JP5665714B2 - 冷凍装置、窒素の水素化装置及びリークガス除去方法 - Google Patents
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Description
また、銅酸化物超伝導体を用いた超伝導デバイスのように、冷凍ユニットの低温部を70K前後で運用する場合、大気から断熱真空槽にリークした窒素が、(1)低温部に触れて液化。凝集熱を低温部に供給、(2)液化した窒素が常温部に流れ落ちる、(3)常温部に触れた液化窒素が気化、という(1)〜(3)の過程を繰り返すことで、常温部から低温部への熱が供給され、冷凍機の負担を増大させてしまう。これは、温度の精密制御が必要な超伝導デバイスの運用に、不具合が生じる原因となる。
触媒電極5直上の断熱真空槽1に、ポートを設け、ポートはQ−Mass((Quadrupole−Mass Spectrometry)センサー10、大気リークバルブ11、真空排気用バルブ12と接続している。真空排気用バルブ12は、図示しない真空排気ポンプと接続されている。窒素とアンモニアの分圧の測定を行わないで、実施形態の冷凍装置を動作させる場合は、断熱真空槽1の任意の部位に真空ポンプと接続するポートを設ければよい。
しかし、断熱真空槽1内は、高真空状態が必要であり、反応ガスを高圧にすることができないため、上記の方法は採用することができない。
発明者らは、この(1)から(4)の過程において、真空かつ低温の冷凍装置内でも窒素をアンモニア化することにつき誠意検討した。
しかし、断熱真空槽1内では、高真空を維持する必要があるため、上記のような高真空ではない条件で行う方法を採用することができない。なお、ここで高真空とは、真空度が2×10−2Pa以下を意味する。
触媒電極5の表面を高温に保つための機能となる構成としては、特に限定されるものではなく、一般的に用いられるヒーター等を用いればよい。
よって、気体の窒素による圧力及び熱の影響を軽減することで、断熱真空槽1内の長期に渡る断熱真空の維持を簡便な装置構成で実現することが可能となる。
なお、触媒電極5は、断熱真空槽1と加熱部7と絶縁されている。加熱部7は、触媒電極5と断熱真空槽1と絶縁されている。
実施例1は図1の形態の冷凍装置によって実施した。窒素とアンモニアの分圧は、次の様に測定した。大気リークバルブ11を閉じ、真空排気用バルブを開き、真空排気ポンプで断熱真空槽1を5×10−4Pa以下の真空度にし、Q−Massセンサー10を稼働させる。Q−Massの稼働後、真空排気用バルブ12を閉じ、大気リークバルブ11を開く。Q−Massの真空度が目的の真空度である1×10−3以上2×10−2Pa以下に到達したら大気リークバルブ11を閉じる。そして、Q−Massで窒素とアンモニアの分圧を測定する。
触媒電極5の印加電圧を0Vから100Vの間で変化させ、触媒電極5の温度を200℃から800℃まで変化させ、冷凍装置を動作させてから、180分後に断熱真空槽1内の窒素分圧とアンモニア分圧と全圧をQ−Massで測定した。
上記以外の実験条件は実施例1と同様である。
窒素分圧の測定結果を表1に示す。アンモニア分圧の測定結果を表2に示す。全圧の測定結果を表3に示す。
触媒電極5にタングステン板を用いたこと以外の実験条件は実施例2と同様である。
真空度の測定結果を表4に示す。
触媒電極5にルテニウム板を用いたこと以外の実験条件は実施例2と同様である。
真空度の測定結果を表5に示す。
触媒電極5に鉄板、タングステン板、ルテニウム板を用い、触媒電極5を400℃に加熱した時の、触媒電極への印加電圧と真空度の関係を表6にまとめた。
2…冷凍機極低温部
3…冷凍機圧縮部
4…信号入出力端子
5…触媒電極
6…電源
7…加熱部
8…金属部材
9…遮熱部材
10…Q−Massセンサー
11…大気リークバルブ
12…真空排気用バルブ
Claims (9)
- 断熱真空槽と、
前記断熱真空槽内に備えられた195Kより低温に冷却された冷凍機極低温部と、
前記断熱真空槽内に備えられた表面の少なくとも一部に遷移金属を含む触媒電極と、
前記触媒電極に電圧を印加する電源と、
前記断熱真空槽内に、前記触媒電極を加熱する加熱部とを少なくとも備え、
前記触媒電極は、前記断熱真空槽と前記加熱部と絶縁され、
前記加熱部は、前記断熱真空槽と前記触媒金属と絶縁されたことを特徴とする冷凍装置。 - 前記電圧が15V以上であり、
前記触媒金属の温度が300℃以上であり、
前記低温部が100K以下であることを特徴とする請求項1に記載の冷凍装置。 - 前記電圧が20V以上であり、
前記触媒金属の温度が400℃以上であり、
前記低温部が95K以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の冷凍装置。 - 前記断熱真空槽を貫通し、前記断熱真空槽内と断熱断熱真空槽外と接触可能な金属部材を備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の冷凍装置。
- 前記遷移金属は、鉄、レニウム、モリブデン、タングステン、ルテニウム、コバルト、ニッケル、オスミウム、イリジウムとロジウムからなる群から選ばれる1種以上の金属であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の冷凍装置。
- 断熱真空槽内の窒素を水素化する装置であって、
前記断熱真空槽内に配置され、表面の少なくとも一部に遷移金属を含む触媒電極と、
前記触媒電極に、接地側との間でバイアス電圧を印加する電源と、
前記触媒電極を加熱する加熱部とを少なくとも備え、
前記触媒電極は、前記加熱部と絶縁されたことを特徴とする窒素の水素化装置。 - 前記電圧が20V以上であり、
前記触媒金属の温度が400℃以上であることを特徴とする請求項6に記載の窒素の水素化装置。 - 断熱真空槽と、
前記断熱真空槽内に備えられた195Kより低温に冷却された冷凍機極低温部と、
前記断熱真空槽内に備えられた表面の少なくとも一部に遷移金属を含む触媒電極と、
前記触媒電極に電圧を印加する電源と、
前記断熱真空槽内に、前記触媒電極を加熱する加熱部とを少なくとも備え、
前記触媒電極は、前記断熱真空槽と前記加熱部と絶縁され、
前記加熱部は、前記断熱真空槽と前記触媒金属と絶縁された冷凍装置において、
前記触媒電極上で断熱真空槽内にリークしてきた窒素を水素化し、
前記冷凍機極低温部において、水素化した窒素を吸着することを特徴とするリークガスの除去方法。 - 前記電圧が20V以上であり、
前記触媒金属の温度が400℃以上であり、
前記低温部が95K以下であることを特徴とする請求項8に記載のリークガス除去方法。
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