JP5608742B2 - 振動式流量センサ組立品が備えるドライバとピックオフとを、振動が伝わらないように分離するための方法、およびその装置 - Google Patents

Description

本発明は振動式センサ組立品（振動式センサ・アセンブリ）に関するものである。特には、ピックオフセンサから分離されたドライバを有する振動式センサ組立品に関する。

例えば、デンシトメータやコリオリ式流量計などの振動式流量装置（vibrating flow devices）は、密度、質量流量、体積流量、総合質量流量、温度、他の情報など流動物質の特性を測定するために用いられている。振動式流量装置は、１以上の導管を備えている。１以上の導管は、例えば、直線形状、Ｕ字形状、または不規則な形状といった様々な形状を有している。

また、１以上の導管は、例えば、単純曲げモード、ねじれモード、放射モード、および連結したモードなどを含む、一連の固有振動モードを有している。そこで、流動物質の特性を求めるために、少なくとも１つの伝達機構（ドライバ）が、これら駆動モードのうちの一つまたはそれ以上の共振周波数で１以上の導管を振動させる。また、１つ以上のメータ電子機器が、正弦波駆動信号を少なくとも１つのドライバへ送信するようになっている。ドライバは、概して、マグネット／コイルを組み合わせてなる構成であり、マグネットは導管に固定され、コイルは基準部材または他の導管に固定されている。ドライバは、駆動信号により、上記した駆動モードの駆動周波数で１以上の導管を振動させる。例えば、この駆動信号は周期的にコイルに送信される電流であってもよい。

少なくとも１つのピックオフが、導管における運動を検出し、振動する導管の運動を示す正弦波ピックオフ信号を生成するようになっている。通常、ピックオフはマグネット／コイルを組み合わせてなる構成であり、このマグネットは導管に固定され、コイルは基準部材または他の導管に固定されている。しかしながら、当然のことながら、例えば、光学上、静電容量性、圧電性などの点で、別のピックオフの配置構造も存在する。また、ピックオフ信号は、１以上の電子機器へ送信されている。そして、流動物質の特性を求めるため、または必要に応じて駆動信号を調節するために、公知の主要な技術により、１以上の電子機器はこのピックオフ信号を用いることができるようになっている。

一般的には、振動式流量装置は、本質的にバランスのとれたシステムを形成するため、互いに反対方向に振動する２つの振動導管を備えてなる構成である。このため、各導管からの振動は、一方の導管からの望ましくない振動が他方の導管へ伝わるのを防止するように互いに打ち消し合うようになっている。しかしながら、圧力降下または詰まりなどの問題によりデュアル（２重）導管型が好適ではないような用途も存在する。このような場合は、シングル（単一）導管型が好適である。

ところで、ピックオフが、基準部材に設けられた第１ピックオフ構成部材と導管に設けられた第２ピックオフ構成部材との間で相対的な位置を求めることによって運動（振動）を測定するようになっているため、シングル導管型システムでは、不均衡が生じてしまう。したがって、基準部材に設けられているピックオフ構成部材は、基準部材に伝わる好ましくない振動によって不必要に振動したり、動いてしまったりする。このことは、ピックオフ構成部材の相対位置の検出に悪い影響を及ぼし、不正確なピックオフ信号を発生してしまうこととなる。さらにまた、システムによっては、基準部材が流体導管に対して反対方向に振動するように設計されている場合もある。このような構成は、ドライバおよびピックオフの両方の構成部材が一つの基準部材に共に設けられているようなシステムついて一般的にいえることである。結果として、基準部材に設けられているピックオフ構成部材は、導管を流れる流体の流量と関係のない運動を受けることになる。この余分な運動はメータの感度に強い影響を与えてしまう恐れがある。

本発明は、これらおよび他の課題を克服し、当該技術分野の進歩を実現するものである。

本発明のある実施形態では、振動式センサ組立品が提供されている。振動式センサ組立品は、導管、ドライバ、および少なくとも１つの第１ピックオフを備えている。ドライバは、第１ドライバ構成部材と、第２ドライバ構成部材とを有している。また、第１ピックオフは、第１ピックオフ構成部材と、第２ピックオフ構成部材とを有している。かかる振動式センサ組立品は第１基準部材をさらに備える。そして、第１ピックオフ構成部材が導管に連結され、一方で、第２ピックオフ構成部材が第１基準部材に連結されている。また、振動式センサ組立品は、第２基準部材をさらに備える。そして、第１ドライバ構成部材が導管に連結され、一方で、第２ドライバ構成部材が第２基準部材に連結されている。

さらにまた、本発明の他の実施形態では、流量計の形成方法を提供する。この流量計は、流体導管と、第１ドライバ構成部材および第２ドライバ構成部材を有しているドライバと、第１ピックオフ構成部材および第２ピックオフ構成部材を有している第１ピックオフセンサと、を備えている。かかる方法では、第１基準部材を流体導管と近接する位置に配置するステップを含む。また、かかる方法では、第１ピックオフ構成部材を流体導管に結合するステップと、第２ピックオフ構成部材を、第１基準部材における、第１ピックオフ構成部材と近接する位置に結合するステップと、をさらに含む。さらにまた、かかる方法では、第２基準部材を流体導管と近接する位置に配置するステップと、第１ドライバ構成部材を流体導管に結合するステップと、第２ドライバ構成部材を、第２基準部材における、第１ドライバ構成部材と近接する位置に結合するステップとをさらに含む。

（態様）
本発明のある態様によれば、振動式センサ組立品は、導管と、第１ドライバ構成部材および第２ドライバ構成部材を有しているドライバと、第１ピックオフ構成部材および第２ピックオフ構成部材を有している第１ピックオフセンサと、第１基準部材と、第２基準部材とを備える。また、第１基準部材に関しては、第１ピックオフ構成部材が導管に結合され、第２ピックオフ構成部材が該第１基準部材に結合されている。また、第２基準部材に関しては、第１ドライバ構成部材が導管に結合され、第２ドライバ構成部材が該第２基準部材に結合されている。

好ましくは、振動式センサ組立品は、導管に結合されているバランス部材をさらに備えており、第２基準部材がこのバランス部材に結合されている。

好ましくは、第２基準部材が、該第２基準部材とバランス部材との組み合わせの質量中心が流体導管の屈曲軸（a bending axis）上に位置するように、バランス部材に結合される。

好ましくは、振動式センサ組立品は、導管と結合されている第１ピックオフ構成部材と、第１基準部材と結合されている第２ピックオフ構成部材と、を有する第２ピックオフセンサをさらに備える。

好ましくは、振動式センサ組立品は、導管と結合されている第１ピックオフ構成部材と、第３基準部材と結合されている第２ピックオフ構成部材と、を有する第２ピックオフセンサをさらに備える。

本発明の別の態様によると、流体導管と、第１ドライバ構成部材および第２ドライバ構成部材を有するドライバと、第１ピックオフ構成部材および第２ピックオフ構成部材を有する第１ピックオフセンサと、を備える流量計の形成方法は、流体導管と近接する位置に第１基準部材を配置するステップと、第１ピックオフ構成部材を流体導管に結合するステップと、第２ピックオフ構成部材を、第１ピックオフ構成部材と近接する位置にて第１基準部材に結合するステップと、流体導管と近接する位置に第２基準部材を配置するステップと、第１ドライバ構成部材を流体導管に結合するステップと、第２ドライバ構成部材を、第１ドライバ構成部材と近接する位置にて第２基準部材に結合するステップと、を含む。

好ましくは、かかる方法では、バランス部材を流体導管に結合するステップと、第２基準部材をバランス部材に結合するステップと、をさらに含む。

好ましくは、かかる方法では、第２基準部材を、該第２基準部材とバランス部材との組み合わせの質量中心が、流体導管の屈曲軸上に位置するように、バランス部材に結合するステップをさらに含む。

好ましくは、かかる方法では、第２ピックオフの第１ピックオフ構成部材を流体導管に結合するステップと、第２ピックオフの第２ピックオフ構成部材を、第２ピックオフの第１ピックオフ構成部材と近接する位置にて、第１基準部材に結合するステップとをさらに含む。

好ましくは、かかる方法は、第２ピックオフの第１ピックオフ構成部材を流体導管に結合するステップと、第２ピックオフの第２ピックオフ構成部材を、第２ピックオフの第１ピックオフ構成部材と近接する位置にて第３基準部材に結合するステップとをさらに有している。

従来のデュアル導管型振動式流量装置を示す図である。 従来のシングル導管型センサ組立品を示す図である。 本発明のある実施形態にかかるシングル導管型センサ組立品を示す図である。 本発明の他の実施形態にかかるシングル導管型センサ組立品を示す図である。 本発明の他の実施形態にかかるシングル導管型センサ組立品を示す図である。

図１〜図５および下記の記載には、本発明を最良のモードで作成および利用する方法を当業者に教示するための具体的な実施形態が示されている。本発明の原理を示唆するために、従来から一般的な態様の一部については単純化し、または省略している。当業者にとって明らかなように、これらの実施形態の変形例もまた本発明の技術範囲内に含まれる。また、当業者にとって明らかなように、下記の記載の構成要素をさまざまな方法で組み合わせて本発明の複数の変形例を形成することもできる。したがって、本発明は、下記に記載の特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲およびその均等物によってのみ限定されるものである。

図１には、流量計１０と１つ以上のメータ電子機器２０とを有しているコリオリ式流量計の形態をとる従来の振動式センサ組立品５の一例が示されている。１つ以上のメータ電子機器２０は、流量計１０に接続されており、たとえば密度、質量流量、体積流量、総合質量流量、温度および他の情報などの流動物質の特性を測定するようになっている。

流量計１０は、一対のフランジ１０１、１０１’と、一対のマニホールド１０２、１０２’と、一対の導管１０３Ａ、１０３Ｂとを有している。マニホールド１０２、１０２’は、導管１０３Ａ、１０３Ｂの両側の端部に固定されている。本実施形態にかかるフランジ１０１、１０１’はマニホールド１０２、１０２’へ固定されている。また、本実施形態にかかるマニホールド１０２、１０２’はスペーサ１０６の両側の端部に固定されている。スペーサ１０６は、導管１０３Ａおよび１０３Ｂにおいて不要な振動が生じることを防ぐために、本実施形態にかかるマニホールド１０２とマニホールド１０２’との間の間隔を維持している。これらの導管は、ほぼ平行した状態でマニホールドから外側に向かって延設されている。流動物質を運ぶ配管システム（図示せず）の中に流量計１０が挿入されると、流動物質は、フランジ１０１を通って流量計１０中に流入し、流入口マニホールド１０２を通って、ここで流動物質の全量が導管１０３Ａおよび１０３Ｂへ向かって流れる。そして、流動物質は、これら導管１０３Ａおよび１０３Ｂ内を流通し、流出口マニホールド１０２’の中へと再び戻って、フランジ１０１’を通じて流量計１０から外へ出る。

また、流量計１０はドライバ１０４を備えている。ドライバ１０４が導管１０３Ａ、１０３Ｂを駆動モードで振動させることができる位置にて、該ドライバ１０４は、導管１０３Ａ、１０３Ｂに固定されている。さらに具体的にいえば、ドライバ１０４は、導管１０３Ａに固定される第１ドライバ構成部材（図示せず）と、導管１０３Ｂに固定される第２ドライバ構成部材（図示せず）とを有している。そして、ドライバ１０４は、マグネットを導管１０３Ａに取り付け、かつ対向するコイルを導管１０３Ｂに取り付けた構成などのように、多くの周知となった構成のうちの１つによって構成することができる。

本実施形態では、駆動モードは、第１逆位相曲げモード（out of phase bending mode）である。屈曲軸Ｗ−ＷおよびＷ’−Ｗ’に対して実質的に同一の質量分布、慣性モーメント、および弾性モジュールを有するようなバランスの取れたシステムを提供するように、導管１０３Ａ、１０３Ｂそれぞれを選択し、流入口マニホールド１０２および流出口マニホールド１０２’に適切に取り付けられるように構成されることが好ましい。また、駆動モードが第１逆位相曲げモードである本実施形態では、導管１０３Ａおよび導管１０３Ｂは、それぞれの屈曲軸Ｗおよび屈曲軸Ｗ’に対して逆方向にドライバ１０４によって振動させられるようになっている。交流電流の駆動信号を、たとえば経路１１０を介して一以上のメータ電子機器２０が提供しており、コイルを通り抜けて両方の導管１０３Ａ、１０３Ｂの振動を引き起こすようになっている。なお、当業者にとって明らかなように、本発明の技術範囲において、他の駆動モードが用いられていてもよい。

図示されている流量計１０は、導管１０３Ａ、１０３Ｂに固定されている一対のピックオフ１０５、１０５’を有している。さらに具体的にいえば、第１ピックオフ構成部材（図示せず）は導管１０３Ａに設けられ、第２ピックオフ構成部材（図示せず）は導管１０３Ｂに設けられている。図示されている実施形態では、ピックオフ１０５、１０５’は、導管１０３Ａ、１０３Ｂの両側の端部に設けられている。ピックオフ１０５、１０５’は、導管１０３Ａ、１０３Ｂ中における速度および位置を示すピックオフ信号を発生する、例えば、ピックオフ・マグネットやピックオフ・コイルである電磁検出器であってもよい。例えば、ピックオフ１０５、１０５’は、経路１１１、１１１’通じて一つ以上のメータ電子機器２０へピックオフ信号を供給する構成であってもよい。当業者にとって明らかなように、導管１０３Ａ、１０３Ｂ中での運動は、流動物質のなんらかの特性、たとえば導管１０３Ａ、１０３Ｂを流れる物質の質量流量や密度に比例している。

図１に示されている実施形態では、一つ以上のメータ電子機器２０は、ピックオフ１０５、１０５’からピックオフ信号を受信するように構成されている。経路２６は、１つ以上のメータ電子機器２０と、オペレータもしくは他の処理システムとの間でのインターフェースをとることができる入力手段および出力手段を提供している。また、一つ以上のメータ電子機器２０は、例えば、密度、質量流量、体積流量、総合質量流量、温度、および他の情報などの流動物質の特性を測定する。さらに具体的にいえば、一つ以上のメータ電子機器２０は、例えば、ピックオフ１０５、１０５’ならびに１つ以上の温度センサ（図示せず）から、１以上の信号を受信し、この情報を用いて、例えば、密度、質量流量、体積流量、総合質量流量、温度、および他の情報などの流動物質の特性を測定する。

また、例えば、コリオリ式流量計またはデンシトメータなどの振動式測定装置が流動物質の特性を測定する技術はよく理解されている。したがって、記載を簡潔なものとするため、ここでは詳細な説明は省略する。

図２には、従来のセンサ組立品２１０の他の一例が示されている。センサ組立品２１０は、該センサ組立品２１０が単一の（シングル）導管１０３Ａと、ドライバ１０４およびピックオフ１０５、１０５’の構成部材が取り付けられた基準部材２５０と、を備えている点を除いて、図１に示されているセンサ組立品１０と類似した構成を有する。図に示すように、第１ドライバ構成部材１０４ａおよび第１ピックオフ構成部材１０５ａ、１０５ａが導管１０３Aに設けられている。また、図に示すように、第２ドライバ構成部材１０４ｂおよび第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’が基準部材２５０に設けられている。第１構成部材１０４ａ、１０５ａ、１０５ａ’がマグネットであり、第２構成部材１０４ｂ、１０５ｂ、１０５ｂ’がコイルであってもよい。それに代えて、第１構成部材１０４ａ、１０５ａ、１０５ａ’がコイルであり、第２構成部材１０４ｂ、１０５ｂ、１０５ｂ’がマグネットであってもよい。図示するように、基準部材２５０は基準プレートであってもよい。それに代えて、基準部材は、形状とは関係なく、代用の管（ダミーチューブ（図示せず））であってもよいし、またはいかなる他の構造体であってもよい。

図２に示す実施形態では、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’が第２ドライバ構成部材１０４ｂと同一の基準部材２５０に設けられているため、ドライバ１０４が導管１０３Ａ、基準部材２５０および第２ドライバ構成部材１０４ｂを振動させると、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’が振動する。本実施形態では、ドライバ１０４の第１ドライバ構成部材１０４ａおよび第２ドライバ構成部材１０４ｂは、導管１０３Ａおよび基準部材２５０が互いに離れた位置で振動し、そのとき、逆移相で互いに向かって振動するように、導管１０３Ａおよび基準部材２５０を、互いに離れさせている。

第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’が基準部材２５０に配置されていることに伴い、基準部材２５０に与えられた、いかなる運動であっても、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’にその運動の影響を与えてしまう。したがって、このことは、ピックオフ信号の精度に影響を与えてしまう恐れがある。もっと具体的にいえば、ピックオフ１０５、１０５’が導管１０３Ａでの運動を測定するために、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’に与えられた運動は、測定された管１０３Ａの運動の精度に影響を与えてしまう。

図３では、本発明のある実施形態にかかる振動式センサ組立品３１０を示す。図示されているように、センサ組立品３１０は、以下の点を除き、図２に示されているセンサ組立品２１０と類似している。すなわち、センサ組立品３１０が第１基準部材２５０と結合されている第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’と、第１基準部材２５０とは分離されている第２基準部材３５０と結合されている第２ドライバ構成部材１０４ｂとを有している点を除き、図２に示されているセンサ組立品２１０と類似している。第１基準部材２５０および第２基準部材３５０は、流体導管１０３Ａと近接する位置に設けられてもよい。また、センサ組立品３１０は、図２に示されている配置のように、導管１０３Ａの位置に設けられている第１ピックオフ構成部材１０５ａ、１０５ａ’、および第１ドライバ構成部材１０４ａと、をさらに備えている。いうまでもなく、使用に際しては、振動式センサ組立品３１０は、図３に示されている構成部材を実質的に取り囲むケース（図示せず）をさらに備えていてもよい。

図３に示されているように、第２ピックオフ構成部材１０５ａ、１０５ａ’が第１基準部材２５０に設けられてもよく、また、第２ドライバ構成部材１０４ａが第２基準部材３５０に設けられてもよい。そして、第１基準部材２５０および第２基準部材３５０は、第２基準部材３５０または第２ドライバ構成部材１０４ｂでの運動を、第１基準部材２５０または第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’にその運動が伝えられるのを実質的に防ぐ、あるいは低減させるように分離されてもよい。また、本発明のある実施形態によれば、第２基準部材３５０は、第１基準部材２５０および導管１０３Ａから実質的に独立して設けられていてもよい。例えば、第２基準部材３５０は、センサ組立品ケース（図示せず）または他の外部部材に接続されるようになっていてもよい。

本発明の他の実施形態によれば、第２基準部材３５０はバランス部材３６０と結合されるようになっていてもよい。バランス部材３６０は、複数のブレースバー３６１〜３６４を通じて導管１０３Ａに結合されるようになっていてもよい。複数のブレースバー３６１〜３６４は、当該技術分野において公知となっているように、振動する導管１０３Ａの屈曲軸Ｗ−Ｗを規定する役目を果たしている。また、バランス部材３６０は、導管１０３Ａと逆位相で振動するように設けられていてもよい。したがって、流体導管１０３Ａの振動のバランスを取るためにバランス部材３６０を設けることができる。また、本発明のある実施形態によれば、バランス部材３６０は、流体導管の屈曲軸Ｗ−Ｗの下方に質量中心ＣＭ_ｂを有している。また、本発明のある実施形態によれば、第２基準部材３５０は、質量中心ＣＭ_Ｒを有している。また、本発明のある実施形態によれば、バランス部材３６０が、該バランス部材３６０と第２基準部材３５０との組み合わせの質量中心ＣＭ_Ｃが流体導管の屈曲軸Ｗ−Ｗと近接した位置となるようなサイズおよび位置に形成される。第２基準部材３５０、バランス部材３６０、および導管１０３Ａが、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’に外部振動を伝えることのないバランスのとれたシステムを構成することができる点で有利である。バランス部材３６０は、バランス棒として図示されているが、いうまでもなく、バランス部材３６０は、例えば直線構造または曲線構造を含む代用の管（ダミーチューブ）など、様々な構成とすることができる。したがって、バランス部材３６０は図示されているような特定の形態に限定されるべきでない。

図４には、本発明のある実施形態に従って駆動されるドライバ１０４を備えたセンサ組立品３１０が示されている。ドライバ１０４が導管１０３Ａを振動させると、その運動は、導管１０３Ａ、第１ピックオフ構成部材１０５ａ、１０５ａ’、第１ドライバ構成部材１０４ａ、第２ドライバ構成部材１０４ｂ、およびドライバ１０４の第２構成部材１０４ｂが設けられている第２基準部材３５０に伝えられる。第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’およびこれら第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’が設けられている第１基準部材２５０が、第１ドライバ構成部材１０４ａおよび第２基準部材３５０から分離されている。このため、ドライバ１０４での運動、および第２基準部材３５０での運動のいずれの場合も、第１基準部材２５０に伝わらないし、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’にも伝わらない。また、第１基準部材２５０および第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’が導管１０３Ａから構造上分離されているので、本発明のある実施形態によれば、第１基準部材２５０または第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’に伝えられる導管１０３Ａまたはそれと結合している構造体１０４ａ、１０５ａ、１０５ａ’での運動を著しく削減することが可能となる。したがって、ピックオフ１０５、１０５’により生成されるピックオフ信号は、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’での運動による影響を受けないで導管１０３Ａの運動をより正確に反映することができる。

図３および図４に示されているように、第１基準部材２５０および第２基準部材３５０は基準プレートの形態で提供されてもよいが、本発明の技術範囲内において、基準部材２５０、３５０は、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’を第２ドライバ構成部材１０４ｂから分離するように、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’および第２ドライバ構成部材１０４ｂが搭載されるいかなる構造体であってもよい。限定するわけではないが、例えば、基準部材２５０、３５０の一方、または両方が形状にはかかわらず代用の管（ダミーチューブ）または他の構造体であってもよい。

図３および図４に示されている実施形態は、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’が設けられている第１基準部材２５０を備えたものであるが、当業者にとって明らかなように、第２基準部材３５０および導管１０３Ａから構造上分離されている別個の基準部材、例えば、第１基準部材２５０および第３基準部材５５０（図５を参照）に第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’を設けることも本発明の技術範囲に含まれる。

図５には、本発明の他の実施形態にかかる振動式センサ組立品３１０が示されている。図５に示されている実施形態は、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ’が第３基準部材５５０と結合されているという点を除いて、図３および図４に示されている実施形態と類似している。第３基準部材５５０は、第１基準部材２５０および第２基準部材３５０から分離して形成されている。さらに、図５に示されているように、第２基準部材３５０は、先に図示されている実施形態のようにはバランス部材３６０に接続されていない。正確に言えば、第２基準部材３５０は、振動式センサ組立品のケース（図示せず）または他の外部の部品に接続されるようになっている。したがって、第２基準部材３５０は、流体導管１０３Ａが受ける振動のバランスをとるために必ずしも設けられなければならないというわけではなく、第２ドライバ構成部材１０４ｂおよび第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’を搭載する構造体を分離するために設けられる。

上述のように、本発明は、第２ドライバ構成部材１０４ｂおよび第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’を別個の基準部材２５０、３５０と結合する振動式センサ組立品３１０を提供している。ドライバ１０４が流体導管１０３Ａを振動させる場合、ドライバ１０４が第２基準部材３５０を押す際に、第２基準部材３５０が受ける駆動力が、第１基準部材２５０には伝わらないか、あるいは少なくとも著しく削減される。有利には、ピックオフ１０５、１０５’の相対運動は、流体導管１０３Ａが受ける運動に限定されている。この分離により、ドライバ１０４により第１基準部材が動いてしまうことに起因して引き起こされた振動のためにピックオフ信号に生じてしまう誤差を、著しく削減することができるようになる。

振動式センサ組立品３１０を形成する際に、第１基準部材２５０および第２基準部材３５０を流体導管１０３Ａの近くに設けることができる。ある実施形態では、基準部材２５０、３５０は、流体導管１０３Ａの同一側の位置に設けられる。しかしながら、他の実施形態では、基準部材２５０、３５０は、流体導管１０３Ａの両側に設けられてもよい。基準部材２５０、３５０が適所に設けられた場合、第１ドライバ構成部材１０４ａを流体導管１０３Ａと結合することができ、第２ドライバ構成部材１０４ｂを第２基準部材３５０と結合することができる。同様に、第１ピックオフ構成部材１０５ａ、１０５ａ’を導管１０３Ａと結合することができ、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ、１０５ｂ’を第１基準部材２５０と結合することができる。ある実施形態では、第２ピックオフ構成部材１０５ｂ’を上述のような第３基準部材５５０と結合することができる。いうまでもなく、本発明にとって振動式センサ組立品３１０がどのような順番で形成されるかは重要なことではないので、それによって本発明の技術範囲が限定されるべきではない。

当業者にとって明らかなように、導管の数、ドライバの数、ピックオフの数、振動の動作モード、または流動物質の求められる特性にかかわらず、例えば、デンシトメータを含むいかなるタイプの振動式流量装置に本明細書に記載の技術思想を用いた場合も本発明の技術範囲に含まれる。本明細書には、本発明の最良の形態を実施または利用する方法を当業者に教示するための特定の実施形態が記載されている。本発明の原理を教示するために、従来技術の一部が単純化または省略されている。当業者にとって明らかなように、これらの実施形態の変形例もまた本発明の技術範囲内に含まれる。上述の実施形態の詳細な記載は、本発明の技術範囲内に含まれるものとして本発明者が考えているすべての実施形態を完全に網羅するものではない。

上述の実施形態の詳細な記載は、本発明の技術範囲内に含まれるものとして本発明者が考えているすべての実施形態を完全に網羅するものではない。正確にいえば、当業者にとって明らかなように、上述の実施形態のうちの一部の構成要素をさまざまに組み合わせたり、または除去したりしてさらなる実施形態を作成してもよい。また、このようなさらなる実施形態も本発明の技術範囲内および教示範囲内に含まれる。また、当業者にとって明らかなように、本発明の技術範囲および示唆した範囲に含まれるさらなる実施形態を作成するために、上述の実施形態を全体的に、または部分的に組み合わせるようにしてもよい。

以上のように、本発明の特定の実施形態または実施例が例示の目的で記載されているが、当業者にとって明らかなように、本発明の技術範囲内において、さまざまな変更が可能である。本明細書に記載の教示を上述のかつそれに対応する図に記載の実施形態のみでなく他の実施形態にも適用することができる。したがって、本発明の技術範囲は下添付の請求項によって決まるものである。

Claims (8)

1. 導管（１０３Ａ）と、
   第１ドライバ構成部材（１０４ａ）および第２ドライバ構成部材（１０４ｂ）を有しているドライバ（１０４）と、
   第１ピックオフ構成部材（１０５ａ）および第２ピックオフ構成部材（１０５ｂ）を有している第１ピックオフセンサ（１０５）と、
   第１基準部材（２５０）と、
   第２基準部材（３５０）と、
   前記導管（１０３Ａ）と結合されているバランス部材（３６０）と、を備え、
   前記第１ピックオフ構成部材（１０５ａ）が前記導管（１０３Ａ）と結合されているとともに、前記第２ピックオフ構成部材（１０５ｂ）が前記第１基準部材（２５０）と結合されており、
   前記第１ドライバ構成部材（１０４ａ）が前記導管（１０３Ａ）と結合されているとともに、前記第２ドライバ構成部材（１０４ｂ）が第２基準構成部材（３５０）と結合され、
   前記第２基準部材（３５０）が前記バランス部材（３６０）と結合されている、振動式センサ組立品（３１０）。
2. 前記導管（１０３Ａ）と結合されているバランス部材（３６０）をさらに備え、該第２基準部材（３５０）と前記バランス部材（３６０）との組み合わせの質量中心（ＣＭ_Ｃ）が前記導管（１０３Ａ）の曲げを受ける軸（Ｗ−Ｗ）上に位置するように、前記第２基準部材（３５０）が前記バランス部材（３６０）と結合されている、請求項１に記載の振動式センサ組立品（３１０）。
3. 前記導管（１０３Ａ）と結合されている第１ピックオフ構成部材（１０５ａ’）と、前記第１基準部材（２５０）と結合されている第２ピックオフ構成部材（１０５ｂ’）とを有する第２ピックオフセンサ（１０５’）をさらに備える、請求項１に記載の振動式センサ組立品（３１０）。
4. 前記導管（１０３Ａ）と結合されている第１ピックオフ構成部材（１０５ａ’）と、第３基準部材（５５０）と結合されている第２ピックオフ構成部材（１０５ｂ’）とを有する第２ピックオフセンサ（１０５’）をさらに備える、請求項１に記載の振動式センサ組立品（３１０）。
5. 流体導管と、第１ドライバ構成部材および第２ドライバ構成部材を有するドライバと、第１ピックオフ構成部材および第２ピックオフ構成部材を有する第１ピックオフセンサとを備える流量計を形成するための方法であって、
   前記流体導管と近接する位置に第１基準部材を配置するステップと、
   前記第１ピックオフ構成部材を前記流体導管に結合するステップと、
   前記第２ピックオフ構成部材を、前記第１ピックオフ構成部材と近接する位置にて前記第１基準部材に結合するステップと、
   前記流体導管と近接する位置に第２基準部材を配置するステップと、
   前記第１ドライバ構成部材を前記流体導管に結合するステップと、
   前記第２ドライバ構成部材を、前記第１ドライバ構成部材と近接する位置にて前記第２基準部材に結合するステップと、
   バランス部材を前記流体導管に結合するステップと、
   前記第２基準部材を前記バランス部材に結合するステップと、をさらに含む方法。
6. バランス部材を前記流体導管に結合するステップと、
   前記第２基準部材を、該第２基準部材と前記バランス部材との組み合わせの質量中心が前記流体導管の曲げを受ける軸上に位置するように、前記バランス部材に結合するステップと、をさらに含む請求項５に記載の方法。
7. 第２ピックオフの第１ピックオフ構成部材を前記流体導管に結合するステップと、
   前記第２ピックオフの第２ピックオフ構成部材を、前記第２ピックオフの前記第１ピックオフ構成部材と近接する位置にて前記第１基準部材に結合するステップと、をさらに含む請求項５に記載の方法。
8. 第２ピックオフの第１ピックオフ構成部材を前記流体導管に結合するステップと、
   前記第２ピックオフの第２ピックオフ構成部材を、前記第２ピックオフの前記第１ピックオフ構成部材と近接する位置にて第３基準部材に結合するステップと、をさらに含む請求項５に記載の方法。

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