルム12にかかる単位断面積あたりの張力を1.48N/mm2とした。
When the PET film and the
このような条件の下、PETフィルムと剥離フィルム12とを貼り合せ、フレキシブル基板積層体10を作製した。
Under such conditions, the PET film and the
続いて、上述した方法により、マーク16間の寸法を測定した。
Subsequently, the dimension between the
その後、剥離フィルム12を粘着フィルムから剥離し、剥離した後のマーク16間の寸法を測定した。
Then, the peeling
このようにして得られた、貼り合せ前後のマーク16間の寸法の差が、±0.003%以内(例えば、100mmの基準寸法に対するずれ量が±3μm)であることが確認できた。すなわち、PETフィルムのうちパターン14が形成された部分において、PETフィルムと剥離フィルム12とを貼り合せることにより生じたひずみが、±0.003%以内であることが確認できた。また、剥離前後のマーク16間の寸法の差が、±0.003%(例えば、100mmの基準寸法に対するずれ量が±3μm)以内であることが確認できた。また、各パターン14の寸法の差が、±0.003%以内であることが確認できた。すなわち、PETフィルムのうち一のパターン14が形成された部分において、PETフィルムと剥離フィルム12とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン14が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差が、±0.003%以内であることが確認できた。
It was confirmed that the dimensional difference between the
さらに、得られたフレキシブル基板積層体10の各パターン14を、マーク付きの他の対向基板30と重ね合わせたところ、マーク同士を、容易に、かつ精度良く、位置合わせすることができた。
Furthermore, when each
10 フレキシブル基板積層体
11 フレキシブル基板
12 剥離フィルム
13 粘着層
14 パターン
15 画素パターン
15a 赤色画素
15b 緑色画素
15c 青色画素
16 マーク
20 貼合装置
21 第1繰出ロール
22 第2繰出ロール
23 ラミネート部
23a 押圧ローラ
24 巻取ロール
30 対向基板
40 バリア層
41 AG層
42 AR層
43 ハードコート層
45 第2の粘着層
46 第2のフレキシブル基板
47 第3の粘着層
48 第3のフレキシブル基板
50、60、70 フレキシブル基板積層体
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記フレキシブル基板に粘着層を介して貼り合わされ、前記フレキシブル基板に対して剥離自在な剥離フィルムと、を備え、
前記フレキシブル基板の一方の面に部分的に、パターンが形成されており、
前記フレキシブル基板に負荷される張力とそのヤング率とから算出されるひずみと、前記剥離フィルムに負荷される張力とそのヤング率とから算出されるひずみとの差が±0.01%以内となるように前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムは貼り合わされており、
前記フレキシブル基板のうち前記パターンが形成された部分において、前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみが、±0.01%以内であることを特徴とするフレキシブル基板積層体。 A flexible substrate;
Affixed to the flexible substrate via an adhesive layer, and a release film that can be peeled off from the flexible substrate,
A pattern is partially formed on one surface of the flexible substrate,
The difference between the strain calculated from the tension applied to the flexible substrate and its Young's modulus and the strain calculated from the tension applied to the release film and its Young's modulus is within ± 0.01%. So that the flexible substrate and the release film are bonded together,
The flexible substrate laminate, wherein a strain generated by bonding the flexible substrate and the release film in a portion where the pattern is formed in the flexible substrate is within ± 0.01%. .
前記フレキシブル基板のうち一の前記パターンが形成された部分において、前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみと、他の前記パターンが形成された部分において、当該貼り合せにより生じたひずみとの差が、±0.01%以内であることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブル基板積層体。 A plurality of the patterns are formed partially on the one surface of the flexible substrate,
In the portion where the one pattern of the flexible substrate is formed, the strain caused by bonding the flexible substrate and the release film, and in the portion where the other pattern is formed, by the bonding The flexible substrate laminate according to claim 1, wherein a difference from the generated strain is within ± 0.01%.
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