JP5675472B2 - クリーニングシート、クリーニング部材、クリーニング方法、および、導通検査装置 - Google Patents
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Description
本発明のクリーニングシートは、
導通検査用プローブカードのプローブ針に付着した異物を除去するためのクリーニング層を有するクリーニングシートであって、
該クリーニング層がガラス転移点Tgを有するポリマー成分を含む。
本発明のクリーニング部材は、本発明のクリーニングシートが搬送部材上に設けられている。
本発明の導通検査装置のクリーニング方法は、本発明のクリーニング部材を、導通検査用プローブカードを備える導通検査装置内に搬送して、該導通検査用プローブカードのプローブ針に付着した異物を除去する。
本発明の導通検査装置のクリーニング方法は、
クリーニング層を有するクリーニングシートを用いて導通検査用プローブカードのプローブ針に付着した異物を除去する、導通検査装置のクリーニング方法であって、
該クリーニング層がガラス転移点Tgを有するポリマー成分を含み、
該Tgが−80℃〜250℃であり、
該プローブ針を該クリーニング層に突き刺す工程(I)と、該クリーニング層から該プローブ針を抜き取る工程(II)とを含み、
該工程(I)は、プローバーのチャックテーブル温度がTg〜250℃の温度領域であって且つ該クリーニング層の引張貯蔵弾性率が1.0×104Pa以上5.0×106Pa未満の領域で行い、
該工程(II)は、プローバーのチャックテーブル温度が−80℃〜Tgの温度領域であって且つ該クリーニング層の引張貯蔵弾性率が5.0×106Pa以上1.0×1010Pa以下の領域で行う。
本発明の導通検査装置は、本発明のクリーニング方法によってクリーニングされたものである。
本発明のクリーニングシートは、導通検査用プローブカードのプローブ針に付着した異物を除去するためのクリーニング層を有するクリーニングシートである。
本発明のクリーニングシートにおけるクリーニング層は、ガラス転移点Tgを有するポリマー成分を含む。このようなポリマー成分は、該ポリマー成分を該Tgより高い温度から該Tgより低い温度へと変化(冷却)させた場合に、好ましくは、ガラス転移点Tg付近において、該ポリマー成分の引張貯蔵弾性率が急激に上昇する傾向を示す。
本発明のクリーニングシートにおける粘着剤層は、任意の適切な材料によって構成され得る。このような材料としては、例えば、アクリル系粘着剤やゴム系粘着剤など通常の粘着剤が挙げられる。このような材料は、1種のみであっても良いし、2種以上であっても良い。このような材料の中でも、アクリル系粘着剤が好ましく、重量平均分子量が10万以下の成分が10重量%以下であるアクリル系ポリマーを主剤としたアクリル系粘着剤がより好ましい。このようなアクリル系ポリマーは、(メタ)アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これに必要により共重合可能な他のモノマーを加えたモノマー混合物を、重合反応させることにより、合成することができる。
本発明のクリーニングシートにおける支持体は、任意の適切な材料によって構成され得る。このような材料としては、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル(ランダム、交互)共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリフェニルスルフイド、アラミド(紙)、ガラス、ガラスクロス、フッ素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、セルロース系樹脂、シリコーン樹脂、金属(箔)、紙などが挙げられる。このような材料は、1種のみであっても良いし、2種以上であっても良い。
本発明のクリーニングシートにおけるセパレーターは、任意の適切な材料によって構成され得る。このような材料としては、例えば、剥離剤などで剥離処理されたプラスチックフィルムなどが挙げられる。剥離剤としては、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤などが挙げられる。プラスチックフィルムとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン;ポリ塩化ビニル;塩化ビニル共重合体;ポリエチレンテレフタレート;ポリブチレンテレフタレート;ポリウレタン;エチレン酢酸ビニル共重合体;アイオノマー樹脂;エチレン・(メタ)アクリル酸共重合体;エチレン・(メタ)アクリル酸エステル共重合体;ポリスチレン;ポリカーボネート;などが挙げられる。
本発明のクリーニング部材は、本発明のクリーニングシートが搬送部材上に設けられている。図7に示すように、本発明のクリーニング部材7は、クリーニング層2のみからなるクリーニングシート1が搬送部材6上に設けられていても良い。図8に示すように、本発明のクリーニング部材7は、クリーニング層2と粘着剤層3からなるクリーニングシート1が搬送部材6上に設けられていても良い。図9に示すように、本発明のクリーニング部材7は、クリーニング層2と粘着剤層3と支持体4からなるクリーニングシート1が搬送部材6上に設けられていても良い。
本発明の導通検査装置のクリーニング方法は、本発明のクリーニング部材を、導通検査用プローブカードを備える導通検査装置内に搬送して、該導通検査用プローブカードのプローブ針に付着した異物を除去する。
本発明の導通検査装置は、本発明のクリーニング方法によってクリーニングされたものである。すなわち、本発明の導通検査装置は、上記で説明したようなクリーニング方法によって、導通検査装置のプローブカードのプローブ針に付着した異物が効果的に除去されたものである。本発明のクリーニング方法によれば、プローブ針を摩耗させることなくプローブ針に付着した異物を効果的に除去することができるので、近年のチップの精密化に伴って一般的になりつつある数万本のプローブ針を備えるプローブカードを備える導通検査装置について、極めて効果的に該プローブカードのプローブ針に付着した異物を効果的に除去でき、良好な管理や保守が可能となる。
本発明のクリーニングシートは、任意の適切な方法で製造し得る。例えば、クリーニング層を構成する材料を、任意の適切な基板やシート上に塗布して、硬化等によってクリーニング層を形成することによって製造し得る。上記基板としては、例えば、支持体、搬送部材などが挙げられる。上記シートとしては、剥離処理されたシートなどが挙げられる。上記塗布の方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。このような塗布の方法としては、例えば、キャスティング、スピンコーティング、ロールコーティングなどが挙げられる。上記硬化の手段としては、任意の適切な手段を採用し得る。このような硬化の手段としては、自然硬化、活性エネルギー線照射による硬化、熱硬化などが挙げられる。
本発明のクリーニング部材は、任意の適切な方法で製造し得る。例えば、搬送部材上に、本発明のクリーニングシートを、任意の適切な手段によって貼着させることによって製造し得る。また、搬送部材上に、本発明のクリーニングシートを構成する層を順次構築していくことによって製造し得る。
測定対象を幅10mmの短冊状にカッターナイフで切り出し、固体粘弾性測定装置(RSA−III、レオメトリックサイエンティフィック社製)にて、−50〜250℃の引張貯蔵弾性率(E’)を周波数1Hz、昇温速度は5℃/分にて測定した。
さらに、この引張貯蔵弾性率等の測定データより損失正接(tanδ)の極大値温度を求め、該損失正接の極大値温度をガラス転移温度(Tg)として求めた。
プローバーにおいて、プローブカード(プローブ針数20本)をアルミニウム蒸着ウェハに、オーバードライブ量60μmで1万回、連続コンタクトさせた。1万回のコンタクト終了後、プローブカードを、ステージ上に載置したクリーニングシートに、オーバードライブ量50μmで3回コンタクトさせてプローブ針のクリーニングを行った。なお、プローブカードのプローブ針の先端をクリーニングシートに接触させる際には、ステージを移動させて、同じ箇所にコンタクトすることがないようにしてクリーニングを行った。クリーニング終了後、プローブ針の先端をSEMで観察し、針に付着した異物が残存しているか否かを確認した。
さらにまた、SEM観察において、プローブ針の先端にクリーニング層の一部が付着しているか否か、すなわち、クリーニング層がプローブ針に転写しているか否かを確認した。
(クリーニング層溶液A)
アクリル酸エステル系ポリマー(ナガセケムテックス(株)製、商品名:SG−70L、重量平均分子量:900000)100部にポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業製、商品名:コロネートL)1.0部を均一に混合し、クリーニング層溶液Aを得た。
(クリーニング部材A)
クリーニング層溶液Aを、スピンコーターで、乾燥後の厚みが150μmとなるように200mmのシリコンウェハに塗布した後、80℃で15分乾燥させ、クリーニング部材Aを得た。
(クリーニング層A)
クリーニング部材Aのクリーニング層をシリコンウェハから剥離し、クリーニング層Aを得た。
(評価)
クリーニング層AについてTgを測定した。また、クリーニング層Aについてクリーニング評価試験を行った。結果を表1に示した。また、クリーニング層Aについて引張貯蔵弾性率を測定した結果を図11に示す。
(接着剤層溶液B)
温度計、攪拌機、窒素導入管、および還流冷却管を備えた内容量が500mlの3つ口フラスコ型反応器内に、アクリル酸2−エチルへキシル73部、アクリル酸n−ブチル10部、N,N’−ジメチルアクリルアミド15部、アクリル酸5部、重合開始剤として2,2’−アゾビスイソブチロニトリル0.15部、酢酸エチル100部を、全体が200gになるように配合して投入し、窒素ガスを約1時間導入しながら攪拌し、内部の空気を窒素で置換した。その後、内部の温度を58℃にし、この状態で約4時間保持して重合を行い、粘着剤ポリマー溶液を得た。粘着剤ポリマー溶液100部にポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業製、商品名:コロネートL)3.0部を均一に混合し、粘着剤層溶液B(重量平均分子量:800000)を得た。
(クリーニングシートB)
片面がポリプロピレンフィルム(三菱化学製、商品名:MRF25)からなるセパレーターの剥離処理面に、粘着剤層溶液Bを乾燥後の厚みが7μmとなるように塗布し、形成した粘着剤層上に長尺ポリエステルフィルム(三菱化学製、商品名:N100C25)を積層し、さらにそのフィルム上に、実施例1で得られたクリーニング層溶液Aを乾燥後の厚みが150μmとなるように塗布して、その表面に片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長鎖ポリエステルフィルムからなる保護フィルム(三菱化学製、商品名:MRF50)のシリコーン処理面を貼り合せ、クリーニングシートBを得た。クリーニングシートB中のクリーニング層Bは、実施例1で得られたクリーニング層Aと同じである。
(クリーニング部材B)
クリーニングシートBの粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし、200mmシリコンウェハのミラー面にハンドローラーで貼り付けた後、クリーニング層側のセパレーターを剥離し、クリーニング部材Bを作製した。
(評価)
クリーニング層BについてTgを測定した。また、クリーニング層Bについてクリーニング評価試験を行った。結果を表1に示した。また、クリーニング層Bについて引張貯蔵弾性率を測定した結果を図11に示す。
(クリーニング層溶液C)
アクリル酸エステル系ポリマー(ナガセケムテックス(株)製、商品名:SG−600TEA、重量平均分子量:1200000)100部にポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業製、商品名:コロネートL)1.6部を均一に混合し、クリーニング層溶液Cを得た。
(クリーニング部材C)
クリーニング層溶液Cを、ノズルジェットで、乾燥後の厚みが150μmとなるように200mmのシリコンウェハに塗布した後、80℃で15分乾燥させ、クリーニング部材Cを得た。
(クリーニング層C)
クリーニング部材Cのクリーニング層をシリコンウェハから剥離し、クリーニング層Cを得た。
(評価)
クリーニング層CについてTgを測定した。また、クリーニング層Cについてクリーニング評価試験を行った。結果を表1に示した。また、クリーニング層Cについて引張貯蔵弾性率を測定した結果を図12に示す。
(接着剤層溶液B)
実施例2と同様に行い、粘着剤層溶液Bを得た。
(クリーニング部材D)
粘着剤層溶液Bを、スクリーン印刷で、乾燥後の厚みが150μmとなるように200mmのシリコンウェハに塗布した後、80℃で15分乾燥させ、クリーニング部材Dを得た。
(クリーニング層D)
クリーニング部材Dのクリーニング層をシリコンウェハから剥離し、クリーニング層Dを得た。
(評価)
クリーニング層DについてTgを測定した。また、クリーニング層Dについてクリーニング評価試験を行った。結果を表1に示した。また、クリーニング層Dについて引張貯蔵弾性率を測定した結果を図13に示す。
(クリーニング層溶液E)
アクリル酸−2−エチルヘキシル75部、アクリル酸メチル20部、およびアクリル酸5部からなるモノマー混合液から得たアクリルポリマー(重量平均分子量70万)100部に対して、ポリエチレングリコール200ジメタクリレート(新中村化学製、商品名:NKエステル4G)200部、ポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業製、商品名:コロネートL)3部、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール(チバ・スペシャリティケミカルズ製、商品名:イルガキュアー651)3部を均一に混合して、紫外線硬化型のクリーニング層溶液Eを調整した。
(クリーニングシートE)
片面がポリプロピレンフィルム(三菱化学製、商品名:MRF25)からなるセパレーターの剥離処理面に、実施例2で得られた粘着剤層溶液Bを乾燥後の厚みが7μmとなるように塗布し、形成した粘着剤層上に長尺ポリエステルフィルム(三菱化学製、商品名:N100C25)を積層し、さらにそのフィルム上に、クリーニング層溶液Eを乾燥後の厚みが150μmとなるように塗布して、その表面に片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長鎖ポリエステルフィルムからなる保護フィルム(三菱化学製、商品名:MRF50)のシリコーン処理面を貼り合せ、クリーニングシートEを得た。
(クリーニング部材E)
クリーニングシートEの粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし、200mmシリコンウェハのミラー面にハンドローラーで貼り付けた後、中心波長365nmの紫外線を積算光量1000mJ/cm2で照射して、クリーニング層側のセパレーターを剥離し、クリーニング部材Eを作製した。
(クリーニング層E)
片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長鎖ポリエステルフィルムからなる保護フィルム(三菱化学製、商品名:MRF50)の剥離処理面に、クリーニング層溶液Eを乾燥後の厚みが150μmとなるように塗布し、その表面に、片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長鎖ポリエステルフィルムからなる保護フィルム(三菱化学製、商品名:MRF50)の剥離処理面を貼り合せ、クリーニングシートEEを得た。中心波長365nmの紫外線を積算光量1000mJ/cm2で照射した後、クリーニングシートEEから、両面の保護フィルムを剥離し、クリーニング層Eを得た。
(評価)
クリーニング層EについてTgを測定した。また、クリーニング層Eについてクリーニング評価試験を行った。結果を表1に示した。また、クリーニング層Eについて引張貯蔵弾性率を測定した結果を図14に示す。
(クリーニング層溶液F)
付加反応型のシリコーン粘着剤(東レ・ダウ製、商品名:SD−4587L)100部に触媒(東レ・ダウ製、商品名:SRX212CATALYST)1.5部を均一に混合し、クリーニング層溶液Fを得た。
(クリーニング部材F)
クリーニング層溶液Fを、スピンコーターで、乾燥後の厚みが150μmとなるように200mmのシリコンウェハに塗布した後、80℃で15分乾燥させ、クリーニング部材Fを得た。
(クリーニング層F)
クリーニング部材Fのクリーニング層をシリコンウェハから剥離し、クリーニング層Fを得た。
(評価)
クリーニング層FについてTgを測定した。また、クリーニング層Fについてクリーニング評価試験を行った。結果を表1に示した。また、クリーニング層Fについて引張貯蔵弾性率を測定した結果を図15に示す。
2 クリーニング層
3 粘着剤層
4 支持体
5 セパレーター
6 搬送部材
7 クリーニング部材
21 プローブ針
22 プローブ針の最先端部
23 異物
Claims (8)
- 導通検査用プローブカードのプローブ針に付着した異物を除去するためのクリーニング層を有するクリーニングシートであって、
該クリーニング層がガラス転移点Tgを有するポリマー成分を含み、
該クリーニング層が、該Tg以上の温度領域において1.0×10 4 Pa以上5.0×10 6 Pa未満の引張貯蔵弾性率を有し、該Tg未満の温度領域において5.0×10 6 Pa以上1.0×10 10 Pa以下の引張貯蔵弾性率を有する、
クリーニングシート。 - 前記ポリマー成分が、重量平均分子量が50000以上のポリマーである、請求項1に記載のクリーニングシート。
- 支持体の片面に前記クリーニング層を有する、請求項1または2に記載のクリーニングシート。
- 前記支持体の、前記クリーニング層の反対側の面に、粘着剤層を有する、請求項3に記載のクリーニングシート。
- 請求項1から4までのいずれかに記載のクリーニングシートが搬送部材上に設けられている、クリーニング部材。
- 請求項5に記載のクリーニング部材を、導通検査用プローブカードを備える導通検査装置内に搬送して、該導通検査用プローブカードのプローブ針に付着した異物を除去する、導通検査装置のクリーニング方法。
- クリーニング層を有するクリーニングシートを用いて導通検査用プローブカードのプローブ針に付着した異物を除去する、導通検査装置のクリーニング方法であって、
該クリーニング層がガラス転移点Tgを有するポリマー成分を含み、
該Tgが−80℃〜250℃であり、
該プローブ針を該クリーニング層に突き刺す工程(I)と、該クリーニング層から該プローブ針を抜き取る工程(II)とを含み、
該工程(I)は、プローバーのチャックテーブル温度がTg〜250℃の温度領域であって且つ該クリーニング層の引張貯蔵弾性率が1.0×104Pa以上5.0×106Pa未満の領域で行い、
該工程(II)は、プローバーのチャックテーブル温度が−80℃〜Tgの温度領域であって且つ該クリーニング層の引張貯蔵弾性率が5.0×106Pa以上1.0×1010Pa以下の領域で行う、
導通検査装置のクリーニング方法。 - 請求項6または7に記載のクリーニング方法によってクリーニングされた、導通検査装置。
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