JP5607728B2 - 有機el表示パネル及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の一態様における有機EL表示パネルは、TFT層と、前記TFT層上に形成され、画素単位に複数のコンタントホールが形成された層間絶縁膜と、前記画素単位に、前記層間絶縁膜上に形成された複数の第1電極であって前記複数のコンタクトホールの各々を介して前記TFT層と導通している複数の第1電極と、少なくとも色毎に形成された複数の開口部であって、前記画素単位に形成された複数のコンタクトホールを前記複数の開口部の各々の開口領域内に含む複数の開口部を有するバンクと、前記複数の開口部に形成された有機発光層と、前記有機発光層の上方に形成された第2電極と、を具備し、前記開口部内の前記コンタクトホール及びその上方を含むコンタクトホール領域に形成された有機発光層の膜厚は、前記開口部内の前記コンタクトホール領域以外の領域に形成された有機発光層の膜厚より厚く形成されている。
<実施の形態>
<全体概略構成>
図1は、本発明の一実施の形態に係る有機EL表示パネル1の一部を模式的に示す平面図である。
<コンタクトホール>
ここで、コンタクトホール14について、図3、図4を用いて詳細に説明する。
<有機ELセルの構成>
層間絶縁膜13上には、陽極である第1電極15が積層される。第1電極15は、コンタクトホール14を介して、TFT層11に係る給電電極12と電気的に接続される。
<実施の形態の構成による効果>
ここで、本実施の形態の上記構成による効果について図5を用いて補足説明する。
<製造方法>
図6及び図7は、本発明の実施形態に係る有機EL表示パネルの製造方法を説明する工程図である。
<変形例その他>
なお、本発明の有機EL表示パネルは、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
(1)中間層(IL層)、電子注入層の追加について
各有機ELセルは、上述の実施の形態で説明した構成に加え、第1電極15と発光層17との間にIL層41を設け、発光層17と第2電極18との間に電子注入層42を設けた構成としてもよい。
(2)ラインバンクの採用について
上述の実施形態では、バンク16がピクセルバンクである例で説明したが、図9に示すようなラインバンクにも本発明は適用できる。
(3)上記実施の形態では、トップエミッション型で説明しているが、これに限定されず、ボトムエミッション型であっても良い。
(4)上記実施の形態では、バンクを用いていたが、バンクを用いる場合、第1電極15の端部に電界が集中し、又は第1電極15と第2電極18とがショートするなどの可能性がある。これを避けるため、バンクに代えて、第1電極15においてバンクが形成されていた部分を絶縁膜で覆う構成としてもよい。
(5)上記実施の形態では、コンタクトホールの形状が丸孔である例で説明したが、これに限らず、貫通孔であればよい。例えば、図11のコンタクトホール14’のように角孔であってもよい。
(6)表示装置100は本発明の一態様に係る有機EL表示パネル1及び変形例に係る有機EL表示パネルのいずれかを表示装置100に搭載することとしてもよい。
(7)上記実施の形態及び上記変形例をそれぞれ組み合わせるとしてもよい。
10 基板
11 TFT層
12 給電電極
13 層間絶縁膜
14 コンタクトホール
15 第1電極
16 バンク
17 発光層
18 第2電極
20 有機ELセル
30 開口部
41 IL層
42 電子注入層
Claims (15)
- TFT層と、
前記TFT層上に形成され、画素単位に複数のコンタクトホールが形成された層間絶縁膜と、
前記画素単位に、前記層間絶縁膜上に形成された複数の第1電極であって前記複数のコンタクトホールの各々を介して前記TFT層と導通している複数の第1電極と、
少なくとも色毎に形成された複数の開口部であって、前記画素単位に形成された複数のコンタクトホールを前記複数の開口部の各々の開口領域内に含む複数の開口部を有するバンクと、
前記複数の開口部に形成された有機発光層と、
前記有機発光層の上方に形成された第2電極と、を具備し、
前記コンタクトホールは、その底面の中心から離間するに従い増大する前記層間絶縁膜の膜厚が極大に達する上面外周部を含み、
前記有機発光層は、前記コンタクトホールの窪みに対応した凹形状を有する第1の層と、前記開口部内の前記コンタクトホール及びその上方を含むコンタクトホール領域内において、前記第1の層の上に重畳され前記第1の層と同一材料から成り、かつ前記第1の層の凹形状に対応した凹形状を有する第2の層とから成り、前記コンタクトホール領域内の全ての領域における膜厚が、前記コンタクトホール領域以外の領域の膜厚より厚い、
有機EL表示パネル。 - 前記コンタクトホール領域において、前記第1の層が一旦乾燥された後に前記第2の層が重畳されている、
請求項1記載の有機EL表示パネル。 - 前記バンクは、前記色毎にライン状の開口部を複数有する、
請求項1ないし請求項2のいずれか1項に記載の有機EL表示パネル。 - 前記バンクは、前記色毎に、且つ画素単位に前記複数の第1電極の各々に対応する開口部を複数有する、
請求項1ないし請求項2のいずれか1項に記載の有機EL表示パネル。 - 前記同色の色は、赤色、緑色及び青色のいずれか一の色である、
請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の有機EL表示パネル。 - 前記層間絶縁膜は、平坦化膜である、
請求項1記載の有機EL表示パネル。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の有機EL表示パネルを備えた、
有機EL表示装置。 - TFT層を形成する第1工程と、
前記TFT層上に層間絶縁膜を形成する第2工程と、
画素単位に、複数のコンタクトホールを前記層間絶縁膜に形成する第3工程と、
前記画素単位に、前記複数のコンタクトホールの各々を介して前記TFT層と導通する複数の第1電極を前記層間絶縁膜上に形成する第4工程と、
前記画素単位に形成された複数のコンタクトホールの各々を含む複数の開口部を有するバンクを形成する第5工程と、
前記複数の開口部に有機発光層を形成する第6工程と、
前記有機発光層の上方に第2電極を形成する第7工程と、を具備し、
前記コンタクトホールは、その底面の中心から離間するに従い増大する前記層間絶縁膜の膜厚が極大に達する上面外周部を含み、
前記有機発光層は、前記コンタクトホールの窪みに対応した凹形状を有する第1の層と、前記開口部内の前記コンタクトホール及びその上方を含むコンタクトホール領域内において、前記第1の層の上に重畳され前記第1の層と同一材料から成り、かつ前記第1の層の凹形状に対応した凹形状を有する第2の層とから成り、前記コンタクトホール領域内の全ての領域における膜厚を、前記コンタクトホール領域以外の領域の膜厚より厚く形成する、
有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記第6工程において、前記コンタクトホール領域において前記第1の層が一旦乾燥した後に前記第2の層が重畳される、
請求項8記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記第6工程における前記有機発光層の形成は、インクジェット法により行われる、
請求項8ないし請求項9のいずれか1項に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記第6工程における前記有機発光層の形成は、インクジェット法により行われ、
前記第6工程において、前記開口部に含まれるコンタクトホール領域に、前記同色の有機発光材料を含有したインクが複数層重畳して塗布される、
請求項9記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記第6工程における前記有機発光層の形成は、インクジェット法により行われ、
前記第6工程において、前記開口部に含まれるコンタクトホール領域に、前記同色の有機発光材料を含有したインクが塗布された後、塗布された前記同色の有機発光材料を含有したインクを乾燥し、さらに、同色の有機発光材料を含有したインクが塗布される、
請求項9記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記バンクは、前記色毎にライン状の開口部を複数有する、
請求項8ないし請求項12のいずれか1項に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記バンクは、前記色毎に、且つ画素単位に前記複数の第1電極の各々に対応する開口部を複数有する、
請求項8ないし請求項12のいずれか1項に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記同色の色は、赤色、緑色及び青色のいずれか一の色である、
請求項8ないし請求項14のいずれか1項に記載の有機EL表示パネルの製造方法。
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