JP5651896B2 - 移動面の向きおよび位置を制御する光学素子を含み、レーザ材料の相互作用によって二次源を発生させる装置 - Google Patents
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Description
− 2つの分岐に分割される制御レーザビームであって、一方の分岐は、固定された基準ビームであり、他方の分岐は、移動面から反射される移動解析ビームである、制御レーザビームと、
− 前記基準ビームと前記解析ビームとを干渉させて干渉縞を発生させる手段と、
− 前記移動面の向きおよび位置に関する情報を搬送する干渉縞を撮像するカメラ型手段と、
− 前記干渉画像を解析する手段と、
− 前記情報搬送信号の解析に基づいて前記移動面の向きおよび位置を制御するフィードバックループを発生させる手段と、を含むことを特徴とする。
− カメラに結像した干渉縞の数に対応する、縞模様の間隔の変化
− カメラのエッジに対する干渉縞模様の位置の観点での、縞模様のずれ
− 移動面の面にほぼ平行な面において定義された、カメラの垂直軸に対する、縞の角度に対応する、干渉縞の傾き
そこで、図3a、図3b、および図3cは、位置制御装置を装備されたターゲットホルダの一例を示す。
− 縞模様の間隔の変化(カメラ上の縞の数)
− 縞模様のオフセット(カメラのエッジに対する縞模様の絶対位置)
− 縞の傾き(カメラの垂直軸yに対する縞の角度)
ここで採り上げる二次源は、極めて急速な物理現象を解析できることを意図された、継続時間が非常に短いパルス源F2である。
Claims (14)
- 移動面(10)上に合焦する、第1の波長(λ1)の第1の光ビームを放射する一次光源(F1)から二次源を発生させる装置であって、前記第1のビームは、二次ビーム(F2)を発生させるために前記装置と相互作用し、前記装置はさらに、前記移動面上の、前記二次源の放射点の向きおよび位置を測定するために前記移動面の向きおよび位置を制御する光学素子を備えることを特徴とし、干渉計型測定によって移動面(10)の向きおよび位置を制御する前記光学素子は、
− 2つの分岐に分割される制御レーザビーム(11)であって、一方の分岐は、固定された基準ビームであり、他方の分岐は、前記移動面から反射される移動解析ビーム(12)である、前記制御レーザビーム(11)と、
− 前記基準ビームと前記解析ビームとを干渉させて干渉縞を発生させる手段と、
− 前記移動面の向きおよび位置に関する情報を搬送する前記干渉縞を撮像するカメラ型手段(16)と、
− 前記干渉画像を解析する手段(17)と、
− 前記干渉画像を解析する手段の解析によって得られた情報に基づいて前記移動面の向きおよび位置を制御するフィードバックループを発生させる手段(18)と、を備えることを特徴とする、
一次光源から二次源を発生させる装置。 - 前記干渉画像を解析する前記手段(17)は、パラメータの時間的解析を行う手段を備え、前記パラメータは、
− 前記カメラに結像した干渉縞の数に対応する、前記縞模様の間隔の変化と、
− 前記カメラのエッジに対する前記干渉縞模様の位置の観点での、前記縞模様のずれと、
− 前記移動面の面にほぼ平行な面において定義された、前記カメラの垂直軸に対する、前記縞の角度に対応する、前記干渉縞の傾きと、であることを特徴とする、
請求項1に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。 - フィードバックループを発生させる前記手段(17)は、前記移動面の向きおよび位置を調節するために、前記移動面(10)と結合されて、前記移動面の面にほぼ平行な面において「線−点−面」式で配置された、一連の電動アクチュエータ(51、52、53)を備えることを特徴とする、請求項1および2のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 周波数安定化された前記制御レーザビームを発生させるヘリウムネオンレーザを備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 前記移動面は、ガラスまたは金属またはプラスチックの円板であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 前記基準ビームと前記解析ビームとを干渉させて干渉ビームを発生させる前記手段は、2つのビームスプリッタ(131、133)と、リターンミラー(132)とを備えることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 前記カメラの検出面をカバーするために、前記解析ビームの前記分割の上流に配置され、前記レーザビームの直径を広げる手段をさらに備えることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 前記解析手段は、基準面に対する前記移動面の位置および向きの変化に関する情報を抽出する画像処理手段を備えることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 前記二次源のビームは、極紫外線、電子、またはプロトンのビームであることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 前記移動面はターゲットホルダ上にマウントされ、前記ターゲットホルダには、前記移動面を回転させる手段(51、52、53)と、前記移動面を平行移動させる手段(40)とが装備されることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 前記ターゲットホルダおよび前記移動面は、真空チャンバ内にマウントされることを特徴とする、請求項10に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 測定を確実に高精度にするために、前記制御レーザビームは、前記一次光源の波長以下の波長を有する連続波のレーザ源によって生成されることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 前記一次光源は、フェムト秒パルスレーザ源であることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
- 前記二次源は、前記一次源の高調波であって数十〜数百アト秒の継続時間を有するレーザビームであることを特徴とする、請求項13に記載の、一次光源から二次源を発生させる装置。
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