JP5644771B2 - 発光素子用基板および発光装置 - Google Patents

発光素子用基板および発光装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5644771B2
JP5644771B2 JP2011540563A JP2011540563A JP5644771B2 JP 5644771 B2 JP5644771 B2 JP 5644771B2 JP 2011540563 A JP2011540563 A JP 2011540563A JP 2011540563 A JP2011540563 A JP 2011540563A JP 5644771 B2 JP5644771 B2 JP 5644771B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
substrate
emitting element
glass
mounting surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011540563A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2011059070A1 (ja
Inventor
勝寿 中山
勝寿 中山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Priority to JP2011540563A priority Critical patent/JP5644771B2/ja
Publication of JPWO2011059070A1 publication Critical patent/JPWO2011059070A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5644771B2 publication Critical patent/JP5644771B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/64Heat extraction or cooling elements
    • H01L33/642Heat extraction or cooling elements characterized by the shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/64Heat extraction or cooling elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • H01L23/3677Wire-like or pin-like cooling fins or heat sinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/483Containers
    • H01L33/486Containers adapted for surface mounting
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24273Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including aperture
    • Y10T428/24322Composite web or sheet

Description

本発明は、発光素子用基板およびこれを用いた発光装置に係り、特に発光素子が搭載される搭載面の平坦度に優れる発光素子用基板およびこれを用いた発光装置に関する。
近年、発光ダイオード素子(チップ)の高輝度、白色化に伴い、携帯電話や大型液晶TVのバックライト等として発光ダイオード素子を用いた発光装置が使用されている。しかしながら、発光ダイオード素子の高輝度化に伴って発熱量が増加し、その温度が過度に上昇するために、必ずしも十分な発光輝度を得られない。このため発光ダイオード素子等の発光素子を搭載するための発光素子用基板として、発光素子から発生する熱を速やかに放散し、十分な発光輝度を得られるものが求められている。
従来、発光素子用基板として、例えばアルミナ基板が用いられている。また、アルミナ基板の熱伝導率が約15〜20W/m・Kと必ずしも高くないことから、より高い熱伝導率を有する窒化アルミニウム基板を用いることも検討されている。
しかしながら、窒化アルミニウム基板は、原料コストが高く、また難焼結性であることから高温焼成が必要となり、プロセスコストが高くなりやすい。さらに、窒化アルミニウム基板の熱膨張係数は4×10−6〜5×10−6/℃と小さく、汎用品である9×10−6/℃以上の熱膨張係数を持つプリント基板に実装した場合、熱膨張差により必ずしも十分な接続信頼性を得ることができない。
このような問題を解決するために、発光素子用基板として低温同時焼成セラミック基板(以下、LTCC基板という)を用いることが検討されている。LTCC基板は、ガラスとアルミナフィラーとからなり、これらの屈折率差が大きく、またこれらの界面が多く、その厚みが利用する波長より大きいことから、高い反射率が得られる。これにより、発光素子からの光を効率よく利用し、結果として発熱量を低減できる。また、光源による劣化の少ない無機酸化物からなるために、長期間に渡って安定した色調を保持できる。
また、LTCC基板の熱伝導率が必ずしも高くないことから、例えば発光素子が搭載される搭載面からその反対面である非搭載面に貫通するように金属等の高熱伝導材料からなるサーマルビアを設け、熱抵抗を低減させるものが知られている。サーマルビアとしては、例えば発光素子より小さいものを複数配置するものや、発光素子と略同等の大きさのものを1つのみ配置するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2006−41230号公報
しかしながら、サーマルビアを設ける場合、搭載面に凹凸が発生しやすくなる。すなわち、LTCC基板を主として構成する基板本体とこれに埋設されるサーマルビアとの最適な焼結温度や収縮挙動が異なるために、その製造時、特に焼成時にサーマルビアが搭載面から突出あるいは陥没して凹凸を発生させる。通常、サーマルビアの突出等は、サーマルビアの中央部で最も大きく、またサーマルビア(径等)が大きくなるにつれて大きくなる。
一般に、発光素子は接着剤を用いて固定されており、搭載面に凹凸があると接着剤の使用量が多くなり、熱抵抗が増加する。また、搭載面に凹凸があると、発光素子が傾いて固定されるおそれがあり、その後のワイアボンディングにより損傷し、また光軸ずれが発生するおそれがある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、発光素子が搭載される搭載面の平坦度に優れ、熱抵抗が小さく、また発光素子の傾きを抑制することのできる発光素子用基板の提供を目的としている。また、本発明は、上記発光素子用基板を用いた発光装置の提供を目的としている。
本発明者らの研究によれば、搭載面に達しないようにサーマルビアを設けることで、搭載面の平坦度を向上できることがわかった。また、搭載面に達しないようにサーマルビアを設けた場合、発光素子からサーマルビアまでの距離は長くなるものの、発光素子の密着度が向上するために、従来に比べて熱抵抗を低減できることがわかった。本発明は、このような知見に基づいてなされたものである。
すなわち、本発明の発光素子用基板は、ガラス粉末とセラミックスフィラーとを含むガラスセラミックス組成物の焼結体からなり、一部が発光素子の搭載される搭載部となる搭載面を有する基板本体と、前記基板本体に埋設され、前記搭載面に達しないように前記搭載面の反対面である非搭載面から前記搭載面の近傍にかけて設けられるサーマルビアとを有し、前記搭載面から前記サーマルビアまでの距離が0.075mm以上0.20mm以下であることを特徴とする。
記搭載部における最高部と最低部との高低差は、1μm以下であることが好ましい。また、前記搭載部には、表面粗さRaが0.4μm以下のガラス膜が設けられていることが好ましい。
前記セラミックスフィラーは、例えばアルミナ粉末、ジルコニア粉末、またはアルミナ粉末とジルコニア粉末との混合物であることが好ましい。また、前記基板本体の抗折強度は250MPa以上であることが好ましい。
本発明の発光装置は、上記した本発明の発光素子用基板と、前記発光素子用基板の搭載部に搭載された発光素子とを有することを特徴とする。
本発明によれば、搭載面に達しないようにサーマルビアを設けることで、搭載面の平坦度を向上させることができ、熱抵抗が小さく、また発光素子の傾きを抑制できる発光素子用基板が得られる。また、本発明によれば、このような発光素子用基板に発光素子を搭載することで、十分な発光輝度が得られ、また発光素子の損傷や光軸ずれが抑制された発光装置が得られる。
本発明の発光素子用基板の一例を示す断面図。 図1に示す発光素子用基板の一部を拡大して示す断面図。 本発明の発光素子用基板の他の例を示す断面図。 本発明の発光装置の一例を示す断面図。 発光素子用基板の製造方法の一例を示す断面図。
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の発光素子用基板は、ガラス粉末とセラミックスフィラーとを含むガラスセラミックス組成物の焼結体からなり、一部が発光素子の搭載される搭載部となる搭載面を有する基板本体と、この基板本体に埋設され、搭載面に達しないように該搭載面の反対面である非搭載面から該搭載面の近傍にかけて設けられるサーマルビアとを有することを特徴とする。
本発明によれば、搭載面に達しないようにサーマルビアを設けることで、言い換えればサーマルビアの搭載面側を基板本体で覆うようにすることで、搭載面へのサーマルビアの影響を抑制し、その平坦度を向上させることができる。このようにして平坦度を向上させた場合、発光素子からサーマルビアまでの距離は長くなるものの、発光素子を搭載したときの密着度が向上するために、従来に比べて熱抵抗を低減できる。また、平坦度を向上させることで、発光素子を搭載したときの傾きを抑制でき、ワイアボンディングによる損傷や光軸ずれを抑制できる。
図1は、本発明の発光素子用基板1の一例を示す断面図である。発光素子用基板1は、発光素子用基板1を主として構成する略平板状の基板本体2を有している。基板本体2は、ガラス粉末とセラミックスフィラーとを含むガラスセラミックス組成物の焼結体からなり、一方の主面(図中、上側)が発光素子の搭載される搭載面21となっており、この略中央部が実際に発光素子の搭載される搭載部22となっている。また、他方の主面は、発光素子の搭載されない非搭載面23とされている。基板本体2は、発光素子の搭載時、その後の使用時における損傷等を抑制する観点から、例えば抗折強度が250MPa以上となるものが好ましい。
搭載面21には、発光素子と電気的に接続される接続端子3が設けられている。また非搭載面23には、外部回路と電気的に接続される外部電極端子4が設けられている。そして、基板本体2の内部に、これら接続端子3と外部電極端子4とを電気的に接続する貫通導体5が設けられている。
熱抵抗を低減するためのサーマルビア6は、このような基板本体2の内部に埋設されている。サーマルビア6は、例えば搭載部22より小さい柱状のものであり、搭載部22の直下に複数設けられている。既に説明したように、本発明におけるサーマルビア6は、搭載面21に達しないように、非搭載面23から搭載面21の近傍にかけて設けられている。このようなものとすることで、搭載面21、特に搭載部22の平坦度を向上させることができ、熱抵抗を低減し、また発光素子を搭載したときの傾きも抑制できる。
なお、サーマルビア6は、必ずしも搭載部22の直下にある必要はなく、その近傍に設けられていてもよい。また、サーマルビア6は、必ずしも搭載部22より小さいものである必要はなく、搭載部22と略同様の大きさのものであってもよい。
搭載面21からサーマルビア6までの距離Tは0.05mm以上0.20mm以下であることが好ましく、0.05mm以上0.15mm以下であることがより好ましい。距離Tが0.05mm未満の場合、搭載面21にサーマルビア6の影響が及ぶおそれがあり、その平坦度が十分なものとならないおそれがある。一方、距離Tが0.20mm、特に0.15mmを超える場合、搭載面21へのサーマルビア6の影響は十分に抑制されるものの、発光素子からサーマルビア6までの距離が過度に長くなり、かえって熱抵抗が増加するおそれがある。
距離Tは、搭載面21の平坦度を十分なものとしつつ、また発光素子からサーマルビア6までの距離を短縮して熱抵抗の低減されたものとする観点から、0.075mm以上0.125mm以下であることがさらに好ましい。なお、サーマルビア6が複数存在する場合、個々のものが上記距離Tを満たすことが好ましい。
また、特に搭載部22については、例えば図2に拡大して示すように、最高部と最低部との高低差Hが1μm以下であることが好ましい。ここで、最高部とは、搭載部22の中で最も高い部分のことであり、通常はサーマルビア6が設けられている付近が最高部となる。一方、最低部とは、搭載部22の中で最も低い部分のことであり、通常は隣接するサーマルビア6どうしの中間点付近が最低部となる。そして、高低差Hは、最高部と最低部との高さの差として求められる。
高低差Hは平坦度を現す指標となるものであり、このような高低差Hが1μm以下であれば、十分に熱抵抗の小さいものとなり、また発光素子の傾きも効果的に抑制される。高低差Hの調整は、通常、上記した搭載面21からサーマルビア6までの距離Tを調整することにより行うことができ、例えば距離Tを0.05mm以上とすることで、高低差Hを1μm以下とすることができる。
また、搭載部22には、例えば図3に示すように表面粗さRaが0.4μm以下のガラス膜7を設けることが好ましい。一般的なLTCC基板の表面粗さRaが1.0μm程度であることから、このようなガラス膜7を搭載部22に設けることで、より平坦度を向上できる。なお、一般に基板本体2に比べてガラス膜7の反射率は低くなることから、ガラス膜7は搭載部22のみに設け、それ以外の部分には設けないことが好ましい。また表面粗さRaは算術平均粗さRaのことであり、算術平均粗さRaの値は、JIS:B0601(1994年)の3「定義された算術平均粗さの定義及び表示」によって表されるものである。
以上、本発明の発光素子用基板1について一例を挙げて説明したが、本発明の趣旨に反しない限度において、また必要に応じて、その構成を適宜変更することができる。既に説明したように、サーマルビア6の大きさ(径等)、個数、配置については、適宜変更できる。また、搭載面21には、例えば発光素子の光を反射する枠体(リフレクタ)等を設けてもよい。
本発明の発光装置は、例えば図4に示すように、発光素子用基板1の搭載部22に発光ダイオード素子等の発光素子11が搭載されたものである。発光素子11は、搭載部22に接着剤12を用いて固定され、その図示しない電極がボンディングワイヤ13によって接続端子3に電気的に接続されている。そして、発光素子11やボンディングワイヤ13を覆うようにモールド材14が設けられて発光装置10が構成されている。
本発明の発光装置10によれば、熱抵抗の小さい発光素子用基板1を用いることで、発光素子11の過度な温度上昇を抑制し、高輝度に発光させることができる。また、発光素子11の傾きが抑制されるために、その損傷や光軸ずれが抑制できる。このような本発明の発光装置10は、例えば携帯電話や大型液晶ディスプレイ等のバックライト、自動車用あるいは装飾用の照明、その他の光源として好適に使用できる。
本発明の発光素子用基板1は、以下のようにして製造する。
なお、以下の説明では、その製造に用いる部材について、完成品の部材と同一の符号を付して説明する。
発光素子用基板1は、例えば図5に示すように、少なくとも未焼成サーマルビア6を有し、主として基板本体2を構成することとなる未焼成本体部材2Aを製造すると共に、未焼成サーマルビア6を有せず、基板本体2の搭載面21を構成することとなる未焼成被覆部材2Bを製造した後、これらを重ね合わせて未焼成発光素子用基板1とし、脱脂、焼成を行うことにより得られる。
未焼成本体部材2Aは、例えば本体用グリーンシート2aにその両主面を貫通するように未焼成サーマルビア6を形成すると共に、非搭載面23に未焼成外部電極端子4や未焼成貫通導体5を形成することにより製造する。また、未焼成被覆部材2Bは、例えば被覆用グリーンシート2bに未焼成サーマルビア6を形成せず、未焼成接続端子3や未焼成貫通導体5のみを形成することにより製造する。ここで、既に説明した発光素子用基板1における搭載面21からサーマルビア6までの距離Tは、この未焼成被覆部材2B(被覆用グリーンシート2b)の厚さで調整できる。
本体用グリーンシート2aおよび被覆用グリーンシート2bは、ガラス粉末(基板本体用ガラス粉末)とセラミックスフィラーとを含むガラスセラミックス組成物にバインダー、必要に応じて可塑剤、溶剤等を添加してスラリーを調製し、これをドクターブレード法等によりシート状に成形し、乾燥させることで製造する。
基板本体用ガラス粉末は、必ずしも限定されるものではないものの、ガラス転移点(Tg)が550℃以上700℃以下のものが好ましい。ガラス転移点(Tg)が550℃未満の場合、脱脂が困難となるおそれがあり、700℃を超える場合、収縮開始温度が高くなり、寸法精度が低下するおそれがある。
また、850℃以上900℃以下で焼成したときに結晶が析出するものであることが好ましい。結晶が析出しないものの場合、十分な機械的強度が得られないおそれがある。さらに、DTA(示差熱分析)により測定される結晶化ピーク温度(Tc)が880℃以下のものが好ましい。結晶化ピーク温度(Tc)が880℃を超える場合、寸法精度が低下するおそれがある。
このような基板本体用ガラス粉末としては、ガラス組成として酸化物換算のモル百分率で、例えばSiOを57mol%以上65mol%以下、Bを13mol%以上18mol%以下、CaOを9mol%以上23mol%以下、Alを3mol%以上8mol%以下、KOおよびNaOから選ばれる少なくとも一方を合計で0.5mol%以上6mol%以下含有するものが好ましい。このようなものを用いることで、より搭載面21の平坦度を向上させることが容易となる。
ここで、SiOは、ガラスのネットワークフォーマとなるものである。SiOの含有量が57mol%未満の場合、安定なガラスを得ることが難しく、また化学的耐久性も低下するおそれがある。一方、SiOの含有量が65mol%を超える場合、ガラス溶融温度やガラス転移点(Tg)が過度に高くなるおそれある。SiOの含有量は、好ましくは58mol%以上、より好ましくは59mol%以上、特に好ましくは60mol%以上である。また、SiOの含有量は、好ましくは64mol%以下、より好ましくは63mol%以下である。
は、ガラスのネットワークフォーマとなるものである。Bの含有量が13mol%未満の場合、ガラス溶融温度やガラス転移点(Tg)が過度に高くなるおそれがある。一方、Bの含有量が18mol%を超える場合、安定なガラスを得ることが難しく、また化学的耐久性も低下するおそれがある。Bの含有量は、好ましくは14mol%以上、より好ましくは15mol%以上である。また、Bの含有量は、好ましくは17mol%以下、より好ましくは16mol%以下である。
Alは、ガラスの安定性、化学的耐久性、および強度を高めるために添加される。Alの含有量が3mol%未満の場合、ガラスが不安定となるおそれがある。一方、Alの含有量が8mol%を超える場合、ガラス溶融温度やガラス転移点(Tg)が過度に高くなるおそれがある。Alの含有量は、好ましくは4mol%以上、より好ましくは5mol%以上である。また、Alの含有量は、好ましくは7mol%以下、より好ましくは6mol%以下である。
CaOは、ガラスの安定性や結晶の析出性を高めると共に、ガラス溶融温度やガラス転移点(Tg)を低下させるために添加される。CaOの含有量が9mol%未満の場合、ガラス溶融温度が過度に高くなるおそれがある。一方、CaOの含有量が23mol%を超える場合、ガラスが不安定となるおそれがある。CaOの含有量は、好ましくは12mol%以上、より好ましくは13mol%以上、特に好ましくは14%以上である。また、CaOの含有量は、好ましくは22mol%以下、より好ましくは21mol%以下、特に好ましくは20%以下である。
OおよびNaOは、ガラス転移点(Tg)を低下させるために添加される。KOおよびNaOの合計した含有量が0.5mol%未満の場合、ガラス溶融温度やガラス転移点(Tg)が過度に高くなるおそれがある。一方、KOおよびNaOの合計した含有量が6mol%を超える場合、化学的耐久性、特に耐酸性が低下するおそれがあり、電気的絶縁性も低下するおそれがある。KOおよびNaOの合計した含有量は、0.8mol%以上5mol%以下であることが好ましい。
なお、基板本体用ガラス粉末は、必ずしも上記成分のみからなるものに限定されず、ガラス転移点(Tg)等の諸特性を満たす範囲で他の成分を含有できる。他の成分を含有する場合、その合計した含有量は10mol%以下であることが好ましい。
他の成分としては、SrO、BaO、LiO等が挙げられる。
基板本体用ガラス粉末は、上記したようなガラス組成を有するガラスを溶融法によって製造し、乾式粉砕法や湿式粉砕法によって粉砕することにより得ることができる。湿式粉砕法の場合、溶媒として水を用いることが好ましい。粉砕は、例えばロールミル、ボールミル、ジェットミル等の粉砕機を用いて行う。
基板本体用ガラス粉末の50%粒径(D50)は0.5μm以上2μm以下であることが好ましく、1μm以上1.5μm以下がさらに好ましい。基板本体用ガラス粉末の50%粒径が0.5μm未満の場合、ガラス粉末が凝集しやすく、取り扱いが困難となると共に、均一に分散させることが困難となる。一方、基板本体用ガラス粉末の50%粒径が2μmを超える場合、ガラス軟化温度の上昇や焼結不足が発生するおそれがある。粒径の調整は、例えば粉砕後に必要に応じて分級することにより行う。
一方、セラミックスフィラーとしては、従来からLTCC基板の製造に用いられるものを特に制限なく使用でき、例えばアルミナ粉末、ジルコニア粉末、またはアルミナ粉末とジルコニア粉末との混合物を好適に用いることができる。セラミックスフィラーの50%粒径(D50)は、例えば0.5μm以上4μm以下であることが好ましく、1μm以上3μm以下がさらに好ましい。
このような基板本体用ガラス粉末とセラミックスフィラーとを、例えば基板本体用ガラス粉末が30質量%以上50質量%以下、好ましくは35質量%以上45質量%以下、セラミックスフィラーが50質量%以上70質量%以下、好ましくは55質量%以上65質量%以下となるように配合、混合することによりガラスセラミックス組成物が得られる。また、このガラスセラミックス組成物に、バインダー、必要に応じて可塑剤、溶剤等を添加することによりスラリーが得られる。
バインダーとしては、例えばポリビニルブチラール、アクリル樹脂等を好適に使用できる。可塑剤としては、例えばフタル酸ジブチル、フタル酸ジオクチル、フタル酸ブチルベンジル等を使用できる。また、溶剤としては、トルエン、キシレン、ブタノール等の有機溶剤を好適に使用できる。
このスラリーをドクターブレード法等によりシート状に成形し、乾燥させることで、本体用グリーンシート2aや被覆用グリーンシート2bを製造する。本体用グリーンシート2aには、未焼成サーマルビア6を形成すると共に、未焼成外部電極端子4や未焼成貫通導体5を形成して未焼成本体部材2Aとする。また、被覆用グリーンシート2bには、未焼成サーマルビア6を形成せず、未焼成接続端子3や未焼成貫通導体5のみを形成して未焼成被覆部材2Bとする。
未焼成外部電極端子4等の形成方法は、特に限定されるものではなく、スクリーン印刷法により金属ペーストを塗布、充填することにより行う。金属ペーストとしては、例えば銅、銀、金等を主成分とする金属粉末に、エチルセルロース等のビヒクル、必要に応じて溶剤等を添加してペースト状としたものを用いることができる。
また、ガラス膜7を設ける場合、未焼成被覆部材2Bの搭載部22となる部分にスクリーン印刷法によりガラスペーストを塗布して未焼成ガラス膜7を形成する。ガラスペーストは、ガラス粉末(ガラス膜用ガラス粉末)に、エチルセルロース等のビヒクル、必要に応じて溶剤等を添加してペースト状としたものを使用できる。
ガラス膜用ガラス粉末としては、未焼成本体部材2Aや未焼成被覆部材2Bと同時に焼成して膜状のガラスを得られるものであればよく、その50%粒径(D50)は0.5μm以上2μm以下であることが好ましい。また、ガラス膜7の表面粗さRaの調整は、例えばこのガラス膜用ガラス粉末の粒度により行うことができる。すなわち、ガラス膜用ガラス粉末として、焼成時に十分に溶融し、流動性に優れるものを用いることで、表面粗さRaを小さくできる。
未焼成本体部材2Aと未焼成被覆部材2Bとは重ね合わせて、熱圧着により一体化することにより未焼成発光素子用基板1とする。その後、バインダー等を除去するための脱脂を行い、ガラスセラミックス組成物等を焼結させるための焼成を行って発光素子用基板1とする。
熱圧着は一般的な公知の方法で行うことが可能であるが、50℃〜90℃、好ましくは60℃〜80℃で行う。熱圧着を行う時間は熱圧着時の温度にもよるが、1〜10分間、好ましくは3分間〜7分間である。
脱脂は、例えば500℃以上600℃以下の温度で1時間以上10時間以下保持することにより行う。脱脂温度が500℃未満もしくは脱脂時間が1時間未満の場合、バインダー等を十分に除去できないおそれがある。一方、脱脂温度は600℃程度、脱脂時間は10時間程度とすれば、十分にバインダー等を除去でき、これを超えるとかえって生産性等が低下するおそれがある。
また、焼成は、例えば850℃以上900℃以下の温度で、20分以上60分以下保持することにより行い、特に860℃以上880℃以下の温度で行うことが好ましい。焼成温度が850℃未満、焼成時間が20分未満の場合、緻密なものが得られないおそれがある。一方、焼成温度は900℃程度、焼成時間は60分程度とすれば、十分に緻密なものが得られ、これを超えるとかえって生産性等が低下するおそれがある。また、銀を主成分とする金属粉末を含有する金属ペーストを用いた場合、焼成温度が880℃を超えると、過度に軟化するために所定の形状を維持できなくなるおそれがある。
以上、発光素子用基板1の製造方法について説明したが、未焼成本体部材2Aや未焼成被覆部材2Bは必ずしも単一のグリーンシートからなる必要はなく、複数枚のグリーンシートを積層したものであってもよい。また、各部の形成順序等についても、発光素子用基板1の製造が可能な限度において適宜変更できる。
以下、本発明について実施例を参照してさらに詳細に説明するが、これらに限定して解釈されるものではない。
(実施例1〜9)
まず、本体用グリーンシート、被覆用グリーンシートを製造した。すなわち、ガラス組成として酸化物換算のモル百分率で、SiOが60.4mol%、Bが15.6mol%、Alが6mol%、CaOが15mol%、KOが1mol%、NaOが2mol%となるように原料を配合、混合し、この原料混合物を白金ルツボに入れて1600℃で60分間溶融させた後、この溶融状態のガラスを流し出し冷却した。このガラスをアルミナ製ボールミルにより40時間粉砕して基板本体用ガラス粉末を製造した。なお、粉砕時の溶媒にはエチルアルコールを用いた。
この基板本体用ガラス粉末が40質量%、アルミナフィラー(昭和電工社製、商品名:AL−45H)が60質量%となるように配合し、混合することによりガラスセラミックス組成物を製造した。このガラスセラミックス組成物50gに、有機溶剤(トルエン、キシレン、2−プロパノール、2−ブタノールを質量比4:2:2:1で混合したもの)15g、可塑剤(フタル酸ジ−2−エチルヘキシル)2.5g、バインダーとしてのポリビニルブチラール(デンカ社製、商品名:PVK#3000K)5g、さらに分散剤(ビックケミー社製、商品名:BYK180)0.5gを配合し、アルミナ製ボールミルを用いて1時間混合し、スラリーを調製した。
このスラリーをPETフィルム上にドクターブレード法により塗布し、乾燥させ、焼成後の厚さが0.85mmとなる本体用グリーンシートを製造すると共に、焼成後の厚さが0.01mm、0.03mm、0.05mm、0.075mm、0.1mm、0.125mm、0.15mm、0.175mm、0.2mmとなる被覆用グリーンシートを製造した。これら焼成後の厚さ、すなわち距離Tと実施例1〜9との関係は表1に記載のとおりである。
一方、導電性粉末(大研化学工業社製、商品名:S550)、ビヒクルとしてのエチルセルロースを質量比85:15の割合で配合し、固形分が85質量%となるように溶剤としてのαテレピネオールに分散した後、磁器乳鉢中で1時間混練を行い、さらに三本ロールにて3回分散を行って金属ペーストを製造した。
本体用グリーンシートの搭載部に相当する部分に孔空け機を用いて直径0.3mmの貫通孔を形成し、スクリーン印刷法により金属ペーストを充填して未焼成サーマルビアを形成すると共に、未焼成外部電極端子、未焼成貫通導体を形成して未焼成本体部材2Aを製造した。また、被覆用グリーンシートには、未焼成サーマルビアを形成せず、未焼成接続端子、未焼成貫通導体のみを形成して未焼成被覆部材2Bとした。
そして、未焼成本体部材2Aに未焼成被覆部材2Bを重ね合わせ、熱圧着(60℃、5分間)により一体化して未焼成発光素子用基板とした後、550℃で5時間保持して脱脂を行い、さらに870℃で30分間保持して焼成を行って発光素子用基板を製造した。
(実施例10)
実施例10は、セラミックスフィラーにアルミナフィラーとジルコニアフィラーとを混合したものを使用した例である。
実施例1〜9と同様の基板本体用ガラス粉末を用い、このガラス粉末が38質量%、アルミナフィラー(昭和電工社製、商品名:AL−45H)が38質量%、ジルコニアフィラー(第一稀元素化学工業社製、商品名:HSY−3F−J)が24質量%となるように配合し、アルミナ製ボールミルを用いて1時間混合することによりガラスセラミックス組成物を製造した。このガラスセラミックス組成物50gに、有機溶剤(トルエン、キシレン、2−プロパノール、2−ブタノールを質量比4:2:2:1で混合したもの)15g、可塑剤(フタル酸ジ−2−エチルヘキシル)2.5g、バインダーとしてのポリビニルブチラール(デンカ社製、商品名:PVK#3000K)5g、さらに分散剤(ビックケミー社製、商品名:BYK180)0.5gを配合し、アルミナ製ボールミルを用いて1時間混合してスラリーを調製した。このスラリーをPETフィルム上にドクターブレード法により塗布し、乾燥させ、焼成後の厚さが0.1mmとなる被覆用グリーンシートを製造し、実施例1〜9と略同様にして発光素子用基板を得た。
(実施例11〜29)
搭載部に表1に示すような表面粗さRaのガラス膜を設けた以外は実施例1〜9と略同様にして発光素子用基板を得た。
すなわち、未焼成本体部材2Aと未焼成被覆部材2Bとを製造した後、未焼成被覆部材2Bの搭載部となる部分にスクリーン印刷によりガラスペーストを約20μmの厚さに塗布して未焼成ガラス膜を形成した。この未焼成ガラス膜が形成された未焼成被覆部材2Bを未焼成本体部材2Aに重ね合わせて熱圧着(60℃、5分間)により一体化して未焼成発光素子用基板とした後、脱脂、焼成を行って発光素子用基板を製造した。
なお、ガラスペーストの調製に用いたガラス膜用ガラス粉末は以下のようにして製造した。まず、ガラス組成として酸化物換算のモル百分率で、SiOが81.6mol%、Bが16.6mol%、KOが1.8mol%になるように原料を配合、混合し、この原料混合物を白金ルツボに入れて1600℃で60分間溶融させた後、この溶融状態のガラスを流し出し冷却した。このガラスをアルミナ製ボールミルにより8〜60時間粉砕してガラス膜用ガラス粉末とした。
このガラス膜用ガラス粉末が60質量%、樹脂成分(エチルセルロースとαテレピネオールとを質量比で85:15の割合で含有するもの)が40質量%となるように配合した後、磁器乳鉢中で1時間混練し、さらに三本ロールにて3回分散を行うことによりガラスペーストを調製した。
また、ガラス膜の表面粗さRaは、ガラス膜用ガラス粉末の粒度によって調整した。ここで、ガラス膜用ガラス粉末の粒度はボールミル粉砕時間の調整によって行った。ガラス膜用ガラス粉末の粒度が粗ければ表面粗さRaは大きくなり、細かければ小さくなる。おおよそ8時間の粉砕で表面粗さRa=1.0μm、12時間の粉砕で表面粗さRa=0.6μmとすることができる。
(比較例1〜5)
基板本体の両主面にサーマルビアが露出する従来構造の発光素子用基板を製造した。すなわち、焼成後の厚さが0.85mmとなるグリーンシートの搭載部に直径0.3mmの貫通孔を形成し、スクリーン印刷法により金属ペーストを充填して未焼成サーマルビアを形成すると共に、未焼成端子類等を形成して未焼成発光素子用基板とした後、脱脂、焼成を行って発光素子用基板を得た。なお、この発光素子用基板については、基板本体を貫通するように、すなわち、本発明で使用する被覆用グリーンシートも貫通させ、サーマルビアを設けた以外は、基本的に実施例1等と同様にして製造を行った。
次に、各実施例および比較例の発光素子用基板について、搭載部の高低差H、またガラス膜が設けられている場合にはその表面粗さRaをいずれも接触式表面粗さ計(東京精密社製、商品名:サーフコム1400D)により測定した。
また、各実施例および比較例の発光素子用基板に発光ダイオード素子を搭載して熱抵抗を測定した。すなわち、搭載部に6個の発光ダイオード素子(昭和電工社製、商品名:GQ2CR460Z)を直列に接続した状態でダイボンド材(信越化学工業社製、商品名:KER−3000−M2)により固定し、さらに封止剤(信越化学工業社製、商品名:SCR−1016A)により封止した。
この発光ダイオード素子が搭載された発光素子用基板について、熱抵抗測定器(嶺光音電機社製、商品名:TH−2167)を用いて熱抵抗を測定した。なお、印加電流は35mAとし、電圧降下が飽和する時間まで通電し、降下した電圧と発光ダイオード素子の温度−電圧降下特性から導かれる温度係数によって飽和温度Tj(℃)を算出した。
上記発光ダイオード素子を用いた場合の熱抵抗は30℃/W以下が好ましく、25℃/W以下がより好ましい。熱抵抗が30℃/Wより高いと電圧降下が大きくなり、発光ダイオード素子の光取り出し効率や寿命が低下するおそれがある。
また、抗折強度を以下に示す方法により測定した。各実施例および比較例で使用したものと同様な焼成後の厚さが0.85mmとなるグリーンシートを550℃で5時間保持して脱脂を行った後、870℃で30分間保持して焼成を行って抗折強度測定用焼成体を製造した。この抗折強度測定用焼成体を幅5mmの短冊状に切断し、3点曲げ強度を測定した。スパンは15mm、クロスヘッドスピードは0.5cm/分とした。
表1に、搭載面からサーマルビアまでの距離Tと共に、搭載部における高低差H、ガラス膜の表面粗さRa、熱抵抗および抗折強度の測定結果を示す。また、表1中の距離T(mm)に記載した数値は、被覆用グリーンシートの焼成後の厚さを示すものである。
なお、表1中の「−」は、搭載部にガラス膜のない例であることを意味する。
Figure 0005644771
表1から明らかなように、従来構造とした比較例の発光素子用基板については、全体的に高低差Hが大きくなり、熱抵抗も高くなることが認められた。一方、搭載面にサーマルビアが達しない構造とした実施例の発光素子用基板については、全体的に高低差Hが抑制され、熱抵抗も低くなることが認められた。特に、距離Tを0.05mm以上0.15mm以下としたものは、高低差Hが1μm以下となり、熱抵抗も十分に小さくなることが認められた。
本発明の発光素子用基板に発光素子を搭載することで得られる発光装置は、十分な発光輝度を提供し、また発光素子の損傷や光軸ずれが抑制されたものであり、携帯電話や大型液晶ディスプレイ等のバックライト、自動車用あるいは装飾用の照明、その他の光源として好適に使用できる。
なお、2009年11月13日に出願された日本特許出願2009−259449号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
1…発光素子用基板
2…基板本体
6…サーマルビア
10…発光装置
11…発光素子
21…搭載面
22…搭載部
23…非搭載面

Claims (6)

  1. ガラス粉末とセラミックスフィラーとを含むガラスセラミックス組成物の焼結体からなり、一部が発光素子の搭載される搭載部となる搭載面を有する基板本体と、
    前記基板本体に埋設され、前記搭載面に達しないように前記搭載面の反対面である非搭載面から前記搭載面の近傍にかけて設けられるサーマルビアと
    を有し、
    前記搭載面から前記サーマルビアまでの距離が0.075mm以上0.20mm以下であることを特徴とする発光素子用基板。
  2. 前記搭載部における最高部と最低部との高低差が1μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の発光素子用基板。
  3. 前記搭載部には表面粗さRaが0.4μm以下のガラス膜が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の発光素子用基板。
  4. 前記セラミックスフィラーは、アルミナ粉末、ジルコニア粉末、またはアルミナ粉末とジルコニア粉末との混合物であることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載の発光素子用基板。
  5. 前記基板本体の抗折強度が250MPa以上であることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載の発光素子用基板。
  6. 請求項1乃至のいずれか1項に記載の発光素子用基板と、
    前記発光素子用基板の搭載部に搭載される発光素子と
    を有することを特徴とする発光装置。
JP2011540563A 2009-11-13 2010-11-12 発光素子用基板および発光装置 Active JP5644771B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011540563A JP5644771B2 (ja) 2009-11-13 2010-11-12 発光素子用基板および発光装置

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009259449 2009-11-13
JP2009259449 2009-11-13
JP2011540563A JP5644771B2 (ja) 2009-11-13 2010-11-12 発光素子用基板および発光装置
PCT/JP2010/070233 WO2011059070A1 (ja) 2009-11-13 2010-11-12 発光素子用基板および発光装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2011059070A1 JPWO2011059070A1 (ja) 2013-04-04
JP5644771B2 true JP5644771B2 (ja) 2014-12-24

Family

ID=43991726

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011540563A Active JP5644771B2 (ja) 2009-11-13 2010-11-12 発光素子用基板および発光装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20120201037A1 (ja)
EP (1) EP2500955A1 (ja)
JP (1) JP5644771B2 (ja)
KR (1) KR20120099637A (ja)
CN (1) CN102640310A (ja)
TW (1) TW201135883A (ja)
WO (1) WO2011059070A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012015015A1 (ja) * 2010-07-29 2012-02-02 旭硝子株式会社 ガラスセラミックス組成物、発光素子用基板、および発光装置
WO2014073039A1 (ja) * 2012-11-06 2014-05-15 日本碍子株式会社 発光ダイオード用基板
TWI550920B (zh) * 2012-12-13 2016-09-21 鴻海精密工業股份有限公司 發光二極體
KR102111022B1 (ko) * 2014-01-17 2020-05-15 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
EP3716417A4 (en) * 2017-11-24 2021-11-17 Kyocera Corporation SUBSTRATE FOR THE ASSEMBLY OF A LIGHT EMITTING ELEMENT, ARRAY SUBSTRATE AND LIGHT EMITTING DEVICE

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003243718A (ja) * 2002-02-14 2003-08-29 Matsushita Electric Works Ltd 発光装置
JP2005012155A (ja) * 2003-05-26 2005-01-13 Matsushita Electric Works Ltd 発光装置
JP2007027752A (ja) * 2005-07-20 2007-02-01 Samsung Electro Mech Co Ltd Ledパッケージ及びその製造方法
JP2007281103A (ja) * 2006-04-05 2007-10-25 Nichia Chem Ind Ltd 半導体素子搭載用の支持体
JP2008098296A (ja) * 2006-10-10 2008-04-24 Fujikura Ltd 発光装置およびその製造方法
JP2009158759A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Internatl Semiconductor Technology Ltd Ledの実装方法及びそのパッケージ
WO2009128354A1 (ja) * 2008-04-18 2009-10-22 旭硝子株式会社 発光ダイオードパッケージ

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3769872B2 (ja) * 1997-05-06 2006-04-26 ソニー株式会社 半導体発光素子
CN100391017C (zh) * 2003-05-26 2008-05-28 松下电工株式会社 发光器件
JP4780939B2 (ja) 2004-07-28 2011-09-28 京セラ株式会社 発光装置
JP4892702B2 (ja) 2008-04-14 2012-03-07 株式会社アドバンライティング 照明モジュール、照明モジュールの製造方法及び照明器具

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003243718A (ja) * 2002-02-14 2003-08-29 Matsushita Electric Works Ltd 発光装置
JP2005012155A (ja) * 2003-05-26 2005-01-13 Matsushita Electric Works Ltd 発光装置
JP2007027752A (ja) * 2005-07-20 2007-02-01 Samsung Electro Mech Co Ltd Ledパッケージ及びその製造方法
JP2007281103A (ja) * 2006-04-05 2007-10-25 Nichia Chem Ind Ltd 半導体素子搭載用の支持体
JP2008098296A (ja) * 2006-10-10 2008-04-24 Fujikura Ltd 発光装置およびその製造方法
JP2009158759A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Internatl Semiconductor Technology Ltd Ledの実装方法及びそのパッケージ
WO2009128354A1 (ja) * 2008-04-18 2009-10-22 旭硝子株式会社 発光ダイオードパッケージ

Also Published As

Publication number Publication date
CN102640310A (zh) 2012-08-15
US20120201037A1 (en) 2012-08-09
WO2011059070A1 (ja) 2011-05-19
KR20120099637A (ko) 2012-09-11
JPWO2011059070A1 (ja) 2013-04-04
EP2500955A1 (en) 2012-09-19
TW201135883A (en) 2011-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5742353B2 (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP5640632B2 (ja) 発光装置
JP5729375B2 (ja) 発光装置
JP5499960B2 (ja) 素子用基板、発光装置
JP2011228653A (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP5644771B2 (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP5720454B2 (ja) 発光素子搭載用基板とその製造方法および発光装置
US20120275166A1 (en) Substrate for mounting light-emitting element, its production process and light-emitting device
JP2013197236A (ja) 発光装置および発光装置の製造方法
JPWO2012067203A1 (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP5725029B2 (ja) 発光素子搭載用基板および発光装置
JP2014067965A (ja) 発光装置
JP5812092B2 (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP2011258866A (ja) 発光素子搭載用基板および発光装置
WO2012067204A1 (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP2012074478A (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP2013239546A (ja) 発光素子搭載用基板および発光装置
JP2012248593A (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP2011176083A (ja) 発光装置
JP2011176303A (ja) 発光素子搭載用基板およびその製造方法
JP2011228652A (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP2011176302A (ja) 発光素子搭載用基板およびその製造方法
JP2015070088A (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP2012238855A (ja) 発光素子用基板および発光装置
JP2011176110A (ja) 発光素子用基板および発光装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130807

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140610

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140730

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20141007

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20141020

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5644771

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250