JP5625648B2 - 酸窒化シリコン膜の成膜方法及び弾性境界波装置の製造方法 - Google Patents
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Description
るIDT電極と、圧電基板の上に、IDT電極を覆うように形成されている酸窒化シリコ
ン膜とを備える弾性境界波装置の製造方法に関する。本発明に係る弾性境界波装置の製造
方法では、酸窒化シリコン膜を、一酸化シリコンからなるターゲット材と、二酸化シリコンからなるターゲット材とを併用して用いると共に、反応性ガスとして窒素ガスを用いて、スパッタリング法により成膜する。
堆積していき、酸窒化シリコン膜が形成される。
上記本実施形態の酸窒化シリコン膜の成膜方法は、例えば、弾性境界波装置の製造にも好適に適用することができる。具体的には、例えば、図2に示す弾性境界波装置20の製造に好適に適用される。
上記第1の実施形態において説明したスパッタリング装置1を用いて、二酸化シリコンからなるターゲット材13a、13bに対する印加電力を1000Wに固定し、一酸化シ
リコンからなるターゲット材13cへの印加電力を種々変化させたときに成膜される酸窒化シリコン膜の組成を評価した。結果を図3に示す。なお、本実施例1及び下記の実施例2では、酸窒化シリコン膜の組成を、酸窒化シリコン膜の屈折率を用いて評価した。酸窒化シリコン膜の屈折率は酸素および窒素の組成比によって一意に決定されることが知られている。
スパッタリング装置1を用いて、キャリアガスとしてのアルゴンガスに対する窒素ガスの流量比を種々変化させたときに成膜される酸窒化シリコン膜の組成を評価した。結果を図4に示す。なお、実施例2では、二酸化シリコンからなるターゲット材13a、13bに対する印加電力を1000Wに固定すると共に、一酸化シリコンからなるターゲット材13cへの印加電力を600W、700Wまたは800Wに固定した。図4において、600Wで示すグラフが、ターゲット材13cへの印加電力が600Wであるときのグラフである。700Wで示すグラフが、ターゲット材13cへの印加電力が700Wであるときのグラフである。800Wで示すグラフが、ターゲット材13cへの印加電力が800Wであるときのグラフである。
シリコンからなるターゲット材を用い、反応ガスとしての酸素ガスと窒素ガスとの流量比を種々変化させたときに成膜される酸窒化シリコン膜の組成を評価した。結果を図5に示す。なお、比較例では、ターゲット材への印加電力は、1000Wとした。
10…装置本体
10a…チャンバー
11…窒素ガス供給装置
12…被成膜物
13a〜13c…ターゲット材
14a〜14c…電源
20…弾性境界波装置
21…圧電基板
22…IDT電極
23…第1の媒質
24…第2の媒質
Claims (2)
- 一酸化シリコンからなるターゲット材と、二酸化シリコンからなるターゲット材とを併用して用いると共に、反応性ガスとして窒素ガスを用いて、スパッタリング法により酸窒化シリコン膜を成膜する、酸窒化シリコン膜の成膜方法。
- 圧電基板と、前記圧電基板の上に形成されているIDT電極と、前記圧電基板の上に、前記IDT電極を覆うように形成されている酸窒化シリコン膜とを備える弾性境界波装置の製造方法であって、
前記酸窒化シリコン膜を、一酸化シリコンからなるターゲット材と、二酸化シリコンからなるターゲット材とを併用して用いると共に、反応性ガスとして窒素ガスを用いて、スパッタリング法により成膜する、弾性境界波装置の製造方法。
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