KR102270149B1 - Coating apparatus and coating method - Google Patents

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KR102270149B1
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쳉시옹 시아
히사야 나가이
마사키 요코야마
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쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 가압 공급 방식이라도, 도포 처리를 개시할 때에 최초로 노즐로부터 토출되는 도액이 부풀어올라 도포되는 것을 억제하는 것이 가능하고, 도포 처리의 개시 시점부터 적절한 도막 두께로 도포 대상물에 도포할 수 있음과 아울러, 구성이 간단하고 또한 도막 두께 조정을 위한 제어도 용이한 도포 장치 및 도포 방법을 제공한다.
[해결 수단] 탱크(3)에 저류되어 있는 도액(b)을, 가압에 의해 도액 공급계(9)로 밀어내어 공급하는 도액 공급원(2)과, 도액 공급계에 접속되며, 공급되는 도액을 토출하면서, 도포 대상물(11)에 대해 상대 이동되어, 도포 대상물을 도포 처리하는 노즐(12)과, 도액 공급계에 마련되며, 도포 처리를 개시할 때 열려 도액을 노즐에 공급하고, 닫혀져 도액의 노즐로의 공급을 정지하는 개폐 밸브(13)와, 도액 공급계에 마련되고 또한 도액이 내부에 충만되며, 개폐 밸브가 열렸을 때에 노즐을 향해 전파되는 압력의 변화를 억제하는 버퍼 탱크(15)를 구비했다.[Problem] Even in a pressurized supply method, it is possible to suppress the swelling and application of the coating liquid discharged from the nozzle first when the application process is started, and it is possible to apply to the object to be coated with an appropriate film thickness from the start of the application process In addition, a coating device and a coating method having a simple configuration and easy control for adjusting the thickness of the coating film are provided.
[Solution means] A coating liquid supply source 2 that pushes and supplies the coating liquid b stored in the tank 3 to the coating liquid supply system 9 by pressurization, and the coating liquid supply system connected to the coating liquid supply system and supplying the supplied coating liquid While discharging, the nozzle 12 is moved relative to the application object 11, and is provided in the coating liquid supply system, which moves relative to the application object 11 for application processing, and opens when the application process starts to supply the coating liquid to the nozzle, and closes to supply the coating liquid to the nozzle An on/off valve 13 for stopping supply to the nozzle, and a buffer tank 15 provided in the coating liquid supply system and filled with the coating liquid therein, which suppresses a change in pressure propagating toward the nozzle when the on/off valve is opened; provided

Figure 112015032127353-pat00001
Figure 112015032127353-pat00001

Description

도포 장치 및 도포 방법{COATING APPARATUS AND COATING METHOD}Applicator and coating method {COATING APPARATUS AND COATING METHOD}

본 발명은, 가압 공급 방식이라도, 도포 처리를 개시할 때에 최초로 노즐로부터 토출되는 도액(塗液)이 부풀어올라 도포되는 것을 억제하는 것이 가능한 것으로서, 도포 처리의 개시 시점부터 적절한 도막 두께로 도포 대상물에 도포할 수 있음과 아울러, 구성이 간단하고 또한 도막 두께 조정을 위한 제어도 용이한 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.According to the present invention, even if it is a pressurized supply method, it is possible to suppress the swelling and application of the coating liquid discharged from the nozzle first when the application process is started, While being able to apply|coat, it is related with the coating apparatus and application|coating method which a structure is simple and control for coating-film thickness adjustment is also easy.

기판 등의 도포 대상물에 대해서 상대 이동되는 노즐에, 탱크 내부에 저류(貯留)되어 있는 도액을, 가압에 의한 밀어냄에 의해서 공급하는 가압 공급 방식으로 공급하도록 하고, 이것에 의해 노즐로부터 도액을 토출시켜 도포 대상물을 도포 처리하도록 한 도포 장치로서, 특허 문헌 1 및 2가 알려져 있다. A coating liquid stored in a tank is supplied to a nozzle that is moved relative to an object to be coated, such as a substrate, by a pressurized supply method that supplies the coating liquid stored in the tank by pushing it out by pressure, thereby discharging the coating liquid from the nozzle Patent Documents 1 and 2 are known as a coating apparatus in which an object to be coated is applied by applying it.

특허 문헌 1의 「슬릿식 도포 장치」는, 설비 코스트가 불어나지 않고, 도포 개시와 종료시의 약액(藥液)의 토출량을 제어하고, 균일한 도포막을 얻는 슬릿식 도포 장치의 제공을 과제로 하고, 도포 개시와 종료시에 약액의 토출량을 제어하는 슬릿식 도포 장치에 있어서, 상기 도포 약액 공급의 ON/OFF를 행하는 상시 폐쇄의 단동(單動) 약액 밸브를 가지는 기구와, 해당 약액 밸브의 개폐를 구동(제어)하기 위한 에어 압력을 컨트롤러로부터의 전기적 신호에 의해 자유 자재로 변경 가능한 전공(電空, Electro-Pneumatic) 레귤레이터를 가지는 기구와, 상기 레귤레이터에 전기적 신호를 전송하기 위한 컨트롤러를 가지는 기구를 구비하고 있는 슬릿식 도포 장치로 하도록 하고 있다. 특허 문헌 1에서는, 약액은 가압 탱크에 정밀 레귤레이터에 의해 가압되고, 약액 밸브의 밸브 직전까지 공급된 상태로 되어 있으며, 설정된 전공 레귤레이터의 에어압에 의해 약액 밸브의 밸브가 열려, 슬릿 노즐에 약액이 공급되는 구조로 되어 있다. The "slit-type coating device" of patent document 1 does not increase equipment cost, and controls the discharge amount of a chemical|medical solution at the time of application start and end, and provides a slit-type coating apparatus which obtains a uniform coating film as a subject. , A slit-type applicator for controlling a discharge amount of a chemical solution at the start and end of application, a mechanism having a normally closed single-acting chemical valve for ON/OFF of supply of the applied chemical solution, and opening and closing of the chemical solution valve A mechanism having an electro-pneumatic regulator capable of freely changing an air pressure for driving (controlling) by an electrical signal from a controller, and a mechanism having a controller for transmitting an electrical signal to the regulator; It is set as the slit-type application|coating apparatus with which it was equipped. In Patent Document 1, the chemical liquid is pressurized into the pressure tank by the precision regulator and supplied to just before the valve of the chemical liquid valve, and the valve of the chemical liquid valve is opened by the set air pressure of the pneumatic regulator, and the chemical liquid enters the slit nozzle. structure to be supplied.

특허 문헌 2의 「기판 처리 장치 및 송액(送液, 액체를 보냄) 장치」는, 파티클(particle)을 발생시키지 않고, 처리액을 고정밀도로 보내는 장치를 제공하는 것을 과제로 하고, 슬릿 노즐에 대해서 레지스터액(처리액)을 보내는 송액 기구에, 레지스터 펌프와 구동 기구를 마련한다. 게다가, 레지스터 펌프에, 소경(小徑)의 제1 벨로우즈, 대경(大徑)의 제2 벨로우즈, 제1 벨로우즈와 제2 벨로우즈와의 접합 부재, 및 레지스터액의 유로가 되는 튜브를 마련한다. 구동 기구가 아래 방향으로 접합 부재를 이동시키는 것에 의해, 튜브의 내부 용적이 감소하고, 튜브 내의 레지스터액이 슬릿 노즐에 보내어진다. 또, 구동 기구가 아래 방향으로 접합 부재를 이동시키는 것에 의해, 튜브의 내부 용적이 증가하고, 레지스터 펌프에 레지스터액이 흡인된다. 특허 문헌 2에서는, 기판 처리 장치는, 레지스터액을 공급하는 공급 기구로서, 보급 장치, 버퍼 탱크, 센서를 구비하며, 버퍼 탱크는, 레지스터액을 일시적으로 저류하는 것에 의해서, 레지스터액에 혼입되어 있는 에어를 분리 제거하기 위해서 마련되어 있고, 제어계가 버퍼 탱크를 제어하는 것에 의해 대기압에 의해서 슬릿 노즐에 레지스터액의 송액을 행하도록 되어 있다. "Substrate processing apparatus and liquid feeding apparatus" of Patent Document 2 has an object to provide an apparatus for sending processing liquid with high precision without generating particles, and with respect to a slit nozzle A register pump and a drive mechanism are provided in the liquid feeding mechanism for sending the register liquid (processing liquid). Furthermore, a small-diameter first bellows, a large-diameter second bellows, a joining member of the first bellows and the second bellows, and a tube serving as a flow path for the resistor liquid are provided in the resistor pump. When the driving mechanism moves the joining member in the downward direction, the internal volume of the tube is reduced, and the resist liquid in the tube is sent to the slit nozzle. Moreover, when a drive mechanism moves a joining member downward, the internal volume of a tube increases, and a resist liquid is sucked by a resistor pump. In Patent Document 2, a substrate processing apparatus includes a replenishment device, a buffer tank, and a sensor as a supply mechanism for supplying a resist liquid, the buffer tank being mixed with the resist liquid by temporarily storing the resist liquid. It is provided in order to separate and remove air, and the control system controls the buffer tank so that the resist liquid is supplied to the slit nozzle by atmospheric pressure.

특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2002－254008호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2002-254008 특허 문헌 2 : 일본특허공개 제2004－281640호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open No. 2004-281640

도 5에는, 가압 공급 방식의 기본 구성이 나타내어져 있다. 기밀 구조의 탱크(a)에는, 도액(b)을 보충하기 위해서, 도액 보충용 개폐 밸브(c)를 가지는 도액 보충계(d)가 접속됨과 아울러, 공기 등의 가압용 가스를 탱크(a)로 도입하기 위해서, 가스 도입용 개폐 밸브(e)를 가지는 가스 도입계(f)가 접속되어 있다. 탱크(a)에 도입된 가스는, 탱크(a) 내부가 소정의 일정 압력값으로 유지되도록 가압하면서, 이 가압에 의해, 탱크(a)로부터 도액(b)을 밀어내도록 되어 있다. Fig. 5 shows the basic configuration of the pressurized supply system. In order to replenish the coating liquid (b) in the tank (a) of the airtight structure, a coating liquid replenishment system (d) having an on/off valve (c) for coating liquid replenishment is connected to the tank (a), and pressurized gas such as air is transferred to the tank (a). In order to introduce|transduce, the gas introduction system f which has the on-off valve e for gas introduction is connected. The gas introduced into the tank (a) is pressurized so that the inside of the tank (a) is maintained at a predetermined constant pressure value, and the coating liquid (b) is pushed out of the tank (a) by this pressurization.

탱크(a)와 노즐(g)과의 사이에는, 탱크(a)로부터 밀어내어진 도액(b)을 노즐(g)로 공급하여 토출시키기 위해서, 개폐 밸브(h)를 가지는 도액 공급계(i)가 마련되어 있다. 노즐(g)과 도포 대상물(j)과는 상대 이동되고, 이것에 의해 노즐(g)로부터 토출되는 도액(b)으로 도포 대상물(j)가 도포 처리되도록 되어 있다. Between the tank (a) and the nozzle (g), a coating liquid supply system (i) having an on/off valve (h) for supplying and discharging the coating liquid (b) pushed out from the tank (a) to the nozzle (g) ) is provided. The nozzle g and the application object j are moved relative to each other, whereby the application object j is coated with the coating liquid b discharged from the nozzle g.

도포 대상물(j)을 도포 처리할 때에는, 탱크(a)에는 미리, 도액 보충계(d)로부터, 적어도 도포 처리 1회분의 도액(b)이 보충되어 저류되어 있다. 가스 도입용 개폐 밸브(e)가 열림으로써 탱크(a) 내부에 도입되는 가스는, 그 가압 작용에 의해, 탱크(a)로부터 도액 공급계(i)로 도액(b)을 밀어낸다. When the coating object j is subjected to the coating treatment, the tank a is previously replenished with the coating liquid b for at least one application treatment from the coating liquid replenishment system d and stored therein. The gas introduced into the tank (a) by opening the on/off valve (e) for gas introduction pushes the coating liquid (b) from the tank (a) to the coating liquid supply system (i) by the pressurization action thereof.

상세하게는, 도액(b)의 밀어냄에 의한 탱크(a) 내부의 도액(b)의 감소에 따라서, 가스가 계속적으로 탱크(a) 내부에 도입되고, 이것에 의해 탱크(a) 내부가 소정의 일정 압력값으로 유지되면서, 도액(b)을 밀어내는 가압 작용이 유지된다. Specifically, according to the reduction of the coating liquid b inside the tank a by the pushing of the coating liquid b, gas is continuously introduced into the tank a, whereby the inside of the tank a is reduced. While maintaining at a predetermined constant pressure value, the pressing action of pushing the coating liquid (b) is maintained.

일정 압력값으로 가압되어 있는 탱크(a)로부터 밀어내어진 도액(b)은, 열려 있는 개폐 밸브(h)를 통하여 노즐(g)로 공급되고, 노즐(g)에 공급된 도액(b)은, 노즐(g)로부터 도포 대상물(j)을 향해서 항상 일정한 토출압으로 토출되어, 토출 중에도 압력의 변동은 일어나지 않는다. 이것에 의해, 도포 대상물(j)은, 일정한 도막 두께로 도포 처리된다고 하는 장점이 있다. The coating liquid (b) pushed out from the tank (a) pressurized at a constant pressure value is supplied to the nozzle (g) through the open on/off valve (h), and the coating liquid (b) supplied to the nozzle (g) is , is discharged at a constant discharge pressure from the nozzle g toward the application object j, and the pressure does not fluctuate even during discharge. Thereby, there exists an advantage that the application|coating target object j is coated with a constant coating film thickness.

도포 처리를 개시할 때에는 통상, 탱크(a) 내부로부터 노즐(g) 내부에 걸쳐, 도액(b)이 거의 충만되어 있음과 아울러, 도액 공급계(i)의 개폐 밸브(h)가 닫혀져 도액(b)의 유통이 차단되어 있다. 이 때, 탱크(a)에는, 도포 처리의 개시에 따라 도액(b)을 공급하기 위해서 가스가 도입되어 있어, 이 가스에 의해, 탱크(a) 내부는 소정의 일정 압력값으로 가압되어 있다. 따라서, 도액(b)은, 탱크(a)로부터 개폐 밸브(h)를 향해서, 이미 밀어냄 작용을 받고 있다. When the coating process is started, the coating liquid b is usually almost filled from the inside of the tank a to the inside of the nozzle g, and the on/off valve h of the coating liquid supply system (i) is closed and the coating liquid ( The distribution of b) is blocked. At this time, gas is introduced into the tank a in order to supply the coating liquid b in accordance with the start of the coating process, and the inside of the tank a is pressurized to a predetermined constant pressure value by this gas. Therefore, the coating liquid b has already received the pushing action from the tank a toward the on-off valve h.

이 때문에, 개폐 밸브(h)를 열면, 탱크(a) 내부는, 거의 소정의 일정 압력값이지만, 도액(b)은, 닫힌 상태에 있던 개폐 밸브(h)가 순간적으로 열리는 것에 의해, 노즐(g)을 향해 단번에 흘러, 탱크(a) 내부의 일정한 압력 상태와는 관계없이, 도 5 중의 그래프에 나타낸 바와 같이, 많은 토출량으로 노즐(g)로부터 토출되어 버린다. For this reason, when the opening/closing valve h is opened, the inside of the tank a is almost a predetermined constant pressure value, but the coating liquid b opens the on-off valve h which was in the closed state momentarily, so that the nozzle ( It flows toward g) at once, and is discharged from the nozzle g at a large discharge amount as shown in the graph in Fig. 5 irrespective of the constant pressure state inside the tank a.

이 결과, 도포 처리를 개시할 때, 예를 들면 최초로 노즐(g)로부터 토출되는 도액(b)이 도포되는 도포 시단(始端)(k)에서는, 도면 중, m부분으로 나타내는 바와 같이, 도액(b)이 부풀어올라 버린다고 하는 과제가 있었다. As a result, when starting the coating process, for example, at the coating start end k where the coating liquid b discharged from the nozzle g is first applied, as indicated by the m portion in the figure, the coating liquid ( There was a problem that b) swells up.

본 발명은 상기 종래의 과제를 감안하여 창안된 것으로서, 가압 공급 방식이라도, 도포 처리를 개시할 때에 최초로 노즐로부터 토출되는 도액이 부풀어올라 도포되는 것을 억제하는 것이 가능한 것으로서, 도포 처리의 개시 시점부터 적절한 도막 두께로 도포 대상물에 도포할 수 있음과 아울러, 구성이 간단하고 또한 도막 두께 조정을 위한 제어도 용이한 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been devised in view of the above conventional problems, and even in a pressurized supply method, it is possible to suppress the swelling and application of the coating liquid discharged from the nozzle first when the coating process is started, and it is suitable from the start of the coating process. An object of the present invention is to provide a coating device and a coating method having a simple configuration and easy control for adjusting the coating film thickness while being able to apply the coating film thickness to an object to be coated.

본 발명에 관한 도포 장치는, 탱크 내에 저류(貯留)되어 있는 도액(塗液)을, 가압에 의해 도액 공급계로 밀어내어 공급하는 도액 공급원과, 해당 도액 공급계에 접속되며, 공급되는 도액을 토출하면서, 도포 대상물에 대해 상대 이동되어, 도포 대상물을 도포 처리하는 노즐과, 상기 도액 공급계에 마련되며, 도포 처리를 개시할 때에 열려 도액을 상기 노즐에 공급하고, 닫혀져 도액의 해당 노즐로의 공급을 정지하는 개폐 밸브와, 상기 도액 공급계에 마련되고, 또한 도액이 내부에 충만되며, 상기 개폐 밸브가 열렸을 때에 상기 노즐을 향해 전파되는 압력의 변화를 억제하는 버퍼 탱크(buffer tank)를 구비한 것을 특징으로 한다. The coating device according to the present invention includes a coating liquid supply source that pushes and supplies a coating liquid stored in a tank to a coating liquid supply system by pressurization, and is connected to the coating liquid supply system and discharges the supplied coating liquid while moving relative to the object to be coated, a nozzle for applying the object to be coated, and a nozzle provided in the coating liquid supply system, open at the start of the coating process to supply the coating liquid to the nozzle, and close to supply the coating liquid to the nozzle a buffer tank provided in the coating liquid supply system and filled with the coating liquid to suppress a change in pressure propagating toward the nozzle when the on-off valve is opened; characterized in that

상기 버퍼 탱크는 가변 용량형인 것을 특징으로 한다. The buffer tank is characterized in that it is of a variable capacity type.

상기 버퍼 탱크를 대신하여, 상기 도액 공급계에, 상기 개폐 밸브와 상기 노즐과의 사이에 배치하여, 도포 처리를 개시할 때 해당 개폐 밸브가 닫혀진 상태에서, 도액을 해당 노즐에 공급하는 시린지 펌프(syringe pump)를 마련하며, 해당 개폐 밸브는, 도포 처리를 개시할 때에 열리는 것을 대신하여, 상기 시린지 펌프에 의한 도액의 공급 정지에 따라 열리는 것을 특징으로 한다. A syringe pump that replaces the buffer tank and is disposed between the on-off valve and the nozzle in the coating liquid supply system and supplies the coating liquid to the nozzle while the on-off valve is closed when the application process is started ( syringe pump) is provided, and the corresponding opening/closing valve is opened according to the stop of the supply of the coating solution by the syringe pump instead of being opened when the application process is started.

상기 도액 공급원과 상기 노즐과의 사이에, 도액 공급계와 병렬로, 추가의 도액 공급계를 마련함과 아울러, 해당 추가의 도액 공급계에, 도포 처리를 개시할 때 상기 개폐 밸브가 닫혀진 상태에서, 도액을 상기 노즐에 공급하는 시린지 펌프를 마련하며, 해당 개폐 밸브는, 도포 처리를 개시할 때에 열리는 것을 대신하여, 상기 시린지 펌프에 의한 도액의 공급 정지에 따라 열리는 것을 특징으로 한다. An additional coating liquid supply system is provided between the coating liquid supply source and the nozzle, in parallel with the coating liquid supply system, and the on-off valve is closed in the additional coating liquid supply system when the application process is started, A syringe pump for supplying the coating liquid to the nozzle is provided, and the opening/closing valve is opened when the supply of the coating liquid by the syringe pump is stopped instead of being opened when the application process is started.

본 발명에 관한 도포 방법은, 버퍼 탱크를 대신하여, 시린지 펌프를 구비한 상기 도포 장치를 이용하며, 도포 처리를 개시할 때 상기 개폐 밸브가 닫혀진 상태에서, 상기 시린지 펌프로부터 상기 노즐에 도액이 공급되고, 이어서 도포 처리를 속행하기 위해서, 상기 시린지 펌프에 의한 도액의 공급 정지에 따라서, 상기 개폐 밸브가 열려 상기 도액 공급원으로부터 상기 노즐에 도액이 공급되는 것을 특징으로 한다. In the coating method according to the present invention, the coating liquid is supplied from the syringe pump to the nozzle while the on-off valve is closed when the coating process is started, using the coating device having a syringe pump instead of a buffer tank. Then, in order to continue the coating process, the on-off valve is opened according to the stop of the supply of the coating liquid by the syringe pump, and the coating liquid is supplied from the coating liquid supply source to the nozzle.

본 발명에 관한 도포 방법은, 추가의 도액 공급계를 구비한 상기 도포 장치를 이용하며, 도포 처리를 개시할 때 상기 도액 공급계의 상기 개폐 밸브가 닫혀진 상태에서, 상기 시린지 펌프로부터 상기 추가의 도액 공급계를 매개로 하여 상기 노즐에 도액이 공급되고, 이어서 도포 처리를 속행하기 위해서, 상기 시린지 펌프에 의한 도액의 공급 정지에 따라서, 상기 개폐 밸브가 열려 상기 도액 공급원으로부터 상기 도액 공급계를 매개로 하여 상기 노즐에 도액이 공급되는 것을 특징으로 한다. The coating method according to the present invention uses the coating device provided with an additional coating liquid supply system, and when the coating process is started, the additional coating liquid is discharged from the syringe pump while the on-off valve of the coating liquid supply system is closed. The coating liquid is supplied to the nozzle through the supply system, and then, in order to continue the coating process, when the supply of the coating liquid by the syringe pump is stopped, the on-off valve is opened and the coating liquid supply system from the coating liquid supply system as a medium Thus, it is characterized in that the coating liquid is supplied to the nozzle.

본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법에 있어서는, 가압 공급 방식이라도, 도포 처리를 개시할 때에 최초로 노즐로부터 토출되는 도액이 부풀어올라 도포되는 것을 억제할 수 있고, 도포 처리의 개시 시점부터 적절한 도막 두께로 도포 대상물에 도포할 수 있음과 아울러, 구성이 간단하고 또한 도막 두께 조정을 위한 제어도 용이하게 할 수 있다. In the coating device and coating method according to the present invention, even if it is a pressurized supply method, it is possible to suppress swelling and application of the coating liquid first discharged from the nozzle at the start of the coating process, and from the start of the coating process to an appropriate coating film thickness. While being able to apply|coat to an application|coating object, a structure is simple, and control for coating-film thickness adjustment can also be made easily.

도 1은 본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 제1 실시 형태를 나타내는 개략 구성도이다.
도 2는 본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 제2 실시 형태를 나타내는 개략 구성도이다.
도 3은 본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 제3 실시 형태를 나타내는 개략 구성도이다.
도 4는 본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 제4 실시 형태를 나타내는 개략 구성도이다.
도 5는 종래의 도포 장치의 개략 구성도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram which shows 1st Embodiment of the coating apparatus and coating method which concern on this invention.
It is a schematic block diagram which shows 2nd Embodiment of the coating apparatus and coating method which concern on this invention.
It is a schematic block diagram which shows 3rd Embodiment of the coating apparatus and coating method which concern on this invention.
It is a schematic block diagram which shows 4th Embodiment of the coating apparatus and coating method which concern on this invention.
5 is a schematic configuration diagram of a conventional coating device.

이하에, 본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 바람직한 실시 형태를, 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1에는, 제1 실시 형태에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 개략 구성이 나타내어져 있다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of the coating apparatus and coating method which concern on this invention is described in detail with reference to an accompanying drawing. 1, the schematic structure of the coating apparatus which concerns on 1st Embodiment, and a coating method is shown.

제1 실시 형태에 관한 도포 장치(1)는, 도액 공급원(2)을 구비한다. 도액 공급원(2)은, 도액(b)을 저류하는 기밀 구조의 탱크(3)와, 탱크(3)에 접속되며, 탱크(3)로 도액(b)을 보충하는 도액 보충계(4)와, 탱크(3)에 접속되며, 탱크(3) 내부를 소정의 일정 압력값으로 가압하기 위해서, 탱크(3) 내부에 공기 등의 가스를 도입하는 가스 도입계(5)와, 탱크(3) 내부의 압력을 나타내는 압력계(6)로 구성된다. The coating device 1 according to the first embodiment includes a coating liquid supply source 2 . The coating liquid supply source 2 includes a tank 3 of an airtight structure for storing the coating liquid b, and a coating liquid replenishment system 4 connected to the tank 3 and replenishing the coating liquid b with the tank 3; , a gas introduction system 5 connected to the tank 3 and introducing a gas such as air into the tank 3 in order to pressurize the inside of the tank 3 to a predetermined constant pressure value; It consists of a pressure gauge 6 indicating the internal pressure.

도액 보충계(4)에는, 열리는 것에 의해, 도액(b)을 탱크(3)에 보충하고, 닫히는 것에 의해, 도액(b)의 보충을 정지하는 도액 보충용 개폐 밸브(7)가 마련된다. 탱크(3) 내부에는, 도포 처리 개시 전에 미리, 적어도 도포 처리 1회분의 도액(b)이 보충되어 저류된다. The coating-liquid replenishment system 4 is provided with a coating-liquid replenishment opening/closing valve 7 which replenishes the coating-liquid b to the tank 3 by opening, and stops replenishing of the coating-liquid b by closing. In the inside of the tank 3, the coating liquid b for at least 1 application|coating process is replenished and stored beforehand before the start of an application|coating process.

가스 도입계(5)에는, 열리는 것에 의해, 가압용의 가스를 탱크(3)에 도입하고, 닫혀지는 것에 의해, 가스의 도입을 정지하는 가스 도입용 개폐 밸브(8)가 마련된다. 탱크(3) 내부에 도입되는 가스는, 탱크(3) 내부가 소정의 일정 압력값으로 유지되도록 가압하고, 이 가압에 의해, 탱크(3) 내부에 저류되어 있는 도액(b)을 해당 탱크(3)로부터 밀어내어, 후술하는 도액 공급계(9)에 공급한다. The gas introduction system 5 is provided with an opening/closing valve 8 for gas introduction which introduces the gas for pressurization into the tank 3 by opening, and stops the introduction of the gas by closing. The gas introduced into the tank 3 is pressurized so that the inside of the tank 3 is maintained at a predetermined constant pressure value, and by this pressurization, the coating liquid b stored in the tank 3 is removed from the tank ( It is pushed out from 3) and supplied to the coating-liquid supply system 9 mentioned later.

구체적으로는, 가스는, 도액(b)의 밀어냄에 의한 탱크(3) 내부의 도액(b)의 감소에 따라서, 계속적으로 탱크(3) 내부에 도입되고, 이것에 의해 탱크(3) 내부가 소정의 일정 압력값으로 유지되면서, 도액(b)을 밀어내는 가압 작용이 유지되도록 되어 있다. 탱크(3) 내부의 일정 압력값은, 압력계(6)에 의해서 확인할 수 있다. Specifically, the gas is continuously introduced into the tank 3 in accordance with a decrease in the coating liquid b inside the tank 3 due to the pushing out of the coating liquid b, and thereby the inside of the tank 3 . While is maintained at a predetermined constant pressure value, the pressure action of pushing the coating liquid (b) is maintained. The constant pressure value inside the tank 3 can be confirmed with the pressure gauge 6 .

도액 공급원(2)의 탱크(3)에는, 도액 공급계(9)의 일단이 접속되고, 탱크(3)로부터 가압에 의해서 밀어내어진 도액(b)이 공급되고, 유통된다. 도액 공급계(9)의 타단에는, 해당 도포 공급계(9)를 통하여 공급되는 도액(b)을 토출하여, 기대(基台)(10)에 재치(載置)된 기판 등의 도포 대상물(11)을 도포 처리하는 노즐(12)이 접속된다. One end of the coating liquid supply system 9 is connected to the tank 3 of the coating liquid supply source 2 , and the coating liquid b pushed out by pressurization from the tank 3 is supplied and circulated. At the other end of the coating liquid supply system 9, the coating liquid b supplied through the application supply system 9 is discharged, and an application object such as a substrate placed on a base 10 ( A nozzle 12 for applying 11) is connected.

노즐(12)이 도액(b)을 토출하고 있을 때에, 이들 노즐(12)과 기대(10)가, 도시하지 않는 이동 기구에 의해, 어느 일방이 타방에 대해, 혹은 쌍방이 서로, 상대 이동되는 것에 의해서, 노즐(12)로부터 토출되는 도액(b)으로 도포 대상물(11)이 도포 처리되도록 되어 있다. 도포 처리는 통상, 도포 대상물(11)이 길이 방향 일방의 단부인 도포 시단(11a)으로부터 개시되고, 도포 대상물(11)의 길이 방향 타방의 단부인 도포 종단(終端)(도시하지 않음)을 향해 행해진다. When the nozzle 12 is discharging the coating liquid b, one of these nozzles 12 and the base 10 are relatively moved relative to the other or by a moving mechanism not shown. As a result, the application object 11 is coated with the coating liquid b discharged from the nozzle 12 . The application process is usually started from the application start end 11a where the application object 11 is one end in the longitudinal direction, and is directed toward the application end (not shown) that is the other end in the longitudinal direction of the application object 11 . is done

노즐(12)과 탱크(3)와의 사이에 마련되는 도액 공급계(9)에는, 개폐 밸브(13a)가 마련된다. 개폐 밸브(13a)는, 열리는 것에 의해, 도액(b)을 탱크(3)(도액 공급원(2))으로부터 노즐(12)에 공급하고, 닫혀지는 것에 의해, 도액(b)의 노즐(12)로의 공급을 정지한다. 따라서, 개폐 밸브(13a)는, 도포 처리를 개시할 때에 열림 동작되고, 도포 처리 중, 개방 상태가 유지된다. 또, 도포 처리가 완료했을 때 등, 도포 처리를 행하지 않을 때에 닫힘 동작되어, 폐쇄 상태가 유지된다. An on-off valve 13a is provided in the coating liquid supply system 9 provided between the nozzle 12 and the tank 3 . The opening/closing valve 13a supplies the coating liquid b from the tank 3 (coating liquid supply source 2) to the nozzle 12 by opening, and closing the nozzle 12 of the coating liquid b Stop the supply to the furnace. Therefore, the opening/closing valve 13a is opened when starting the application process, and the open state is maintained during the application process. Moreover, when an application|coating process is not performed, such as when an application|coating process is complete|finished, a closing operation|movement is performed and the closed state is maintained.

개폐 밸브(13a)의 개폐는, 수동이라도 좋고, 자동 제어되도록 해도 괜찮다. The opening/closing of the opening/closing valve 13a may be manual or may be made to be automatically controlled.

도액 공급계(9)에는, 버퍼 탱크(15)가 마련된다. 도액 공급계(9)는, 탱크(3)에 접속되는 탱크측 계로(系路)(9a)와 노즐(12)에 접속되는 노즐측 계로(9b)의 2개의 계로로 구성되고, 이들 계로(9a, 9b)의 단부가 버퍼 탱크(15) 내부에 삽입되는 것에 의해, 버퍼 탱크(15)는 도액 공급계(9)에 개재된다. 본 실시 형태에서는, 도액 공급계(9)의 개폐 밸브(13a)는 탱크측 계로(9a)에 마련되어 있다. A buffer tank 15 is provided in the coating liquid supply system 9 . The coating liquid supply system 9 is composed of two system paths, a tank side system path 9a connected to the tank 3 and a nozzle side system path 9b connected to the nozzle 12, and these system paths ( When the ends of 9a and 9b are inserted into the buffer tank 15 , the buffer tank 15 is interposed in the coating liquid supply system 9 . In this embodiment, the on-off valve 13a of the coating liquid supply system 9 is provided in the tank side system path 9a.

버퍼 탱크(15)의 내부에는, 도액(b)이 충만된다. 버퍼 탱크(15)로의 도액(b)의 충전은, 사전에, 개폐 밸브(13a)를 열어 탱크(3)로부터 보내 두면 좋다. The inside of the buffer tank 15 is filled with the coating liquid b. The filling of the coating liquid b into the buffer tank 15 may be sent from the tank 3 by opening the on-off valve 13a in advance.

도포 처리를 개시할 때에는 통상, 탱크(3) 내부로부터 노즐(12) 내부에 걸쳐, 도액(b)이 충만되어 있음과 아울러, 개폐 밸브(13a)가 닫혀 도액(b)의 유통이 차단되어 있다. 이 때, 탱크(3)에는, 도포 처리의 개시에 따라 도액(b)을 공급하기 위해서 가스가 도입되어 있고, 이 가스에 의해, 탱크(3) 내부는 소정의 일정 압력값으로 가압되어 있다. 따라서, 도액(b)은, 탱크(3)로부터 개폐 밸브(13a)를 향해서, 이미 밀어냄 작용을 받고 있다. When the coating process is started, the coating liquid b is usually filled from the inside of the tank 3 to the inside of the nozzle 12, and the on-off valve 13a is closed to cut off the flow of the coating liquid b. . At this time, gas is introduced into the tank 3 in order to supply the coating liquid b in accordance with the start of the coating process, and the inside of the tank 3 is pressurized to a predetermined constant pressure value by this gas. Therefore, the coating liquid b has already received the pushing action from the tank 3 toward the on-off valve 13a.

개폐 밸브(13a)를 열면, 탱크(3) 내부는, 거의 소정의 일정 압력값이지만, 도액(b)은, 닫힘 상태에 있던 개폐 밸브(13a)가 순간적으로 열리는 것에 의해, 탱크(3) 내부의 일정한 압력 상태와는 관계없이, 노즐(12)을 향해 단번에 흐르게 되어, 도액 공급계(9)에는, 노즐(12)을 향해 전파되는 압력의 변화가 발생한다. When the on-off valve 13a is opened, the inside of the tank 3 is at a substantially predetermined constant pressure value, but the coating liquid b opens the on-off valve 13a in the closed state momentarily, so that the inside of the tank 3 is Regardless of the constant pressure state of , it flows toward the nozzle 12 at once, and a change in pressure propagates toward the nozzle 12 occurs in the coating liquid supply system 9 .

버퍼 탱크(15)는, 개폐 밸브(13a)가 열렸을 때에 생기는 이 압력 변화를 억제한다. 도액(b)은, 완전한 비압축성 유체가 아니고, 압축 탄성을 가지므로, 개폐 밸브(13a)가 열림으로써, 탱크측 계로(9a)로부터 버퍼 탱크(15)에 유입한 도액(b)은, 큰 용량의 버퍼 탱크(15)에 의해, 해당 버퍼 탱크(15)의 내부에서 도액(b) 자신의 압축 탄성에 의해서, 단번에 흐르는 수격적(水擊的)인 현상이 완충된다. 이것에 의해, 개폐 밸브(13a)가 열렸을 때에, 도액 공급계(9)를 통하여 노즐(12)을 향해 전파되는 압력의 변화가 억제된다. The buffer tank 15 suppresses this pressure change that occurs when the on-off valve 13a is opened. Since the coating liquid b is not a completely incompressible fluid and has compressive elasticity, when the on-off valve 13a is opened, the coating liquid b flowing into the buffer tank 15 from the tank side system path 9a has a large capacity. of the buffer tank 15, the water hammer phenomenon flowing at once inside the buffer tank 15 is buffered by the compressive elasticity of the coating liquid b itself. Thereby, when the on-off valve 13a is opened, the change of the pressure which propagates toward the nozzle 12 through the coating-liquid supply system 9 is suppressed.

제1 실시 형태에 관한 도포 장치(1)의 작용에 대해 설명한다. 도포 처리를 개시하기 전의 준비 단계에서는, 탱크(3) 내부에 도액 보충계(4)로부터 도액(b)이 보충되어 저류되고, 그 후, 탱크(3) 내부에 가스 도입계(5)로부터 가압용의 가스가 도입되어, 해당 탱크(3) 내부가 소정의 일정 압력값으로 가압된다. The operation of the coating device 1 according to the first embodiment will be described. In the preparatory stage before starting the coating process, the coating liquid b is replenished from the coating liquid replenishment system 4 inside the tank 3 and stored, and then pressurized from the gas introduction system 5 inside the tank 3 . Dragon gas is introduced, and the inside of the tank 3 is pressurized to a predetermined constant pressure value.

이 때, 도액 공급계(9)의 개폐 밸브(13a)는 닫혀져 있어, 도액(b)의 유통이 차단되어 있고, 도액(b)은, 탱크(3)로부터 개폐 밸브(13a)를 향해서 밀어냄 작용을 받고 있다. 이 때, 개폐 밸브(13a)로부터 노즐(12)에 걸치는 도중에는, 도액(b)이 충만되어 있음과 아울러, 버퍼 탱크(15) 내부에도 도액(b)이 충만되어 있다. At this time, the on-off valve 13a of the coating liquid supply system 9 is closed, the flow of the coating liquid b is cut off, and the coating liquid b is pushed from the tank 3 toward the on-off valve 13a. is working At this time, the coating liquid b is filled in the middle from the on-off valve 13a to the nozzle 12 , and the coating liquid b is also filled in the buffer tank 15 inside.

기대(10)에 재치된 도포 대상물(11)에 대해, 그의 도포 시단(11a)으로부터 도포 처리를 개시할 때에는, 도액 공급계(9)의 개폐 밸브(13a)가 열린다. 개폐 밸브(13a)가 열리면, 탱크(3) 내부는 거의 소정의 일정 압력값이지만, 도액(b)은, 닫혀져 있던 개폐 밸브(13a)가 순간적으로 열리는 것에 의해, 노즐(12)을 향해 단번에 흐르려고 한다. When starting the application process from the application start end 11a of the application object 11 placed on the base 10 , the opening/closing valve 13a of the coating liquid supply system 9 is opened. When the on-off valve 13a is opened, the inside of the tank 3 is at a substantially predetermined constant pressure value, but the coating liquid b flows toward the nozzle 12 at once when the closed on-off valve 13a is momentarily opened. going to

개폐 밸브(13a) 위치로부터 유통하는 도액(b)은, 개폐 밸브(13a) 보다도 노즐(12)측에 위치하는 버퍼 탱크(15)로 흘러 들어간다. 버퍼 탱크(15)는, 상술한 바와 같이 그의 큰 용량과, 도액(b) 자신의 압축 탄성에 의해서, 도액(b)의 수격적인 흐름을 완충할 수 있어, 도액 공급계(9)를 노즐(12)을 향해 전파하는 압력의 변화를 억제할 수 있다. 그 때문에, 버퍼 탱크(15)에 모여지는 도액(b)의 용량은, 적어도, 도포 시단(11a)에서 도액(b)이 부풀어올라 버리는 양을 압축 탄성으로 흡수 가능한 만큼의 용량이 필요하게 된다. The coating liquid b flowing from the on-off valve 13a flows into the buffer tank 15 located on the nozzle 12 side rather than the on-off valve 13a. As described above, the buffer tank 15 can buffer the water hammer flow of the coating liquid b due to its large capacity and the compressive elasticity of the coating liquid b itself, so that the coating liquid supply system 9 is connected to the nozzle ( 12), it is possible to suppress the change in pressure propagating toward the Therefore, the capacity of the coating liquid b collected in the buffer tank 15 is at least as large as the amount of the coating liquid b that swells up at the application start end 11a by compressive elasticity.

버퍼 탱크(15)에 의해, 개폐 밸브(13a)가 열리는 것에 수반하는 압력 변화가 억제되고, 탱크측 계로(9a)로부터 버퍼 탱크(15) 내에 유입한 도액 유량에 상당하는 도액(b)이, 버퍼 탱크(15)로부터 노즐측 계로(9b)를 매개로 하여 노즐(12)에 공급된다. 따라서, 노즐(12)로부터 토출되는 도액(b)의 토출량은, 도 1 중의 그래프에 나타낸 바와 같이, 개폐 밸브(13a)의 개방에 의해서도, 급격하게 상승하지 않고, 도포 처리를 개시할 때부터, 거의 탱크(3) 내부에 가해지고 있는 소정의 일정 압력값에 대응하는 토출량으로 토출되게 된다. By means of the buffer tank 15, the pressure change accompanying the opening of the on-off valve 13a is suppressed, and the coating liquid b corresponding to the coating liquid flow rate flowing into the buffer tank 15 from the tank side system passage 9a is reduced. It is supplied from the buffer tank 15 to the nozzle 12 via the nozzle side system path 9b. Therefore, as shown in the graph in Fig. 1, the discharge amount of the coating liquid b discharged from the nozzle 12 does not rise rapidly even when the on-off valve 13a is opened, and from the start of the application process, It is discharged at a discharge amount substantially corresponding to a predetermined constant pressure value applied to the inside of the tank 3 .

이것에 의해, 개폐 밸브(13a)를 열어 도포 처리를 개시할 때에, 최초로 노즐(12)로부터 토출되는 도액(b)이 부풀어올라 도포되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 도포 처리 개시부터, 그 후의 계속적인 도포 처리에 걸쳐서, 거의 일정량으로 도액(b)을 노즐(12)로부터 토출시킬 수 있어, 적절한 도막 두께로 도포 대상물(11)을 도포 처리할 수 있다. Thereby, when opening the on-off valve 13a and starting an application|coating process, it can suppress that the coating liquid b discharged from the nozzle 12 first swells up and is apply|coated. Therefore, from the start of the coating process to the subsequent coating process, the coating liquid b can be discharged from the nozzle 12 in a substantially constant amount, and the coating object 11 can be coated with an appropriate coating film thickness.

제1 실시 형태에 관한 도포 장치(1)는, 도액 공급계(9)에 버퍼 탱크(15)를 마련할 뿐이며, 구성이 극히 간단함과 아울러, 도막 두께 조정에 대한 특단의 제어도 필요가 없어, 용이하게 실시할 수 있다. The coating device 1 according to the first embodiment only provides a buffer tank 15 in the coating liquid supply system 9, and while the configuration is extremely simple, there is no need for special control over the adjustment of the coating film thickness. , can be easily carried out.

도 2에는, 제2 실시 형태에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 개략 구성이 나타내어져 있다. 제2 실시 형태의 도포 장치(16)에서는, 버퍼 탱크(17)는, 용량 가변형으로 구성된다. 버퍼 탱크(17)에는, 그 용량을 변화시키기 위해서, 버퍼 탱크(17) 내부로의 압입량이 조정 가능한 샤프트(18)가 마련된다. 버퍼 탱크(17) 내로의 샤프트(18)의 압입량을 늘리면, 버퍼 탱크(17)로서의 용량이 작게 되고, 반대로 압입량을 줄이면, 용량이 크게 된다. The schematic structure of the coating apparatus and coating method which concern on 2nd Embodiment is shown by FIG. In the coating device 16 of the second embodiment, the buffer tank 17 is configured of a variable capacity type. The buffer tank 17 is provided with a shaft 18 in which the amount of press-fitting into the buffer tank 17 can be adjusted in order to change its capacity. When the amount of press-fitting of the shaft 18 into the buffer tank 17 is increased, the capacity as the buffer tank 17 becomes small, and conversely, when the amount of press-in is reduced, the capacity becomes large.

용량 가변의 버퍼 탱크(17)를 마련하는 것에 의해, 제1 실시 형태와는 달리, 개폐 밸브(13a)를 열었을 때의 도액(b)의 흐름의 응답성을 조정하는, 즉 도포 처리를 개시할 때에 노즐(12)로부터 최초로 토출되는 도액(b)의 토출량을 늘리거나 줄이거나 하여, 용이하게 도포 시단(11a)에서의 도액(b)의 부풀어 오름이 없게 되도록 조정을 행할 수 있다. 이와 같은 제2 실시 형태라도, 상기 제 1 실시 형태와 동일한 작용 효과를 나타낸다. By providing the variable-capacity buffer tank 17, unlike the first embodiment, the responsiveness of the flow of the coating liquid b when the opening/closing valve 13a is opened is adjusted, that is, the coating process can be started. At this time, by increasing or decreasing the discharge amount of the coating liquid b initially discharged from the nozzle 12, adjustment can be made so that swelling of the coating liquid b at the application start end 11a does not occur easily. Even in such a second embodiment, the same effects as those of the first embodiment are exhibited.

도 3에는, 제3 실시 형태에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 개략 구성이 나타내어져 있다. 제3 실시 형태의 도포 장치(19)에서는 기본적으로, 버퍼 탱크(15, 17)를 대신하여, 그것 자신으로 도액(b)을 토출하는 기능을 가지는 시린지 펌프(syringe pump)(20)가 이용된다. 시린지 펌프(20)는, 탱크측 계로(9a)에 마련된 개폐 밸브(13a)와, 노즐측 계로(9b)에 마련된 개폐 밸브(13b)와의 사이에, 이들 양 계로(9a, 9b)의 단부와 접속하여, 도액 공급계(9)에 마련된다. The schematic structure of the coating apparatus and coating method which concern on 3rd Embodiment is shown by FIG. In the coating device 19 of the third embodiment, basically, instead of the buffer tanks 15 and 17, a syringe pump 20 having a function of discharging the coating liquid b by itself is used. . The syringe pump 20 is disposed between the on-off valve 13a provided in the tank-side system passage 9a and the on-off valve 13b provided in the nozzle-side system passage 9b, the ends of both system passages 9a and 9b and It is connected and provided in the coating liquid supply system (9).

이것에 의해, 시린지 펌프(20)는, 개폐 밸브(13a)와 개폐 밸브(13b)와의 사이에 배치된다. 시린지 펌프(20)는, 피스톤 로드(20a)를 모터(20b)로 구동하는 것에 의해, 피스톤(20c)과 실린더(20d)의 사이에 충만 상태로 모여진 도액(b)을, 해당 시린지 펌프(20) 외측, 본 실시 형태에서는 도액 공급계(9)로 밀어내도록 되어 있다. 시린지 펌프(20)는 잘 알려져 있는 바와 같이, 고정밀도로 도액(b) 등의 액체나 기체의 밀어냄량을 조정할 수 있는 기능을 가지며, 토출 개시시에, 도포 시단(11a)에서 도액(b)이 부풀어 오름과 같은 사태가 생기지 않는다고 하는 장점이 있다. Thereby, the syringe pump 20 is arrange|positioned between the on-off valve 13a and the on-off valve 13b. The syringe pump 20 drives the piston rod 20a with the motor 20b, thereby discharging the coating liquid b accumulated between the piston 20c and the cylinder 20d in a filled state, the syringe pump 20 ) outside, in the present embodiment, it is pushed out to the coating liquid supply system 9 . As is well known, the syringe pump 20 has a function of adjusting the amount of extruding liquid or gas such as the coating liquid (b) with high precision, and at the start of dispensing, the coating liquid (b) is discharged from the application start end (11a) There is an advantage that a situation such as swelling does not occur.

시린지 펌프(20)로의 도액(b)의 충전은, 사전에, 개폐 밸브(13a)를 열고 또한 개폐 밸브(13b)를 닫아, 탱크(3)로부터 보내 두면 좋다. 개폐 밸브(13b)는, 도액(b)을 보낼 때 이외에는, 열린 상태가 유지된다. 시린지 펌프(20)에 모아 두는 도액(b)의 양은, 상기 제1 및 제2 실시 형태의 버퍼 탱크(15)의 경우와 마찬가지로, 적어도, 도포 시단(11a)에서 도액(b)이 부풀어올라 버리는 양을 압축 탄성으로 흡수 가능한 만큼의 양이 필요하게 된다. The syringe pump 20 is filled with the coating liquid b in advance by opening the on-off valve 13a and closing the on-off valve 13b, so that it can be sent from the tank 3 . The opening/closing valve 13b is maintained in an open state except when sending the coating liquid b. The amount of the coating solution b stored in the syringe pump 20 is similar to the case of the buffer tank 15 of the first and second embodiments, at least the amount of the coating solution b swelling up at the application start end 11a. An amount that can be absorbed by compressive elasticity is required.

큰 용량의 시린지 펌프(20)에 의해, 해당 시린지 펌프(20)의 내부에서 도액(b) 자신의 압축 탄성에 의해서, 단번에 흐르는 수격적인 현상이 완충된다. 이것에 의해, 개폐 밸브(13b)가 열려 있는 상태에서, 개폐 밸브(13a)가 열렸을 때에, 도액 공급계(9)를 통하여 노즐(12)을 향해 전파되는 압력의 변화가 억제된다. By the syringe pump 20 of a large capacity, the water hammer phenomenon flowing at once is buffered by the compressive elasticity of the coating liquid b itself inside the syringe pump 20 . Thereby, when the on-off valve 13a is opened while the on-off valve 13b is open, a change in the pressure propagated toward the nozzle 12 through the coating liquid supply system 9 is suppressed.

시린지 펌프(20)에 의한 도액(b)의 밀어냄은, 개폐 밸브(13a)가 닫혀진 상태에서 행해진다. 한편, 개폐 밸브(13a)는, 피스톤(20c)과 실린더(20d)의 사이에 도액(b)이 충만하도록 모여져 있는 상태에서, 열림 동작된다. The injection liquid b is pushed out by the syringe pump 20 while the on-off valve 13a is closed. On the other hand, the opening/closing valve 13a is opened between the piston 20c and the cylinder 20d in a state where the coating liquid b is collected so as to be filled.

구체적으로는, 시린지 펌프(20)는, 도포 처리를 개시할 때 개폐 밸브(13a)가 닫혀진(개폐 밸브(13b)는 열려 있는) 상태에서, 도액(b)을 노즐(12)에 공급한다. 한편, 개폐 밸브(13a)는, 도포 처리를 개시할 때에 열리는 제1 및 제2 실시 형태와는 달리, 시린지 펌프(20)에 의한 도액(b)의 공급 정지 후에, 그것에 따라서 열리도록 되어 있다. Specifically, the syringe pump 20 supplies the coating liquid b to the nozzle 12 in a state in which the on-off valve 13a is closed (the on-off valve 13b is open) when the application process is started. On the other hand, the opening/closing valve 13a is opened in accordance with the stoppage of the supply of the coating liquid b by the syringe pump 20, unlike the first and second embodiments that are opened when the application process is started.

제3 실시 형태의 도포 장치에 의한 도포 방법에 대해 설명한다. 도포 처리를 개시하기 전의 준비 단계는, 제1 및 제2 실시 형태와 동일하다. 도액 공급계(9)의 개폐 밸브(13a)는 닫혀져 있어, 도액(b)의 유통이 차단되어 있고, 도액(b)은, 탱크(3)로부터 개폐 밸브(13a)를 향해서 밀어냄 작용을 받고 있다. 이 때, 개폐 밸브(13a)로부터 노즐(12)에 걸치는 도중에는, 도액(b)이 충만되어 있음과 아울러, 시린지 펌프(20) 내부에도 도액(b)이 충만되어 있다. The application|coating method by the coating apparatus of 3rd Embodiment is demonstrated. The preparation steps before starting the application process are the same as in the first and second embodiments. The on-off valve 13a of the coating liquid supply system 9 is closed, the flow of the coating liquid b is blocked, and the coating liquid b receives a pushing action from the tank 3 toward the on-off valve 13a. have. At this time, while the coating liquid b is filled in the middle of spanning from the on-off valve 13a to the nozzle 12, the coating liquid b is also filled in the syringe pump 20 inside.

도포 처리를 개시할 때에는, 개폐 밸브(13a)가 닫혀진(개폐 밸브(13b)는 열려 있는) 상태에서, 모터(20b)로 구동되는 시린지 펌프(20)에 의해 도액(b)이 노즐(12)에 공급되고, 노즐(12)로부터 도액(b)이 토출되어, 초기 단계의 도포가 행해진다. 그 후 곧바로, 도포 처리를 계속하기 위해서, 모터(20b)의 정지에 의해 시린지 펌프(20)에 의한 도액(b)의 노즐(12)로의 공급이 정지되면, 그것에 따라서 해당 공급 정지와 동시에, 도액 공급계(9)의 개폐 밸브(13a)가 열린다. When the coating process is started, in a state in which the on-off valve 13a is closed (the on-off valve 13b is open), the coating liquid b is transferred to the nozzle 12 by the syringe pump 20 driven by the motor 20b. is supplied, and the coating liquid b is discharged from the nozzle 12, and application of the initial stage is performed. Immediately thereafter, in order to continue the coating process, when the supply of the coating liquid b by the syringe pump 20 to the nozzle 12 is stopped due to the stop of the motor 20b, the coating liquid is stopped at the same time as the supply is stopped. The on-off valve 13a of the supply system 9 is opened.

개폐 밸브(13a)가 열리면, 탱크(3) 내부는 거의 소정의 일정 압력값이지만, 도액(b)은, 닫혀져 있던 개폐 밸브(13a)가 순간적으로 열리는 것에 의해, 노즐(12)을 향해 단번에 흐르려고 하지만, 상기 제1 및 제2 실시 형태와 마찬가지로, 시린지 펌프(20)는, 상술한 바와 같이 그의 큰 용량과, 도액(b) 자신의 압축 탄성에 의해서, 도액(b)의 수격적인 흐름을 완충할 수 있어, 탱크(3)로부터 도액 공급계(9)를 매개로 하여 노즐(12)을 향해 전파하는 압력의 변화를 억제할 수 있다. When the on-off valve 13a is opened, the inside of the tank 3 is at a substantially predetermined constant pressure value, but the coating liquid b flows toward the nozzle 12 at once when the closed on-off valve 13a is momentarily opened. However, as in the first and second embodiments, the syringe pump 20 suppresses the water hammer flow of the coating liquid b due to its large capacity and compressive elasticity of the coating liquid b itself, as described above. It is possible to buffer, and it is possible to suppress a change in pressure propagating from the tank 3 to the nozzle 12 via the coating liquid supply system 9 .

이것에 의해, 노즐(12)로부터 토출되는 도액(b)의 토출량은, 도 3 중의 그래프에 나타낸 바와 같이, 개폐 밸브(13a)의 개방에 의해서도, 급격하게 상승하지 않고, 시린지 펌프(20)에 의한 초기 단계의 도포에 이어서, 탱크(3) 내부에 가해지고 있는 소정의 일정 압력값에 대응하는 토출량으로 토출되게 된다. Thereby, the discharge amount of the coating liquid b discharged from the nozzle 12 does not rise rapidly even when the on-off valve 13a is opened, as shown in the graph in FIG. Following the application of the initial stage, the tank 3 is discharged at a discharge amount corresponding to a predetermined constant pressure value applied to the inside of the tank 3 .

이와 같이 고정밀도의 토출량 제어가 가능한 시린지 펌프(20)와 그것에 이어지는 개폐 밸브(13a)의 개방에 의해, 도포 처리를 개시할 때에, 최초로 노즐(12)로부터 토출되는 도액(b)이 부풀어 올라 도포되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 도포 처리 개시부터, 그 후의 계속적인 도포 처리에 걸쳐서, 거의 일정량으로 도액(b)을 노즐(12)로부터 토출시킬 수 있어, 적절한 도막 두께로 도포 대상물(11)을 도포 처리할 수 있다. By opening the syringe pump 20 capable of high-precision discharge amount control in this way and the on-off valve 13a connected thereto, when the coating process is started, the coating liquid b discharged from the nozzle 12 first swells and is applied. can be prevented from becoming Therefore, from the start of the coating process to the subsequent coating process, the coating liquid b can be discharged from the nozzle 12 in a substantially constant amount, and the coating object 11 can be coated with an appropriate coating film thickness.

또, 시린지 펌프(20)는, 모터(20b)에 의해 구동할 때에 피스톤(20c)과 실린더(20d)와의 마찰에 의해서 미소(微小)한 채터링(chattering)이 발생하기 때문에, 시린지 펌프(20)만에 의한 도포 처리에서는, 도막 두께가 미소하게 변동할 우려가 있다. In addition, when the syringe pump 20 is driven by the motor 20b, since minute chattering occurs due to friction between the piston 20c and the cylinder 20d, the syringe pump 20 ), there is a possibility that the coating film thickness fluctuates minutely.

시린지 펌프(20)는, 가변 용량형의 버퍼 탱크(17)라고 할 수 있으며, 개폐 밸브(13a)를 열었을 때의 도액(b)의 흐름의 응답성을 조정하는, 즉 도포 처리를 개시할 때에 노즐(12)로부터 최초로 토출되는 도액(b)의 토출량을 늘리거나 줄이거나 하여 조정할 수 있다. The syringe pump 20 can be said to be a variable capacity buffer tank 17, and adjusts the responsiveness of the flow of the coating liquid b when the on/off valve 13a is opened, that is, when the coating process is started. The discharge amount of the coating liquid b initially discharged from the nozzle 12 can be adjusted by increasing or decreasing it.

이 제3 실시 형태에서는, 개폐 밸브(13a)의 개방에 따르는 도액(b)의 과잉인 토출을 억제할 필요가 있는 도포 처리의 초기 단계만, 시린지 펌프(20)를 이용하여, 해당 시린지 펌프(20)가 나타내는 도액(b)의 튀어나옴이 없는(탱크 가압에서는 튀어나옴이 있는), 즉 도포 시단(11a)에서 도액(b)이 부풀어 오르지 않는다고 하는 장점을 살리고, 그 후 곧바로, 탱크(3)로부터의 도액(b)의 밀어냄에 의한 이점, 즉 안정된 토출량의 확보(시린지 펌프(20)에서는 채터링에 의한 토출 변동의 우려가 있음)라고 하는 장점을 살린 도포 처리로 전환하고, 그리고, 이 전환한 순간의 도액(b)의 과잉인 흐름을, 시린지 펌프(20)의 버퍼 탱크로서의 완충 기능으로 방지할 수 있으므로, 도포 처리 개시시에서의 도액(b)의 부풀어 오름 방지와, 그 후의 도막 두께의 균일화를 일련으로 연속하여 확보할 수 있다. In this third embodiment, only the initial stage of the application process, which needs to suppress the excessive discharge of the coating liquid b following the opening of the on-off valve 13a, is performed using the syringe pump 20, and the syringe pump ( 20) takes advantage of the advantage that there is no protrusion of the coating solution b (with protrusion in tank pressurization), that is, the coating solution b does not swell at the application start end 11a, and immediately thereafter, the tank 3 ), that is, the advantage of pushing the coating liquid (b) from ), that is, the securing of a stable discharge amount (in the syringe pump 20, there is a risk of discharge fluctuation due to chattering), switch to the coating treatment, and, Since the excessive flow of the coating liquid (b) at the moment of this switching can be prevented by the buffer function of the syringe pump 20 as a buffer tank, swelling of the coating liquid (b) at the start of the application process is prevented, and thereafter It is possible to ensure uniformity of the coating film thickness in series and succession.

이러한 제3 실시 형태라도, 상기 제1 및 제2 실시 형태와 동일한 작용 효과를 나타낸다. Even in this third embodiment, the same effects as those of the first and second embodiments are exhibited.

제3 실시 형태에 관한 도포 장치(19)는, 도액 공급계(9)에 시린지 펌프(20)를 마련할 뿐이며, 구성이 극히 간단함과 아울러, 도막 두께 조정을 위한 제어도, 시린지 펌프(20)의 정지와 개폐 밸브(13a)의 개방을 동시에 행하는 것만으로 가능하여 간단하고, 용이하게 실시할 수 있다. The application apparatus 19 which concerns on 3rd Embodiment only provides the syringe pump 20 in the coating liquid supply system 9, and while a structure is extremely simple, the control diagram for coating film thickness adjustment, and the syringe pump 20 ) and the opening of the on/off valve 13a can be performed simply and easily because it is possible only by simultaneously performing the stop.

도 4에는, 제4 실시 형태에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 개략 구성이 나타내어져 있다. 제4 실시 형태의 도포 장치(21)는 기본적으로, 제1 실시 형태의 구성에 부가하여, 시린지 펌프(20)를 가지는 추가의 도액 공급계(22)를, 도액 공급계(9)와 병렬 배치로, 탱크(3)와 노즐(12)의 사이에 마련하여 구성된다. The schematic structure of the coating device and coating method which concerns on 4th Embodiment is shown by FIG. The coating device 21 of the fourth embodiment basically arranges an additional coating liquid supply system 22 having a syringe pump 20 in parallel with the coating liquid supply system 9 in addition to the configuration of the first embodiment. The furnace is configured by providing between the tank 3 and the nozzle 12 .

시린지 펌프(20)는, 상술과 거의 마찬가지로, 추가의 도액 공급계(22)의 탱크측 계로(22a)와 노즐측 계로(22b)와의 사이에, 이들 양 계로(22a, 22b)의 단부와 접속하여, 추가의 도액 공급계(22)에 마련된다. 제3 실시 형태와 마찬가지로, 양 계로(22a, 22b)에는, 시린지 펌프(20)를 사이에 둔 배치로, 개폐 밸브(13b)와, 추가한 개폐 밸브(13c)가 마련되어 있다. 이것에 의해, 시린지 펌프(20)는, 탱크(3)와 노즐(12)과의 사이에 배치된다. 시린지 펌프(20)는, 피스톤(20c)과 실린더(20d)의 사이에 충만 상태로 모여진 도액(b)을, 추가의 도액 공급계(22)로 밀어내도록 되어 있다. 개폐 밸브(13b 및 13c)는 각각, 제3 실시 형태의 개폐 밸브(13b 및 13a)와 동일하게 동작된다. 즉, 개폐 밸브(13b)는, 도액(b)을 시린지 펌프(20)로 보낼 때에만, 닫혀진다. The syringe pump 20 is connected between the tank side system path 22a and the nozzle side system path 22b of the additional coating liquid supply system 22, and is connected to the ends of both system paths 22a and 22b, almost as described above. Thus, an additional coating liquid supply system 22 is provided. Similar to the third embodiment, both system passages 22a and 22b are provided with a syringe pump 20 interposed therebetween, and an on-off valve 13b and an additional on-off valve 13c are provided. As a result, the syringe pump 20 is disposed between the tank 3 and the nozzle 12 . The syringe pump 20 pushes the coating liquid b accumulated between the piston 20c and the cylinder 20d in a full state to the additional coating liquid supply system 22 . The on-off valves 13b and 13c respectively operate in the same manner as the on-off valves 13b and 13a of the third embodiment. That is, the on-off valve 13b is closed only when sending the coating liquid b to the syringe pump 20 .

시린지 펌프(20)는, 제4 실시 형태에서는 추가의 도액 공급계(22)에 마련되며, 개폐 밸브(13a)를 가지는 도액 공급계(9)에는 마련되지 않으므로, 개폐 밸브(13a)가 열렸을 때에 생기는 압력의 변화를 억제하는 기능을 구비할 필요는 없고, 따라서, 제3 실시 형태의 경우와는 달리, 소용량으로 형성된다. 압력 변화의 억제 작용은, 제1 및 제2 실시 형태와 마찬가지로, 버퍼 탱크(15)(가변 용량형의 버퍼 탱크(17)라도 괜찮음)에 의해서 달성된다. The syringe pump 20 is provided in the additional coating liquid supply system 22 in the fourth embodiment and is not provided in the coating liquid supply system 9 having the on/off valve 13a. It is not necessary to have a function of suppressing the generated pressure change, and therefore, unlike the case of the third embodiment, it is formed with a small capacity. The effect of suppressing the pressure change is achieved by the buffer tank 15 (the variable capacity buffer tank 17 may be acceptable), as in the first and second embodiments.

시린지 펌프(20)는, 도포 처리를 개시할 때에는, 탱크(3)로의 역류 방지를 위해, 개폐 밸브(13c)를 닫고, 또한 도액 공급계(9)의 개폐 밸브(13a)가 닫혀진 상태에서, 추가의 도액 공급계(22)를 매개로 하여 도액(b)을 노즐(12)에 공급한다. 한편, 개폐 밸브(13a)는, 도포 처리를 개시할 때에 열리는 제1 및 제2 실시 형태와는 달리, 시린지 펌프(20)에 의한 도액(b)의 공급 정지에 따라 열리며, 이것에 의해 탱크(3)로부터 도액 공급계(9)를 매개로 하여 노즐(12)에 도액(b)이 공급되도록 되어 있다. When the syringe pump 20 starts the application process, the on-off valve 13c is closed to prevent backflow into the tank 3, and the on-off valve 13a of the coating liquid supply system 9 is closed. The coating liquid b is supplied to the nozzle 12 via an additional coating liquid supply system 22 . On the other hand, the on-off valve 13a opens according to the stop of the supply of the coating liquid b by the syringe pump 20, unlike the first and second embodiments that are opened when the application process is started, and thereby the tank From (3), the coating liquid (b) is supplied to the nozzle 12 via the coating liquid supply system (9).

제4 실시 형태의 도포 장치(21)에 의한 도포 방법에 대해 설명한다. 도포 처리를 개시하기 전의 준비 단계는, 제1 ~ 제3 실시 형태와 동일하다. 도액 공급계(9)의 개폐 밸브(13a)는 닫혀져 있어, 도액(b)의 유통이 차단되어 있고, 도액(b)은, 탱크(3)로부터 개폐 밸브(13a)를 향해서 밀어냄 작용을 받고 있다. The application|coating method by the application|coating apparatus 21 of 4th Embodiment is demonstrated. The preparation steps before starting the application process are the same as in the first to third embodiments. The on-off valve 13a of the coating liquid supply system 9 is closed, the flow of the coating liquid b is blocked, and the coating liquid b receives a pushing action from the tank 3 toward the on-off valve 13a. have.

이 때, 도액 공급계(9)에서는, 개폐 밸브(13a)로부터 노즐(12)에 걸치는 도중에 도액(b)이 충만되어 있음과 아울러, 추가의 도액 공급계(22)에서도, 탱크(3)로부터 노즐(12)에 걸치는 도액(b)이 충만되고, 또한 시린지 펌프(20) 내부에도 도액(b)이 충만되어 있다. 탱크(3)로의 역류 방지를 위해, 개폐 밸브(13c)는 닫혀 있다. At this time, in the coating liquid supply system 9, the coating liquid b is filled on the way from the on/off valve 13a to the nozzle 12, and also in the additional coating liquid supply system 22, from the tank 3 The coating liquid b spanning the nozzle 12 is filled, and the syringe pump 20 is also filled with the coating liquid b. To prevent backflow into the tank 3 , the on-off valve 13c is closed.

도포 처리를 개시할 때에는, 개폐 밸브(13a)가 닫혀진 상태에서, 모터(20b)로 구동되는 시린지 펌프(20)에 의해 도액(b)이 추가의 도액 공급계(22)를 매개로 하여 노즐(12)에 공급되고, 노즐(12)로부터 도액(b)이 토출되어, 초기 단계의 도포가 행해진다. 그 후 곧바로, 도포 처리를 계속하기 위해서, 모터(20b)의 정지에 의해 시린지 펌프(20)에 의한 도액(b)의 노즐(12)로의 공급이 정지되면, 그것에 따라서 해당 공급 정지와 동시에, 도액 공급계(9)의 개폐 밸브(13a)가 열린다. When the coating process is started, in the state in which the on-off valve 13a is closed, the coating liquid b is fed by the syringe pump 20 driven by the motor 20b through the additional coating liquid supply system 22 through the nozzle ( 12), the coating liquid b is discharged from the nozzle 12, and application of the initial stage is performed. Immediately thereafter, in order to continue the coating process, when the supply of the coating liquid b by the syringe pump 20 to the nozzle 12 is stopped due to the stop of the motor 20b, the coating liquid is stopped at the same time as the supply is stopped. The on-off valve 13a of the supply system 9 is opened.

개폐 밸브(13a)가 열리면, 탱크(3)로부터 도액 공급계(9)를 매개로 하여 노즐(12)에 도액(b)이 공급된다. 도액 공급계(9)를 도액(b)이 유통할 때, 상기 제1 및 제2 실시 형태와 마찬가지로, 버퍼 탱크(15)는, 상술한 바와 같이 그의 큰 용량과, 도액(b) 자신의 압축 탄성에 의해서, 도액(b)의 수격적인 흐름을 완충할 수 있어, 탱크(3)로부터 도액 공급계(9)를 매개로 하여 노즐(12)을 향해 전파하는 압력의 변화를 억제할 수 있다. When the on-off valve 13a is opened, the coating liquid b is supplied from the tank 3 to the nozzle 12 via the coating liquid supply system 9 . When the coating liquid b circulates through the coating liquid supply system 9, similarly to the first and second embodiments, the buffer tank 15 has a large capacity and a compression of the coating liquid b itself, as described above. By elasticity, the water hammer flow of the coating liquid b can be buffered, and the change in pressure propagating from the tank 3 to the nozzle 12 via the coating liquid supply system 9 can be suppressed.

이것에 의해, 노즐(12)로부터 토출되는 도액(b)의 토출량은, 도 4 중의 그래프에 나타낸 바와 같이, 개폐 밸브(13a)의 개방에 의해서도, 급격하게 상승하지 않고, 시린지 펌프(20)에 의한 초기 단계의 도포에 이어서, 탱크(3) 내부에 가해지고 있는 소정의 일정 압력값에 대응하는 토출량으로 토출되게 된다. As a result, the discharge amount of the coating liquid b discharged from the nozzle 12 does not rise rapidly even when the on/off valve 13a is opened, as shown in the graph in FIG. Following the application of the initial stage, the tank 3 is discharged at a discharge amount corresponding to a predetermined constant pressure value applied to the inside of the tank 3 .

이와 같이 고정밀도의 토출량 제어가 가능한 시린지 펌프(20)와, 그것에 이어지는 개폐 밸브(13a)의 개방에 대한 버퍼 탱크(15)의 압력 완충 작용에 의해, 도포 처리를 개시할 때에, 최초로 노즐(12)로부터 토출되는 도액(b)이 부풀어 올라 도포되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 도포 처리 개시부터, 그 후의 계속적인 도포 처리에 걸쳐서, 거의 일정량으로 도액(b)을 노즐(12)로부터 토출시킬 수 있어, 적절한 도막 두께로 도포 대상물(11)을 도포 처리할 수 있다. When the application process is started by the syringe pump 20 capable of high-precision discharge amount control as described above, and the pressure buffering action of the buffer tank 15 with respect to the opening of the on-off valve 13a connected thereto, when the application process is started, the nozzle 12 ), the coating liquid (b) discharged from the swelling can be suppressed from being applied. Therefore, from the start of the coating process to the subsequent coating process, the coating liquid b can be discharged from the nozzle 12 in a substantially constant amount, and the coating object 11 can be coated with an appropriate coating film thickness.

제4 실시 형태라도, 물론, 개폐 밸브(13a)의 개방에 수반하는 도액(b)의 과잉인 토출을 억제할 필요가 있는 도포 처리의 초기 단계만, 시린지 펌프(20)를 이용하고, 그 후 곧바로, 탱크(3)로부터의 도액(b)의 밀어냄에 의한, 안정된 토출량의 도포 처리로 전환하며, 그 전환 직후의 도액(b)의 과잉인 토출을 버퍼 탱크(15)로 완충하므로, 도포 처리 개시시에서의 도액(b)의 부풀어 오름 방지와, 그 후의 도막 두께의 균일화를 확보할 수 있다. 이와 같은 제4 실시 형태라도, 상기 제1~ 제3 실시 형태와 동일한 작용 효과를 나타낸다. Even in the fourth embodiment, of course, the syringe pump 20 is used only in the initial stage of the application process in which it is necessary to suppress the excessive discharge of the coating liquid b accompanying the opening of the on-off valve 13a, and thereafter Immediately after switching to the coating process of a stable discharge amount by pushing the coating liquid b from the tank 3, the buffer tank 15 buffers the excess discharge of the coating liquid b immediately after the switch, so that the application The swelling prevention of the coating liquid (b) at the time of a process start, and the uniformity of the coating film thickness after that can be ensured. Even in such a 4th embodiment, the effect similar to the said 1st - 3rd embodiment is shown.

제4 실시 형태에 관한 도포 장치(21)는, 제1 실시 형태의 구성에, 시린지 펌프(20)를 구비하는 추가의 도액 공급계(22)를 마련할 뿐이며, 시린지 펌프(20)를 소용량화할 수 있는 등, 구성이 극히 간단함과 아울러, 제3 실시 형태와 마찬가지로, 시린지 펌프(20)의 정지와 개폐 밸브(13a)의 개방을 동시에 행한다고 하는 간단한 제어로, 용이하게 실시할 수 있다. The application device 21 according to the fourth embodiment only provides an additional coating liquid supply system 22 including a syringe pump 20 in the configuration of the first embodiment, and the syringe pump 20 can be reduced in capacity. The configuration is extremely simple, and similarly to the third embodiment, the syringe pump 20 can be stopped and the on-off valve 13a is opened at the same time by simple control, which can be easily implemented.

버퍼 탱크(15)는, 제2 실시 형태에서 설명한 가변 용량형으로 해도 좋은 것은 물론이며, 이것에 의해 도막 두께의 조정을 더 자유 자재로 행할 수 있다. It goes without saying that the buffer tank 15 may be of the variable capacity type described in the second embodiment, whereby the thickness of the coating film can be adjusted more freely.

1, 16, 19, 21 : 도포 장치 2 : 도액 공급원
3 : 탱크 4 : 도액 보충계
5 : 가스 도입계 6 : 압력계
7 : 도액 보충용 개폐 밸브 8 : 가스 도입용 개폐 밸브
9 : 도액 공급계 9a : 탱크측 계로
9b : 노즐측 계로 10 : 기대
11 : 도포 대상물 11a : 도포 시단
12 : 노즐 13a, 13b, 13c : 개폐 밸브
15 : 버퍼 탱크 17 : 가변 용량형 버퍼 탱크
18 : 샤프트 20 : 시린지 펌프
20a : 피스톤 로드 20b : 모터
20c : 피스톤 20d : 실린더
22 : 추가의 도액 공급계 22a : 탱크측 계로
22b : 노즐측 계로 a : 탱크
b : 도액 c : 도액 보충용 개폐 밸브
d : 도액 보충계 e : 가스 도입용 개폐 밸브
f : 가스 도입계 g : 노즐
h : 개폐 밸브 i : 도액 공급계
j : 도포 대상물 k : 도포 시단
m : 도액의 부풀어 오름1, 16, 19, 21: applicator 2: coating liquid supply source
3: Tank 4: Coating liquid replenishment system
5: gas introduction gauge 6: pressure gauge
7: On-off valve for replenishing coating liquid 8: On-off valve for gas introduction
9: coating liquid supply system 9a: tank side system
9b: nozzle side system 10: expectation
11: Application object 11a: Application start
12: nozzle 13a, 13b, 13c: on-off valve
15: buffer tank 17: variable capacity type buffer tank
18: shaft 20: syringe pump
20a: piston rod 20b: motor
20c: piston 20d: cylinder
22: additional coating liquid supply system 22a: tank side system
22b: nozzle side system a: tank
b : painting liquid c : painting liquid replenishment opening/closing valve
d: coating liquid replenishment system e: on-off valve for gas introduction
f: gas introduction meter g: nozzle
h : on/off valve i : coating liquid supply system
j: object to be applied k: start of application
m: swelling of the coating liquid

Claims (6)

탱크 내에 저류(貯留)되어 있는 도액(塗液)을, 가압에 의해 도액 공급계로 밀어내어 공급하는 도액 공급원과,
상기 도액 공급계에 접속되며, 공급되는 도액을 토출하면서, 도포 대상물에 대해 상대 이동되어, 도포 대상물을 도포 처리하는 노즐과,
상기 도액 공급계에 마련되며, 도포 처리를 개시할 때에 열려 상기 도액 공급원으로부터 도액을 상기 노즐에 공급하고, 닫혀져 도액의 상기 노즐로의 공급을 정지하는 개폐 밸브와,
상기 도액 공급계에 마련되고, 또한 적어도 도포 시단(始端)에서 도포가 부풀어올라 버리는 양을 압축 탄성으로 흡수할 수 있을 만큼의 용량의 도액이 내부에 충만되며, 상기 개폐 밸브가 열렸을 때에 상기 노즐을 향해 전파되는 압력의 변화를 억제하는 버퍼 탱크(buffer tank)를 구비한 것을 특징으로 하는 도포 장치.a coating liquid supply source for pushing and supplying the coating liquid stored in the tank to the coating liquid supply system by pressurization;
a nozzle connected to the coating liquid supply system and moving relative to the application object while discharging the supplied coating liquid to apply the coating object;
an opening/closing valve provided in the coating liquid supply system, which opens when a coating process is started, supplies the coating liquid from the coating liquid supply source to the nozzle, and closes to stop the supply of the coating liquid to the nozzle;
The coating liquid is provided in the coating liquid supply system, and the coating liquid of a capacity sufficient to absorb the amount of swelling caused by the application at least at the beginning of application is filled inside by compressive elasticity, and the nozzle is closed when the on-off valve is opened. An applicator comprising a buffer tank that suppresses a change in pressure propagating toward it. 청구항 1에 있어서,
상기 버퍼 탱크는 가변 용량형인 것을 특징으로 하는 도포 장치.The method according to claim 1,
The buffer tank is an application device, characterized in that the variable capacity type. 탱크 내에 저류(貯留)되어 있는 도액(塗液)을, 일정 압력값의 가압에 의해 도액 공급계로 밀어내어 공급하는 도액 공급원과,
상기 도액 공급계에 접속되며, 공급되는 도액을 토출하면서, 도포 대상물에 대해 상대 이동되어, 도포 대상물을 도포 처리하는 노즐과,
상기 도액 공급계에 마련되고, 또한 적어도 도포 시단(始端)에서 도포가 부풀어올라 버리는 양을 압축 탄성으로 흡수할 수 있는 용량의 도액이 내부에 충만되는 시린지 펌프와,
상기 도액 공급계에, 상기 시린지 펌프와 상기 노즐과의 사이에 배치되어 마련되고, 상기 시린지 펌프에 상기 도액 공급원으로부터 도액을 공급할 때만 닫혀지는 시린지 충전용 개폐 밸브와,
상기 도액 공급계에, 상기 시린지 펌프와 상기 도액 공급원과의 사이에 배치되어 마련된 개폐 밸브를 구비하며,
상기 개폐 밸브로부터 상기 노즐에 걸치는 사이와 상기 시린지 펌프 내부에 도액이 충만되어 있는 도포 개시전, 상기 탱크로부터 밀어냄 작용을 받고 있는 도액의 유통을 차단하기 위해서 상기 개폐 밸브는 닫혀지고; 도포 처리 개시시, 상기 시린지 펌프 충전용 개폐 밸브가 열리고, 구동되는 상기 시린지 펌프에 의해, 도액이 상기 노즐에 공급되고 토출되어 초기 단계의 도포가 행하여지며; 상기 시린지 펌프의 구동 정지에 의한 도액 공급의 정지와 동시에 상기 개폐 밸브가 열려 상기 탱크로부터 상기 노즐로 도액이 단번에 흐를 때에, 상기 시린지 펌프의 용량 및 도액 자신의 압축 탄성에 의해, 도액의 수격적인 흐름을 완충하여, 상기 도액 공급계를 매개로 하여 상기 탱크로부터 상기 노즐로 전파되는 압력의 변화를 억제하도록 구성한 것을 특징으로 하는 도포 장치.a coating liquid supply source for pushing and supplying the coating liquid stored in the tank to the coating liquid supply system by pressurizing a predetermined pressure value;
a nozzle connected to the coating liquid supply system and moving relative to the application object while discharging the supplied coating liquid to apply the coating object;
a syringe pump provided in the coating liquid supply system and filled with a coating liquid having a capacity capable of absorbing the amount of application swelling at least at the beginning of application by compressive elasticity;
a syringe filling on/off valve disposed between the syringe pump and the nozzle in the coating liquid supply system and closing only when supplying the coating liquid from the coating liquid supply source to the syringe pump;
an on/off valve disposed between the syringe pump and the coating liquid supply source in the coating liquid supply system;
the on-off valve is closed in order to block the flow of the coating liquid under the pushing action from the tank between the on-off valve and the nozzle and before the start of application in which the coating liquid is filled in the syringe pump; at the start of the application process, the on/off valve for filling the syringe pump is opened, and the coating liquid is supplied to and discharged from the nozzle by the driven syringe pump, so that the application in the initial stage is performed; When the on-off valve is opened and the coating liquid flows from the tank to the nozzle at the same time as the supply of the coating liquid is stopped by stopping the driving of the syringe pump, the water hammer flow of the coating liquid due to the capacity of the syringe pump and the compressive elasticity of the coating liquid itself by buffering the coating liquid supply system as a medium to suppress a change in pressure propagating from the tank to the nozzle. 탱크 내에 저류(貯留)되어 있는 도액(塗液)을, 가압에 의해 도액 공급계로 밀어내어 공급하는 도액 공급원과,
상기 도액 공급계에 접속되며, 공급되는 도액을 토출하면서, 도포 대상물에 대해 상대 이동되어, 도포 대상물을 도포 처리하는 노즐과,
상기 도액 공급계에 마련되며, 도포 처리를 개시할 때에 열려 도액을 상기 노즐에 공급하고, 닫혀져 도액의 상기 노즐로의 공급을 정지하는 개폐 밸브와,
상기 도액 공급계에 마련되고, 또한 도액이 내부에 충만되며, 상기 개폐 밸브가 열렸을 때에 상기 노즐을 향해 전파되는 압력의 변화를 억제하는 버퍼 탱크(buffer tank)를 구비하고,
상기 도액 공급원과 상기 노즐과의 사이에, 도액 공급계와 병렬로, 추가의 도액 공급계를 마련함과 아울러,
상기 추가의 도액 공급계에, 도포 처리를 개시할 때 상기 개폐 밸브가 닫혀진 상태에서, 도액을 상기 노즐에 공급하는 시린지 펌프를 마련하며,
상기 개폐 밸브는, 도포 처리를 개시할 때에 열리는 것을 대신하여, 상기 시린지 펌프에 의한 도액의 공급 정지에 따라 열리는 것을 특징으로 하는 도포 장치.a coating liquid supply source for pushing and supplying the coating liquid stored in the tank to the coating liquid supply system by pressurization;
a nozzle connected to the coating liquid supply system and moving relative to the application object while discharging the supplied coating liquid to apply the coating object;
an opening/closing valve provided in the coating liquid supply system, which opens when a coating process is started, supplies the coating liquid to the nozzle, and closes to stop the supply of the coating liquid to the nozzle;
a buffer tank provided in the coating liquid supply system, the coating liquid being filled therein, and suppressing a change in pressure propagating toward the nozzle when the on-off valve is opened;
An additional coating liquid supply system is provided between the coating liquid supply source and the nozzle in parallel to the coating liquid supply system,
A syringe pump is provided in the additional coating liquid supply system for supplying the coating liquid to the nozzle in a state in which the on-off valve is closed when the application process is started,
The application device according to claim 1, wherein the opening/closing valve opens in response to stoppage of supply of the coating liquid by the syringe pump instead of opening at the start of the application process. 청구항 3에 기재된 도포 장치를 이용하며,
상기 시린지 펌프 충전용 개폐 밸브가 닫혀져 있는 상태에서, 상기 상기 개폐 밸브가 닫혀져, 상기 도액 공급계를 매개로 하여 상기 도액 공급원으로부터 상기 시린지 펌프로 도액이 공급되고,
상기 개폐 밸브로부터 상기 노즐에 걸치는 사이와 상기 시린지 펌프 내부에 도액이 충만되어 있는 도포 개시전, 상기 탱크로부터 밀어냄 작용을 받고 있는 도액의 유통을 차단하기 위해서 상기 개폐 밸브는 닫혀지고,
도포 처리 개시시, 상기 시린지 펌프 충전용 개폐 밸브가 열리고, 구동되는 상기 시린지 펌프에 의해, 도액이 상기 노즐에 공급되고 토출되어 초기 단계의 도포가 행하여지며,
그 후, 상기 시린지 펌프의 구동 정지에 의한 도액 공급의 정지와 동시에 상기 개폐 밸브가 열려 상기 탱크로부터 상기 노즐로 도액이 단번에 흐를 때에, 상기 시린지 펌프의 용량 및 도액 자신의 압축 탄성에 의해, 도액의 수격적인 흐름을 완충하여, 상기 도액 공급계를 매개로 하여 상기 탱크로부터 상기 노즐로 전파되는 압력의 변화를 억제하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.Using the application device according to claim 3,
In a state in which the on-off valve for filling the syringe pump is closed, the on-off valve is closed, and the coating liquid is supplied from the coating liquid supply source to the syringe pump through the coating liquid supply system,
The on-off valve is closed in order to block the flow of the coating liquid under the pushing action from the tank between the on-off valve and the nozzle and before the start of application in which the coating liquid is filled in the syringe pump,
At the start of the application process, the on/off valve for filling the syringe pump is opened, and the coating liquid is supplied to and discharged from the nozzle by the syringe pump being driven, so that the application in the initial stage is performed,
Thereafter, when the on-off valve is opened and the coating liquid flows from the tank to the nozzle at the same time as the supply of the coating liquid is stopped by stopping the driving of the syringe pump, the capacity of the syringe pump and the compression elasticity of the coating liquid itself A coating method characterized in that by buffering a water hammer flow, a change in pressure propagating from the tank to the nozzle via the coating liquid supply system is suppressed. 청구항 4에 기재된 도포 장치를 이용하며,
상기 시린지 펌프 충전용 개폐 밸브가 닫혀져 있는 상태에서, 상기 개폐 밸브가 열려, 상기 도액 공급계를 매개로 하여 상기 도액 공급원으로부터 상기 시린지 펌프에 도액이 공급되고,
상기 도포 처리를 개시할 때 상기 도액 공급계의 상기 개폐 밸브가 닫혀진 상태에서, 상기 시린지 펌프로부터 상기 추가의 도액 공급계를 매개로 하여 상기 노즐에 도액이 공급되고,
이어서 도포 처리를 속행하기 위해서, 상기 시린지 펌프에 의한 도액의 공급 정지에 따라서, 상기 개폐 밸브가 열려 상기 도액 공급원으로부터 상기 도액 공급계를 매개로 하여 상기 노즐에 도액이 공급되는 것을 특징으로 하는 도포 방법.Using the application device according to claim 4,
In a state in which the on-off valve for filling the syringe pump is closed, the on-off valve is opened, and the coating liquid is supplied from the coating liquid supply source to the syringe pump through the coating liquid supply system,
In a state in which the on-off valve of the coating liquid supply system is closed when starting the coating process, the coating liquid is supplied from the syringe pump to the nozzle via the additional coating liquid supply system,
Then, in order to continue the coating process, according to the stoppage of the supply of the coating liquid by the syringe pump, the on-off valve is opened, and the coating liquid is supplied from the coating liquid supply source to the nozzle via the coating liquid supply system as a medium. .
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6426491B2 (en) * 2015-02-13 2018-11-21 中外炉工業株式会社 Coating apparatus and coating method
CN107029913A (en) * 2017-04-06 2017-08-11 武汉华星光电技术有限公司 A kind of apparatus for coating and coating method
CN109574511A (en) * 2017-09-29 2019-04-05 中外炉工业株式会社 The coating method of substrate and the apparatus for coating of substrate
CN112221841B (en) * 2020-09-11 2021-09-28 安徽华铂再生资源科技有限公司 Dispensing device for storage battery processing and working method thereof

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010104883A (en) 2008-10-29 2010-05-13 Hitachi Maxell Ltd Coating apparatus and method of manufacturing functional support using the same
JP2014022545A (en) * 2012-07-18 2014-02-03 Tokyo Electron Ltd Coating applicator and coating method
JP2014180603A (en) * 2013-03-18 2014-09-29 Toray Ind Inc Coating applicator, coating method and method for producing member for display

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07216Y2 (en) * 1989-03-03 1995-01-11 エース技研株式会社 Viscous liquid coating device
JP2734478B2 (en) * 1989-11-30 1998-03-30 三菱重工業株式会社 Pressure pulsation absorber
JPH0531434A (en) * 1991-07-29 1993-02-09 Sony Corp Coating device
JP3499413B2 (en) * 1996-12-10 2004-02-23 株式会社荏原製作所 High pressure fluid injection device
JPH11244761A (en) * 1998-03-06 1999-09-14 Asahi Chem Ind Co Ltd Coater
JP2001113214A (en) * 1999-10-19 2001-04-24 Casio Comput Co Ltd Formation method and formation apparatus for thin film
JP4206643B2 (en) 2001-02-28 2009-01-14 凸版印刷株式会社 Slit coating device
JP2003010761A (en) * 2001-06-27 2003-01-14 Dainippon Printing Co Ltd Method and apparatus for applying coating liquid
JP4392474B2 (en) * 2003-02-21 2010-01-06 兵神装備株式会社 Material supply system
JP4184124B2 (en) 2003-03-14 2008-11-19 大日本スクリーン製造株式会社 Substrate processing equipment
JP4742511B2 (en) * 2004-04-02 2011-08-10 東レ株式会社 Coating method, coating apparatus, and display member manufacturing method
HUE046253T2 (en) * 2010-06-30 2020-02-28 Toray Industries Method for producing sizing agent-coated carbon fibers, and sizing agent-coated carbon fibers
US10046356B2 (en) * 2011-12-01 2018-08-14 Tazmo Co., Ltd. Coating apparatus and coating method
JP6006509B2 (en) * 2012-03-08 2016-10-12 武蔵エンジニアリング株式会社 Liquid dispensing apparatus and coating apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010104883A (en) 2008-10-29 2010-05-13 Hitachi Maxell Ltd Coating apparatus and method of manufacturing functional support using the same
JP2014022545A (en) * 2012-07-18 2014-02-03 Tokyo Electron Ltd Coating applicator and coating method
JP2014180603A (en) * 2013-03-18 2014-09-29 Toray Ind Inc Coating applicator, coating method and method for producing member for display

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