JP5671621B2 - 調整機能を最適化した投影露光装置 - Google Patents
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Description
この場合、具体的にはマニピュレータが光学素子に熱を印加するケースでは、以下に述べる効果が認められる。これらのマニピュレータは、レンズの複数の光学素子が加熱されたという事実の結果生じた像収差を修正すべく使用される。一般にかかる場合には、熱が印加される個々の光学素子は、加熱されるこのような光学素子の複数に対して補償をする傾向がある。これには2つの影響がある。
により時点tiにおいて記録される。その結果、マニピュレータの光学的効果を決定するために必要な全てのデータである、離散化の選択のモジュロが得られる。この場合レコードは、第1バリエーションとしてすでに過去である時点tj≦tiにおける全ての温度分布のリストとするか、又は第2バリエーションとして、変化する時点tiのみの状態の記録レコードとする。この場合、tiは単調に増加する時点の有限数列である。
は時間に依存する公式であり、複数の遷移マトリクスを異なる長さの時間周期で使用可能に保つ必要がある場合と比較して、必要とするメモリースペースが少ない。
は、合計1となる指数関数的に減少する配列により確立される。この場合、パラメータβ > 0は光学素子に特有であり、数値的なシミュレーション又は測定により決定可能であり、光学素子の温度計測により校正可能である。
が、前記時点での光学素子における実温度分布を計測することで校正されることを特徴とする方法。
又は定式化11からのパラメータβをレンズに対して確実に適合させる基本校正をレンズに行うことが可能である。この基本校正は、2回以上の温度計測の助力を受けて実行可能である。このような基本校正は、ガラス配合又はミラー基板が異なる場合、又は異なるレンズの異なる光学素子においてコーティング特性が異なる場合などの組み合わせの場合に有利となることが可能である。
Claims (14)
- マイクロリソグラフィ用の投影露光装置の操作方法であって、前記投影露光装置は、
光学素子と、
前記光学素子の温度を変化させること及び前記光学素子への熱の流れを引き起こす偏向を変化させることで光学素子に作用を及ぼすマニピュレータを備え、
前記マニピュレータの効果のヒストリ、特に前記光学素子に導入する温度又は導入する温度に起因する光学的効果をレコードに記録する操作方法において、
ベクトルX=(Xk)の形式で表現される格子により、前記光学素子を個々のセルXkに離散化し、
時点tiにおける前記セルXkの温度は、前記時点tiにおいてベクトル
前記格子がデカルト格子、極格子又は有限要素法により製造された格子であり、
セル
のスタート時点t 0 における温度を含むレコードのスタート値を基本とし、
セル
の時点t i+1 における温度のレコードには以下、
(a)セル
の時点t i の温度と、時点t i から時点t i+1 までの、セル間の熱の流れを表現する第1遷移マトリクス
との積と、
b)セル
の時点t i における温度と、前記マニピュレータに起因する、セルにおける時点t i から時点t i+1 までの温度変化を表現する第2遷移マトリクス
との積の付加的な追加と、
が続くことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記マニピュレータの作用モードが、
オーム熱、
赤外光、
ペルチェ素子に起因する熱又は
特にガス流による流動に起因する熱
に前記光学素子を晒すことに基づくことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
であり、但しd = 0.1又はd = 0.5又はd = 0.01の場合には、
が定められることを特徴とする方法。 - 請求項1〜3の何れか一項に記載の方法であって、
時点tiは
と等距離に位置し、前記第1および第2遷移マトリクスが時間に依存することを特徴とする方法。 - 請求項1〜4の何れか一項に記載の方法であって、
前記マニピュレータにより熱入力される時点
と等距離にあり、レコードは前記マニピュレータによる熱入力の時点
のみで変化することを特徴とする方法。 - マイクロリソグラフィ用の投影露光装置の操作方法であって、前記投影露光装置は、
光学素子と、
前記光学素子の温度を変化させること及び前記光学素子への熱の流れを引き起こす偏向を変化させることで光学素子に作用を及ぼすマニピュレータを備え、
前記マニピュレータの効果のヒストリ、特に前記光学素子に導入する温度又は導入する温度に起因する光学的効果をレコードに記録する操作方法において、
ベクトルX=(X k )の形式で表現される格子により、前記光学素子を個々のセルX k に離散化し、
時点t i における前記セルX k の温度は、前記時点t i においてベクトル
前記マニピュレータによるセルへの熱入力
が時点t i において記録され、
前記熱入力
の前記時点t i における個々の光学的効果
が計算され、
前記熱入力
の時点t n における総計的な光学的効果
が、加重和
により計算され、
重み
が指数関数的に低減する配列を形成し、特にβ > 0に対して、
- 請求項6に記載の方法であって、
但しδ = 0.1又はδ= 0.5又はδ= 0.01に対して定められることを特徴とする方法。 - 請求項1〜7の何れか一項に記載の方法であって、
所定の時点における前記マニピュレータの光学的効果が、前記マニピュレータの効果及び前記マニピュレータの効果に関して記録されたヒストリと共に決定されることを特徴とする方法。 - 請求項8に記載の方法であって、
時点tiにおける、前記マニピュレータの持続時間ti+1 −tiの熱入力の光学的効果が、温度分布間の差
の光学的効果により計算されることを特徴とする方法。 - マイクロリソグラフィ用の投影露光装置の操作方法であって、該方法は、
先行する請求項8又は9に従ってレコードを記録するステップと、
前記投影露光装置の撮像システムの第1像収差を計測するか、シミュレーション化するか又は参照テーブルに従って決定するかするステップと、
熱入力の光学的効果が、像収差を低減するか又は前記第1像収差とは質的に異なる第2像収差に変えるかする場合に、前記マニピュレータが前記光学素子に熱入力を行うステップ、
とを含むことを特徴とする方法。 - 請求項10に記載の方法であって、
前記マニピュレータが前記像収差を、前記第1像収差とは質的に異なる像収差であり、線形性又は忘却型マニピュレータによるこの変更の間に、後に又は同時に低減される像収差へと変えることを特徴とする方法。 - 請求項1〜11の何れか一項に記載の方法であって、
レコードに従って計算された、時点tiにおける前記光学素子への熱入力
が、前記時点での前記光学素子における実温度分布を計測することで校正されることを特徴とする方法。 - 請求項12に記載の方法であって、
前記マニピュレータによる影響を考慮していない前記光学素子において熱を分布させるためのレンズ加熱モデルを考慮した方法で、校正が実施されることを特徴とする方法。 - マイクロリソグラフィ用の投影露光装置であって、
前記投影露光装置はメモリを備え、該メモリには請求項1〜13の何れか一項に記載の熱入力の効果のヒストリが記録されることを特徴とする投影露光装置。
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