JP5640974B2 - 光学反射素子 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1における光学反射素子に関して、図1〜図5を用いて説明する。図1は本発明の実施の形態1における光学反射素子の斜視図、図2は図1に示す光学反射素子の2−2線における断面図である。図3は図1に示す光学反射素子の、端子を省略した上面図、図4は図1に示す光学反射素子の要部拡大上面図である。図1〜図3に示すように、本実施の形態における光学反射素子10は、枠形状の支持体14と、第1振動子である振動子12と第2振動子である振動子13と、ミラー部11とを有する。
図8は本発明の実施の形態2における光学反射素子のミラー部の、反射面の反対側の斜視図である。図9は本発明の実施の形態2における光学反射素子の上面図である。
図11は本発明の実施の形態3における光学反射素子の斜視図である。なお、実施の形態1と同様の構成を有するものについては、その説明を省略し、相違点について詳述する。本実施の形態と実施の形態1との違いは、光学反射素子を二軸駆動させている点である。
図12は本発明の実施の形態4における光学反射素子の斜視図である。なお、実施の形態2、3と同様の構成を有するものについては、その説明を省略し、相違点について詳述する。
11,511,611,911,1011 ミラー部
11R,911R 反射面
12,512,612,912,1012 振動子(第1振動子)
12A,12B,12C,13A,13B,13C 振動板
13,513,613,913,1013 振動子(第2振動子)
14,514,914,1014 支持体
15 ドライブ素子
15A,15B ドライブ素子幅
16 モニター素子
17 基材
18 下部電極層
19 圧電体層
20 ドライブ電極
21 モニター電極
22A,22B,23A,23B,523A,523B,1023A,1023B 連結位置
24A,24B,25A,25B,624A,624B,625A,625B ターン部
26 錘
26A,26B,26C 枠幅
26D 厚さ
27 振動子(第3振動子)
27A,27B,27C,27D,27E,28A,28B,28C,28D,28E 振動板
28 振動子(第4振動子)
29 支持体(第2支持体)
30A,30B,31A,31B 連結位置
41A,41B,42A,42B 端子
43 絶縁膜
111,9111 第1辺
112,9112 第2辺
113 第3辺
114 第4辺
115 金属薄膜
Claims (4)
- 支持体と、
前記支持体の内側に第1端が連結された第1振動子と、
前記支持体の内側に第1端が連結された第2振動子と、
反射面を有し前記第1、第2振動子の間に配置されるとともに前記第1振動子の他端および前記第2振動子に連結されたミラー部と、を備え、
前記ミラー部は、前記第1、第2振動子と前記ミラー部とが並んだ方向に沿って前記ミラー部の中心を通るミラー部中心軸を有し、
前記第1、第2振動子は前記ミラー部を振動させる駆動部を有するとともに、3以上の振動板が2以上のターン部で折り返すように連結されたミアンダ形であり、
前記ターン部が、前記ミラー部中心軸に平行で前記ミラー部の外周を通る第1端部軸あるいは前記ミラー部中心軸に平行で前記第1端部軸と対向する前記ミラー部の外周を通る第2端部軸より外側に位置する光学反射素子。 - 前記ミラー部と前記第1振動子との連結位置と、前記支持体と前記第1振動子との連結位置とを結ぶ線分が、前記ミラー部中心軸と交差し、前記ミラー部と前記第2振動子との連結位置と、前記支持体と前記第2振動子との連結位置とを結ぶ線分が、前記ミラー部中心軸と交差した請求項1記載の光学反射素子。
- 前記ミラー部は、第1辺と、前記第1辺に平行な第2辺と、前記第1辺に垂直な第3辺と、前記第3辺に平行な第4辺とを有する矩形形状であり、前記第1辺と前記第3辺との間の端部で前記第1振動子の第2端に連結され、前記第1辺と前記第4辺との間の端部で前記第2振動子の第2端に連結され、前記第1辺、第2辺、第3辺、第4辺に囲まれた反射面を有する請求項2記載の光学反射素子。
- 前記ミラー部は、前記反射面の裏側に枠形状の錘を有し、前記枠形状の錘の内側と外側との間の枠幅が、前記第1辺側と前記第2辺側とで異なる、請求項3記載の光学反射素子。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014115612A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-06-26 | Ricoh Co Ltd | 光偏向装置及び画像形成装置 |
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Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP5264954B2 (ja) * | 2011-03-30 | 2013-08-14 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及び方法 |
US8982440B2 (en) * | 2011-05-12 | 2015-03-17 | Calient Technologies, Inc. | Microelectromechanical system with balanced center of mass |
JP6051412B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2016-12-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 圧電アクチュエータデバイスとその製造方法 |
JP5524254B2 (ja) | 2012-02-14 | 2014-06-18 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその制御方法 |
JP2013200337A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP5916577B2 (ja) | 2012-09-26 | 2016-05-11 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
WO2014068846A1 (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-08 | パナソニック株式会社 | アクチュエータ |
EP2851733B1 (en) * | 2013-08-28 | 2016-12-21 | Ricoh Company Ltd. | Optical deflection device and image forming apparatus |
JP6330321B2 (ja) * | 2013-12-26 | 2018-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JP6233010B2 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
EP3012678A1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-04-27 | Ricoh Company, Ltd. | Light-deflection element, light-deflector, two-dimensional imaging display, optical scanning device, and image forming device |
JP6626117B2 (ja) * | 2015-10-22 | 2019-12-25 | オリンパス株式会社 | 光走査装置および光走査装置の制御方法 |
JP6880385B2 (ja) * | 2016-09-28 | 2021-06-02 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
JP6974696B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2021-12-01 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
WO2018230065A1 (ja) * | 2017-06-13 | 2018-12-20 | 三菱電機株式会社 | 光走査装置および光走査装置の調整方法 |
JP7121258B2 (ja) * | 2018-03-14 | 2022-08-18 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
CN112602000A (zh) * | 2018-08-31 | 2021-04-02 | 松下知识产权经营株式会社 | 光学反射元件 |
JP7247553B2 (ja) * | 2018-11-29 | 2023-03-29 | 株式会社リコー | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 |
EP3896488A4 (en) * | 2018-12-18 | 2022-01-12 | SZ DJI Technology Co., Ltd. | LASER SENSING DEVICE AND UNMANNED AIR VEHICLE |
US11221478B2 (en) * | 2019-04-15 | 2022-01-11 | Microsoft Technology Licensing, Llc | MEMS scanner |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05297307A (ja) * | 1992-04-20 | 1993-11-12 | Omron Corp | 光スキャナ |
JP2007240728A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | マイクロミラー装置およびミラーアレイ |
JP2008040240A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器及びその製造方法 |
JP2009093120A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-30 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4146127B2 (ja) | 2002-01-16 | 2008-09-03 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 |
US7005781B2 (en) | 2002-12-11 | 2006-02-28 | J. G. Smits | Devices for rotation using piezoelectric benders |
JP4385938B2 (ja) | 2004-12-15 | 2009-12-16 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ |
JP5018323B2 (ja) | 2007-08-07 | 2012-09-05 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子およびこれを用いた画像投影装置 |
JP2009098253A (ja) | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Panasonic Corp | 光学反射素子およびこれを用いた画像投影装置 |
WO2009096182A1 (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Panasonic Corporation | 光学反射素子 |
-
2010
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05297307A (ja) * | 1992-04-20 | 1993-11-12 | Omron Corp | 光スキャナ |
JP2007240728A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | マイクロミラー装置およびミラーアレイ |
JP2008040240A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器及びその製造方法 |
JP2009093120A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-30 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014115612A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-06-26 | Ricoh Co Ltd | 光偏向装置及び画像形成装置 |
JPWO2017110694A1 (ja) * | 2015-12-22 | 2018-10-04 | 株式会社リコー | 回動装置、光走査装置及び画像表示装置 |
US10793418B2 (en) | 2015-12-22 | 2020-10-06 | Ricoh Company, Ltd. | Rotating apparatus, optical scanning apparatus, and image display apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US20120033279A1 (en) | 2012-02-09 |
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