JP5666278B2 - Liquid supply device - Google Patents
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Description
本発明は、接着剤等の液体を供給する液体供給装置に関するものである。 The present invention relates to a liquid supply apparatus that supplies a liquid such as an adhesive.
電子部品実装分野においては、基板に電子部品を固着する際に、基板に接着剤としての液体が塗布される。接着剤などの液体がシリンジに封入され、このシリンジにエアを導入することにより、液体がシリンジの吐出口から所定量ずつ基板に供給される(特許文献1、特許文献2)。特許文献1及び特許文献2の液体供給装置は、シリンジへ供給するエアの圧力及びエアの供給時間等を制御するコントローラを備えている。
In the electronic component mounting field, when an electronic component is fixed to a substrate, a liquid as an adhesive is applied to the substrate. A liquid such as an adhesive is sealed in a syringe, and air is introduced into the syringe, whereby the liquid is supplied to the substrate by a predetermined amount from the discharge port of the syringe (
すなわち、図5に示すように、液体Lの吐出口101が設けられたシリンジ100は、配管102(例えば長さ1m、内径3mm)を介してディスペンスコントローラ103に連結されている。ディスペンスコントローラ103は、シリンジ100に負荷するエア圧を適切なものに設定するレギュレータと、開閉弁と、CPU等とが内蔵されている。そして、CPUにてエア圧及び負荷時間を調節して液体Lの押し出し量を制御しつつ、開閉弁を開状態としてシリンジ100にエアを送込む。これにより、シリンジから一定時間、液体Lが定量吐出される。その後、エアの供給終了時にシリンジ内のエアを排気する。
That is, as shown in FIG. 5, the
長さ1m、内径3mmの配管内には、約7ccのエアが存在することになる。また、LEDチップ等の小さなワークをマウントする場合は、約7ccの液体が内封されるような小さなシリンジ100を使用する場合が多い。このため、配管102として前記した寸法のものを用いれば、シリンジ1本分に相当するエアが配管102に介在することになる。このため、ディスペンスコントローラ103の押し出し指令から、シリンジ側で圧力が上昇するまでの間にタイムラグが生じ、シリンジ100において立ち上がり(エア加圧を始めてからシリンジ内が設定値に到達するまでの時間)が鈍くなる。従って、押し出し指令から、実際に液体Lが吐出口101から供給されるまでの時間に遅れが生じて、微量の塗布コントロールができないという問題があった。
In a pipe having a length of 1 m and an inner diameter of 3 mm, about 7 cc of air exists. Further, when mounting a small work such as an LED chip, a
また、前記したように小さなワークをマウントする場合は、ディスペンスコントローラ内の開閉弁が開状態となる時間は、例えば20msecであり、極めて短い時間に圧力をかけることになる。この場合、配管分の伝播遅れが原因となって、シリンジの圧力上昇に遅れが生じ、シリンジ内が設定圧となる前に立ち下げる(シリンジ内のエアを排気する)ことがある。このように、極めて短い時間にシリンジ内を設定の圧力に制御することは難しかった。 When mounting a small work as described above, the time for which the on-off valve in the dispense controller is open is, for example, 20 msec, and pressure is applied in an extremely short time. In this case, a delay in propagation of the piping may cause a delay in the pressure increase of the syringe, and the syringe may fall before the set pressure is reached (air in the syringe is exhausted). Thus, it was difficult to control the inside of the syringe to the set pressure in a very short time.
また、この伝播遅れによるシリンジの圧力上昇の遅れを防止するために、配管102の内圧が上がるまでの時間を素早くする必要があり、この場合、ディスペンスコントローラ103に内蔵される開閉弁を大きくする必要があった。
Further, in order to prevent a delay in the increase in the pressure of the syringe due to this propagation delay, it is necessary to speed up the time until the internal pressure of the
本発明は上記問題点に鑑みて、加圧を始めてから液体が吐出口から押出されるまでの時間遅れを防止して設定量の液体を正確に塗布できる流体供給装置を提供する。 In view of the above problems, the present invention provides a fluid supply device capable of accurately applying a set amount of liquid by preventing a time delay from the start of pressurization until the liquid is pushed out from a discharge port.
本発明の液体供給装置は、液体がその吐出口から吐出されるシリンジと、開状態で流体供給源からの加圧流体をシリンジに供給して液体を吐出口から吐出させ、閉状態で流体供給源からの流体のシリンジへの供給を停止する開閉弁とを備え、前記開閉弁は、開状態であるエア供給状態と閉状態であるエア排気状態との切り替えが可能であり、少なくとも流体供給源を前記シリンジから離間した位置に配設し、前記開閉弁の流体排出口をシリンジの反吐出口側に直接的に連結して、開閉弁をシリンジと一体化し、開閉弁のエア供給状態で、シリンジ内のエア圧が立ち上がって吐出口から液体が吐出し、開閉弁のエア排気状態で、シリンジ内を負圧状態として液体の吐出口からの吐出を停止するものである。 The liquid supply device of the present invention includes a syringe from which liquid is discharged from its discharge port, and supplies a pressurized fluid from a fluid supply source to the syringe in an open state to discharge the liquid from the discharge port, and supplies the fluid in a closed state. An on-off valve that stops supply of fluid from the source to the syringe, and the on-off valve can switch between an air supply state that is open and an air exhaust state that is closed, and at least the fluid supply source Is disposed at a position separated from the syringe, and the fluid discharge port of the on- off valve is directly connected to the side opposite to the discharge port of the syringe, and the on-off valve is integrated with the syringe. The internal air pressure rises and the liquid is discharged from the discharge port, and the discharge from the liquid discharge port is stopped by setting the inside of the syringe to a negative pressure state in the air exhaust state of the on-off valve .
本発明の液体供給装置によれば、開閉弁の流体排出口とシリンジの反吐出口側とを連結したものである。通常、開閉弁は、配管を介してシリンジと連結されるディスペンスコントローラに内蔵されている。これに対して本発明では開閉弁をシリンジに連結しており、開閉弁を開状態とすることにより、配管を介することなくシリンジに流体を供給することができ、吐出口から液体を吐出させることができる。これにより、配管分のエアの立ち上がりを考慮する必要がなく、押し出し指令に対するシリンジの圧力上昇の遅れを防止できる。しかも、従来必要としていたディスペンスコントローラが不要となる。 According to the liquid supply apparatus of the present invention, the fluid discharge port of the on-off valve and the counter discharge port side of the syringe are connected. Usually, the on-off valve is built in a dispense controller that is connected to a syringe via a pipe. On the other hand, in the present invention, the on-off valve is connected to the syringe, and by opening the on-off valve, fluid can be supplied to the syringe without piping, and the liquid can be discharged from the discharge port. Can do. Thereby, it is not necessary to consider the rise of the air for the piping, and it is possible to prevent a delay in the pressure increase of the syringe with respect to the extrusion command. In addition, a dispense controller that has been conventionally required is not required.
前記シリンジは、前記吐出口が液体供給部位に対応する位置となるように移動するものとでき、例えばダイボンダに適用することができる。 The syringe can be moved so that the discharge port corresponds to the liquid supply site, and can be applied to, for example, a die bonder.
前記吐出口は、内径が0.1mm〜2.0mmとすることができる。 The discharge port may have an inner diameter of 0.1 mm to 2.0 mm.
本発明の液体供給装置は、押し出し指令に対する圧力上昇の遅れを防止できるため、加圧を始めてから、液体が吐出口から押出されるまでの時間遅れを防止して設定量の液体を正確に塗布できる。さらに、配管分の量のエアの立ち上がりを考慮する必要がなくなるため、流量の小さな開閉弁を使用することができるとの利点もある。さらには、従来必要としていたディスペンスコントローラが不要となるため、省スペースを図ることができるとともに、コストの低減を図ることもできる。 Since the liquid supply apparatus of the present invention can prevent a delay in pressure increase with respect to the extrusion command, it prevents the time delay from the start of pressurization until the liquid is pushed out from the discharge port, and accurately applies a set amount of liquid. it can. Furthermore, since it is not necessary to consider the rise of air for the amount of piping, there is an advantage that an on-off valve with a small flow rate can be used. Furthermore, since the dispense controller that has been conventionally required is not required, space can be saved and cost can be reduced.
開閉弁をシリンジと一体化すると、シリンジと開閉弁とは配管を介して連結されることがなくなるため、高い精度でシリンジの圧力上昇の遅れを防止することができる。 When the on-off valve is integrated with the syringe, the syringe and the on-off valve are not connected via a pipe, so that a delay in the pressure increase of the syringe can be prevented with high accuracy.
本発明の液体供給装置をダイボンダに適用すると、リードフレームや基板等にチップを接着する際に、接着剤の塗布量精度を向上させることができる。 When the liquid supply apparatus of the present invention is applied to a die bonder, the accuracy of the amount of adhesive applied can be improved when a chip is bonded to a lead frame, a substrate or the like.
LEDチップ等の小さなワークでは、内径約0.1mmの吐出口を使用することがあり、このような場合でも接着剤の塗布量精度を向上させることができる。 In a small work such as an LED chip, a discharge port having an inner diameter of about 0.1 mm may be used. Even in such a case, the accuracy of the adhesive application amount can be improved.
以下本発明の実施の形態を図1〜図4に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
この液体供給装置は、半導体チップ等の電子部品を回路基板に実装するために、基板上に塗布される接着剤を供給する装置である。すなわち、図1に示すように、液体供給装置は、例えばエポキシやシリコン等の接着剤としての液体Lが封入されたシリンジ1を備え、このシリンジ1の吐出口53から液体Lを押し出して図示省略の基板等の接着部位上に塗布するものである。本実施形態では、シリンジ1は、吐出口53が接着部位上に対応する位置となるように、図示省略の駆動手段にて移動するものである。
This liquid supply apparatus is an apparatus for supplying an adhesive applied on a substrate in order to mount an electronic component such as a semiconductor chip on a circuit board. That is, as shown in FIG. 1, the liquid supply device includes a
この液体供給装置は、図1に示すように、液体Lが封入されるシリンジ1と、シリンジ内に加圧流体(本実施形態では加圧エア)を供給する空気圧回路60(図4参照)とを備えている。そして、この空気圧回路60を介してシリンジ内にエアを供給することによりエア圧で液体Lを吐出口53(後述するノズル51の先端部)から押出すものである。
As shown in FIG. 1, the liquid supply device includes a
シリンジ1は、その内周側に液体Lが封入される円筒状の本体部50と、本体部50の下端部から下方(供給側)に液体Lの流路を狭くするノズル51とから構成されている。図1では簡略化しているが、ノズル51と本体部50とは別体となっており、ノズル51は、本体部50の下端部に着脱自在に取付られている。このノズル51の先端部(下端部)が、液体Lの出口となる吐出口53となる。なお、シリンジ1の構成としては、本体部50とノズル51とが一体の構成であってもよい。本実施形態では、シリンジ1は5ccの液体Lを充填することができるものとしており、吐出口53の内径Dを0.1mm〜2.0mmとしている。
The
シリンジ内において、液体Lの吐出口53と反対側には、下方に向かって縮径する円錐部を備えたプランジャ54がシリンジ長手方向へ摺動自在に嵌入されている。このプランジャ54と、後述するブロック体21との間に形成された空間55にエアが供給されることにより、プランジャ54は下方に押し下げられて、液体Lを吐出口53から押し出すことができる。
In the syringe, on the side opposite to the
開閉弁(電磁弁)2は、シリンジ1の反吐出口側に設けられている。開閉弁2は、図2に示すように公知公用の3ポートタイプのものを使用している。図3に示すように、P(供給)ポート3には、図示省略のエア供給源からエアを導入する配管6が取り付けられるとともに、R(排気)ポート4には、弱い負圧(例えば0〜−5kPa)をかけるための配管7が取り付けられている。開閉弁2は、常時開、常時閉のいずれにでも使用することができる。液体供給時には、Pポート3とAポート5とがつながり、Rポート4は閉じて、流体供給源30(図4参照)から配管6を介してエアをシリンジ1の空間55に供給する。これにより、シリンジ内のエア圧が立ち上がり、所定圧に達すると液体Lが吐出口53から吐出する。液体Lの供給を停止する場合は、Pポート3が閉じ、A(シリンジ)ポート5とRポート4とがつながって弱い負圧(例えば0〜−5kPa)をかける。これにより、液体Lが吐出口53から吐出するのを停止するとともに、液体Lを吸引して液体Lの吐出口53からの垂れを防止することができる。
The on-off valve (solenoid valve) 2 is provided on the side opposite to the discharge port of the
図1に示すように、開閉弁2にはブロック体21が取り付けられている。このブロック体21は、Oリング22を介してシリンジ1の反吐出口側に内嵌されており、開閉弁2が、シリンジ1の蓋部材20と一体的に固定される。また、ブロック体21には、開閉弁2のAポート5に連通する図示省略の孔部が設けられており、この孔部を介してシリンジ内の空間55にエアを導入することができる。ブロック体21にはエアフィルタ23が取付られている。
As shown in FIG. 1, a
ところで、開閉弁2は空気圧回路60に設けられており、従来必要としていたディスペンスコントローラが不要となる。すなわち、本発明の液体供給装置の開閉弁2は、図4に示すように流体供給源30に接続されており、流体供給源30が本体装置のCPU32に接続されている。流体供給源30は、コンプレッサ、レギュレータ等から構成されており、コンプレッサにてエアが供給されて、レギュレータにて開閉弁2への出力電圧及び出力電流を一定に保つように制御する。
By the way, the on-off
本発明では、開閉弁2の流体排出口とシリンジ1の反吐出口側とを連結しており、開閉弁2を開状態とすることにより、配管を介することなくシリンジ1に流体を供給することができ、吐出口53から液体Lを吐出させることができる。これにより、配管分のエアの立ち上がりを考慮する必要がなく、押し出し指令に対するシリンジ1の圧力上昇の遅れを防止できるため、加圧を始めてから、液体Lが吐出口53から押出されるまでの時間遅れを防止して設定量の液体を正確に塗布できる。さらに、配管分の量のエアの立ち上がりを考慮する必要がなくなるため、流量の小さな開閉弁2を使用することができるとの利点もある。しかも、従来必要としていたディスペンスコントローラが不要となるため、省スペースを図ることができるとともに、コストの低減を図ることもできる。
In the present invention, the fluid discharge port of the on-off
開閉弁2の流体排出口をシリンジ1の反吐出口側に直接的に連結して、開閉弁2をシリンジ1と一体化しているので、シリンジ1と開閉弁2とは配管を介して連結されることがない。これにより、高い精度でシリンジ1の圧力上昇の遅れを防止することができる。
Since the fluid discharge port of the on-off
シリンジ1は、吐出口53が液体供給部位に対応する位置となるように移動するものとしているため、例えばダイボンダに適用すると、リードフレームや基板等にチップを接着する際に、接着剤の塗布量精度を向上させることができる。
Since the
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、実施形態では吐出口53が液体の供給位置の上方に位置するようにシリンジ1が移動するものであったが、シリンジ1が固定されて、液体の供給位置側が動くものであってもよい。
As described above, the embodiment of the present invention has been described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, in the embodiment, the
1 シリンジ
2 空気圧回路
20 蓋部材
53 吐出口
60 空気圧回路
D 内径
L 液体
1
Claims (3)
少なくとも流体供給源を前記シリンジから離間した位置に配設し、
前記開閉弁の流体排出口をシリンジの反吐出口側に直接的に連結して、開閉弁をシリンジと一体化し、開閉弁のエア供給状態で、供給ポートとシリンジポートとがつながり、排気ポートが閉じてシリンジ内のエア圧が立ち上がって吐出口から液体が吐出し、開閉弁のエア排気状態で、排気ポートとシリンジポートとがつながり、供給ポートが閉じてシリンジ内を負圧状態として液体の吐出口からの吐出を停止することを特徴とする液体供給装置。 The syringe from which the liquid is discharged from the discharge port, and the pressurized fluid from the fluid supply source in the open state are supplied to the syringe to discharge the liquid from the discharge port, and the fluid from the fluid supply source to the syringe in the closed state An on-off valve for stopping supply, and the on-off valve has three ports of a supply port, an exhaust port, and a syringe port, and an air supply source is attached to the supply port via a pipe, Is equipped with a pipe for applying negative pressure, and it is possible to switch between an air supply state that is open and an air exhaust state that is closed,
Disposing at least a fluid supply source at a position spaced from the syringe;
The fluid discharge port of the on-off valve is directly connected to the side opposite to the syringe outlet, the on-off valve is integrated with the syringe , the supply port and the syringe port are connected and the exhaust port is closed in the air supply state of the on-off valve When the air pressure in the syringe rises and liquid is discharged from the discharge port, the exhaust port and the syringe port are connected in the air exhaust state of the on-off valve , the supply port is closed, and the syringe is in a negative pressure state to discharge the liquid Discharge from the liquid supply device is stopped.
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