JP7002696B2 - Coating equipment - Google Patents

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Description

本開示は、シリンジに充填された塗布材の吐出を正圧で行う塗布装置に関するものである。特に、接着剤、半田、フラックス等の電子基板の生産に用いられる塗布材を塗布する塗布装置に関するものである。 The present disclosure relates to a coating device that discharges a coating material filled in a syringe at a positive pressure. In particular, the present invention relates to a coating device for applying a coating material used for producing electronic substrates such as adhesives, solders, and fluxes.

従来、シリンジに充填された液体の吐出を正圧で行う塗布装置に関し、種々の技術が提案されている。例えば、下記特許文献１に記載の技術は、シリンジ内へ加圧力を供給してシリンジ内の液体を吐出するとともに、シリンジ内へ液体保持用負圧力を供給してシリンジ内の液体の漏出を防止する液体吐出方法であって、液体の吐出停止と同時にシリンジ内圧の吸出しを開始し、シリンジ内圧が所要の値まで低下したときに、シリンジ内圧の吸出しを停止する一方、そのシリンジ内への液体保持用負圧力の供給を開始することを特徴とする。 Conventionally, various techniques have been proposed for a coating device that discharges a liquid filled in a syringe at a positive pressure. For example, the technique described in Patent Document 1 below supplies a pressing force into the syringe to discharge the liquid in the syringe, and also supplies a negative pressure for holding the liquid into the syringe to prevent the liquid in the syringe from leaking. This is a liquid discharge method that starts sucking out the internal pressure of the syringe at the same time as stopping the discharge of the liquid, and when the internal pressure of the syringe drops to the required value, it stops sucking out the internal pressure of the syringe while retaining the liquid in the syringe. It is characterized by starting the supply of negative pressure.

ここでは、負圧度の比較的高い吸圧力と、負圧度の比較的小さい液体保持用負圧力とを使い分け、液体の吐出停止時には、開閉弁の作用下で、シリンジ内に吸圧力だけを作用させ、また、シリンジ内圧が十分に低下した後には、そこへ液体保持用負圧力だけを作用させる。 Here, the suction pressure with a relatively high degree of negative pressure and the negative pressure for holding the liquid with a relatively small degree of negative pressure are used properly, and when the discharge of the liquid is stopped, only the suction pressure is applied to the inside of the syringe under the action of the on-off valve. It is allowed to act, and after the internal pressure of the syringe is sufficiently lowered, only the negative pressure for holding the liquid is allowed to act there.

特開平１１－２９０７４５号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-290745

これにより、上記特許文献１に記載の技術は、液体吐出の停止時の液切れ性を大きく向上させ、また、吐出停止後の液垂れを十分に防止することができ、さらには、吐出サイクルのサイクルタイムを短縮して、作業能率を高めることができるが、更に好適に、作業能率を高めることが望まれていた。 As a result, the technique described in Patent Document 1 can greatly improve the liquid drainage property when the liquid discharge is stopped, sufficiently prevent the liquid from dripping after the liquid discharge is stopped, and further, the discharge cycle. Although the cycle time can be shortened and the work efficiency can be increased, it has been desired to more preferably increase the work efficiency.

本開示は、上述した点を鑑みてなされたものであり、塗布量の安定と塗布時間の短縮を向上させることを図った塗布装置を提供することを課題とする。 The present disclosure has been made in view of the above-mentioned points, and it is an object of the present invention to provide a coating apparatus capable of improving the stability of the coating amount and the shortening of the coating time.

本明細書は、電子基板の生産に用いられる塗布材が充填され、塗布材の吐出を正圧で行うシリンジと、シリンジの内圧を計測するセンサーと、シリンジに連結し、シリンジの内圧を低下させる負圧をシリンジに導くための第１負圧用配管と、第１負圧用配管よりも流量が小さく、第１負圧用配管から分岐してシリンジに連結する第２負圧用配管と、第１負圧用配管と第２負圧用配管とを開閉させることによって、第１負圧用配管及び第２負圧用配管の少なくとも一つを経由してシリンジに負圧を供給させる切替部と、シリンジが塗布材を吐出した直後に切替部を作動させることによって、シリンジから正圧を抜く経路を形成すると共に、センサーの計測値が第１所定値にまで低下した際に切替部を作動させることによって、シリンジから正圧を抜く経路を変更する制御部とを備える塗布装置を開示する。 In the present specification, a syringe filled with a coating material used for producing an electronic substrate and discharging the coating material at a positive pressure, a sensor for measuring the internal pressure of the syringe, and a syringe are connected to reduce the internal pressure of the syringe. A first negative pressure pipe for guiding negative pressure to a syringe, a second negative pressure pipe that has a smaller flow rate than the first negative pressure pipe, branches from the first negative pressure pipe and is connected to the syringe, and a first negative pressure pipe. A switching unit that supplies negative pressure to the syringe via at least one of the first negative pressure pipe and the second negative pressure pipe by opening and closing the pipe and the second negative pressure pipe, and the syringe discharges the coating material. By operating the switching part immediately after this, a path for removing the positive pressure from the syringe is formed, and when the measured value of the sensor drops to the first predetermined value, the switching part is operated to form the positive pressure from the syringe. Disclosed is a coating device including a control unit for changing a route for removing a syringe.

本開示によれば、塗布装置は、塗布量の安定と塗布時間の短縮を向上させる。 According to the present disclosure, the coating apparatus improves the stability of the coating amount and the shortening of the coating time.

塗布装置のシリンジにおける塗布材の吐出過程を示した図である。It is a figure which showed the discharge process of the coating material in the syringe of the coating apparatus. 塗布装置のシリンジにおける塗布材の吐出過程を示した図である。It is a figure which showed the discharge process of the coating material in the syringe of the coating apparatus. 塗布装置のシリンジにおける塗布材の吐出過程を示した図である。It is a figure which showed the discharge process of the coating material in the syringe of the coating apparatus. 塗布装置を示した図である。It is a figure which showed the coating apparatus. 塗布装置のシリンジから正圧を抜く経路の変更過程を示したフローチャートである。It is a flowchart which showed the process of changing the path which removes a positive pressure from a syringe of a coating apparatus. 塗布装置のシリンジから正圧を抜く経路の変更過程を示した図である。It is a figure which showed the process of changing the path which removes a positive pressure from a syringe of a coating device. 塗布装置のシリンジから正圧を抜く経路の変更過程を示した図である。It is a figure which showed the process of changing the path which removes a positive pressure from a syringe of a coating device. 塗布装置のシリンジから正圧を抜く経路の変更過程を示した図である。It is a figure which showed the process of changing the path which removes a positive pressure from a syringe of a coating device. 塗布装置のシリンジから正圧を抜く経路の変更過程を示した図である。It is a figure which showed the process of changing the path which removes a positive pressure from a syringe of a coating device. 塗布装置の変更例を示した図である。It is a figure which showed the modification example of the coating apparatus.

以下、本開示の好適な実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。但し、図面では、構成の一部が省略されて描かれており、描かれた各部の寸法比等は必ずしも正確ではない。 Hereinafter, preferred embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. However, in the drawings, a part of the structure is omitted, and the dimensional ratio of each drawn part is not always accurate.

図１に示されるように、塗布装置１は、シリンジ１０、センサー１８、第１配管２０、及び第２配管２２等を備えている。シリンジ１０は、バレル１２、ピストン１４、及びニードル１６等を有している。バレル１２内では、ピストン１４とニードル１６との間において、接着剤３が充填されている。 As shown in FIG. 1, the coating device 1 includes a syringe 10, a sensor 18, a first pipe 20, a second pipe 22, and the like. The syringe 10 has a barrel 12, a piston 14, a needle 16, and the like. In the barrel 12, the adhesive 3 is filled between the piston 14 and the needle 16.

センサー１８は、圧力を検知するものであり、バレル１２に取り付けられることによって、バレル１２内においてバレル１２及びピストン１４に囲まれた空間に接続されている。これにより、センサー１８は、シリンジ１０の内圧を計測する。第１配管２０及び第２配管２２は、バレル１２に連結されることによって、バレル１２内においてバレル１２及びピストン１４に囲まれた空間に接続されている。 The sensor 18 detects pressure and is connected to a space surrounded by the barrel 12 and the piston 14 in the barrel 12 by being attached to the barrel 12. As a result, the sensor 18 measures the internal pressure of the syringe 10. The first pipe 20 and the second pipe 22 are connected to the space surrounded by the barrel 12 and the piston 14 in the barrel 12 by being connected to the barrel 12.

第２配管２２は、第１配管２０よりも内径が小さい。従って、第１配管２０及び第２配管２２内の気体圧力が同一の場合には、第２配管２２は、第１配管２０よりも気体流量が小さい。 The inner diameter of the second pipe 22 is smaller than that of the first pipe 20. Therefore, when the gas pressures in the first pipe 20 and the second pipe 22 are the same, the gas flow rate of the second pipe 22 is smaller than that of the first pipe 20.

このような構成を有する塗布装置１は、シリンジ１０のニードル１６から接着剤３を押し出すことによって、接着剤３を基板５上に塗布する。そのために、シリンジ１０の内圧が、図１に示す大気圧から、図２に示す正圧にされる。その際、図２に示されるように、ニードル１６と基板５とが接近した状態にされ、第２配管２２を介してシリンジ１０に正圧が供給される。このようにして、シリンジ１０は、接着剤３の吐出を正圧で行う。 The coating device 1 having such a configuration applies the adhesive 3 onto the substrate 5 by pushing out the adhesive 3 from the needle 16 of the syringe 10. Therefore, the internal pressure of the syringe 10 is changed from the atmospheric pressure shown in FIG. 1 to the positive pressure shown in FIG. At that time, as shown in FIG. 2, the needle 16 and the substrate 5 are brought into close contact with each other, and a positive pressure is supplied to the syringe 10 via the second pipe 22. In this way, the syringe 10 discharges the adhesive 3 at a positive pressure.

接着剤３が基板５上に塗布された後は、シリンジ１０の内圧が、図２に示す正圧から、図３に示す大気圧に戻される。その際、図３に示されるように、ニードル１６と基板５とが距離的に離間した状態にされ、第１配管２０及び第２配管２２の少なくとも一つを経由して、シリンジ１０から正圧が抜かれる。 After the adhesive 3 is applied onto the substrate 5, the internal pressure of the syringe 10 is returned from the positive pressure shown in FIG. 2 to the atmospheric pressure shown in FIG. At that time, as shown in FIG. 3, the needle 16 and the substrate 5 are separated from each other in a distance, and a positive pressure is applied from the syringe 10 via at least one of the first pipe 20 and the second pipe 22. Is pulled out.

更に、塗布装置１は、シリンジ１０から正圧を抜く経路を変更することによって、接着剤３の塗布量を安定させると共に、接着剤３の塗布時間を短縮させる。そのため、塗布装置１では、図４に示されるように、第２配管２２が、分岐点２４において、第１配管２０から分岐している。その上、塗布装置１は、上述した構成に加えて、正圧用配管２６、大気圧用配管２８、切替部３０、及び制御装置４０等を備えている。 Further, the coating device 1 stabilizes the coating amount of the adhesive 3 and shortens the coating time of the adhesive 3 by changing the route for removing the positive pressure from the syringe 10. Therefore, in the coating device 1, as shown in FIG. 4, the second pipe 22 branches from the first pipe 20 at the branch point 24. Moreover, in addition to the above-described configuration, the coating device 1 includes a positive pressure pipe 26, an atmospheric pressure pipe 28, a switching unit 30, a control device 40, and the like.

正圧用配管２６は、第２配管２２と正圧源１０１とに連結されるものである。これにより、接着剤３を吐出させる正圧をシリンジ１０に供給する経路が確保される。尚、正圧源１０１は、工場等に設けられた正圧供給ラインである。もっとも、塗布装置１は、正圧源１０１として、エアーコンプレッサー等を備えてもよい。 The positive pressure pipe 26 is connected to the second pipe 22 and the positive pressure source 101. As a result, a path for supplying the positive pressure for discharging the adhesive 3 to the syringe 10 is secured. The positive pressure source 101 is a positive pressure supply line provided in a factory or the like. However, the coating device 1 may include an air compressor or the like as the positive pressure source 101.

大気圧用配管２８は、分岐点２４とシリンジ１０との間において、第２配管２２に連結されるものである。大気圧用配管２８では、第２配管２２に連結される端とは反対の端が、大気に開放されている。 The atmospheric pressure pipe 28 is connected to the second pipe 22 between the branch point 24 and the syringe 10. In the atmospheric pressure pipe 28, the end opposite to the end connected to the second pipe 22 is open to the atmosphere.

第１配管２０では、シリンジ１０に連結される端とは反対の端が、負圧源１０３に連結されている。これにより、シリンジ１０の内圧を低下させる負圧をシリンジ１０に供給する経路が確保される。そのような経路は、第１配管２０及び第２配管２２の少なくとも一つを経由する。尚、負圧源１０３は、工場等に設けられた負圧供給ラインである。もっとも、塗布装置１は、負圧源１０３として、バキュームポンプ等を備えてもよい。 In the first pipe 20, the end opposite to the end connected to the syringe 10 is connected to the negative pressure source 103. This secures a path for supplying the syringe 10 with a negative pressure that lowers the internal pressure of the syringe 10. Such a route goes through at least one of the first pipe 20 and the second pipe 22. The negative pressure source 103 is a negative pressure supply line provided in a factory or the like. However, the coating device 1 may include a vacuum pump or the like as the negative pressure source 103.

切替部３０は、正圧バルブ３２、第１負圧バルブ３４、及び第２負圧バルブ３６等を有している。正圧バルブ３２は、開閉弁であって、正圧用配管２６に設けられている。第１負圧バルブ３４は、開閉弁であって、分岐点２４とシリンジ１０との間において、第１配管２０に設けられている。第２負圧バルブ３６は、方向制御弁であって、第２配管２２と大気圧用配管２８との間（第２配管２２と大気圧用配管２８の連結部位）に設けられている。 The switching unit 30 has a positive pressure valve 32, a first negative pressure valve 34, a second negative pressure valve 36, and the like. The positive pressure valve 32 is an on-off valve and is provided in the positive pressure pipe 26. The first negative pressure valve 34 is an on-off valve and is provided in the first pipe 20 between the branch point 24 and the syringe 10. The second negative pressure valve 36 is a directional control valve and is provided between the second pipe 22 and the atmospheric pressure pipe 28 (the connecting portion between the second pipe 22 and the atmospheric pressure pipe 28).

制御装置４０は、塗布装置１を制御するものであって、センサー１８及び切替部３０等に接続されている。これにより、制御装置４０は、センサー１８の計測値に基づいて、切替部３０を作動させることが可能である。切替部３０では、制御装置４０の制御内容に応じて、正圧バルブ３２、第１負圧バルブ３４、及び第２負圧バルブ３６の自動操作が行われる。 The control device 40 controls the coating device 1 and is connected to the sensor 18, the switching unit 30, and the like. As a result, the control device 40 can operate the switching unit 30 based on the measured value of the sensor 18. The switching unit 30 automatically operates the positive pressure valve 32, the first negative pressure valve 34, and the second negative pressure valve 36 according to the control content of the control device 40.

次に、図５に表されたフローチャートに基づいて、制御装置４０の切替部３０に対する制御内容を説明する。Ｓ１０乃至Ｓ２２の各処理は、制御装置４０によって実行される。 Next, the control contents for the switching unit 30 of the control device 40 will be described based on the flowchart shown in FIG. Each process of S10 to S22 is executed by the control device 40.

正圧処理Ｓ１０では、図６に示されるように、制御装置４０が、切替部３０を作動させることによって、正圧バルブ３２を開け、第１負圧バルブ３４を閉じ、第２負圧バルブ３６を全閉する。そのため、シリンジ１０は、正圧源１０１と連通し、負圧源１０３及び大気から遮断される。これにより、シリンジ１０に正圧が供給されるので、シリンジ１０から接着剤３が吐出される。 In the positive pressure processing S10, as shown in FIG. 6, the control device 40 operates the switching unit 30 to open the positive pressure valve 32, close the first negative pressure valve 34, and close the second negative pressure valve 36. Is fully closed. Therefore, the syringe 10 communicates with the positive pressure source 101 and is shielded from the negative pressure source 103 and the atmosphere. As a result, a positive pressure is supplied to the syringe 10, so that the adhesive 3 is discharged from the syringe 10.

第１負圧処理Ｓ１２では、図７に示されるように、制御装置４０が、切替部３０を作動させることによって、正圧バルブ３２を閉じ、第１負圧バルブ３４を開け、第２負圧バルブ３６を全開する。そのため、シリンジ１０は、正圧源１０１から遮断され、第１配管２０及び第２配管２２を介して負圧源１０３及び大気と連通する。これにより、シリンジ１０における接着剤３の吐出が終了する。それに加えて、シリンジ１０が接着剤３を吐出した直後において、第１配管２０、第２配管２２、及び大気圧用配管２８が閉まった状態から開いた状態にされることにより、シリンジ１０から正圧を抜く経路が形成される。その際、シリンジ１０から第１配管２０に向けて比較的大きな流量の気体が流れ、シリンジ１０から第２配管２２に向けて比較的小さな流量の気体が流れる。このようにして、シリンジ１０の正圧が速やかに低下していく。 In the first negative pressure processing S12, as shown in FIG. 7, the control device 40 closes the positive pressure valve 32, opens the first negative pressure valve 34, and opens the second negative pressure by operating the switching unit 30. The valve 36 is fully opened. Therefore, the syringe 10 is shut off from the positive pressure source 101 and communicates with the negative pressure source 103 and the atmosphere via the first pipe 20 and the second pipe 22. As a result, the ejection of the adhesive 3 in the syringe 10 is completed. In addition, immediately after the syringe 10 discharges the adhesive 3, the first pipe 20, the second pipe 22, and the atmospheric pressure pipe 28 are changed from the closed state to the open state, so that the syringe 10 is positive. A path to relieve pressure is formed. At that time, a gas having a relatively large flow rate flows from the syringe 10 toward the first pipe 20, and a gas having a relatively small flow rate flows from the syringe 10 toward the second pipe 22. In this way, the positive pressure of the syringe 10 rapidly decreases.

判定処理Ｓ１４では、制御装置４０が、シリンジ１０の内圧が第１所定値Ｖ１以下であるか否かを判定する。この判定は、センサー１８の計測値に基づいて行われる。尚、第１所定値Ｖ１は、大気圧よりも大きな値（正圧）に予め設定されている。ここで、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が第１所定値Ｖ１よりも大きい場合には（Ｓ１４：ＮＯ）、上述した第１負圧処理Ｓ１２が繰り返され、正圧バルブ３２、第１負圧バルブ３４、及び第２負圧バルブ３６の開閉状態が維持される。これに対して、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が第１所定値Ｖ１以下である場合には（Ｓ１４：ＹＥＳ）、第２負圧処理Ｓ１６が行われる。 In the determination process S14, the control device 40 determines whether or not the internal pressure of the syringe 10 is equal to or less than the first predetermined value V1. This determination is made based on the measured value of the sensor 18. The first predetermined value V1 is preset to a value (positive pressure) larger than the atmospheric pressure. Here, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) is larger than the first predetermined value V1 (S14: NO), the above-mentioned first negative pressure treatment S12 is repeated, and the positive pressure valve 32, the first. The open / closed state of the 1 negative pressure valve 34 and the 2nd negative pressure valve 36 is maintained. On the other hand, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) is equal to or less than the first predetermined value V1 (S14: YES), the second negative pressure treatment S16 is performed.

第２負圧処理Ｓ１６では、図８に示されるように、制御装置４０が、切替部３０を作動させることによって、第１負圧バルブ３４を閉じる。そのため、シリンジ１０は、第２配管２２を介して負圧源１０３及び大気と連通する。これにより、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が第１所定値Ｖ１にまで低下した際において、第１配管２０が開いた状態から閉まった状態にされると共に、第２配管２２及び大気圧用配管２８が開いた状態のままにされることによって、シリンジ１０から正圧を抜く経路が変更される。その際、シリンジ１０から第１配管２０に向けて気体が流れないが、シリンジ１０から第２配管２２に向けて比較的小さな流量の気体が流れる。このようにして、シリンジ１０の正圧が緩やかに低下していく。 In the second negative pressure processing S16, as shown in FIG. 8, the control device 40 closes the first negative pressure valve 34 by operating the switching unit 30. Therefore, the syringe 10 communicates with the negative pressure source 103 and the atmosphere via the second pipe 22. As a result, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) drops to the first predetermined value V1, the first pipe 20 is changed from the open state to the closed state, and the second pipe 22 and the large pipe 22 are changed. By leaving the barometric pipe 28 in the open state, the route for removing the positive pressure from the syringe 10 is changed. At that time, gas does not flow from the syringe 10 toward the first pipe 20, but a gas with a relatively small flow rate flows from the syringe 10 toward the second pipe 22. In this way, the positive pressure of the syringe 10 gradually decreases.

判定処理Ｓ１８では、制御装置４０が、シリンジ１０の内圧が第２所定値Ｖ２以下であるか否かを判定する。この判定は、センサー１８の計測値に基づいて行われる。尚、第２所定値Ｖ２は、上述した第１所定値Ｖ１よりも小さく、大気圧よりも僅かに大きな値（正圧）に予め設定されている。ここで、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が第２所定値Ｖ２よりも大きい場合には（Ｓ１８：ＮＯ）、上述した第２負圧処理Ｓ１６が繰り返され、正圧バルブ３２、第１負圧バルブ３４、及び第２負圧バルブ３６の開閉状態が維持される。これに対して、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が第２所定値Ｖ２以下である場合には（Ｓ１８：ＹＥＳ）、大気圧処理Ｓ２０が行われる。 In the determination process S18, the control device 40 determines whether or not the internal pressure of the syringe 10 is equal to or less than the second predetermined value V2. This determination is made based on the measured value of the sensor 18. The second predetermined value V2 is preset to a value (positive pressure) that is smaller than the above-mentioned first predetermined value V1 and slightly larger than the atmospheric pressure. Here, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) is larger than the second predetermined value V2 (S18: NO), the above-mentioned second negative pressure treatment S16 is repeated, and the positive pressure valve 32, the first. The open / closed state of the 1 negative pressure valve 34 and the 2nd negative pressure valve 36 is maintained. On the other hand, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) is equal to or less than the second predetermined value V2 (S18: YES), the atmospheric pressure treatment S20 is performed.

大気圧処理Ｓ２０では、図９に示されるように、制御装置４０が、切替部３０を作動させることによって、第２負圧バルブ３６において、第２配管２２から第１配管２０に向かう経路を閉じ、第２配管２２から大気圧用配管２８に向かう経路を開ける。そのため、シリンジ１０は、第２配管２２を介して大気と連通する。これにより、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が第２所定値Ｖ２にまで低下した際において、シリンジ１０から正圧を抜く経路が変更される。その際、シリンジ１０から第１配管２０に向けて気体が流れないが、シリンジ１０から第２配管２２に向けては、第２負圧処理Ｓ１６のときよりも小さな流量の気体が流れる。このようにして、シリンジ１０の内圧が大気圧に戻っていく。 In the atmospheric pressure processing S20, as shown in FIG. 9, the control device 40 closes the path from the second pipe 22 to the first pipe 20 in the second negative pressure valve 36 by operating the switching unit 30. , Open a path from the second pipe 22 to the atmospheric pressure pipe 28. Therefore, the syringe 10 communicates with the atmosphere through the second pipe 22. As a result, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) drops to the second predetermined value V2, the route for removing the positive pressure from the syringe 10 is changed. At that time, gas does not flow from the syringe 10 to the first pipe 20, but a gas having a smaller flow rate flows from the syringe 10 to the second pipe 22 than in the second negative pressure treatment S16. In this way, the internal pressure of the syringe 10 returns to atmospheric pressure.

判定処理Ｓ２２では、制御装置４０が、シリンジ１０の内圧が大気圧であるか否かを判定する。この判定は、センサー１８の計測値に基づいて行われる。ここで、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が大気圧でない場合には（Ｓ２２：ＮＯ）、上述した大気圧処理Ｓ２０が繰り返され、正圧バルブ３２、第１負圧バルブ３４、及び第２負圧バルブ３６の開閉状態が維持される。これに対して、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が大気圧である場合には（Ｓ２２：ＹＥＳ）、上述した正圧処理Ｓ１０が再び行われる。これにより、塗布装置１では、接着剤３の塗布が継続される。 In the determination process S22, the control device 40 determines whether or not the internal pressure of the syringe 10 is atmospheric pressure. This determination is made based on the measured value of the sensor 18. Here, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) is not atmospheric pressure (S22: NO), the above-mentioned atmospheric pressure processing S20 is repeated, and the positive pressure valve 32, the first negative pressure valve 34, and The open / closed state of the second negative pressure valve 36 is maintained. On the other hand, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) is atmospheric pressure (S22: YES), the positive pressure treatment S10 described above is performed again. As a result, the coating device 1 continues to apply the adhesive 3.

以上詳細に説明したようにして、本実施形態の塗布装置１は、塗布量の安定と塗布時間の短縮を向上させている。 As described in detail above, the coating device 1 of the present embodiment improves the stability of the coating amount and the shortening of the coating time.

ちなみに、本実施形態において、接着剤３は、塗布材の一例である。第１配管２０は、第１負圧用配管の一例である。第２配管２２は、第２負圧用配管の一例である。制御装置４０は、制御部の一例である。 Incidentally, in the present embodiment, the adhesive 3 is an example of a coating material. The first pipe 20 is an example of a first negative pressure pipe. The second pipe 22 is an example of a second negative pressure pipe. The control device 40 is an example of a control unit.

尚、本開示は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 The present disclosure is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the spirit of the present invention.

例えば、制御装置４０は、第１負圧処理Ｓ１２において、切替部３０を作動させることによって、正圧バルブ３２を閉じ、第１負圧バルブ３４を開け、第２負圧バルブ３６において、少なくとも、第２配管２２から第１配管２０に向かう経路を閉じてもよい。これにより、シリンジ１０が接着剤３を吐出した直後において、第１配管２０が閉まった状態から開いた状態にされると共に、第２配管２２が閉まった状態のままにされることによって、シリンジ１０から正圧を抜く経路が形成される。 For example, the control device 40 closes the positive pressure valve 32 and opens the first negative pressure valve 34 by operating the switching unit 30 in the first negative pressure processing S12, and at least in the second negative pressure valve 36, The path from the second pipe 22 to the first pipe 20 may be closed. As a result, immediately after the syringe 10 discharges the adhesive 3, the first pipe 20 is changed from the closed state to the open state, and the second pipe 22 is kept closed, so that the syringe 10 is kept closed. A path is formed to release the positive pressure from.

それに加えて、制御装置４０は、第２負圧処理Ｓ１６において、切替部３０を作動させることによって、第１負圧バルブ３４を閉じ、第２負圧バルブ３６において、少なくとも、第２配管２２から第１配管２０に向かう経路を開ける。これにより、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が第１所定値Ｖ１にまで低下した際において、第１配管２０が開いた状態から閉まった状態にされると共に、第２配管２２が閉まった状態から開いた状態にされることによって、シリンジ１０から正圧を抜く経路が変更される。 In addition, the control device 40 closes the first negative pressure valve 34 by operating the switching unit 30 in the second negative pressure processing S16, and in the second negative pressure valve 36, at least from the second pipe 22. Open the route to the first pipe 20. As a result, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) drops to the first predetermined value V1, the first pipe 20 is changed from the open state to the closed state, and the second pipe 22 is closed. By changing from the open state to the open state, the route for releasing the positive pressure from the syringe 10 is changed.

また、第２負圧バルブ３６では、第２負圧処理Ｓ１６まで、第２配管２２から大気圧用配管２８に向かう経路が閉まった状態のままにされてもよい。その後、制御装置４０は、大気圧処理Ｓ２０において、切替部３０を作動させることによって、第２負圧バルブ３６において、第２配管２２から大気圧用配管２８に向かう経路を閉まった状態から開いた状態にする。これにより、センサー１８の計測値（シリンジ１０の内圧）が第２所定値Ｖ２にまで低下した際において、大気圧用配管２８が閉まった状態から開いた状態にされることによって、シリンジ１０から正圧を抜く経路が追加される。 Further, in the second negative pressure valve 36, the path from the second pipe 22 to the atmospheric pressure pipe 28 may be left closed until the second negative pressure treatment S16. After that, the control device 40 opened the path from the second pipe 22 to the atmospheric pressure pipe 28 in the second negative pressure valve 36 from the closed state by operating the switching unit 30 in the atmospheric pressure processing S20. Put it in a state. As a result, when the measured value of the sensor 18 (internal pressure of the syringe 10) drops to the second predetermined value V2, the atmospheric pressure pipe 28 is changed from the closed state to the open state, so that the syringe 10 is positive. A path to relieve pressure is added.

また、第２配管２２は、スピードコントローラーが設けられることによって、第１配管２０よりも気体流量が小さくされてもよい。そのような場合、第２配管２２の内径は、第１配管２０よりも小さくされなくてもよい。 Further, the gas flow rate of the second pipe 22 may be smaller than that of the first pipe 20 by providing the speed controller. In such a case, the inner diameter of the second pipe 22 does not have to be smaller than that of the first pipe 20.

また、図１０に示されるように、第２負圧バルブ３６は、分岐点２４と負圧源１０３との間において、第１配管２０に設けられてもよい。但し、大気圧用配管２８において、大気圧バルブ３８が設けられる。そのような場合、第２負圧バルブ３６及び大気圧バルブ３８は、開閉弁である。 Further, as shown in FIG. 10, the second negative pressure valve 36 may be provided in the first pipe 20 between the branch point 24 and the negative pressure source 103. However, the atmospheric pressure valve 38 is provided in the atmospheric pressure pipe 28. In such a case, the second negative pressure valve 36 and the atmospheric pressure valve 38 are on-off valves.

また、正圧用配管２６は、第２配管２２に連結されるものではなく、シリンジ１０に連結されるものであってもよい。 Further, the positive pressure pipe 26 may not be connected to the second pipe 22 but may be connected to the syringe 10.

また、シリンジ１０の内圧が大気圧にまで戻されることなく、シリンジ１０における接着剤３の吐出が終了する場合には、大気圧用配管２８は省かれてもよい。 Further, if the discharge of the adhesive 3 in the syringe 10 is completed without returning the internal pressure of the syringe 10 to the atmospheric pressure, the atmospheric pressure pipe 28 may be omitted.

１ 塗布装置
３ 接着剤
１０ シリンジ
１８ センサー
２０ 第１配管
２２ 第２配管
２６ 正圧用配管
２８ 大気圧用配管
３０ 切替部
４０ 制御装置
Ｖ１ 第１所定値
Ｖ２ 第２所定値1 Applying device 3 Adhesive 10 Syringe 18 Sensor 20 1st piping 22 2nd piping 26 Positive pressure piping 28 Atmospheric pressure piping 30 Switching unit 40 Control device V1 1st predetermined value V2 2nd predetermined value

Claims (7)

電子基板の生産に用いられる塗布材が充填され、該塗布材の吐出を正圧で行うシリンジと、
前記シリンジの内圧を計測するセンサーと、
前記シリンジに連結し、前記シリンジの内圧を低下させる負圧を前記シリンジに導くための第１負圧用配管と、
前記第１負圧用配管よりも流量が小さく、前記第１負圧用配管から分岐して前記シリンジに連結する第２負圧用配管と、
前記第１負圧用配管と前記第２負圧用配管とを開閉させることによって、前記第１負圧用配管及び前記第２負圧用配管の少なくとも一つを経由して前記シリンジに負圧を供給させる切替部と、
前記シリンジが塗布材を吐出した直後に前記切替部を作動させることによって、前記シリンジから正圧を抜く経路を形成すると共に、前記センサーの計測値が第１所定値にまで低下した際に前記切替部を作動させることによって、前記シリンジから正圧を抜く経路を変更する制御部とを備える塗布装置。A syringe filled with a coating material used for the production of electronic boards and ejecting the coating material at a positive pressure.
A sensor that measures the internal pressure of the syringe and
A first negative pressure pipe that is connected to the syringe and guides the negative pressure that reduces the internal pressure of the syringe to the syringe.
A second negative pressure pipe that has a smaller flow rate than the first negative pressure pipe and branches from the first negative pressure pipe and is connected to the syringe.
Switching to supply negative pressure to the syringe via at least one of the first negative pressure pipe and the second negative pressure pipe by opening and closing the first negative pressure pipe and the second negative pressure pipe. Department and
By operating the switching portion immediately after the syringe discharges the coating material, a path for removing positive pressure from the syringe is formed, and when the measured value of the sensor drops to the first predetermined value, the switching is performed. A coating device including a control unit that changes the path for removing positive pressure from the syringe by operating the unit. 前記切替部は、前記シリンジが塗布材を吐出した直後において、前記第１負圧用配管及び前記第２負圧用配管を閉まった状態から開いた状態にし、前記センサーの計測値が前記第１所定値にまで低下した際において、前記第１負圧用配管を開いた状態から閉まった状態にすると共に、前記第２負圧用配管を開いた状態のままとする請求項１に記載の塗布装置。 Immediately after the syringe discharges the coating material, the switching portion opens the first negative pressure pipe and the second negative pressure pipe from a closed state, and the measured value of the sensor is the first predetermined value. The coating device according to claim 1, wherein the first negative pressure pipe is changed from the open state to the closed state and the second negative pressure pipe is kept open when the pressure is lowered to the above. 前記切替部は、前記シリンジが塗布材を吐出した直後において、前記第１負圧用配管を閉まった状態から開いた状態にすると共に、前記第２負圧用配管を閉まった状態のままとし、前記センサーの計測値が前記第１所定値にまで低下した際において、前記第１負圧用配管を開いた状態から閉まった状態にすると共に、前記第２負圧用配管を閉まった状態から開いた状態にする請求項１に記載の塗布装置。 Immediately after the syringe discharges the coating material, the switching portion changes the first negative pressure pipe from the closed state to the open state, and keeps the second negative pressure pipe in the closed state, and the sensor. When the measured value of the above drops to the first predetermined value, the first negative pressure pipe is changed from the open state to the closed state, and the second negative pressure pipe is changed from the closed state to the open state. The coating apparatus according to claim 1. 前記第２負圧用配管に連結し、前記シリンジから塗布材を吐出させる正圧を前記シリンジに供給するための正圧用配管を備える請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の塗布装置。 The coating device according to any one of claims 1 to 3, further comprising a positive pressure pipe for supplying a positive pressure to the syringe by connecting to the second negative pressure pipe and discharging the coating material from the syringe. .. 大気開放されると共に前記第２負圧用配管に連結され、前記切替部で開閉される大気圧用配管を備え、
前記制御部は、前記切替部を作動させることによって、前記シリンジから正圧を抜く経路に対して前記大気圧用配管を追加する請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載の塗布装置。It is equipped with an atmospheric pressure pipe that is open to the atmosphere and is connected to the second negative pressure pipe and is opened and closed by the switching unit.
The coating device according to any one of claims 1 to 4, wherein the control unit adds the atmospheric pressure pipe to a path for removing positive pressure from the syringe by operating the switching unit. .. 前記切替部は、前記シリンジが塗布材を吐出した直後において、前記大気圧用配管を閉まった状態から開いた状態にする請求項５に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 5, wherein the switching unit changes the atmospheric pressure pipe from a closed state to an open state immediately after the syringe discharges the coating material. 前記切替部は、前記センサーの計測値が第２所定値にまで低下した際において、前記大気圧用配管を閉まった状態から開いた状態にする請求項５に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 5, wherein the switching unit changes the atmospheric pressure pipe from a closed state to an open state when the measured value of the sensor drops to a second predetermined value.
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