JP5625480B2 - 分極反転構造を有する光学素子の製造方法とその光学素子およびレーザー装置 - Google Patents
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Description
特許文献1は、強誘電体結晶基板を還元処理して該結晶基板の抵抗率を所定の値に低下させる還元処理ステップと、該強誘電体結晶基板の分極方向にお互いに離れた第1 及び第2 の電極を形成する電極形成ステップと、該第1 及び第2 の電極間に電圧を印加する電圧印加ステップとを有することを特徴とする周期分極反転構造の形成方法を開示している。
特許文献3は、強誘電体結晶からなる基板に分極反転層を形成する方法であって、前記基板における分極反転が生じ易い軸方向に平行な主面上において、対向かつ離間して配置された一対の接地用陽極及び印加用陰極の複数を、所定周期間隔で形成する工程と、前記接地用陽極を接地し、電子ビームを前記印加用陰極に照射し前記接地用陽極及び前記印加用陰極を除去して、複数の分極反転層を形成する工程とからなることを特徴とする分極反転層形成方法を開示している。
特許文献5は、光学結晶に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、パターンが設けられた転写型の前記パターンを前記絶縁層へ転写させるパターン転写工程と、前記光学結晶に対して前記絶縁層が形成された側に配置された第1電極と、前記絶縁層が形成された側とは反対側に配置された第2電極との間に電圧を印加する電圧印加工程とを含むことを特徴とする波長変換素子の製造方法を開示している。
非特許文献1では、強誘電体非線形光学結晶基板(材質:LiNbO3)のZ軸プラス方向を上方に配置し、該結晶基板の上面にはストライプ状のフォトレジスト11を形成後、上面電極12を形成し、該結晶基板の下面全体に下面電極9を形成している。そして上面電極12を正、下面電極9を負であって電界が19kV/mmとなる高電圧パルスを結晶基板に印加している。図9は、高電圧印加初期から終了時点までの間に分極反転領域が広がる様子を模式的に表した結晶断面図である。分極反転は、(a)核生成、(b)Z軸方向伸張、(c)面内成長、(d)安定化の順に行われる。従来は、高電圧を印加中に結晶を流れる電流などをモニターして終点を判断していた。このため、核成長が不均一に起こる場合には、分極反転の過不足が生じていた。この影響は、特に短周期の分極反転で顕著であると記載されている。
非特許文献2には、電極端の電界集中域で核生成が始まり、その核の分域壁が移動することで分極反転が進行していくので、形成したい分極反転周期が短くなるほど、より高い核生成密度とより小さい核領域の生成が行われるように核生成過程を精密に制御しなければならないことが開示されている。この核密度を高めるためにパルス幅0.1秒、印加電界18.7kV/mmの台形パルスを2万パルス印加している。
本発明の目的は、上記の課題を鑑み、電界集中を利用して分極反転の核の形成を促進して作製した光学素子およびその製造方法を提供することである。
本発明に係る第1の実施形態について、図1から図3を用いて説明する。本発明の製造方法に係る光学素子の製造方法の各製作段階の強誘電体基板の状態を表した模式図を図1に示す。本実施例では強誘電体基板として直径4インチ、厚さ0.5mmのMgOをドープしたニオブ酸リチウム(LiNbO3)を用いた。
第3ステップは、強誘電体基板1の他方の面に第2電極9を形成する。より具体的には、第1電極5と同様に、強誘電体基板1上に真空蒸着でCr膜50nm、Au膜200nmを順に成膜して第2電極9を形成した。
本発明の第2の実施例としては、第1の実施例の凹部4を、図4に示したように互い違いに凹部4−2を形成してもよい。
本発明の第3の実施例としては、第1の実施例の凹部4を、図5に示したように複数の線状の溝4−3のように形成してもよい。図6は、図5の基板のB−B断面図における各製作段階の状態を表した模式図である。第1の実施例と第3の実施例とは、凹部が1本から複数に増加している点を除いて同じである。
第1ステップは、強誘電体基板の一方の面に凹部を形成する(図1(a)から(c)と同じ)。この工程は実施例1と同様である。
第4の実施例では、さらに、絶縁層13を作成する。絶縁層13の材質は、東京応化工業株式会社製ポジ型フォトレジストOFPR−800(商品名)を使用した。絶縁層13の厚さは、1.6μmとした。絶縁層の材質及び厚さは、適宜、他の絶縁材料を選択して厚さも最適な値に変更することができる。絶縁層はライン幅約20μm、周期約27μmのストライプパターンに形成した。絶縁層の無い開口部の中央が凹部4にかかるように配置した。
第2ステップは、第1ステップに続いて凹部4および絶縁層13を覆うように第1電極5を形成する。より具体的には、強誘電体基板1上に真空蒸着でCr膜50nm、Au膜200nmを順に成膜して第1電極5を形成した。
第3ステップは、強誘電体基板1の他方の面に第2電極9を形成する。より具体的には、第1電極5と同様に、強誘電体基板1上に真空蒸着でCr膜50nm、Au膜200nmを順に成膜して第2電極9を形成した。
なお、本発明における分極反転構造を有する光学素子の製造方法は、上記の手順に限定されるものではなく、例えば、第2電極を形成する第3ステップは、第1ステップまたは第2ステップの前の段階で行ってもよい。
第6の実施例として、上記光学素子を備えたレーザー装置の一例を以下に説明する。図8は、本発明の光学素子を備えた計測装置の実施例の構成図である。光源20としては、例えば、レーザーダイオードを使用できる。光源20から照射された光を、ビームスプリッター21に通過させて平行光に変換し、本発明の分極反転構造を有する光学素子22に導入する。光学素子22を出た光は、光学フィルター23を通過させて波長選択され、この選択光は、ビームスプリッター24で2方向に分割され、一方はサンプル容器25に照射され、他方は、コントロールが封入されたコントロール容器28に照射される。サンプル容器25を通過した光は、第1受光素子に照射され、光強度が電気信号に変換される。コントロール容器28を通過した光は、第2受光素子に照射され、光強度が電気信号に変換される。第1受光素子および第2受光素子から出力された電気信号は、A/D変換器30に導入される。該電気信号が微弱である場合は、必要に応じてアンプで増幅した後にA/D変換器に導入する。デジタル信号に変換された各信号は演算装置31に入力されて演算され、演算結果が出力装置32に出力される。
2 レジスト膜(エッチング用マスク)
3 イオンビーム
4 凹部
4−1 線状の溝
4−2 四角形状の穴
4−3 複数の線状の溝
5 第1電極
6 レジスト膜(エッチング用マスク)
7 分極方向を示す矢印
8 核生成領域
9 第2電極(裏面電極)
10 電源
11 フォトレジスト
12 上面電極
13 絶縁層
20 光源
21 ビームスプリッター
22 本発明の分極反転構造を有する光学素子
23 光学フィルター
24 ビームスプリッター
25 サンプル容器
26 第1受光素子
27 ミラー
28 コントロール容器
29 第2受光素子
30 A/D変換器
31 演算装置
32 出力装置
Claims (5)
- 強誘電体基板の一方の面に複数の凹部を形成する第1ステップと、
前記第1ステップに続いて前記凹部を覆うように前記凹部より大きい第1電極を前記凹部ごとに分離して複数形成する第2ステップと、
前記強誘電体基板の他方の面に第2電極を形成する第3ステップと、
前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加して前記強誘電体基板に分極反転構造を形成する第4ステップとを有することを特徴とする光学素子の製造方法。 - 強誘電体基板の一方の面に凹部と、該凹部が中央となるように配置した開口部を有する絶縁層とを形成する第1ステップと、
前記第1ステップに続いて前記凹部および前記絶縁層を覆うように第1電極を形成する第2ステップと、
前記強誘電体基板の他方の面に第2電極を形成する第3ステップと、
前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加して前記強誘電体基板に分極反転構造を形成する第4ステップとを有することを特徴とする光学素子の製造方法。 - 請求項1または2に記載の製造方法において、前記凹部が溝状であることを特徴とする光学素子の製造方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の製造方法で製造された光学素子。
- 請求項4に記載の光学素子を備えるレーザー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010116560A JP5625480B2 (ja) | 2010-05-20 | 2010-05-20 | 分極反転構造を有する光学素子の製造方法とその光学素子およびレーザー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010116560A JP5625480B2 (ja) | 2010-05-20 | 2010-05-20 | 分極反転構造を有する光学素子の製造方法とその光学素子およびレーザー装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011242691A JP2011242691A (ja) | 2011-12-01 |
JP5625480B2 true JP5625480B2 (ja) | 2014-11-19 |
Family
ID=45409377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010116560A Expired - Fee Related JP5625480B2 (ja) | 2010-05-20 | 2010-05-20 | 分極反転構造を有する光学素子の製造方法とその光学素子およびレーザー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5625480B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3059080B2 (ja) * | 1994-08-31 | 2000-07-04 | 松下電器産業株式会社 | 分極反転領域の製造方法ならびにそれを利用した光波長変換素子及び短波長光源 |
JPH112848A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-06 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 分極反転結晶の製造方法 |
JP4587366B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2010-11-24 | 住友大阪セメント株式会社 | 分極反転形成方法 |
JP5274888B2 (ja) * | 2007-05-15 | 2013-08-28 | パナソニック株式会社 | レーザ波長変換装置、分極反転構造の形成方法及び画像表示装置 |
JP2008309828A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Panasonic Corp | 光波長変換素子の製造方法および光波長変換素子 |
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2010
- 2010-05-20 JP JP2010116560A patent/JP5625480B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011242691A (ja) | 2011-12-01 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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