JP5630635B2 - MICROSTRUCTURE, ITS MANUFACTURING METHOD, AND AUTOMOBILE PARTS USING THE MICROSTRUCTURE - Google Patents

MICROSTRUCTURE, ITS MANUFACTURING METHOD, AND AUTOMOBILE PARTS USING THE MICROSTRUCTURE Download PDF

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Description

本発明は、複数の微細突起を有する樹脂製の基部と、それら微細突起を被覆した機能層を備える耐久性に優れた微細構造体、その製造方法、及び該微細構造体を用いた自動車部品に関する。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a resin-made base having a plurality of fine protrusions and a durable fine structure including a functional layer coated with the fine protrusions, a method for manufacturing the same, and an automotive part using the fine structure. .

ガラスや樹脂表面にスパッタリングなどによって形成された無機化合物の蒸着被膜上に、シラン化合物による処理を行うことで、基材表面とシラン化合物が化学結合を形成し、様々な性能を半永久的に付与することが可能なことは従来より広く知られており、工業的にも広く利用されている。   By performing a treatment with a silane compound on an inorganic compound vapor-deposited film formed by sputtering or the like on the glass or resin surface, the substrate surface and the silane compound form a chemical bond, giving various performances semipermanently. It has been widely known that this is possible, and is widely used industrially.

シラン化合物による処理の例として、OA機器等に使用される表示画面の前面板や眼鏡レンズ等への処理が挙げられる。表示画面の前面板や眼鏡レンズ等は、人が使用することによって、手垢、指紋、汗及び化粧料等が付着する。従って、その表面をある種のシラン化合物で処理することにより、このような汚れに対して付着しにくく、あるいは汚れを拭き取りやすくする工夫がなされている。   As an example of the treatment with a silane compound, a treatment for a front plate or a spectacle lens of a display screen used for an OA device or the like can be given. When a person uses the front plate or eyeglass lens of the display screen, dirt, fingerprints, sweat, cosmetics, and the like adhere to it. Therefore, by treating the surface with a certain kind of silane compound, it has been devised to make it difficult to adhere to such dirt or to easily wipe off the dirt.

例えば、ガラス板表面にフルオロアルキルシラン化合物層からなる耐汚染性被膜を形成した物品が提案されている(特許文献1及び2参照)。
また、ガラス板表面にフルオロアルキルシラン化合物とポリシロキサン化合物からなる耐汚染性被膜を形成した物品も提案されている(例えば、特許文献3参照)。
For example, an article in which a stain-resistant film made of a fluoroalkylsilane compound layer is formed on the surface of a glass plate has been proposed (see Patent Documents 1 and 2).
An article in which a stain-resistant film made of a fluoroalkylsilane compound and a polysiloxane compound is formed on the surface of a glass plate has also been proposed (see, for example, Patent Document 3).

更に、建築用の窓等では、雨や泥、排気ガス等による汚れが付着し、基材の透明性が失われるなどの問題を有しているため、耐汚染処理が望まれている。樹脂表面に耐汚染性を付与するには、一般にポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン等のフッ素系の樹脂を表面に被覆するなどの手法がある。   Furthermore, since the window for construction has a problem that dirt due to rain, mud, exhaust gas or the like adheres and the transparency of the base material is lost, the anti-contamination treatment is desired. In order to impart stain resistance to the resin surface, there is generally a technique of coating the surface with a fluorine-based resin such as polytetrafluoroethylene or polyvinylidene fluoride.

特開平2−248480号公報JP-A-2-248480 特開平6−184527号公報JP-A-6-184527 特開平6−256756号公報JP-A-6-256756

しかしながら、かかる従来技術においては、平面上にこれらフッ素系の樹脂をいくら被覆しても、原理上、静止接触角が120°を超えることは不可能であるため、例えば、特開平9‐137117号公報に開示されているように、その性能には限界がある。
更に、従来のシラン化合物被膜はガラス表面にのみ形成が可能であり、一般の樹脂表面上には被膜を形成させても、基材と結合を有していないために簡単に剥離するという欠点があった。
However, in such a prior art, no matter how much these fluorine-based resins are coated on a flat surface, in principle, the static contact angle cannot exceed 120 °. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 9-137117 As disclosed in the publication, its performance is limited.
Furthermore, the conventional silane compound coating can be formed only on the glass surface, and even if the coating is formed on a general resin surface, it does not have a bond with the base material, so it has a drawback that it is easily peeled off. there were.

また、樹脂基材上にシラン化合物被膜を形成させる方法も提案されているが、その場合においても、樹脂表面に二酸化珪素などの無機化合物からなる蒸着被膜等を形成させなければならず、その工程が煩雑であり、またコストも高くなるという問題があった。
一方、樹脂表面にフッ素系樹脂を被覆する手法においては、フッ素系の樹脂が基材樹脂との接着性に乏しいために、何らかの化学結合が必要である。シラン化合物は基材と化学結合を形成するための官能基を有しているが、一般の樹脂表面にはシラン化合物と反応するための官能基を有していないことが多い。
Also, a method of forming a silane compound film on a resin substrate has been proposed, but even in that case, a vapor-deposited film made of an inorganic compound such as silicon dioxide must be formed on the resin surface. However, there is a problem that the cost is high.
On the other hand, in the method of coating the resin surface with the fluororesin, some chemical bonding is necessary because the fluororesin is poor in adhesiveness with the base resin. Although the silane compound has a functional group for forming a chemical bond with the substrate, the general resin surface often does not have a functional group for reacting with the silane compound.

本発明は、このような従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、樹脂製の基部を被覆した機能層を有し、耐久性に優れる微細構造体、その製造方法、及び該微細構造体を用いた自動車部品を提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems of the prior art. The object of the present invention is to have a fine structure having a functional layer coated with a resin base and having excellent durability. It is an object of the present invention to provide a manufacturing method and an automobile part using the microstructure.

本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、樹脂製の基部に配設された微細突起に、所定のケイ素系化合物を適用することにより、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that the above object can be achieved by applying a predetermined silicon compound to the fine protrusions disposed on the resin base. The present invention has been completed.

すなわち、本発明の微細構造体は、二次元的に連続する複数個の微細突起を有する樹脂製の基部と、この微細突起を被覆した機能層を備える微細構造体であって、上記微細突起がコロナ放電処理又はプラズマ処理を施されており、当該処理直後の微細突起表面の濡れ張力が50〜70mN/mであり、上記微細突起が錐体状凸部からなり、この錐体状凸部の頂部が円形又は多角形の頂面をなし、この円形頂面又は多角形頂面に外接する円の径Dtと、隣接する錐体状凸部同士の頂部間距離Pとが、Dt≧0.4Pの関係を満足し、上記頂部間距離Pが380nm以下で、上記外接円の径Dtが30nm以下であり、上記機能層は、ケイ素を含む化合物が上記微細突起の表面に直接化学結合して形成されていることを特徴としている。 That is, the fine structure of the present invention is a fine structure having a resin base having a plurality of two-dimensionally continuous fine protrusions and a functional layer covering the fine protrusions, and the fine protrusions are Corona discharge treatment or plasma treatment has been performed, the wetting tension of the surface of the fine protrusion immediately after the treatment is 50 to 70 mN / m, and the fine protrusion comprises a cone-shaped convex portion. The top portion forms a circular or polygonal top surface, and the diameter Dt of the circle circumscribing the circular top surface or the polygonal top surface and the distance P between the tops of adjacent cone-shaped convex portions are Dt ≧ 0. 4P is satisfied, the distance P between the tops is 380 nm or less, the diameter Dt of the circumscribed circle is 30 nm or less, and the functional layer includes a compound containing silicon directly bonded to the surface of the fine protrusion. It is characterized by being formed.

また、本発明に係る微細構造体の製造方法は、(A)上記微細突起を有する樹脂製の基部を成形する工程と、(B)この基部に酸化処理又は放電処理を施して上記微細突起表面に極性基を導入する工程と、(C)上記微細突起表面にケイ素を含む化合物を被覆して機能層を形成する工程を含むことを内容とするものである。   Moreover, the manufacturing method of the microstructure according to the present invention includes (A) a step of forming a resin base having the fine protrusions, and (B) the surface of the fine protrusions by subjecting the base to oxidation treatment or discharge treatment. And (C) covering the surface of the fine protrusion with a compound containing silicon to form a functional layer.

更に、本発明の自動車部品は、上述の如き微細構造体を用いて成ることを特徴としている。   Furthermore, the automobile part of the present invention is characterized by using the fine structure as described above.

本発明によれば、樹脂製の基部に配設された微細突起に、所定のケイ素系化合物を適用することとしたため、耐久性に優れる微細構造体、その製造方法、及び該微細構造体を用いた自動車部品を提供することができる。   According to the present invention, since the predetermined silicon-based compound is applied to the fine protrusions disposed on the resin base, the fine structure having excellent durability, the manufacturing method thereof, and the fine structure are used. The auto parts that had been can be provided.

本発明の第一の実施形態に係る微細構造体を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the microstructure which concerns on 1st embodiment of this invention. 本発明の第二の実施形態に係る微細構造体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the microstructure concerning 2nd embodiment of this invention. 本発明の第三の実施形態に係る微細構造体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the microstructure which concerns on 3rd embodiment of this invention. 本発明の第四の実施形態に係る微細構造体を示す概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing which shows the microstructure which concerns on 4th embodiment of this invention. 本発明の第五の実施形態に係る微細構造体を示す概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing which shows the microstructure which concerns on 5th embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の第一の実施形態に係る微細構造体を示す断面図、図2は、本発明の第二の実施形態に係る微細構造体を示す斜視図、図3は、本発明の第三の実施形態に係る微細構造体を示す斜視図である。
本発明に係る微細構造体は、二次元的に連続する複数個の微細突起を有する樹脂製の基部と、この微細突起を被覆した機能層を備えたものであり、隣接する上記微細突起同士の頂部間距離Pが50μm以下であり、上記機能層は、ケイ素を含む化合物が上記微細突起の表面に直接化学結合して形成されている。
<構造>
図1に示すように、第一の実施形態に係る微細構造体は、平板状をなす樹脂製の基部10と、この基部10と一体的に成形された微細突起である錐体状突起12と、この錐体状突起12を被覆する機能層20を備えている。
本実施形態に示す錐体状突起12は円錐台形のものを例として示しているが、角錐台形に形成してもよいことは勿論である。
また、図2に示す第二の実施形態に係る微細構造体の錐体状突起12は、円錐形に形成したものであり、図3に示す第3の実施形態に係る微細構造体の錐体状突起12は、角錐形に形成したものである。
なお、図3に示す錐体状突起12は四角錐形のものを示しているが、これに限るものではなく、例えば三角錐形や五角錐形等に形成することができる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a fine structure according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing the fine structure according to the second embodiment of the present invention, and FIG. It is a perspective view which shows the microstructure which concerns on 3rd embodiment of this.
A fine structure according to the present invention includes a resin base having a plurality of two-dimensionally continuous fine protrusions and a functional layer covering the fine protrusions. The top-to-top distance P is 50 μm or less, and the functional layer is formed by chemically bonding a silicon-containing compound directly to the surface of the fine protrusion.
<Structure>
As shown in FIG. 1, the microstructure according to the first embodiment includes a resin-made base portion 10 having a flat plate shape, and cone-shaped projections 12 that are fine projections formed integrally with the base portion 10. The functional layer 20 covering the cone-shaped protrusion 12 is provided.
The cone-shaped protrusion 12 shown in the present embodiment is shown as a truncated cone shape as an example, but may be formed in a truncated pyramid shape.
Moreover, the cone-shaped protrusion 12 of the microstructure according to the second embodiment shown in FIG. 2 is formed in a conical shape, and the cone of the microstructure according to the third embodiment shown in FIG. The protrusion 12 is formed in a pyramid shape.
In addition, although the cone-shaped protrusion 12 shown in FIG. 3 has shown the thing of a quadrangular pyramid shape, it is not restricted to this, For example, it can form in a triangular pyramid shape, a pentagonal pyramid shape, etc.

ここで、『錐体』とは、基本的には平面状の側面を有する角錐(稜線が直線)や直線状の母線を有する円錐を意味する。但し、本発明における錐体状凸部の形状としては、このような正確な意味での円錐や角錐のみならず、先細り形状をなす限り、母線や稜線形状が曲線をなす釣り鐘形や椎の実形、半紡錘形、更には、側面が二次元曲面や三次元曲面を有する角錐状のものであってもよい。
また、成形性や耐破壊性を考慮して、先端部を平坦にしたり、丸みをつけることも可能であり、本発明においては、本来の円錐や角錐とともに、このような形状のものも含めて『錐体状』と称することにする。
Here, the “cone” basically means a pyramid having a planar side surface (a ridge line is a straight line) or a cone having a linear generatrix. However, the shape of the cone-shaped convex portion in the present invention is not limited to a cone or a pyramid in such an accurate sense, but as long as it has a tapered shape, the shape of a bell or vertebra that has a curved busbar or ridgeline shape. It may be a shape, a semi-spindle shape, or a pyramid having a two-dimensional curved surface or a three-dimensional curved surface.
In consideration of moldability and fracture resistance, the tip can be flattened or rounded. In the present invention, in addition to the original cone and pyramid, such shapes are included. It will be called “conical”.

図2及び図3に示すように、複数個の錐体状突起12は二次元的に連なって配置されており、その連続方向xとyとが約90゜をなしているが、このようないわゆる直交配置に限定されるものではなく、連続方向が約60゜をなすいわゆる最密配置を採ることも可能である。   As shown in FIGS. 2 and 3, the plurality of cone-shaped projections 12 are two-dimensionally arranged, and the continuous directions x and y form about 90 °. The arrangement is not limited to the so-called orthogonal arrangement, and it is possible to adopt a so-called close-packed arrangement in which the continuous direction forms about 60 °.

また、図1〜3に示す錐体状突起12は、円形又は多角形の底面を有するが、図1において、その円形底面又は多角形底面に外接する円の径Dbが50μm以下で、且つ、隣接する錐体状突起12同士の頂部間距離Pが50μm以下となるように設けられている。
ここで、頂部間距離Pは、錐体状突起12が錐台の場合、円形又は多角形をなす錐台頂面の直径又は外接円の中心間距離とする。なお、錐体状突起12が上記の最密配置を採る場合、頂部間距離Pとしては、大きい方(ピッチが長い方)を採用する。
また、頂部直径Dtは、円形又は多角形をなす錐台頂面の直径又は外接円の直径とする。
1 to 3 have a circular or polygonal bottom surface. In FIG. 1, the diameter Db of the circle circumscribing the circular or polygonal bottom surface is 50 μm or less, and It is provided so that the distance P between the tops of the adjacent cone-shaped projections 12 is 50 μm or less.
Here, when the cone-shaped protrusion 12 is a truncated cone, the distance P between the peaks is a diameter of the top surface of the truncated cone having a circular shape or a polygonal shape or a distance between centers of circumscribed circles. In addition, when the cone-shaped protrusion 12 takes the above-mentioned close-packed arrangement, the larger distance (the longer pitch) is adopted as the inter-top distance P.
The top diameter Dt is the diameter of the top surface of the frustum that is circular or polygonal or the diameter of the circumscribed circle.

なお、上述の底面における外接円径Dbと頂部間距離Pについては、必ずしも同値である必要はない。双方とも上記の50μm以下の範囲内で変動させることができ、任意の錐体状凸部や錐体状凸部間で異ならせることも可能であるが、双方とも50μm以下の範囲内における一定値を採るようにすることが好ましく、双方とも380nm以下の一定値を採るようすることが更に好ましい。   It should be noted that the circumscribed circle diameter Db and the top portion distance P on the bottom surface do not necessarily have the same value. Both can be varied within the range of 50 μm or less, and can be varied between arbitrary cone-shaped convex portions and cone-shaped convex portions, but both are constant values within the range of 50 μm or smaller. It is preferable that both be taken, and it is more preferred that both take a constant value of 380 nm or less.

底面における外接円径Dbと頂部間距離Pを50μm以下、特にこの範囲内の一定値に制御することにより、製品としての平滑性を保持することができ、外観上の変化を伴わないという利点が得られる。
なお、頂部間距離Pを380nm以下、好ましくはこの範囲内の一定値に制御すれば、可視光波長以下の突起ピッチをもつ微細構造となるため、入射光の反射を防止でき、本発明の微細構造体を後述する透明部材に適用できるようになる。
By controlling the circumscribed circle diameter Db on the bottom surface and the distance P between the tops to 50 μm or less, in particular, to a constant value within this range, the smoothness as a product can be maintained, and there is an advantage that there is no change in appearance. can get.
Note that if the distance P between the tops is controlled to 380 nm or less, preferably a constant value within this range, a fine structure having a protrusion pitch less than or equal to the visible light wavelength can be obtained, so that reflection of incident light can be prevented. The structure can be applied to a transparent member described later.

また、頂部直径Dtを30nm以下、特にこの範囲内の一定値に制御する。これにより、製品としての透明性を損なうこと無く、防汚性、超撥水性及び超親水性といった機能を付与できるという利点が得られる。 Further, the top diameter Dt is controlled to 30 nm or less, particularly to a constant value within this range . Thereby, the advantage that functions, such as antifouling property, super water repellency, and super hydrophilicity, can be provided, without impairing transparency as a product.

更に、本発明の微細構造体においては、頂部直径Dtと頂部間距離PをD≧0.4Pの関係、好ましくはこの範囲内の一定値に制御することで、微細構造体の表面と水との接触面積を減少して、高い静止接触角を得ることが可能となる。   Furthermore, in the microstructure of the present invention, the top diameter Dt and the distance P between the tops are controlled to a relationship of D ≧ 0.4P, preferably a constant value within this range, so that the surface of the microstructure and water It is possible to obtain a high static contact angle by reducing the contact area.

更にまた、本発明の微細構造体においては、錐体状突起12の高さをHとした場合(図1参照)、そのアスペクト比(H/Db)を0.2〜10とすることが好ましい。
かかるアスペクト比を満足させることにより、製品としての機能を損なうこと無く、微細構造体の耐久性と生産性を確保することが容易になる。
Furthermore, in the microstructure of the present invention, when the height of the cone-shaped protrusion 12 is H (see FIG. 1), the aspect ratio (H / Db) is preferably 0.2 to 10. .
By satisfying such an aspect ratio, it becomes easy to ensure the durability and productivity of the fine structure without impairing the function as a product.

本発明の微細構造体においては、その表面、具体的には機能層20における動摩擦係数が0.05〜0.25であることが好ましく、0.05〜0.20であることが更に好ましい。このような動摩擦係数を有することにより、長期間に亘って優れた耐破壊性を発現し、良好な耐久性を実現できる。
動摩擦係数が0.25を超えると、摺動性が悪化して機能層の剥離や破壊を被ることがあり、長期間に亘る撥水性などの諸性能の発現が困難になる。
In the microstructure of the present invention, the dynamic friction coefficient on the surface, specifically, the functional layer 20 is preferably 0.05 to 0.25, and more preferably 0.05 to 0.20. By having such a dynamic friction coefficient, excellent fracture resistance is expressed over a long period of time, and good durability can be realized.
When the dynamic friction coefficient exceeds 0.25, the slidability is deteriorated and the functional layer may be peeled off or broken, and it is difficult to develop various performances such as water repellency over a long period of time.

また、本発明の微細構造体においては、機能層20を被覆する前の錐体状突起12の表面における濡れ張力を50〜70mN/mとする。
濡れ張力が50mN/m未満では、後述するケイ素元素を含む化合物の接着性が発現しないことがある。また、70mN/mを超えると、錐体状突起12(本実施形態では基部10も同じ)を構成する樹脂の分子量低下や微細構造の破壊、脆化に起因した諸性能の耐久性低下が起こることがある。
なお、このような濡れ張力は、代表的には、錐体状凸部にコロナ放電処理やプラズマ処理を施すことによって実現できるが、この点については後述する。
ここで、本実施形態において、『処理直後』とは、上述のように機能層20を被覆する前の時間帯を意味する。通常、コロナ放電処理やプラズマ処理の終了時点からの経過時間が短いほど濡れ張力が高まる傾向があるが、終了時点から概ね3時間以内を目安とすればよい。
In the microstructure of the present invention, the wetting tension on the surface of the front of the cone-shaped projection 12 that covers the functional layer 20 shall be the 50~70mN / m.
When the wetting tension is less than 50 mN / m, the adhesion of the compound containing silicon element described later may not be exhibited. Further, when it exceeds 70 mN / m, the molecular weight of the resin constituting the cone-shaped protrusion 12 (the base 10 is the same in this embodiment), the destruction of the fine structure, and the durability of various performances due to embrittlement occur. Sometimes.
Such wetting tension can be typically realized by performing corona discharge treatment or plasma treatment on the cone-shaped convex portion, which will be described later.
Here, in the present embodiment, “immediately after processing” means a time zone before the functional layer 20 is coated as described above. Usually, there is a tendency for the wetting tension to increase as the elapsed time from the end of the corona discharge treatment or the plasma treatment is shorter, but it should be approximately within 3 hours from the end.

本発明において、上述のような動摩擦係数を実現できるメカニズムの詳細は現時点では明らかではないが、まず動摩擦係数の実現については錐体状突起の濡れ張力が大きな要因となっていると思われる。
そして、この濡れ張力の発現については、典型的には錐体状凸部にコロナ放電処理等を施すことにより、極性基が導入され、Wenzelの式に従っていると推察される。
また、本発明において、上述のような力学的付加に対する耐久性を有するメカニズムの詳細は現時点では明らかではないが、錐体状凸部を構成する樹脂の力学的特性が要因となっていることが考えられる。つまり、最適な材料選定により、外力に対し永久歪みを残さない弾性変形域において、外力のエネルギーを熱エネルギーに変換することで、構造破壊まで至らないと考えられる。
In the present invention, details of the mechanism that can realize the dynamic friction coefficient as described above are not clear at present, but it seems that the wet tension of the cone-shaped projections is a major factor in realizing the dynamic friction coefficient.
With regard to the expression of the wetting tension, it is presumed that a polar group is introduced by applying corona discharge treatment or the like to the cone-shaped convex portion, and is in accordance with the Wenzel equation.
Further, in the present invention, the details of the mechanism having durability against the mechanical addition as described above are not clear at present, but the mechanical characteristics of the resin constituting the cone-shaped convex portion may be a factor. Conceivable. That is, it is considered that structural destruction does not occur by converting the energy of the external force into heat energy in an elastic deformation region that does not leave a permanent strain with respect to the external force by selecting an optimal material.

以上に説明した本実施形態の微細構造体において、錐体状突起12の底面形状は、上述のように円形でも多角形であってもよいが、成形や金型作製の容易さからは円形又は四角形(図2及び図3参照)とすることが好ましい。
また、本実施形態において、基部10は平板状をなしているが(図1〜図3参照)、これに限定されるものではなく、曲面状であってもよい。
In the microstructure of the present embodiment described above, the bottom surface shape of the cone-shaped protrusion 12 may be circular or polygonal as described above. However, from the viewpoint of ease of molding or mold production, A quadrangle (see FIGS. 2 and 3) is preferable.
Moreover, in this embodiment, although the base 10 has comprised flat form (refer FIGS. 1-3), it is not limited to this, Curve shape may be sufficient.

なお、本実施形態において、基部10と錐体状突起12は一体成形されているが、これに限定されるものではなく、両部材を別体で形成することも可能である。
更に、図示しない基板を付加し、この基板に、基部と機能層を備える本発明の微細構造体を設置することも可能である。
また、錐体状突起12は相互に合同の関係にあることが好ましいが、これに限定されず、錐体状突起12の形状は、目的とする機能発現等に応じて異ならせてもよい。
In addition, in this embodiment, although the base 10 and the cone-shaped protrusion 12 are integrally molded, it is not limited to this, It is also possible to form both members separately.
Furthermore, it is also possible to add a substrate (not shown) and install the microstructure of the present invention including a base and a functional layer on the substrate.
Moreover, it is preferable that the cone-shaped projections 12 have a congruent relationship with each other, but the present invention is not limited to this, and the shape of the cone-shaped projections 12 may be varied depending on the intended function expression.

図4は、本発明の第四の実施形態に係る微細構造体を示す概略説明図、図5は、本発明の第五の実施形態に係る微細構造体を示す概略説明図である。
上記した図1,3に示す実施形態では、錐体状突起12同士の間や縁部近傍において、基部10が露出していないものを示しているが、図2に示すように露出していてもよく、更には、かかる錐体状突起12間に凹部を設けることも可能である。
こうした実施形態においては、図4に示すように、各凹部の底を通る仮想面B’を想定して、一つの微細突起を囲む複数の凹部の底を順に連結することで区画される面B’の一部をその微細突起の底面と定める。
また、基部10は露出していないが各微細突起の根元部が曲面を有する実施形態においても図5に示す様に、隣接する根元部間の底を通る面B’を仮定し、一つの微細突起を囲む複数の根元部間の底を順に連結することで区画される面B’の一部をその微細突起の底面と定める。
なお、このような露出部や凹部を設けた際には、これらの部位にも機能層を被覆することが好ましい。
FIG. 4 is a schematic explanatory view showing a microstructure according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a schematic explanatory view showing a microstructure according to the fifth embodiment of the present invention.
In the embodiment shown in FIGS. 1 and 3, the base 10 is not exposed between the cone-shaped protrusions 12 or in the vicinity of the edge, but is exposed as shown in FIG. Furthermore, it is also possible to provide a recess between the conical projections 12.
In such an embodiment, as shown in FIG. 4, assuming a virtual plane B ′ passing through the bottom of each recess, a plane B partitioned by sequentially connecting the bottoms of a plurality of recesses surrounding one fine protrusion. A part of 'is defined as the bottom surface of the fine protrusion.
Further, in the embodiment in which the base portion 10 is not exposed but the root portion of each fine protrusion has a curved surface, as shown in FIG. 5, a surface B ′ passing through the bottom between adjacent root portions is assumed, and one fine portion is assumed. A part of the surface B ′ partitioned by sequentially connecting the bottoms between the plurality of root portions surrounding the protrusion is defined as the bottom surface of the fine protrusion.
In addition, when providing such an exposed part and a recessed part, it is preferable to coat | cover a functional layer also to these parts.

<材質>
次に、本発明の微細構造体の材質などについて説明する。
まず、基部10及び微細突起である錐体状突起12の材質としては、組成は特に限定されないが、例えば、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、トリアセチルセルロースやジアセチルセルロース等のセルロース系樹脂、スチレン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリノルボルネン、ポリエチレンナフタレート、シクロオレフィンコポリマー樹脂又は非晶質ナイロン樹脂、及びこれらのコポリマー並びにポリマーアロイ等が挙げられる。
<Material>
Next, the material of the microstructure of the present invention will be described.
First, the material of the base 10 and the cone-shaped projections 12 that are fine projections is not particularly limited. For example, acrylic resins, polycarbonate resins, polyester resins such as polyethylene terephthalate, triacetyl cellulose, and diacetyl cellulose. And cellulose resins such as styrene resin, vinyl chloride resin, polynorbornene, polyethylene naphthalate, cycloolefin copolymer resin or amorphous nylon resin, and copolymers and polymer alloys thereof.

上述した微細構造体を光透過性が求められる用途、例えば窓ガラスやその他透明部材に用いる場合は、上記底面の外接円径Dbと頂部間距離Pをそれぞれ380nm以下の一定値とし、基部の材質をアクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、スチレン系樹脂、ポリノルボルネン樹脂、シクロオレフィンコポリマー樹脂又は非晶質ナイロン樹脂とすることが好ましい。   When the above-mentioned microstructure is used for light transmission, for example, for a window glass or other transparent member, the circumscribed circle diameter Db and the top distance P are set to constant values of 380 nm or less, respectively, and the base material is used. Is preferably an acrylic resin, polycarbonate resin, polyethylene terephthalate resin, styrene resin, polynorbornene resin, cycloolefin copolymer resin, or amorphous nylon resin.

なお、上述の樹脂中には、耐衝撃性向上のためのゴム、耐候性改良のための紫外線吸収剤、その他の改質用に酸化防止剤、着色剤、難燃剤及び帯電防止剤等の各種添加剤を含有させることができる。   In addition, in the above-mentioned resins, various kinds of rubbers for improving impact resistance, ultraviolet absorbers for improving weather resistance, and other modifiers such as antioxidants, colorants, flame retardants and antistatic agents are used. Additives can be included.

次に、機能層20の材質は、ケイ素を有する化合物を含むものであり、この化合物が錐体状突起12の表面に化学結合することにより、機能層20が形成されている。
このケイ素を有する化合物としては、代表的には、シラン化合物、特に含フッ素シラン化合物を挙げることができ、市販のシラン化合物、好ましくは市販の含フッ素シラン化合物を広く用いることができる。
シラン化合物は、撥水性を有するが、化学構造にフッ素を更に含むことで、表面を低エネルギー化することができ、高い静止接触角を実現し得る。また、シラン化合物であることにより、錐体状凸部や基部との密着性を向上でき、撥水性等の諸性能の耐久性を向上することが可能となる。
Next, the material of the functional layer 20 includes a compound having silicon, and the functional layer 20 is formed by chemically bonding this compound to the surface of the cone-shaped protrusion 12.
Typical examples of the compound having silicon include silane compounds, particularly fluorine-containing silane compounds, and commercially available silane compounds, preferably commercially available fluorine-containing silane compounds, can be widely used.
The silane compound has water repellency, but by further including fluorine in the chemical structure, the surface can be reduced in energy and a high static contact angle can be realized. Moreover, by being a silane compound, the adhesiveness with a cone-shaped convex part and a base part can be improved, and it becomes possible to improve durability of various performances, such as water repellency.

なお、シラン化合物としては、加水分解によりシラノール基となる基を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えば、クロロシラン化合物、アルコキシシラン化合物、アシロキシシラン化合物、シラザン化合物等が挙げられる。
また、上述の基の一分子当たりの個数は特に限定されず、分子の両末端や途中に複数あってもよい。
但し、副生成物の安全性や環境への影響、さらにコストを考慮した場合、アルコキシシラン化合物が特に好ましい。また、単官能、2官能及び3官能性化合物のいずれでもよく、これらの混合物でもよいが、基部との密着性を考慮すると3官能性化合物を用いることがより好ましい。
The silane compound is not particularly limited as long as it has a group that becomes a silanol group by hydrolysis, and examples thereof include a chlorosilane compound, an alkoxysilane compound, an acyloxysilane compound, and a silazane compound.
Further, the number of the above groups per molecule is not particularly limited, and a plurality of groups may be present at both ends or in the middle of the molecule.
However, an alkoxysilane compound is particularly preferable in consideration of safety of by-products, environmental impact, and cost. Moreover, any of a monofunctional, bifunctional, and trifunctional compound may be sufficient, and a mixture thereof may be sufficient, but it is more preferable to use a trifunctional compound in consideration of adhesion to the base.

加水分解によりシラノール基となる基を分子中に少なくとも1個有する化合物としては、例えば、下記のようなものが挙げられる。
CH−(CH−CH−CH−O)n−Si(OCH :n=2〜40
CH−(CH−CH−CH−O)n−Si(OCHCH :n=2〜40
{CH−(CH−CH−CH−O)n}−Si(OCH :n=2〜40
{CH−(CH−CH−CH−O)n}−SiOCH :n=2〜40
CH−(CH)n−Si(OCH :n=8〜100
CH−(CH)n−Si(OCHCH :n=8〜100
{CH−(CH)n}−Si(OCH :n=8〜100
{CH−(CH)n}−Si(OCHCH :n=8〜100
{CH−(CH)n}−SiOCH :n=8〜100
{CH−(CH)n}−SiOCHCH :n=8〜100
CH−(CH−CH−CH−O)n−SiCl :n=2〜40
{CH−(CH−CH−CH−O)n}−SiCl :n=2〜40
{CH−(CH−CH−CH−O)n}−SiCl :n=2〜40
CH−(CH)n−SiCl :n=8〜100
{CH−(CH)n}−SiCl :n=8〜100
{CH−(CH)n}−SiCl :n=8〜100
Examples of the compound having at least one group that becomes a silanol group by hydrolysis in the molecule include the following.
CH 3 - (CH 2 -CH 2 -CH 2 -O) n-Si (OCH 3) 3: n = 2~40
CH 3 - (CH 2 -CH 2 -CH 2 -O) n-Si (OCH 2 CH 3) 3: n = 2~40
{CH 3 - (CH 2 -CH 2 -CH 2 -O) n} 2 -Si (OCH 3) 2: n = 2~40
{CH 3 - (CH 2 -CH 2 -CH 2 -O) n} 3 -SiOCH 3: n = 2~40
CH 3 - (CH 2) n -Si (OCH 3) 3: n = 8~100
CH 3 - (CH 2) n -Si (OCH 2 CH 3) 3: n = 8~100
{CH 3 - (CH 2) n} 2 -Si (OCH 3) 2: n = 8~100
{CH 3 - (CH 2) n} 2 -Si (OCH 2 CH 3) 2: n = 8~100
{CH 3 - (CH 2) n} 3 -SiOCH 3: n = 8~100
{CH 3 - (CH 2) n} 3 -SiOCH 2 CH 3: n = 8~100
CH 3 - (CH 2 -CH 2 -CH 2 -O) n-SiCl 3: n = 2~40
{CH 3 - (CH 2 -CH 2 -CH 2 -O) n} 2 -SiCl 2: n = 2~40
{CH 3 - (CH 2 -CH 2 -CH 2 -O) n} 3 -SiCl: n = 2~40
CH 3 - (CH 2) n -SiCl 3: n = 8~100
{CH 3 - (CH 2) n} 2 -SiCl 2: n = 8~100
{CH 3 - (CH 2) n} 3 -SiCl: n = 8~100

更に、加水分解によりシラノール基となる基を分子中に少なくとも1個有する化合物のなかで、ペルフルオロアルキル基又はペルフルオロエーテル基を有する化合物としては、例えば、下記のようなものが挙げられる。
CF−(CF−CF−CF−O)n−Si(OCH :n=2〜40
CF−(CF−CF−CF−O)n−Si(OCHCH :n=2〜40
{CF−(CF−CF−CF−O)n}−Si(OCH :n=2〜40
{CF−(CF−CF−CF−O)n}−SiOCH :n=2〜40
CF−(CF)n−Si(OCH :n=8〜100
CF−(CF)n−Si(OCH2CH :n=8〜100
{CF−(CF)n}−Si(OCH :n=8〜100
{CF−(CF)n}−Si(OCHCH :n=8〜100
{CF−(CF)n}−SiOCH :n=8〜100
{CF−(CF)n}−SiOCHCH :n=8〜100
CF−(CF−CF−CF−O)n−SiCl :n=2〜40
{CF−(CF−CF−CF−O)n}−SiCl :n=2〜40
{CF−(CF−CF−CF−O)n}−SiCl :n=2〜40
CF−(CF)n−SiCl :n=8〜100
{CF−(CF)n}−SiCl :n=8〜100
{CF−(CF)n}−SiCl :n=8〜100
Further, among the compounds having at least one group that becomes a silanol group by hydrolysis in the molecule, examples of the compound having a perfluoroalkyl group or a perfluoroether group include the following.
CF 3 - (CF 2 -CF 2 -CF 2 -O) n-Si (OCH 3) 3: n = 2~40
CF 3 - (CF 2 -CF 2 -CF 2 -O) n-Si (OCH 2 CH 3) 3: n = 2~40
{CF 3 - (CF 2 -CF 2 -CF 2 -O) n} 2 -Si (OCH 3) 2: n = 2~40
{CF 3 - (CF 2 -CF 2 -CF 2 -O) n} 3 -SiOCH 3: n = 2~40
CF 3 - (CF 2) n -Si (OCH 3) 3: n = 8~100
CF 3 - (CF 2) n -Si (OCH2CH 3) 3: n = 8~100
{CF 3 - (CF 2) n} 2 -Si (OCH 3) 2: n = 8~100
{CF 3 - (CF 2) n} 2 -Si (OCH 2 CH 3) 2: n = 8~100
{CF 3 - (CF 2) n} 3 -SiOCH 3: n = 8~100
{CF 3 - (CF 2) n} 3 -SiOCH 2 CH 3: n = 8~100
CF 3 - (CF 2 -CF 2 -CF 2 -O) n-SiCl 3: n = 2~40
{CF 3 - (CF 2 -CF 2 -CF 2 -O) n} 2 -SiCl 2: n = 2~40
{CF 3 - (CF 2 -CF 2 -CF 2 -O) n} 3 -SiCl: n = 2~40
CF 3 - (CF 2) n -SiCl 3: n = 8~100
{CF 3 - (CF 2) n} 2 -SiCl 2: n = 8~100
{CF 3 - (CF 2) n} 3 -SiCl: n = 8~100

また、微細構造体に超親水性を付与するためには、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基、アンモニウム基、−COONa基、−SONa基、−SONH基、−COONH基、−PONa基又は−PO(NH基及びこれらの組み合わせに係る極性基を有することが好ましい。 In order to impart super hydrophilicity to the microstructure, a hydroxyl group, a carboxyl group, an amino group, an ammonium group, a —COONa group, a —SO 3 Na group, a —SO 3 NH 4 group, a —COONH 4 group, It is preferable to have a polar group according to a —PO 3 Na 2 group or —PO 3 (NH 4 ) 2 group and a combination thereof.

次に、本発明に係る微細構造体の製造方法について説明する。
上述の如く、本発明の微細構造体の製造方法は、上記所定の微細構造体を製造する方法であり、下記の工程を有する。
(A)上記錐体状突起を有する樹脂製の基部を成形する工程
(B)この基部に酸化処理又は放電処理を施して上記錐体状突起表面にOH基を導入する工程
(C)上記突起表面にケイ素元素を含む化合物を被覆して機能層を形成する工程
Next, the manufacturing method of the microstructure according to the present invention will be described.
As described above, the microstructure manufacturing method of the present invention is a method for manufacturing the predetermined microstructure, and includes the following steps.
(A) A step of molding a resin base having the cone-shaped projections (B) A step of subjecting the base to an oxidation treatment or a discharge treatment to introduce OH groups onto the surface of the cone-shaped projections (C) The projections A process of forming a functional layer by coating a compound containing silicon element on the surface

ここで、(A)工程の錐体状凸部を有する基部の作成方法については、特に限定されものではなく、一般的な微細凹凸構造の作成方法である以下の手法を用いることができる。
まず、エレクトロンビームによるリソグラフィーにより、所望構造のシリコン製又はアルミ製の金型を作成し、次に、ナノインプリントとして、離型剤を塗布した金型上に、光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂を基板を介して任意の圧力で所定時間押し当て、所望構造を樹脂に転写する。
この際、光硬化性樹脂を用いる場合は、基板に石英板等のUV透過性を有するものを用い、UVを樹脂に照射することで硬化させる。また、熱硬化性樹脂を用いる場合は、熱伝導性のよい金属性基板を用いて、加熱することで硬化させる。
なお、金型、及び基板は平板状に限らず、ロール状にすることで連続性を向上させたものや、大面積に対応したものを用いることも可能である。
Here, the method for creating the base portion having the cone-shaped convex portion in the step (A) is not particularly limited, and the following method, which is a general method for creating a fine concavo-convex structure, can be used.
First, a silicon or aluminum mold having a desired structure is created by lithography using an electron beam, and then a photocurable resin or a thermosetting resin is applied on the mold coated with a release agent as a nanoimprint. The desired structure is transferred to the resin by pressing it through the substrate at an arbitrary pressure for a predetermined time.
At this time, when using a photo-curable resin, a substrate having UV transparency such as a quartz plate is used and cured by irradiating the resin with UV. Moreover, when using a thermosetting resin, it is hardened by heating using a metallic substrate with good thermal conductivity.
Note that the mold and the substrate are not limited to a flat plate shape, and it is also possible to use a roll shape having improved continuity or a large area.

また、(B)工程については、(C)工程でのケイ素含有化合物の被覆の前処理に相当し、錐体状凸部の表面にOH基を導入できれば特に限定されるものではないが、コロナ放電処理、フレーム処理、プラズマ放電処理、グロー放電処理、オゾン処理から選ばれた処理方法であり、より好ましくは、特に操作の簡便性などから下記のコロナ放電処理である。
本処理により、微細構造を有する基部の表面に予め付着している離型剤等の付着物を除去し、シラン化合物に代表されるケイ素含有化合物や、ケイ素含有化合物と共有結合可能な水酸基やアミノ系等の極性基をより確実に導入することができる。
The step (B) corresponds to the pretreatment of the coating of the silicon-containing compound in the step (C), and is not particularly limited as long as OH groups can be introduced into the surface of the cone-shaped convex portion. A treatment method selected from a discharge treatment, a flame treatment, a plasma discharge treatment, a glow discharge treatment, and an ozone treatment, and more preferably the following corona discharge treatment, particularly in view of simplicity of operation.
This treatment removes deposits such as mold release agents that have previously adhered to the surface of the base having a fine structure, and includes silicon-containing compounds represented by silane compounds, hydroxyl groups and amino groups that can be covalently bonded to silicon-containing compounds. A polar group such as a system can be more reliably introduced.

<コロナ放電処理>
ここで、コロナ放電処理は、気体放電の一種で、気体分子がイオン化して導電性を呈し、そのイオン流によってフィルムなどの対象物の表面を活性化する処理であり、EC処理、放電処理等として広く用いられている技術である。
放電処理に用いる気体は空気であってもよいが、酸素を0.1vol%以上含めば、窒素、炭酸ガス、アンモニアガス、アルゴンガス及びヘリウムガス等との特殊混合ガスを用いてもよい。
酸素を0.1vol%以上含有させることにより、オゾンラジカルを効率的に生成することができ、この結果、付着物除去と上記極性基の導入が容易となる。
<Corona discharge treatment>
Here, corona discharge treatment is a type of gas discharge, in which gas molecules are ionized to exhibit conductivity, and the surface of an object such as a film is activated by the ion flow, such as EC treatment, discharge treatment, etc. As a widely used technology.
The gas used for the discharge treatment may be air, but a special mixed gas such as nitrogen, carbon dioxide, ammonia gas, argon gas and helium gas may be used as long as oxygen is contained in an amount of 0.1 vol% or more.
By containing 0.1 vol% or more of oxygen, ozone radicals can be generated efficiently, and as a result, deposit removal and introduction of the polar group are facilitated.

また、コロナ放電処理の際に電極に印加される高周波は特に限定されるものではなく、従来公知の正弦波状の高周波電源発生装置から電圧を電極に印加して発生するコロナを用いて対象物である錐体状突起表面を処理すればよい。
具体的には、コロナ放電度は1〜20W/cmとすることが好ましく、2〜10W/cmとすることが更に好ましい。
また、コロナ放電量は100〜2000W・min/mとすることが好ましく、300〜900W・min/mとすることが更に好ましい。コロナ放電量が100未満であると表面処理が不十分であり、ケイ素含有化合物の接着性を発現しないことがある。2000を超えると、樹脂の分子量低下や構造の破壊、脆化に起因した諸性能の耐久性低下が起こることがあり好ましくない。
In addition, the high frequency applied to the electrode during the corona discharge treatment is not particularly limited, and a corona that is generated by applying a voltage to the electrode from a conventionally known sinusoidal high frequency power generator is used for the object. What is necessary is just to process the surface of a certain cone-shaped protrusion.
Specifically, corona discharge degree is preferably set to 1~20W / cm 2, and more preferably be 2~10W / cm 2.
Also, corona discharge amount is preferably set to 100~2000W · min / m 2, and more preferably be 300~900W · min / m 2. When the amount of corona discharge is less than 100, the surface treatment is insufficient and the adhesion of the silicon-containing compound may not be exhibited. If it exceeds 2000, the molecular weight of the resin, the destruction of the structure, and the durability of various performances due to embrittlement may occur, which is not preferable.

なお、このようなコロナ放電処理などの処理を行うことにより、上述のように、錐体状突起の表面における濡れ張力を50〜70mN/mにすることができる。   In addition, by performing such treatment as corona discharge treatment, as described above, the wetting tension on the surface of the cone-shaped protrusion can be set to 50 to 70 mN / m.

<酸化処理>
・浸漬法
フィルム表面の活性化を行う表面改質方法としては、特開2005−88578号公報に記載されているように、アルカリ、酸、界面活性剤等の溶液及び各種溶剤に浸漬する方法を適用することができる。
・UV照射法
また、特開2007−182503号公報に記載されているように、フィルム表面にエキシマ紫外線又は低圧紫外線を照射処理する方法を適用することができる。
<Oxidation treatment>
・ Immersion method As a surface modification method for activating the film surface, as described in JP-A-2005-88578, a method of immersing in a solution such as an alkali, an acid, or a surfactant and various solvents is used. Can be applied.
-UV irradiation method Moreover, as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-182503, the method of irradiating an excimer ultraviolet-ray or a low-pressure ultraviolet-ray to the film surface is applicable.

次に、(C)工程は、上述のように処理を施した錐体状突起表面にケイ素含有化合物を被覆して機能層を形成する工程であるが、具体的には、所定のシラン化合物を塗布した後、熱処理を行い、機能層を形成する。   Next, the step (C) is a step of forming a functional layer by coating the silicon-containing compound on the surface of the cone-shaped protrusion that has been treated as described above. After coating, heat treatment is performed to form a functional layer.

<塗布方法>
ケイ素含有化合物を塗布する方法としては、特に限定されるものではなく、スプレー塗装、バーコーター塗装、スピン塗装、浸漬塗装、ロールコート塗装、グラビアコート塗装、カーテンフロー塗装、バーコート塗装、ブレードコート塗装、ダイコート塗装、リバースロールコート塗装、及びスリットコート塗装などの通常のコーティング作業で用いられる方法が挙げられる。
この際、被覆し易くするため又は機能層の膜厚を調整するために、ケイ素含有化合物を各種溶剤で任意の濃度に希釈しても構わない。溶剤としては、具体的にはペルフルオロエーテル、ハイドロフルオロエーテル、ペルフルオロポリエーテル及びハイドロフルオロポリエーテルなどを用いることができる。
<Application method>
The method for applying the silicon-containing compound is not particularly limited. Spray coating, bar coater coating, spin coating, dip coating, roll coating, gravure coating, curtain flow coating, bar coating, blade coating , Methods used in normal coating operations such as die coating, reverse roll coating, and slit coating.
At this time, the silicon-containing compound may be diluted to various concentrations with various solvents in order to facilitate coating or to adjust the film thickness of the functional layer. As the solvent, specifically, perfluoroether, hydrofluoroether, perfluoropolyether, hydrofluoropolyether and the like can be used.

<熱処理方法>
ケイ素含有化合物と錐体状突起との間に化学結合、典型的には共有結合を生じさせることができれば限定されるものではなく、通常の加熱・昇温処理で十分である。
また、かかる熱処理を行う雰囲気は空気中でもアルゴンガス等の不活性ガス中でもいずれでもよい。
熱処理温度は基部、基板ないしは錐体状突起が熱変形、又は熱劣化しない温度であれば、特に限定されるものではないが、80〜130℃程度が好ましい。熱処理時間は、熱処理温度にもよるが、5分〜120分程度とすることが好ましい。
<Heat treatment method>
There is no limitation as long as a chemical bond, typically a covalent bond, can be generated between the silicon-containing compound and the cone-shaped protrusion, and ordinary heating / heating treatment is sufficient.
The atmosphere for performing the heat treatment may be either air or an inert gas such as argon gas.
The heat treatment temperature is not particularly limited as long as it is a temperature at which the base, the substrate or the cone-shaped projections are not thermally deformed or deteriorated, but is preferably about 80 to 130 ° C. The heat treatment time is preferably about 5 minutes to 120 minutes, although it depends on the heat treatment temperature.

形成される機能層の厚みは、特に限定されるものではないが、1〜20μmが好ましい。
1μm未満では、ケイ素含有化合物との反応性を高める効果が得難い。また、20μmを超えると、機能層に亀裂が入ることなどがあり、層強度の観点から好ましくない。
なお、無機化合物微粒子を含む硬化被膜を形成したフィルムは防眩性フィルムとしてよく用いられる。
Although the thickness of the functional layer formed is not specifically limited, 1-20 micrometers is preferable.
If it is less than 1 μm, it is difficult to obtain the effect of increasing the reactivity with the silicon-containing compound. On the other hand, if it exceeds 20 μm, the functional layer may be cracked, which is not preferable from the viewpoint of layer strength.
In addition, the film in which the cured film containing inorganic compound fine particles was formed is often used as an anti-glare film.

なお、本発明の製造方法においては、(B)工程での処理中に、錐体状凸部にケイ素含有化合物の被覆((C)工程)を開始してもよい。この場合、突起表面の濡れ張力過小化を抑制し、錐体状凸部(又は基部)と機能層との密着性を確保することが容易となり、また、(B)、(C)両工程の総所要時間を短縮できるので生産性を高めることができる。
一方、(B)工程での処理終了時にケイ素含有化合物の被覆((C)工程)を開始してもよい。この場合、突起表面の濡れ張力の過大化を抑制し、錐体状凸部(又は基部)を構成する樹脂の分子量低下や微細構造の破壊、脆化に起因した諸性能の耐久性低下を防止することが容易となる。
更には、(C)の工程において、(1)上記微細突起表面をケイ素を含む化合物若しくはその溶液中に浸漬する工程、又は(2)上記微細突起表面にケイ素を含む化合物若しくはその溶液を塗布する工程を含むようにしてもよい。
具体的には、錐体状凸部表面をケイ素を含む化合物又はその溶液を塗布したりしてもよい。これらの方法によれば、処理用に特殊な装置を導入しなくても、比較的簡素な装置でケイ素含有化合物を被覆することができるので、製造・生産性やコスト上有利である。
In addition, in the manufacturing method of this invention, you may start a silicon | silicone containing compound coating | cover ((C) process) to a cone-shaped convex part during the process at (B) process. In this case, it is easy to suppress the wetting tension on the surface of the protrusion and to ensure the adhesion between the cone-shaped convex part (or base part) and the functional layer, and in both steps (B) and (C). Productivity can be improved because the total time required can be shortened.
On the other hand, the coating of the silicon-containing compound (step (C)) may be started at the end of the treatment in step (B). In this case, the excessive wetting tension on the surface of the protrusion is suppressed, and the decrease in the molecular weight of the resin constituting the cone-shaped convex portion (or base), the destruction of the fine structure, and the deterioration in the durability of various performances due to embrittlement are prevented. Easy to do.
Further, in the step (C), (1) a step of immersing the surface of the fine protrusion in a compound containing silicon or a solution thereof, or (2) applying a compound containing silicon or a solution thereof on the surface of the fine protrusion. A process may be included.
Specifically, a compound containing silicon or a solution thereof may be applied to the surface of the cone-shaped convex portion. According to these methods, the silicon-containing compound can be coated with a relatively simple apparatus without introducing a special apparatus for processing, which is advantageous in terms of production / productivity and cost.

以上のような処理を経て得られる本発明の微細構造体は、上述の如く、好ましくは動摩擦係数が0.05〜0.25となり、更に好ましくは0.05〜0.20となる。
このような動摩擦係数を有することにより、長期間に亘って優れた耐破壊性を発現し、良好な耐久性を実現できる。
また、本発明の製造方法によって得られる微細構造体は、超撥水性や超親水性等の機能を有する機能層が高密度に被覆されており、その耐久性にも優れている。
これは、前処理により、微細構造を有する基部の表面に予め付着している離型剤等の付着物を除去し、ケイ素含有化合物、代表的にはシラン化合物が共有結合可能な水酸基やアミノ基等の極性基が高密度に導入されているために、機能性を付与する化合物がより高密度に被覆されるためである。
As described above, the fine structure of the present invention obtained through the treatment as described above preferably has a dynamic friction coefficient of 0.05 to 0.25, and more preferably 0.05 to 0.20.
By having such a dynamic friction coefficient, excellent fracture resistance is expressed over a long period of time, and good durability can be realized.
Moreover, the fine structure obtained by the production method of the present invention is coated with a functional layer having functions such as super water repellency and super hydrophilicity at a high density, and has excellent durability.
This is because pretreatment removes deposits such as a release agent previously adhered to the surface of the base having a fine structure, so that a silicon-containing compound, typically a hydroxyl group or amino group to which a silane compound can be covalently bonded. This is because the functional group-containing compound is coated at a higher density because polar groups such as are introduced at a higher density.

次に、本発明の自動車部品について説明する。
本発明の自動車部品は、以上に説明した本発明の微細構造体を用いて構成されるものであり、具体的には、その撥水性や防汚性を活かして、ウィンドウシールド、リアウィンドウ、サイドウィンドウ及びルーフなどの透明開口部や、サイドミラー、ライト部、カメラレンズ部、カメラレンズカバー部、ホイール、ボディ部及びバンパー部などの外側に適用可能な撥水性フィルムや防汚性フィルム、その親水性や防曇性を活かして、上記透明開口部や、ライト部、カメラレンズ部、カメラレンズカバー部の車室内側、バックミラー表面に適用可能な親水性フィルムや防曇フィルムなどを挙げることができる。
Next, the automobile part of the present invention will be described.
The automobile part of the present invention is constituted by using the fine structure of the present invention described above. Specifically, by utilizing the water repellency and antifouling property, the window shield, the rear window, the side Water repellent film and antifouling film applicable to the outside such as transparent openings such as windows and roofs, side mirrors, light parts, camera lens parts, camera lens cover parts, wheels, body parts, bumper parts, etc. Taking advantage of the properties and anti-fogging properties, mention may be made of the above-mentioned transparent opening, the light part, the camera lens part, the interior side of the camera lens cover part, the hydrophilic film and the anti-fog film applicable to the rearview mirror it can.

以下、本発明について実施例及び比較例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下に示す実施例において、各種の物性の評価試験方法は以下の通りである。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples. In addition, in the Example shown below, the evaluation test method of various physical properties is as follows.

(1)静止接触角:接触角計(CA−A型:協和界面化学製)を使用し、室温下で6μlの水滴を針先につくり、これを測定試料の表面に触れさせて液滴をつくった。このときに生ずる液滴と面との角度を測定し、三点プロット(θ/2方)で5点測定し、これらの値の平均値を静止接触角とした。
(2)耐久接触角:30×30mmの圧子にキャンパス布を設置し、基材の表面を1000往復摺動後に、上述した静止接触角の測定方法で純水に対する静止接触角を5点測定し、これらの値の平均値を耐久接触角とした。
(3)動摩擦係数:表面性試験機(HEIDEN Type 14W:新東化学(株)製)を使用し、20×20mmのアクリル製圧子にPETフィルムを固定し、50×100mmのサンプルに設置し、送り速度100mm/min、送り長さ70mm、荷重0.1kgf/cmにて測定した。
(4)コロナ処理後の濡れ張力測定:コロナ処理後、測定試料表面に、ぬれ張力試験用混合液(和光純薬(株)製)No.50〜73を麺棒で5cm付着後、2秒間静置し、目視にて変化がない試薬のぬれ張力を測定値とした。
(1) Stationary contact angle: Using a contact angle meter (CA-A type: manufactured by Kyowa Interface Chemical Co., Ltd.), make a 6 μl water droplet on the needle tip at room temperature and let it touch the surface of the sample to be measured. I made it. The angle between the droplet generated at this time and the surface was measured, and five points were measured by a three-point plot (θ / 2 direction), and the average value of these values was defined as the static contact angle.
(2) Endurance contact angle: Campus cloth was installed on a 30 × 30 mm indenter, and after sliding back and forth 1000 times on the surface of the base material, the static contact angle with respect to pure water was measured at five points using the above-mentioned method for measuring the static contact angle. The average value of these values was defined as the durable contact angle.
(3) Coefficient of dynamic friction: Using a surface property tester (HEIDEN Type 14W: manufactured by Shinto Chemical Co., Ltd.), fixing a PET film to a 20 × 20 mm acrylic indenter, and installing it on a 50 × 100 mm sample, Measurements were made at a feed rate of 100 mm / min, a feed length of 70 mm, and a load of 0.1 kgf / cm 2 .
(4) Wetting tension measurement after corona treatment: After the corona treatment, a wetting tension test liquid mixture (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) No. After adhering 50-73 to 5 cm with a rolling pin, the sample was allowed to stand for 2 seconds, and the wetting tension of the reagent with no visual change was taken as the measured value.

<一の微細構造体の仕様>
以下の実施例等に用いた一の微細構造体の仕様を表1に示す。
<Specification of one microstructure>
Table 1 shows the specifications of one microstructure used in the following examples.

Figure 0005630635
Figure 0005630635

(実施例1)
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表1に示すように、Pが100nm、Dtが30nm、Hが200nmの円錘台状をなす微細構造1が六方細密状態(Db:100nm)に配列された微細構造を片面に備えた成形体を作製した。
コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に下記の<条件1>でコロナ放電処理し、下記の<化合物1>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
Example 1
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. Thus, as shown in Table 1, the fine structure 1 having a frustum shape with P of 100 nm, Dt of 30 nm, and H of 200 nm is arranged in a hexagonal close-packed state (Db: 100 nm). Was formed on one side.
Using a corona discharge treatment apparatus, the microstructure surface was subjected to corona discharge treatment under the following <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of the following <compound 1> was gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.

[化合物]
<化合物1>
CF−(CF−CF−CF−O)n−Si(OCHCH:n=2〜40
<化合物2>
(CHCHO)Si−O−(CF−CF−CF−O)n−Si(OCHCH)3 :n=2〜40
<化合物3>
(CHCHO)Si−O−(CH−O)―COONa :n=2〜40
[Compound]
<Compound 1>
CF 3 - (CF 2 -CF 2 -CF 2 -O) n-Si (OCH 2 CH 3) 3: n = 2~40
<Compound 2>
(CH 3 CH 2 O) 3 Si-O- (CF 2 -CF 2 -CF 2 -O) n-Si (OCH 2 CH 3) 3: n = 2~40
<Compound 3>
(CH 3 CH 2 O) 3 Si-O- (CH 2 -O) -COONa: n = 2~40

[コロナ放電処理条件]
<条件1>
空気中、湿度40%、25℃、放射量480W・min/m、放電度14.4W/cm
<条件2>
1vol%O/99.9vol%N、湿度40%、25℃、放射量480W・min/m、放電度14.4W/cm2
<条件3>
空気中、湿度40%、25℃、放射量1600W・min/m、放電度48W/cm
[Corona discharge treatment conditions]
<Condition 1>
In air, humidity 40%, 25 ° C., radiation amount 480 W · min / m 2 , discharge degree 14.4 W / cm 2
<Condition 2>
1 vol% O 2 /99.9 vol% N 2 , humidity 40%, 25 ° C., radiation amount 480 W · min / m 2 , discharge degree 14.4 W / cm 2
<Condition 3>
In air, humidity 40%, 25 ° C., radiation amount 1600 W · min / m 2 , discharge 48 W / cm 2

参考例2
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表1に示すように、Pが150nm、Dtが40nm、Hが200nmの円錘台状をなす微細構造2が六方細密状態(Db:150nm)に配列された微細構造を片面に備えた成形体を作製した。コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に<条件1>でコロナ放電処理し、シラン化合物である<化合物1>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
( Reference Example 2 )
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. Thus, as shown in Table 1, the fine structure 2 in the shape of a frustum having P of 150 nm, Dt of 40 nm, and H of 200 nm is arranged in a hexagonal dense state (Db: 150 nm). Was formed on one side. Using a corona discharge treatment apparatus, the surface of the microstructure is subjected to corona discharge treatment under <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of <compound 1> which is a silane compound is gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.

参考例3
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表1に示すように、Pが200nm、Dtが60nm、Hが200nmの円錘台状をなす微細構造3が六方細密状態(Db:200nm)に配列された微細構造を片面に備えた成形体を作製した。コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に<条件1>でコロナ放電処理し、シラン化合物である<化合物1>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
( Reference Example 3 )
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. Thus, as shown in Table 1, the fine structure 3 in the shape of a frustum having P of 200 nm, Dt of 60 nm, and H of 200 nm is arranged in a hexagonal close-packed state (Db: 200 nm). Was formed on one side. Using a corona discharge treatment apparatus, the surface of the microstructure is subjected to corona discharge treatment under <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of <compound 1> which is a silane compound is gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.

(実施例4)
実施例1に対し、<化合物1>を<化合物2>に変えた以外は同様の操作を行い、本実施例の微細構造体を作成した。
Example 4
The same procedure as in Example 1 was carried out except that <Compound 1> was changed to <Compound 2> to produce the microstructure of this Example.

(実施例5)
実施例1に対し、<条件1>を<条件2>に変えた以外は同様の操作を行い、本実施例の微細構造体を作成した。
(Example 5)
The same operation as in Example 1 was performed except that <Condition 1> was changed to <Condition 2>, and the microstructure of this Example was created.

(実施例6)
実施例1に対し、<条件1>を<条件2>に、<化合物1>を<化合物2>に変えた以外は同様の操作を行い、本実施例の微細構造体を作成した。
(Example 6)
The same procedure as in Example 1 was performed, except that <Condition 1> was changed to <Condition 2> and <Compound 1> was changed to <Compound 2>, thereby producing a microstructure of this Example.

参考例7
実施例1に対し、コロナ放電処理を行わないこと以外は同様の操作を行い、本例の微細構造体を作成した。
( Reference Example 7 )
The same operation as in Example 1 was performed except that the corona discharge treatment was not performed, and the microstructure of this example was created.

参考例8
実施例1に対し、<条件1>を<条件3>に変えた以外は同様の操作を行い、本例の微細構造体を作成した。
( Reference Example 8 )
The same operation as in Example 1 was performed except that <Condition 1> was changed to <Condition 3>, and the microstructure of this example was created.

(実施例9)
実施例1に対し、<化合物1>を<化合物3>に変えた以外は同様の操作を行い、本実施例の微細構造体を作成した。
Example 9
The same procedure as in Example 1 was carried out except that <Compound 1> was changed to <Compound 3>, and the microstructure of this Example was produced.

(実施例10)
実施例1に対し、<条件1>を<条件2>に、<化合物1>を<化合物3>に変えた以外は同様の操作を行い、本実施例の微細構造体を作成した。
(Example 10)
The same procedure as in Example 1 was performed, except that <Condition 1> was changed to <Condition 2> and <Compound 1> was changed to <Compound 3>, thereby producing a microstructure of this Example.

(比較例1)
実施例1に対し、電子線描画装置で作成した金型に変えて平面の金型を用い、コロナ放電処理を行わないこと以外は同様の操作を行い、本比較例の微細構造体を作成した。
(Comparative Example 1)
For Example 1, a flat mold was used in place of the mold created by the electron beam drawing apparatus, and the same operation was performed except that the corona discharge treatment was not performed, and the microstructure of this comparative example was created. .

(比較例2)
実施例1に対し、電子線描画装置で作成した金型に変えて平面の金型を用いること以外は同様の操作を行い、本比較例の微細構造体を作成した。
(Comparative Example 2)
The same operation as in Example 1 was performed except that a flat mold was used instead of the mold created by the electron beam drawing apparatus, and a microstructure of this comparative example was created.

(比較例3)
実施例1に対し、電子線描画装置で作成した金型に変えて平面の金型を用い、コロナ放電処理を行わず、<化合物1>を<化合物3>に変えた以外は同様の操作を行い、本比較例の微細構造体を作成した。
(Comparative Example 3)
The same operation as in Example 1 was performed except that a flat mold was used instead of the mold created by the electron beam drawing apparatus, the corona discharge treatment was not performed, and <compound 1> was changed to <compound 3>. The microstructure of this comparative example was made.

(比較例4)
実施例1に対し、電子線描画装置で作成した金型に変えて平面の金型を用い、<化合物1>を<化合物3>に変えた以外は同様の操作を行い、本比較例の微細構造体を作成した。
(Comparative Example 4)
The same operation as in Example 1 was performed except that a flat mold was used instead of the mold created by the electron beam drawing apparatus, and <Compound 1> was changed to <Compound 3>. Created a structure.

(比較例5)
実施例1に対し、コロナ放電処理を行わず、シラン化合物の塗布を行わないこと以外は同様の操作を行い、本比較例の微細構造体を作成した。
(Comparative Example 5)
For Example 1, the same operation was performed except that the corona discharge treatment was not performed and the silane compound was not applied, and the microstructure of this comparative example was created.

得られた一の微細構造体について、上記方法で測定を行った結果を表2に示す。
この結果、本発明の範囲である実施例1、4〜6、参考例2、3、7、8においては、いずれも水との静止接触角が134°以上であり、水の付着が起こりにくいものとなった。特に実施例1、4、5及び参考例2、3においては、耐久接触角も145°以上である。これは微細構造を有し、かつコロナ放電処理とシラン化合物の最適化により、基部とシラン化合物の密着性が良好であるためである。これに対し、比較例1、2は微細構造ではないため、撥水性は低い。
実施例9、10は、いずれも水との静止接触角が10°以下であり、高い防曇性を示した。これは微細構造を有し、かつコロナ放電処理とシラン化合物の最適化により、基部とシラン化合物の密着性が良好であるためである。これに対し、比較例3、4は微細構造ではないため、親水性は低く、従って防曇性も低い。
なお、実施例1、4〜6、参考例2、3、7、8及び実施例9、10ではH/Pが0.2〜10の範囲であることが、耐久性(耐久接触角)に寄与していると考えられる。また、実施例1、4〜6,9,10及び参考例2、3では放電処理後の微細突起の濡れ張力が50〜70mN/mの範囲にあることが、各々化合物の接着性(静止接触角)や耐久性(耐久接触角)に寄与していると考えられる。
Table 2 shows the results of measurement performed on the obtained microstructure by the above method.
As a result, in Examples 1, 4 to 6 and Reference Examples 2 , 3 , 7 , and 8 , which are within the scope of the present invention, the static contact angle with water is 134 ° or more, and water adhesion hardly occurs. It became a thing. In particular, in Examples 1, 4, 5 and Reference Examples 2 , 3 , the durable contact angle is also 145 ° or more. This is because it has a fine structure and the adhesion between the base and the silane compound is good by corona discharge treatment and optimization of the silane compound. On the other hand, since Comparative Examples 1 and 2 are not fine structures, the water repellency is low.
In Examples 9 and 10, the static contact angle with water was 10 ° or less, and high antifogging properties were exhibited. This is because it has a fine structure and the adhesion between the base and the silane compound is good by corona discharge treatment and optimization of the silane compound. On the other hand, since Comparative Examples 3 and 4 are not fine structures, the hydrophilicity is low, and thus the antifogging property is also low.
In Examples 1, 4 to 6, Reference Examples 2, 3, 7, 8, and Examples 9 and 10 , H / P is in the range of 0.2 to 10 for durability (durable contact angle). It is thought that it has contributed. In Examples 1, 4 to 6, 9, 10, and Reference Examples 2 and 3 , the wet tension of the fine protrusions after the discharge treatment is in the range of 50 to 70 mN / m. Corner) and durability (endurance contact angle).

Figure 0005630635
Figure 0005630635

<他の微細構造体の仕様>
表3は、以下の実施例に用いた他の微細構造体の仕様を示したもの、表4は、当該他の微細構造体について、上記方法で測定を行った結果を示したものである。
本実施例に示す他の微細構造体は、突起先端部と根元部とを曲面により形成したモスアイ型と称されるものである。なお、表4において示す<条件1>と<化合物1>は、上記一の微細構造体において記述したものと同等のものであるので、本実施例においては、その詳細な説明を省略する。
<Specifications of other microstructures>
Table 3 shows the specifications of other fine structures used in the following examples, and Table 4 shows the results of measurement by the above method for the other fine structures.
Another microstructure shown in the present embodiment is called a moth-eye type in which a projection tip and a root are formed by a curved surface. Note that <Condition 1> and <Compound 1> shown in Table 4 are the same as those described in the one microstructure described above, and thus detailed description thereof is omitted in this example.

Figure 0005630635
Figure 0005630635

Figure 0005630635
Figure 0005630635

参考例11
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表3に示すように、Pが100nm、Dtが35nm、Hが200nmの微細構造4を六方細密状態(Db:100nm)にして片面に配列した成形体を作製した。
コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に<条件1>でコロナ放電処理し、シラン化合物である<化合物1>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
( Reference Example 11 )
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. Thus, as shown in Table 3, a molded body in which the microstructure 4 having P of 100 nm, Dt of 35 nm, and H of 200 nm was arranged in one side in a hexagonal fine state (Db: 100 nm) was produced.
Using a corona discharge treatment apparatus, the surface of the microstructure is subjected to corona discharge treatment under <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of <compound 1> which is a silane compound is gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.

参考例12
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表3に示すように、Pが200nm、Dtが75nm、Hが2000nmの微細構造5を六方細密状態(Db:200nm)にして片面に配列した成形体を作製した。
コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に<条件1>でコロナ放電処理し、シラン化合物である<化合物1>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
( Reference Example 12 )
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. Thus, as shown in Table 3, a molded body in which the microstructure 5 having P of 200 nm, Dt of 75 nm, and H of 2000 nm was arranged in one side in a hexagonal fine state (Db: 200 nm) was produced.
Using a corona discharge treatment apparatus, the surface of the microstructure is subjected to corona discharge treatment under <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of <compound 1> which is a silane compound is gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.

(実施例13)
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表3に示すように、Pが200nm、Dtが10nm、Hが2000nmの微細構造6を六方細密状態(Db:200nm)にして片面に配列した成形体を作製した。
コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に<条件1>でコロナ放電処理し、シラン化合物である<化合物1>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
(Example 13)
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. Thus, as shown in Table 3, a molded body in which the microstructure 6 having P of 200 nm, Dt of 10 nm, and H of 2000 nm was arranged in one side in a hexagonal fine state (Db: 200 nm) was produced.
Using a corona discharge treatment apparatus, the surface of the microstructure is subjected to corona discharge treatment under <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of <compound 1> which is a silane compound is gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.

(実施例14)
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表3に示すように、Pが200nm、Dtが5nm、Hが2000nmの微細構造7を六方細密状態(Db:200nm)にして片面に配列した成形体を作製した。
コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に<条件1>でコロナ放電処理し、シラン化合物である<化合物1>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
(Example 14)
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. Thus, as shown in Table 3, a molded body in which the microstructure 7 having P of 200 nm, Dt of 5 nm, and H of 2000 nm was arranged in one side in a hexagonal fine state (Db: 200 nm) was produced.
Using a corona discharge treatment apparatus, the surface of the microstructure is subjected to corona discharge treatment under <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of <compound 1> which is a silane compound is gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.

(実施例15)
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表3に示すように、Pが200nm、Dtが5nm、Hが2200nmの微細構造8を六方細密状態(Db:200nm)にして片面に配列した成形体を作製した。
コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に<条件1>でコロナ放電処理し、シラン化合物である<化合物1>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
(Example 15)
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. As a result, as shown in Table 3, a molded body in which the microstructure 8 having P of 200 nm, Dt of 5 nm, and H of 2200 nm was arranged in one side in a hexagonal fine state (Db: 200 nm) was produced.
Using a corona discharge treatment apparatus, the surface of the microstructure is subjected to corona discharge treatment under <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of <compound 1> which is a silane compound is gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.

参考例16
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表3に示すように、Pが100nm、Dtが45nm、Hが200nmの微細構造9を六方細密状態(Db:100nm)にして片面に配列した成形体を作製した。
コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に<条件1>でコロナ放電処理し、シラン化合物である<化合物1>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
( Reference Example 16 )
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. Thus, as shown in Table 3, a molded body in which the microstructure 9 having P of 100 nm, Dt of 45 nm, and H of 200 nm was arranged in one side in a hexagonal fine state (Db: 100 nm) was produced.
Using a corona discharge treatment apparatus, the surface of the microstructure is subjected to corona discharge treatment under <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of <compound 1> which is a silane compound is gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.

得られた他の微細構造体について上記方法で測定を行った結果、表4に示すように、本発明の範囲である実施例13〜15及び参考例11、12、16においては、いずれも水との静止接触角が143°以上であり、水の付着が起こりにくいものとなった。また、いずれの実施例13〜15及び参考例11、12、16においても、耐久接触角が143°以上である。これは微細構造を有し、かつコロナ放電処理とシラン化合物の最適化により、基部とシラン化合物の密着性が良好であるためである。 As a result of measuring the obtained other fine structures by the above method, as shown in Table 4, in Examples 13 to 15 and Reference Examples 11 , 12 , and 16 that are within the scope of the present invention, And the static contact angle was 143 ° or more, and water adhesion hardly occurred. In any of Examples 13 to 15 and Reference Examples 11 , 12 , and 16 , the durable contact angle is 143 ° or more. This is because it has a fine structure and the adhesion between the base and the silane compound is good by corona discharge treatment and optimization of the silane compound.

参考例17
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型と基材であるPETフィルムの間に紫外線硬化アクリル樹脂(東亜合成(株) PAK01)を流し込み、PETフィルム側から紫外線を照射し固化させ、これによって、表3に示すように、Pが100nm、Dtが40nm、Hが200nmの微細構造10を六方細密状態(Db:100nm)にして片面に配列した成形体を作製した。
コロナ放電処理装置を用い、微細構造面に<条件1>でコロナ放電処理し、シラン化合物である<化合物2>の0.1%ハイドロフルオロエーテル(3M製 ノベック HFE−7100)溶液を表面にグラビアコーターを用いて厚さ30μmとなるように塗布し、乾燥炉で120℃、5分間乾燥させ、微細構造体を作成した。
得られた他の微細構造体について上記方法で測定を行った結果、表4に示すように、本発明の範囲である実施例13〜15、参考例11、12、16、17においては、いずれも水との静止接触角が142°以上であり、水の付着が起こりにくいものとなった。また、いずれの実施例13〜15、参考例11、12、16、17においても、耐久接触角が140°以上である。これは微細構造を有し、かつコロナ放電処理とシラン化合物の最適化により、基部とシラン化合物の密着性が良好であるためである。
なお、実施例13〜14、参考例11、12、16、17ではH/Pが0.2〜10の範囲にあることが、耐久性(耐久接触角)に寄与していると考えられる。また、実施例13〜15、参考例11、16、17では放電処理後の微細突起の濡れ張力が50〜70mN/mの範囲にあることが、実施例13、15、参考例11、12では動摩擦係数が0.05〜0.25の範囲にあることが、各々化合物の接着性(静止接触角)や耐久性(耐久接触角)に寄与していると考えられる。同様に、参考例16、17においては、頂部直径Dtと頂部間距離PとがDt≧0.4Pの関係にあることが、微細構造体の表面と水との接触面積を減少して、高い静止接触角を得ることに寄与していると考えられる。
( Reference Example 17 )
Using a mold created with a commercially available electron beam lithography system, UV-curing acrylic resin (Toa Gosei Co., Ltd. PAK01) is poured between the mold and the PET film as the base material, and ultraviolet rays are irradiated from the PET film side. Thus, as shown in Table 3, a molded body in which the microstructure 10 having P of 100 nm, Dt of 40 nm, and H of 200 nm was arranged in one side in a hexagonal fine state (Db: 100 nm) was produced.
Using a corona discharge treatment apparatus, the surface of the microstructure is subjected to corona discharge treatment under <condition 1>, and a 0.1% hydrofluoroether (3M Novec HFE-7100) solution of <compound 2> which is a silane compound is gravured on the surface. It was applied to a thickness of 30 μm using a coater, and dried in a drying oven at 120 ° C. for 5 minutes to prepare a fine structure.
As a result of measuring the obtained other fine structure by the above method, as shown in Table 4, in Examples 13 to 15 and Reference Examples 11 , 12 , 16 , and 17 , which are within the scope of the present invention, In addition, the static contact angle with water was 142 ° or more, and water adhesion hardly occurred. In any of Examples 13 to 15 and Reference Examples 11 , 12 , 16 , and 17 , the durable contact angle is 140 ° or more. This is because it has a fine structure and the adhesion between the base and the silane compound is good by corona discharge treatment and optimization of the silane compound.
In Examples 13 to 14 and Reference Examples 11 , 12 , 16 , and 17 , H / P in the range of 0.2 to 10 is considered to contribute to durability (durable contact angle). Further, in Examples 13 to 15 and Reference Examples 11 , 16 , and 17 , the wetting tension of the fine protrusions after the discharge treatment is in the range of 50 to 70 mN / m. In Examples 13 and 15, and Reference Examples 11 and 12 , A dynamic friction coefficient in the range of 0.05 to 0.25 is considered to contribute to the adhesion (static contact angle) and durability (durable contact angle) of the compound. Similarly, in Reference Examples 16 and 17 , the relationship between the top diameter Dt and the top-to-top distance P is Dt ≧ 0.4P, which reduces the contact area between the surface of the microstructure and water and is high. This is thought to contribute to obtaining a static contact angle.

なお、本発明は上述した実施形態に限るものではない。例えば上記した実施形態においては、錐体状突起とした微細突起を例として説明したが、その形態に限るものではないことを付記する。
なお、本発明は上述した実施形態に限るものではなく、次のような変形実施が可能である。
The present invention is not limited to the embodiment described above. For example, in the above-described embodiment, the fine protrusions that are the cone-shaped protrusions have been described as examples, but it is added that the present invention is not limited to the form.
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the following modifications can be made.

10 基部
12 微細突起(錐体状突起)
20 機能層
Db 底面の外接円径
Dt 頂部直径
P 頂部間距離
10 Base 12 Fine projection (conical projection)
20 Functional layer Db circumscribed circle diameter Dt bottom diameter P top distance P

Claims (15)

二次元的に連続する複数個の微細突起を有する樹脂製の基部と、この微細突起を被覆した機能層を備える微細構造体であって、
上記微細突起がコロナ放電処理又はプラズマ処理を施されており、当該処理直後の微細突起表面の濡れ張力が50〜70mN/mであり、
上記微細突起が錐体状凸部からなり、この錐体状凸部の頂部が円形又は多角形の頂面をなし、この円形頂面又は多角形頂面に外接する円の径Dtと、隣接する錐体状凸部同士の頂部間距離Pとが、Dt≧0.4Pの関係を満足し、
上記頂部間距離Pが380nm以下で、上記外接円の径Dtが30nm以下であり、
上記機能層は、ケイ素を含む化合物が上記微細突起の表面に直接化学結合して形成されていることを特徴とする微細構造体。
A resin base having a plurality of fine protrusions that are two-dimensionally continuous, and a microstructure having a functional layer covering the fine protrusions,
The microprotrusions have been subjected to corona discharge treatment or plasma treatment, and the wetting tension of the microprotrusion surface immediately after the treatment is 50 to 70 mN / m,
The fine projection is formed of a cone-shaped convex portion, and the top portion of the cone-shaped convex portion forms a circular or polygonal top surface, and is adjacent to the diameter Dt of a circle circumscribing the circular top surface or the polygonal top surface. And the distance P between the tops of the cone-shaped convex portions to satisfy the relationship of Dt ≧ 0.4P,
The distance P between the tops is 380 nm or less, the diameter Dt of the circumscribed circle is 30 nm or less,
The fine structure according to claim 1, wherein the functional layer is formed by chemically bonding a compound containing silicon directly to a surface of the fine protrusion.
上記微細突起の高さをHとすると、そのアスペクト比H/Pが0.2〜10であることを特徴とする請求項1に記載の微細構造体。 The fine structure according to claim 1 , wherein the aspect ratio H / P is 0.2 to 10 where H is the height of the fine protrusion. 当該微細構造体の表面における動摩擦係数が0.05〜0.25であることを特徴とする請求項1又は2に記載の微細構造体。 The fine structure according to claim 1 or 2 , wherein a coefficient of dynamic friction on a surface of the fine structure is 0.05 to 0.25. 上記ケイ素を含む化合物が、加水分解によりシラノール基となる基を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の微細構造体。 The microstructure according to any one of claims 1 to 3 , wherein the silicon-containing compound has a group that becomes a silanol group by hydrolysis. 上記ケイ素を含む化合物が、ペルフルオロアルキル基又はペルフルオロエーテル基を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の微細構造体。 The microstructure according to any one of claims 1 to 4 , wherein the compound containing silicon has a perfluoroalkyl group or a perfluoroether group. 上記ケイ素を含む化合物が、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基、アンモニウム基、−COONa基、−SONa基、−SONH基、−COONH基、−PONa基及び−PO(NH基から成る群より選ばれた少なくとも1種の極性基を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つの項に記載の微細構造体。 The compound containing silicon is a hydroxyl group, a carboxyl group, an amino group, an ammonium group, a —COONa group, a —SO 3 Na group, a —SO 3 NH 4 group, a —COONH 4 group, a —PO 3 Na 2 group, and a —PO. 3 (NH 4) microstructure according to any one of claims 1 to 5, characterized in that at least one polar group selected from the group consisting of 2 groups. 上記基部が、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂、セルロース系樹脂、スチレン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリノルボルネン樹脂、シクロオレフィンポリマー樹脂、シクロオレフィンコポリマー樹脂及び非晶質ナイロンから成る群より選ばれた少なくとも1種の樹脂、コポリマー又はポリマーアロイであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の微細構造体。 A group in which the base is made of acrylic resin, polycarbonate resin, polyester resin, cellulose resin, styrene resin, vinyl chloride resin, polynorbornene resin, cycloolefin polymer resin, cycloolefin copolymer resin, and amorphous nylon The microstructure according to any one of claims 1 to 6 , wherein the microstructure is at least one selected from the group consisting of a resin, a copolymer, and a polymer alloy. 上記隣接する微細突起同士の頂部間距離Pが380nm以下の一定値であり、且つ上記基部が、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、スチレン系樹脂、ポリノルボルネン樹脂、シクロオレフィンポリマー樹脂、シクロオレフィンコポリマー樹脂又は非晶質ナイロンから成る透明樹脂であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の微細構造体。 The distance P between the tops of the adjacent fine protrusions is a constant value of 380 nm or less, and the base is an acrylic resin, polycarbonate resin, polyethylene terephthalate resin, styrene resin, polynorbornene resin, cycloolefin polymer resin, The microstructure according to any one of claims 1 to 6 , wherein the microstructure is a transparent resin comprising a cycloolefin copolymer resin or amorphous nylon. 請求項1〜8のいずれか1つの項に記載の微細構造体を用いて成ることを特徴とする自動車部品。 An automobile part comprising the fine structure according to any one of claims 1 to 8 . 請求項1〜8のいずれか1つの項に記載の微細構造体を製造する方法であって、
(A)上記微細突起を有する樹脂製の基部を成形する工程と、(B)この基部に酸化処理又は放電処理を施して上記微細突起表面に極性基を導入する工程と、(C)上記微細突起表面にケイ素を含む化合物を被覆して機能層を形成する工程を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法。
A method for producing the microstructure according to any one of claims 1 to 8 ,
(A) a step of molding a resin base having the fine protrusions, (B) a step of subjecting the base to oxidation treatment or discharge treatment to introduce polar groups on the surface of the fine protrusions, and (C) the fine portions A method for manufacturing a microstructure, comprising a step of forming a functional layer by coating a surface of a protrusion with a compound containing silicon.
上記放電処理が、コロナ放電処理又はプラズマ処理であることを特徴とする請求項10に記載の微細構造体の製造方法。 The method for manufacturing a microstructure according to claim 10 , wherein the discharge treatment is a corona discharge treatment or a plasma treatment. 上記コロナ放電処理又は上記プラズマ処理における導入ガス中に酸素を0.1vol%以上の割合で含有させることを特徴とする請求項11に記載の微細構造体の製造方法。 The method for producing a microstructure according to claim 11 , wherein oxygen is contained in the introduced gas in the corona discharge treatment or the plasma treatment at a ratio of 0.1 vol% or more. 上記(C)工程を、上記(B)工程の終了後に開始することを特徴とする請求項10に記載の微細構造体の製造方法。 The method for manufacturing a microstructure according to claim 10 , wherein the step (C) is started after the end of the step (B). 上記(C)工程を、上記(B)工程の実施中に開始することを特徴とする請求項10に記載の微細構造体の製造方法。 The method for manufacturing a microstructure according to claim 10 , wherein the step (C) is started during the execution of the step (B). 上記(C)工程が、(1)上記微細突起表面をケイ素を含む化合物若しくはその溶液中に浸漬する工程、又は(2)上記微細突起表面にケイ素を含む化合物若しくはその溶液を塗布する工程を含むことを特徴とする請求項10〜14のいずれか1項に記載の微細構造体の製造方法。 The step (C) includes (1) a step of immersing the surface of the fine protrusion in a compound containing silicon or a solution thereof, or (2) a step of applying a compound containing silicon or a solution thereof on the surface of the fine protrusion. The method for manufacturing a fine structure according to any one of claims 10 to 14 , wherein:
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10518958B2 (en) 2015-12-23 2019-12-31 Sulzer Mixpac Ag Cartridge with reduced friction

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101268748B1 (en) * 2011-02-21 2013-05-29 (주)엘지하우시스 Mirror surface sheet having independent transparent projections and method of manufacturing thereof
JP5947379B2 (en) 2012-06-22 2016-07-06 シャープ株式会社 Antireflection structure, manufacturing method thereof, and display device
JP2015087762A (en) * 2013-09-25 2015-05-07 大日本印刷株式会社 Reflection member
JP6317624B2 (en) * 2014-05-22 2018-04-25 双葉電子工業株式会社 Desiccant, sealing structure and organic EL element
JP2017002268A (en) * 2015-06-15 2017-01-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 Molded body
JP2017001380A (en) * 2015-06-15 2017-01-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 Molded body
JP2017019907A (en) * 2015-07-08 2017-01-26 フジデノロ株式会社 Surface modification resin molded article
KR20180020292A (en) * 2015-07-17 2018-02-27 닛산 지도우샤 가부시키가이샤 Antifouling structure and manufacturing method thereof
WO2017025128A1 (en) * 2015-08-10 2017-02-16 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Article having a nanotextured surface with hydrophobic properties
EP3513962B1 (en) 2016-09-13 2022-11-09 Nissan Motor Co., Ltd. Antifouling structure
JP2020066181A (en) * 2018-10-25 2020-04-30 株式会社小糸製作所 On-vehicle transparent resin member

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3508342B2 (en) * 1995-11-15 2004-03-22 住友化学工業株式会社 Method for forming silane compound coating
JPH10292058A (en) * 1997-04-17 1998-11-04 Tomoegawa Paper Co Ltd Production of graft polymer material
JP2008006784A (en) * 2006-06-30 2008-01-17 Fujifilm Corp Super water-repellent material and its manufacturing method
JP2008007728A (en) * 2006-06-30 2008-01-17 Fujifilm Corp Organic-inorganic hybrid material, manufacturing method thereof, and superhydrophilic material
JP2008088260A (en) * 2006-09-29 2008-04-17 Fujifilm Corp Hydrophilic film-forming composition and hydrophilic member
JP2008122435A (en) * 2006-11-08 2008-05-29 Nissan Motor Co Ltd Water repellent reflection preventive structure and its manufacturing method
JP2008158293A (en) * 2006-12-25 2008-07-10 Nissan Motor Co Ltd Hydrophilic antireflection structure
JP2008203473A (en) * 2007-02-20 2008-09-04 Nissan Motor Co Ltd Antireflection structure and structure
JP5146722B2 (en) * 2007-07-12 2013-02-20 日産自動車株式会社 Antireflection structure and structure

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10518958B2 (en) 2015-12-23 2019-12-31 Sulzer Mixpac Ag Cartridge with reduced friction

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