JP5657349B2 - デザインテンプレート生成装置、レシピ生成装置及び顕微像マッチング装置 - Google Patents
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Description
(システム構成)
図1に、形態例に係る顕微鏡システムのシステム構成例を示す。図1に示す顕微鏡システムは、レシピ生成用計算機(レシピ生成装置)1と、走査型電子顕微鏡11とで構成される。
図2に、レシピ生成用計算機1によるレシピ4の生成処理手順を示す。図2に示すように、この形態例の場合、レシピ生成用計算機1は、レシピ4の生成前に重み付きのデザインテンプレート5を生成する。
図3に、画像処理ユニット18において実行されるSEM像に対するマッチング処理手順を示す。本形態例の場合、画像処理ユニット18は、従来通り、SEM像と重み無しのデザインテンプレートをマッチング処理し、一致度の高い複数候補を求める処理を実行する(ステップ31)。
図4に、信頼性を加味したパターンの重み付け処理の具体例を示す。この形態例の場合、パターンの重み付け処理はレシピ生成用計算機1及び画像処理ユニット18のそれぞれにおいて実行される。従って、以下では実行主体を単に計算機という。
図5に、信頼性の低いパターンの具体例を示す。この形態例の場合、繰返し性の高いパターンを信頼性の低いパターンとして扱い、小さい重みを付ける。この形態例では、繰り返し周期が短いほど又は繰り返し数が多いほど、信頼性が低いパターンとして扱う。
ここでは、ユーザが重みの設定に使用するGUIの一例を示す。なお、GUIの表示機能は、不図示の計算機上で実行されるプログラムとして実現されても良いし、レシピ生成用計算機1や画像処理ユニット18において実行されても良い。因みに、各計算機には表示装置が接続されており、当該表示装置の画面上にGUIが表示される。ここでの計算機が表示制御装置として機能する。
以上説明したように、本実施形態に係る顕微鏡システムを用いれば、レシピ4に登録する位置合わせ座標の最適化や撮像されたSEM像のパターンマッチング時の位置合わせ座標の最適化を実現できる。この結果、パターンマッチング処理の際に信頼性の低いパターンを用いる可能性を低減でき、パターンマッチングの精度を高めることができる。
前述の形態例の場合には、レシピ生成用計算機1と画像処理ユニット18のそれぞれにおいて、重み付け処理後のデザインテンプレート5を用いる場合について説明した。しかしながら、レシピ生成用計算機1と画像処理ユニット18のいずれか一方でのみ、前述した重み付け処理後のデザインテンプレート5を用いても良い。
前述の形態例の説明では、図3に示すように、予め従来手法により複数の候補に絞り込んだ後のパターンに重み付きのデザインテンプレート5を適用し、最終的に1つパターンを特定する場合について説明した。しかし、図12に示すように、重み付け後のデザインテンプレート5とSEM像を直接比較してマッチングに使用するパターンを決定しても良い(ステップ161)。
前述の形態例においては、走査型電子顕微鏡に本発明を適用する場合について説明した。しかしながら、電子以外の荷電粒子線を使用する顕微鏡システムや光学式の顕微鏡システムにおけるレシピ作成や撮像画像に対するパターンマッチングにも応用できる。
2:測長座標情報
3:デザインデータ(オリジナル)
4:レシピ
5:デザインテンプレート(重み付き)
11:走査型電子顕微鏡
12:電子銃
13:電子線
14:偏向器
15:ウェハ
16:反射電子検出器
17:増幅器
18:画像処理ユニット
19:ステージ
Claims (9)
- 顕微像によって得られた画像を用いて行われるパターンマッチングに使用するデザインテンプレートを生成する装置において、
半導体パターンのデザインデータ、又は当該デザインデータに基づいて生成されるパターンマッチング用のデザインテンプレートから、所定のパターンの信頼度を持つパターンが有する特定のパラメータを用いて、当該特定のパラメータを持つパターンを検出する手段と、
検出されたパターンに、前記信頼度に応じて、前記パターンマッチングに用いられる評価値を求めるための重みを付加する手段と
を有することを特徴とするデザインテンプレート生成装置。 - 請求項1に記載のデザインテンプレート生成装置において、
信頼度が低い前記パターンは、繰り返し性を有するパターンである
ことを特徴とするデザインテンプレート生成装置。 - 請求項1に記載のデザインテンプレート生成装置において、
信頼度が低い前記パターンは、ダミーパターンである
ことを特徴とするデザインテンプレート生成装置。 - 請求項3に記載のデザインテンプレート生成装置において、
前記ダミーパターンは、半導体プロセス用のパターンである
ことを特徴とするデザインテンプレート生成装置。 - 請求項1に記載のデザインテンプレート生成装置において、
前記パラメータ及び又は重みの値を入力する操作画面を表示装置に出力する表示制御手段を有する
ことを特徴とするデザインテンプレート生成装置。 - 請求項5に記載のデザインテンプレート生成装置において、
前記表示制御手段は、入力された前記パラメータ及び又は重みの値による重み付け結果の確認画面を前記操作画面上に表示する
ことを特徴とするデザインテンプレート生成装置。 - 顕微像の取得に使用するレシピを生成する装置において、
半導体パターンのデザインデータ、又は当該デザインデータに基づいて生成されるパターンマッチング用のデザインテンプレートから、所定のパターンの信頼度を持つパターンが有する特定のパラメータを用いて、当該特定のパラメータを持つパターンを検出する手段と、
検出されたパターンに、前記信頼度に応じて、前記パターンマッチングに用いられる評価値を求めるための重みを付加する手段と、
重み付け後の各パターンのエッジ数と対応する重みとの乗算処理結果を評価値に用い、
顕微像の取得に使用するパターンを決定する手段と、
決定されたパターンの座標をレシピに登録する手段と
を有することを特徴とするレシピ生成装置。 - デザインテンプレートと顕微像によって得られた画像とをマッチングする装置において、
半導体パターンのデザインデータ、又は当該デザインデータに基づいて生成されるパターンマッチング用のデザインテンプレートから、所定のパターンの信頼度を持つパターンが有する特定のパラメータを用いて、当該特定のパラメータを持つパターンを検出する手段と、
検出されたパターンに、前記信頼度に応じて、前記パターンマッチングに用いられる評価値を求めるための重みを付加する手段と、
重み付け後のデザインテンプレートと顕微像とをマッチングする手段と
を有することを特徴とする顕微像マッチング装置。 - 請求項8に記載の顕微像マッチング装置において、
前記顕微像は、重み付け前のデザインテンプレートとのマッチングにより候補として絞り込まれた複数の顕微像である
ことを特徴とする顕微像マッチング装置。
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JP2010248332A JP5657349B2 (ja) | 2010-11-05 | 2010-11-05 | デザインテンプレート生成装置、レシピ生成装置及び顕微像マッチング装置 |
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- 2010-11-05 JP JP2010248332A patent/JP5657349B2/ja active Active
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