JP5612306B2 - Hf測定システム、その較正方法、およびこのhf測定システムを用いて散乱パラメータを決定する方法 - Google Patents
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Description
さらに、冗長性は、不具合のあるまたは誤って配置された測定プローブを特定するために使用することができる。不具合のあるプローブを特定すると、その不具合のあるプローブを電子的に測定から取り除くことができ、または不完全な挙動についてユーザに指摘することができる。不具合のある測定プローブを検出するために、例えば、較正時に測定プローブ間の数学的関係を決定している。その後、未知の測定対象の各測定時に、数学的関係の正しさをチェックする。
Claims (19)
- 測定対象に接続された、または前記測定対象を含む回路に接続された第1の電気導線に高周波試験信号(HF試験信号)を供給し、各ポートに対して、第1の結合位置で、および前記第1の結合位置から所定の距離をおいて配設された第2の結合位置で、前記測定対象に接続された第2の電気導線上、特に平面導線上を伝わるHF試験信号を前記第2の電気導線からカップリング・アウトし、前記2つの結合位置でカップリング・アウトされた前記2つのHF試験信号から前記測定対象の散乱パラメータを計算する、nポート測定(ここでnは整数≧1)を用いて前記測定対象の散乱パラメータを測定するための、N個の測定ポート(ここでNは整数≧1)を含む高周波測定デバイス(HF測定デバイス)を較正する方法であって、
前記HF測定デバイスのポートの少なくとも1つに対して、互いに所定の距離をおいて配設された少なくとも3つの結合位置で、前記第2の電気導線上を伝わる前記HF試験信号をカップリング・アウトし、前記少なくとも3つの結合位置のそれぞれの対をなす組み合わせに対して、少なくとも1つの較正基準を散乱パラメータが既知である前記測定対象として使用する所定の較正方法を用いて、前記HF試験信号の少なくとも1つの周波数に対する前記少なくとも1つの散乱パラメータを測定し、前記HF試験信号の1つの周波数における前記少なくとも3つの結合位置の全ての対をなす組み合わせに対して測定された前記少なくとも1つの散乱パラメータの値と、前記較正基準における散乱パラメータの既知の値と比較し、前記HF試験信号の1つの周波数における前記少なくとも3つの結合位置の全ての対をなす組み合わせに対して測定された少なくとも1つの散乱パラメータの値と、前記較正基準における散乱パラメータの既知の値との差が最小となる結合位置の前記対をなす組み合わせを、未知の測定対象の測定における前記1つの周波数における好ましい第1および第2の結合位置として保存することを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記HF測定デバイスがベクトル・ネットワーク・アナライザであることを特徴とする方法。
- 請求項1または請求項2に記載の方法であって、前記第2の電気導線が平面導線であることを特徴とする方法。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の方法であって、使用する前記較正方法が、前記較正基準「ショート」、「オープン」、および「ロード」を用いるSOL法、もしくは8ターム法または12ターム法、もしくはマルチポート較正法であることを特徴とする方法。
- 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の方法であって、使用する前記較正方法が、SOLT法、LLR法、TRM法、TAN法、TLN法、またはLNN法であることを特徴とする方法。
- 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の方法であって、前記結合位置における前記HF信号の前記カップリング・アウトを非接触で実行することを特徴とする方法。
- 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の方法であって、容量的にまたは誘導的にあるいは同時に容量的かつ誘導的に、もしくは電気光学測定法を用いて、または電磁測定法を用いて、前記結合位置における前記HF信号の前記カップリング・アウトを実行することを特徴とする方法。
- 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の方法であって、各測定ポートに対して、2つ以上の測定プローブを使用していることを特徴とする方法。
- 測定対象に接続された、または前記測定対象を含む回路に接続された第1の電気導線に高周波試験信号(HF試験信号)を供給し、各ポートに対して、第1の結合位置で、および前記第1の結合位置から所定の距離をおいて配設された第2の電気導線の第2の結合位置で配設された前記第2の電気導線から、前記測定対象に接続された前記第2の電気導線上を伝わる、特に平面導線上を伝わるHF試験信号をカップリング・アウトし、前記2つの結合位置でカップリング・アウトされた前記2つのHF試験信号から前記測定対象の散乱パラメータを計算する、N個の測定ポート(ここでNは整数≧1)を含みかつ請求項1から請求項8のいずれか1項に従って較正されている高周波測定デバイス(HF測定デバイス)により、nポート測定(ここでnは整数≧1)を用いて前記測定対象の散乱パラメータを決定する方法であって、
前記HF試験信号の各周波数に対して、請求項1から請求項7の少なくとも1項に記載の前記較正方法において、対応する周波数に対して保存された結合位置の前記対をなす組み合わせを前記第1および第2の結合位置として選択することを特徴とする方法。 - 請求項9に記載の方法であって、前記HF測定デバイスがベクトル・ネットワーク・アナライザであることを特徴とする方法。
- 請求項9または請求項10に記載の方法であって、前記第2の電気導線が平面導線であることを特徴とする方法。
- 請求項9から請求項11のいずれか1項に記載の方法であって、
前記HF試験信号の各周波数に対して、保存された前記対をなす結合位置の組み合わせを用いて散乱パラメータを測定することに加えて、請求項1から請求項8の少なくとも1つに記載された方法を用いた較正時に、1以上の対をなす結合位置の組み合わせを用いて散乱パラメータの測定を行い、1以上の対をなす結合位置の組み合わせは、測定された散乱パラメータの値と、較正基準における散乱パラメータの既知の値との差が、記憶された結合位置の対を成す組み合わせよりも一回り大きい差となる組み合わせであり、前記HF試験信号の1つの周波数成分に対して、前記1以上の対をなす結合位置の組み合わせの全ての組み合わせを用いて測定される散乱パラメータに対する値から、散乱パラメータの平均値を算出することを特徴とする方法。 - N個の測定ポート(ここでNは整数≧1)と、測定対象(34)に接続されている第1の電気導線(12、68、70)に接続することができるHF試験信号用の信号源(10)とを含む、前記測定対象の散乱パラメータを決定するHF測定デバイスであって、
前記測定ポートの少なくとも1つに対して、互いに所定の距離をおいて配設された少なくとも3つの結合位置(14、16、18)を設け、
前記少なくとも3つの結合位置(14、16、18)に対して、各結合位置に配置された個々の分離した測定プローブ(74、78)を設け、
前記測定対象(34)に接続された第2の電気導線(12、68、70)上を伝わるHF試験信号をカップリング・アウトすることを特徴とするHF測定デバイス。 - N個の測定ポート(ここでNは整数≧1)と、測定対象(34)に接続されている第1の電気導線(12、68、70)に接続することができるHF試験信号用の信号源(10)とを含む、前記測定対象の散乱パラメータを決定するHF測定デバイスであって、
前記測定ポートの少なくとも1つに対して、互いに所定の距離をおいて配設された少なくとも3つの結合位置(14、16、18)を設け、
各測定ポートに対して単一の測定プローブと、前記単一の測定プローブを前記結合位置に動かすデバイスと、を設け、
前記測定対象(34)に接続された第2の電気導線(12、68、70)上を伝わるHF試験信号をカップリング・アウトすることを特徴とするHF測定デバイス。 - N個の測定ポート(ここでNは整数≧1)と、測定対象(34)に接続されている第1の電気導線(12、68、70)に接続することができるHF試験信号用の信号源(10)とを含む、前記測定対象の散乱パラメータを決定するHF測定デバイスであって、
前記測定ポートの少なくとも1つに対して、互いに所定の距離をおいて配設された少なくとも3つの結合位置(14、16、18)を設け、
各測定ポートに対して、2以上で、かつ結合位置の個数から1を引いた数字以下の個数の測定プローブを設け、
前記HF測定デバイスは、少なくとも1つの前記測定プローブを異なる結合位置に動かす少なくとも1つのデバイスを有し、
前記測定対象(34)に接続された第2の電気導線(12、68、70)上を伝わるHF試験信号をカップリング・アウトすることを特徴とするHF測定デバイス。 - 請求項13に記載のHF測定デバイスであって、少なくとも1つの測定プローブ(74、78)が非接触型測定プローブまたは接触依存型測定プローブから構成されることを特徴とするHF測定デバイス。
- 請求項13から請求項16の少なくとも1項に記載のHF測定デバイスであって、前記HF測定デバイスがベクトル・ネットワーク・アナライザであることを特徴とするHF測定デバイス。
- 請求項13から請求項17の少なくとも1項に記載のHF測定デバイスであって、前記第2の電気導線(12、68、70)が平面導線であることを特徴とするHF測定デバイス。
- 請求項13に記載のHF測定デバイスであって、容量的または誘導的にあるいは同時に容量的かつ誘導的に、もしくは電気光学測定法を用いて、または電磁測定法を用いてカップリング・アウトするように前記測定プローブ(74、78)の少なくとも1つを構成していることを特徴とするHF測定デバイス。
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