JP5606838B2

JP5606838B2 - Jig for checking the mounting state of a rotating spindle to which a cutting blade is mounted and a method for checking the mounting state

Info

Publication number: JP5606838B2
Application number: JP2010200287A
Authority: JP
Inventors: 照幸瀬畑; 隆之小野
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-09-07
Filing date: 2010-09-07
Publication date: 2014-10-15
Anticipated expiration: 2030-09-07
Also published as: JP2012055998A

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を切削する切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態確認方法に関する。 The present invention relates to an attachment state confirmation jig and an attachment state confirmation method for a rotary spindle on which a cutting blade for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer is mounted.

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。 In the semiconductor device manufacturing process, a plurality of regions are partitioned by dividing lines called streets arranged in a lattice pattern on the surface of a substantially wafer-shaped semiconductor wafer, and devices such as ICs, LSIs, etc. are partitioned in the partitioned regions. Form. Then, the semiconductor wafer is cut along the streets to divide the region in which the device is formed to manufacture individual semiconductor devices.

上述した半導体ウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれる切削装置によって行われている。この切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、チャックテーブルを切削送り方向(X軸方向)に切削送りする切削送り手段と、切削手段をX軸方向と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)に割り出し送りする割り出し送り手段と、切削手段をチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向(Ｚ軸方向)に切り込み送りする切り込み送り手段を具備している。上記切削手段は、切削ブレードを装着する回転スピンドルおよび回転スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングを具備し、このスピンドルハウジングがY軸方向に平行に配設されるとともにチャックテーブルの保持面に対して垂直なＺ軸方向に直交して配設される。（例えば、特許文献１参照。） The above-described cutting along the street of the semiconductor wafer is usually performed by a cutting device called a dicer. This cutting apparatus includes a chuck table having a holding surface for holding a workpiece such as a wafer, a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and cutting the chuck table. A cutting feed means for cutting and feeding in the feed direction (X-axis direction), an index feed means for indexing and feeding the cutting means in an index feed direction (Y-axis direction) perpendicular to the X-axis direction, and a cutting means for holding the chuck table And a cutting feed means for cutting and feeding in a direction perpendicular to the Z axis direction (Z-axis direction). The cutting means includes a rotary spindle on which a cutting blade is mounted, and a spindle housing that rotatably supports the rotary spindle. The spindle housing is disposed in parallel to the Y-axis direction and is held against the holding surface of the chuck table. It is disposed perpendicular to the vertical Z-axis direction. (For example, refer to Patent Document 1.)

特開２００６−２０２８９０号公報JP 2006-202890 A

而して、切削ブレードを装着する回転スピンドルがY軸方向に対して傾いて配設されていたり、Z軸方向と直交する方向に対して傾斜して配設されていると、切削ブレードによる切削幅が増大する。ウエーハの表面に形成されるストリートの幅は略５０μmと狭く、切れ刃の厚みが略３０μmの切削ブレードを装着した回転スピンドルがY軸方向に対して傾いて配設されていると、ウエーハの表面に形成されるストリートの幅を超えて切削され、デバイスを損傷させるという問題がある。 Thus, if the rotary spindle on which the cutting blade is mounted is disposed to be inclined with respect to the Y-axis direction, or is inclined to the direction orthogonal to the Z-axis direction, cutting by the cutting blade is performed. The width increases. The width of the street formed on the surface of the wafer is as narrow as about 50 μm, and if the rotary spindle equipped with a cutting blade having a cutting edge thickness of about 30 μm is disposed inclined with respect to the Y-axis direction, the surface of the wafer There is a problem that the device is damaged by cutting beyond the width of the street formed.

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、切削ブレードを装着する回転スピンドルがY軸方向に対して平行に配設されているか、また回転スピンドルがZ軸方向と直交する方向に配設されているかを確認するための切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態確認方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above facts, and the main technical problem thereof is that the rotary spindle on which the cutting blade is mounted is disposed in parallel to the Y-axis direction, or the rotary spindle is in the Z-axis direction. It is an object to provide an attachment state confirmation jig and an attachment state confirmation method for a rotating spindle on which a cutting blade for confirming whether the cutting blade is disposed in a direction orthogonal to the rotation direction.

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向に切削送りする切削送り手段と、該切削手段を切削送り方向と直交する割り出し送り方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向に切り込み送りする切り込み送り手段とを具備し、
該切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され先端部中心に雌ネジ穴を備えた回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端部に装着され該切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、該ブレードマウントを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された切削装置における回転スピンドルの取り付け状態確認治具であって、
該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている、
ことを特徴とする切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具が提供される。 In order to solve the main technical problem, according to the present invention, a chuck table having a holding surface for holding a workpiece and a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table. Cutting feed means for cutting and feeding the chuck table in the cutting feed direction; index feed means for indexing and feeding the cutting means in an index feed direction perpendicular to the cutting feed direction; and the cutting means for holding the chuck table Cutting feed means for cutting and feeding in a cutting feed direction perpendicular to
The cutting means includes a spindle housing, a rotary spindle that is rotatably supported by the spindle housing and has a female screw hole at the center of the tip, and a blade mount that is attached to the tip of the rotary spindle and supports the cutting blade. A rotary spindle mounting state confirmation jig in a cutting device configured to be fixed by a fastening bolt that is screwed into the female screw hole provided in the rotary spindle.
A rotating member provided with a male screw threadably engaged with the female screw hole provided in the rotating spindle; and a micrometer mounted on the rotating member, and a detection terminal of the micrometer is connected to the male screw. It is located at a position that is eccentric from the axis.
There is provided a jig for checking an attachment state of a rotary spindle to which a cutting blade is mounted.

被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向（X軸方向）に切削送りする切削送り手段と、該切削手段をX軸方向と直交する割り出し送り方向（Y軸方向）に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向（Z軸方向）に切り込み送りする切り込み送り手段とを具備し、
該切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され先端部中心に雌ネジ穴を備えた回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端部に装着され該切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、該ブレードマウントを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された切削装置における回転スピンドルの取り付け状態確認方法であって、
該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている回転スピンドルの取り付け状態確認治具を構成する該回動部材の雄ネジを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合して装着する取り付け状態確認治具装着工程と、
被検出平面を有する被測定治具を、該チャックテーブルの保持面に該被検出平面を該回転スピンドル側に向けて載置する被測定治具載置工程と、
該取り付け状態確認治具を構成する該マイクロメーターの検出端子を該チャックテーブルの保持面に載置された該被測定治具の該被検出平面に接触させた状態で該チャックテーブルをX軸方向に移動して該マイクロメーターによる計測値の変動を確認し、該マイクロメーターによる計測値が変動する場合には該マイクロメーターによる計測値が一定になるように該チャックテーブルを回動して該被測定治具の該被検出平面がX軸方向と平行になるように調整する被測定治具調整工程と、
該被測定治具調整工程を実施した後に、該取り付け状態確認治具を構成する該マイクロメーターの検出端子を該被測定治具の該被検出平面の第１の点に接触させるとともに、該取り付け状態確認治具が装着された該回転スピンドルを１８０度回動して該マイクロメーターの検出端子を該被測定治具の該被検出平面の第２の点に接触させ、該マイクロメーターの該第１の点における第１の値と該第２の点における第２の値が同一であるか否かを確認し、該第１の値と該第２の値が同一である場合には該回転スピンドルはY軸方向に対して平行に配設されており、該第１の値と該第２の値が同一でない場合には該回転スピンドルはY軸方向に対して傾斜して配設されていると判定する回転スピンドルの取り付け状態判定工程、とを含む、
ことを特徴とする回転スピンドルの取り付け状態確認方法が提供される。 A chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and the chuck table in the cutting feed direction (X-axis direction) A cutting feed means for cutting and feeding, an index feed means for indexing and feeding the cutting means in an index feed direction (Y-axis direction) orthogonal to the X-axis direction, and the cutting means perpendicular to the holding surface of the chuck table. Cutting feed means for cutting and feeding in the cutting feed direction (Z-axis direction),
The cutting means includes a spindle housing, a rotary spindle that is rotatably supported by the spindle housing and has a female screw hole at the center of the tip, and a blade mount that is attached to the tip of the rotary spindle and supports the cutting blade. A method for confirming the mounting state of the rotary spindle in a cutting apparatus configured to fix the blade mount by a fastening bolt that is screwed into the female screw hole provided in the rotary spindle,
A rotating member provided with a male screw threadably engaged with the female screw hole provided in the rotating spindle; and a micrometer mounted on the rotating member, and a detection terminal of the micrometer is connected to the male screw. A mounting in which the male screw of the rotating member constituting the mounting state confirmation jig of the rotating spindle positioned at a position eccentric from the shaft center is screwed into the female screw hole provided in the rotating spindle. Condition check jig mounting process,
A measuring jig mounting step of mounting a measuring jig having a detected plane on the holding surface of the chuck table with the detected plane facing the rotating spindle;
The chuck table is moved in the X-axis direction in a state where the detection terminal of the micrometer constituting the attachment state confirmation jig is in contact with the detection plane of the measurement jig placed on the holding surface of the chuck table. To change the measurement value by the micrometer, and when the measurement value by the micrometer fluctuates, rotate the chuck table so that the measurement value by the micrometer becomes constant. A measurement jig adjustment step for adjusting the detected plane of the measurement jig to be parallel to the X-axis direction;
After performing the measurement jig adjustment step, the detection terminal of the micrometer constituting the attachment state confirmation jig is brought into contact with the first point of the detection plane of the measurement jig, and the attachment The rotary spindle on which the state confirmation jig is mounted is rotated 180 degrees so that the detection terminal of the micrometer is brought into contact with the second point of the detection plane of the jig to be measured, Whether the first value at the point 1 and the second value at the second point are the same, and if the first value and the second value are the same, the rotation The spindle is arranged parallel to the Y-axis direction, and when the first value and the second value are not the same, the rotary spindle is arranged inclined with respect to the Y-axis direction. A rotating spindle mounting state determining step for determining that
There is provided a method for confirming the mounting state of a rotating spindle.

更に、本発明によれば、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向（X軸方向）に切削送りする切削送り手段と、該切削手段をX軸方向と直交する割り出し送り方向（Y軸方向）に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向（Z軸方向）に切り込み送りする切り込み送り手段とを具備し、
該切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され先端部中心に雌ネジ穴を備えた回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端部に装着され該切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、該ブレードマウントを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された切削装置における回転スピンドルの取り付け状態確認方法であって、
該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている回転スピンドルの取り付け状態確認治具を構成する該回動部材の雄ネジを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合して装着する取り付け状態確認治具装着工程と、
底面と該底面から直角に立設する外周面を有する円柱治具を、該チャックテーブルの保持面に該底面を載置する円柱治具載置工程と、
該取り付け状態確認治具を構成する該マイクロメーターの検出端子を該チャックテーブルの保持面に載置された該円柱治具の外周面に接触させた状態で該チャックテーブルをX軸方向に移動し、該マイクロメーターの値の第１の最大値を確認する第１の確認工程と、
該第１の確認工程を実施した後に該取り付け状態確認治具が装着された該回転スピンドルを１８０度回動し、該チャックテーブルをX軸方向に移動して該マイクロメーターの値の第２の最大値を確認する第２の確認工程と、
該第１の確認工程と該第２の確認工程によって確認された第１の最大値と第２の最大値が同一であるか否かを確認し、該第１の最大値と該第２の最大値が同一である場合には該回転スピンドルはZ軸方向と直交して配設されており、該第１の最大値と該第２の最大値が同一でない場合には該回転スピンドルはZ軸方向と直交する方向に対して傾斜して配設されていると判定する回転スピンドルの取り付け状態判定工程、とを含む、
ことを特徴とする回転スピンドルの取り付け状態確認方法が提供される。 Furthermore, according to the present invention, a chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and cutting the chuck table. Cutting feed means for cutting and feeding in the feed direction (X-axis direction), index feed means for indexing and feeding the cutting means in an index feed direction (Y-axis direction) perpendicular to the X-axis direction, and the cutting means for the chuck table Cutting feed means for cutting and feeding in a cutting feed direction (Z-axis direction) perpendicular to the holding surface of
The cutting means includes a spindle housing, a rotary spindle that is rotatably supported by the spindle housing and has a female screw hole at the center of the tip, and a blade mount that is attached to the tip of the rotary spindle and supports the cutting blade. A method for confirming the mounting state of the rotary spindle in a cutting apparatus configured to fix the blade mount by a fastening bolt that is screwed into the female screw hole provided in the rotary spindle,
A rotating member provided with a male screw threadably engaged with the female screw hole provided in the rotating spindle; and a micrometer mounted on the rotating member, and a detection terminal of the micrometer is connected to the male screw. A mounting in which the male screw of the rotating member constituting the mounting state confirmation jig of the rotating spindle positioned at a position eccentric from the shaft center is screwed into the female screw hole provided in the rotating spindle. Condition check jig mounting process,
A cylindrical jig having a bottom surface and an outer peripheral surface standing perpendicularly from the bottom surface, and a cylindrical jig mounting step of mounting the bottom surface on a holding surface of the chuck table;
The chuck table is moved in the X-axis direction in a state where the detection terminal of the micrometer constituting the attachment state confirmation jig is in contact with the outer peripheral surface of the cylindrical jig placed on the holding surface of the chuck table. A first confirmation step of confirming a first maximum value of the micrometer value;
After the first confirmation step, the rotary spindle on which the attachment state confirmation jig is mounted is rotated 180 degrees, the chuck table is moved in the X-axis direction, and a second value of the micrometer is obtained. A second confirmation step for confirming the maximum value;
It is confirmed whether or not the first maximum value and the second maximum value confirmed by the first confirmation step and the second confirmation step are the same, and the first maximum value and the second maximum value are confirmed. When the maximum value is the same, the rotary spindle is disposed perpendicular to the Z-axis direction, and when the first maximum value and the second maximum value are not the same, the rotary spindle is Z A rotating spindle mounting state determining step for determining that the rotating spindle is disposed to be inclined with respect to a direction orthogonal to the axial direction,
There is provided a method for confirming the mounting state of a rotating spindle.

本発明による切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具は、回転スピンドルに形成された雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられているので、雄ネジを回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴に螺合することにより、回転スピンドルに容易に装着することができる。
そして、マイクロメーターの検出端子をチャックテーブルの上面である保持面に載置された被測定治具の被検出平面の第１の点に接触させるとともに、取り付け状態確認治具を回転スピンドルを中心として１８０度回動してマイクロメーターの検出端子を被測定治具の被検出平面の第２の点に接触させ、第１の点の第１の値と第２の点の第２の値が同一であるか否かを確認することにより、回転スピンドルがY軸方向に対して平行であるか否かを容易に判定することができる。
また、回転スピンドルに装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具を構成するマイクロメーターの検出端子をチャックテーブルの上面である保持面に載置された円柱治具の外周面に接触させてマイクロメーターの値の第１の最大値を確認するとともに、取り付け状態確認治具を回転スピンドルを中心として１８０度回動して円柱治具の外周面に接触させマイクロメーターの値の第２の最大値を確認することにより、第１の最大値と第２の最大値が同一であるか否かに基づいて回転スピンドルがZ軸方向と直交して配設されているか否かを容易に判定することができる。 A rotating spindle mounting state confirmation jig for mounting a cutting blade according to the present invention includes a rotating member provided with a male screw that is screwed into a female screw hole formed in the rotating spindle, and a microscopic member mounted on the rotating member. Since the detection terminal of the micrometer is positioned at a position eccentric from the axis of the male screw, the male screw can be rotated by screwing into the female screw hole formed in the rotary spindle 62. Can be easily mounted on the spindle.
Then, the detection terminal of the micrometer is brought into contact with the first point of the detection plane of the jig to be measured placed on the holding surface which is the upper surface of the chuck table, and the attachment state confirmation jig is centered on the rotary spindle. Rotate 180 degrees to bring the detection terminal of the micrometer into contact with the second point of the detected plane of the jig to be measured, and the first value of the first point and the second value of the second point are the same It is possible to easily determine whether or not the rotating spindle is parallel to the Y-axis direction.
In addition, the micrometer detecting terminal of the rotating spindle mounted on the rotating spindle is brought into contact with the outer peripheral surface of the cylindrical jig placed on the holding surface which is the upper surface of the chuck table. The first maximum value is confirmed, and the attachment state confirmation jig is rotated 180 degrees about the rotary spindle to contact the outer peripheral surface of the cylindrical jig to obtain the second maximum value of the micrometer value. By checking, it is possible to easily determine whether or not the rotary spindle is disposed orthogonal to the Z-axis direction based on whether or not the first maximum value and the second maximum value are the same. it can.

本発明による切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具を用いて回転スピンドルの取り付け状態を確認する方法を実施する切削装置の斜視図。The perspective view of the cutting device which implements the method of confirming the attachment state of a rotation spindle using the attachment state confirmation jig | tool of the rotation spindle which mounts the cutting blade by this invention. 図１に示す切削装置に装備される切削手段を構成するスピンドルユニットの要部を示す斜視図。The perspective view which shows the principal part of the spindle unit which comprises the cutting means with which the cutting apparatus shown in FIG. 1 is equipped. 図２に示すスピンドルユニットの分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the spindle unit shown in FIG. 2. 本発明による切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具の斜視図。The perspective view of the attachment state confirmation jig | tool of the rotating spindle which mounts the cutting blade by this invention. 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における取り付け状態確認治具装着工程の説明図。Explanatory drawing of the attachment state confirmation jig | tool mounting process in the attachment state confirmation method of the rotating spindle by this invention. 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における被測定治具載置工程の説明図。Explanatory drawing of the to-be-measured jig mounting process in the attachment state confirmation method of the rotating spindle by this invention. 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における被測定治具調整工程の説明図。Explanatory drawing of the to-be-measured jig adjustment process in the attachment state confirmation method of the rotating spindle by this invention. 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における回転スピンドルの取り付け状態判定工程の説明図。Explanatory drawing of the attachment state determination process of the rotation spindle in the attachment state confirmation method of the rotation spindle by this invention. 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における円柱治具載置工程の説明図。Explanatory drawing of the cylindrical jig | tool mounting process in the attachment state confirmation method of the rotating spindle by this invention. 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における第１の最大値確認工程の説明図。Explanatory drawing of the 1st maximum value confirmation process in the attachment state confirmation method of the rotating spindle by this invention. 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における第２の最大値確認工程の説明図。Explanatory drawing of the 2nd maximum value confirmation process in the attachment state confirmation method of the rotating spindle by this invention.

以下、本発明によって構成された切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態調整方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a rotating spindle mounting state checking jig and a mounting state adjusting method for mounting a cutting blade constructed according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

図１には、本発明による切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態調整方法が実施される切削装置の斜視図が示されている。
図１に示された切削装置１は、基台２を具備している。この基台２上には、被加工物を保持し矢印Xで示す切削送り方向(X軸方向)に移動せしめるチャックテーブル機構３が配設されている。 FIG. 1 shows a perspective view of a cutting apparatus in which a method for adjusting the attachment state of a rotary spindle to which a cutting blade is attached according to the present invention is implemented.
The cutting device 1 shown in FIG. 1 includes a base 2. On the base 2, a chuck table mechanism 3 that holds a workpiece and moves it in a cutting feed direction (X-axis direction) indicated by an arrow X is disposed.

図示の実施形態におけるチャックテーブル機構３は、基台２の上面に配設された一対の案内レール３１、３１を備えている。この一対の案内レール３１、３１は、図１において矢印Xで示す切削送り方向(X軸方向)に沿って互いに平行に延設されている。この一対の案内レール３１、３１上には、チャックテーブル支持基台３２が移動可能に配設されている。即ち、チャックテーブル支持基台３２には一対の被案内溝３２１、３２１が設けられており、この被案内溝３２１、３２１を一対の案内レール３１、３１に嵌合することにより、チャックテーブル支持基台３２は一対の案内レール３１、３１に沿って移動可能に構成される。 The chuck table mechanism 3 in the illustrated embodiment includes a pair of guide rails 31, 31 disposed on the upper surface of the base 2. The pair of guide rails 31 are extended in parallel with each other along the cutting feed direction (X-axis direction) indicated by an arrow X in FIG. A chuck table support base 32 is movably disposed on the pair of guide rails 31, 31. In other words, the chuck table support base 32 is provided with a pair of guided grooves 321 and 321, and by fitting the guided grooves 321 and 321 to the pair of guide rails 31 and 31, the chuck table support base 32. The base 32 is configured to be movable along a pair of guide rails 31, 31.

チャックテーブル支持基台３２上には円筒部材３３が配設され、この円筒部材３３の上端にチャックテーブル３４が回転可能に配設されている。このチャックテーブル３４は、チャックテーブル本体３４１と該チャックテーブル本体３４１の上面に配設された吸着チャック３４２とからなっており、チャックテーブル本体３４１が円筒部材３３に回転可能に支持されている。吸着チャック３４２は多孔質セラミッックスの如き適宜の多孔性材料から構成されており、図示しない吸引手段に接続されている。従って、図示しない吸引手段を作動すると、吸着チャック３４２の上面である保持面に負圧が作用し、吸着チャック３４２の上面に載置された被加工物を吸引保持する。また、チャックテーブル３４は、円筒部材３３内に配設されたパルスモータ（図示せず）によって適宜回動せしめられるようになっている。なお、円筒部材３３の上端部には、チャックテーブル３４を挿通する穴を有しチャックテーブル支持基台３２を覆うカバー部材３５が配設されている。 A cylindrical member 33 is disposed on the chuck table support base 32, and a chuck table 34 is rotatably disposed at the upper end of the cylindrical member 33. The chuck table 34 includes a chuck table main body 341 and a suction chuck 342 disposed on the upper surface of the chuck table main body 341, and the chuck table main body 341 is rotatably supported by the cylindrical member 33. The suction chuck 342 is made of an appropriate porous material such as porous ceramics, and is connected to suction means (not shown). Accordingly, when a suction unit (not shown) is operated, a negative pressure is applied to the holding surface, which is the upper surface of the suction chuck 342, and the workpiece placed on the upper surface of the suction chuck 342 is sucked and held. The chuck table 34 is appropriately rotated by a pulse motor (not shown) disposed in the cylindrical member 33. A cover member 35 having a hole through which the chuck table 34 is inserted and covering the chuck table support base 32 is disposed at the upper end of the cylindrical member 33.

図１に基づいて説明を続けると、図示の実施形態におけるチャックテーブル機構３は、チャックテーブル３４を一対の案内レール３１、３１に沿って図１において矢印Xで示す切削送り方向(X軸方向)に移動させるための切削送り手段３６を備えている。切削送り手段３６は、一対の案内レール３１、３１の間に平行に配設された雄ネジロッド３６１と、雄ネジロッド３６１の一端部を回転可能に支持する軸受３６２と、雄ネジロッド３６１の他端に連結され該雄ネジロッド３６１を正転または逆転駆動するサーボモータ３６３とからなっている。このように構成された切削送り手段３６は、雄ネジロッド３６１が上記チャックテーブル支持基台３２に形成された雌ネジ３２２に螺合される。従って、切削送り手段３６は、それぞれサーボモータ３６３を駆動して雄ネジロッド３６１を正転または逆転駆動することにより、上記チャックテーブル支持基台３２に配設されたチャックテーブル３４を一対の案内レール３１、３１に沿ってX軸方向に移動することができる。 Continuing the description with reference to FIG. 1, the chuck table mechanism 3 in the illustrated embodiment moves the chuck table 34 along the pair of guide rails 31, 31 along the cutting feed direction (X-axis direction) indicated by the arrow X in FIG. 1. The cutting feed means 36 for moving to is provided. The cutting feed means 36 includes a male screw rod 361 disposed in parallel between the pair of guide rails 31, a bearing 362 that rotatably supports one end portion of the male screw rod 361, and the other end of the male screw rod 361. The servomotor 363 is connected to drive the male screw rod 361 in the forward or reverse direction. In the cutting feed means 36 configured in this manner, the male screw rod 361 is screwed into the female screw 322 formed on the chuck table support base 32. Accordingly, the cutting feed means 36 drives the servo motor 363 to drive the male screw rod 361 in the normal direction or the reverse direction, thereby moving the chuck table 34 disposed on the chuck table support base 32 to the pair of guide rails 31. , 31 can be moved in the X-axis direction.

図示の実施形態における切削装置１は、上記一対の案内レール３１、３１を跨いでX軸方向と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向(Y軸方向)に沿って配設された門型の支持フレーム４を備えている。この支持フレーム４は、一対の案内レール３１、３１に沿って移動可能に配設されたチャックテーブル３４の移動を許容する開口４０が設けられており、その前面４aには一対の案内レール４１、４１がY軸方向に沿って配設されている。このように構成された支持フレーム４の前面４aの上部に切削手段５が配設されている。切削手段５は、割り出し移動基台５１と切り込み移動基台５２およびスピンドルユニット６を具備している。割り出し移動基台５１は、後面５１bに上記支持フレーム４に設けられた一対の案内レール４１、４１と嵌合する被案内溝５１１、５１１が設けられており、この被案内溝５１１、５１１を一対の案内レール４１、４１に嵌合することにより一対の案内レール４１、４１に沿ってY軸方向に移動可能に構成される。なお、割り出し移動基台５１の前面５１aには、上記チャックテーブル３４の保持面に対して垂直な矢印Zで示す切り込み送り方向(Z軸方向)に沿って一対の案内レール５１２、５１２が設けられている。このように構成された割り出し移動基台５１は、割り出し送り手段５３によって一対の案内レール４１、４１に沿ってY軸方向に移動せしめられる。割り出し送り手段５３は、一対の案内レール４１、４１の間に平行に配設された雄ネジロッド５３１と、雄ネジロッド５３１の一端部を回転可能に支持する軸受５３２と、雄ネジロッド５３１の他端に連結され該雄ネジロッド５３１を正転または逆転駆動するパルスモータ５３３とからなっている。このように構成された割り出し送り手段５３は、雄ネジロッド５３１が割り出し移動基台５１の後面に突出して設けられた突出部に形成された雌ネジ（図示せず）に螺合される。従って、割り出し送り手段５３は、パルスモータ５３３を駆動して雄ネジロッド５３１を正転または逆転駆動することにより、割り出し移動基台５１上を一対の案内レール４１、４１に沿ってY軸方向に移動することができる。 The cutting apparatus 1 in the illustrated embodiment has a gate-shaped support disposed along the indexing feed direction (Y-axis direction) indicated by the arrow Y orthogonal to the X-axis direction across the pair of guide rails 31, 31. A frame 4 is provided. The support frame 4 is provided with an opening 40 that allows movement of a chuck table 34 that is movably disposed along the pair of guide rails 31, 31, and a pair of guide rails 41, 41 is arranged along the Y-axis direction. Cutting means 5 is disposed on the upper surface 4a of the support frame 4 thus configured. The cutting means 5 includes an indexing movement base 51, a cutting movement base 52, and a spindle unit 6. The indexing movement base 51 is provided with guided grooves 511 and 511 which are fitted to the pair of guide rails 41 and 41 provided on the support frame 4 on the rear surface 51b, and the guided grooves 511 and 511 are paired with each other. By being fitted to the guide rails 41, 41, the guide rails 41, 41 can be moved along the pair of guide rails 41, 41 in the Y-axis direction. A pair of guide rails 512 and 512 are provided on the front surface 51a of the index movement base 51 along the cutting feed direction (Z-axis direction) indicated by an arrow Z perpendicular to the holding surface of the chuck table 34. ing. The index moving base 51 configured in this way is moved in the Y-axis direction along the pair of guide rails 41 and 41 by the index feeding means 53. The index feeding means 53 includes a male screw rod 531 disposed in parallel between the pair of guide rails 41, a bearing 532 that rotatably supports one end of the male screw rod 531, and the other end of the male screw rod 531. A pulse motor 533 is connected to drive the male screw rod 531 in the forward or reverse direction. The index feeding means 53 configured as described above is screwed into a female screw (not shown) formed on a protruding portion provided so that the male screw rod 531 protrudes from the rear surface of the index moving base 51. Therefore, the index feeding means 53 moves in the Y-axis direction along the pair of guide rails 41 and 41 on the index moving base 51 by driving the pulse motor 533 to drive the male screw rod 531 in the normal direction or the reverse direction. can do.

上記切り込み移動基台５２は、後面５２bに上記割り出し移動基台５１の前面５１aに設けられた一対の案内レール５１２、５１２と嵌合する被案内溝５２１、５２１が設けられており、この被案内溝５２１、５２１を一対の案内レール５１２、５１２に嵌合することにより一対の案内レール５１２、５１２に沿ってZ軸方向に移動可能に構成される。このように構成された切り込み移動基台５２は、切り込み送り手段５４によって一対の案内レール５１２、５１２に沿ってZ軸方向に移動せしめられる。切り込み送り手段５４は、一対の案内レール５１２、５１２の間に平行に配設された雄ネジロッド５４１と、雄ネジロッド５４１の一端部を回転可能に支持する軸受（図示せず）と、雄ネジロッド５４１の他端に連結され該雄ネジロッド５４１を正転または逆転駆動するパルスモータ５４３とからなっている。このように構成された切り込み送り手段５４は、雄ネジロッド５４１が切り込み移動基台５２の後面に突出して設けられた突出部に形成された雌ネジ（図示せず）に螺合される。従って、切り込み送り手段５４は、それぞれパルスモータ５４３を駆動して雄ネジロッド５４１を正転または逆転駆動することにより、切り込み移動基台５２上を一対の案内レール５１２、５１２に沿ってZ軸方向に移動することができる。 The notch moving base 52 is provided with guided grooves 521 and 521 which are fitted to a pair of guide rails 512 and 512 provided on the front surface 51a of the indexing moving base 51 on the rear surface 52b. By fitting the grooves 521 and 521 to the pair of guide rails 512 and 512, the groove 521 and 521 can be moved along the pair of guide rails 512 and 512 in the Z-axis direction. The notch moving base 52 configured as described above is moved in the Z-axis direction along the pair of guide rails 512 and 512 by the notch feeding means 54. The notch feeding means 54 includes a male screw rod 541 disposed in parallel between the pair of guide rails 512 and 512, a bearing (not shown) that rotatably supports one end of the male screw rod 541, and a male screw rod 541. And a pulse motor 543 that is connected to the other end of the motor and drives the male screw rod 541 to rotate forward or backward. The incision feeding means 54 configured as described above is screwed into a female screw (not shown) formed on a projecting portion provided so that the male screw rod 541 projects from the rear surface of the incision moving base 52. Therefore, the cutting feed means 54 drives the pulse motor 543 and drives the male screw rod 541 in the normal direction or the reverse direction, thereby moving the cutting base 52 on the Z-axis direction along the pair of guide rails 512 and 512. Can move.

上記切り込み移動基台５２の前面５２a（YZ平面）には、スピンドルユニット６を支持するためのスピンドルユニット支持部材５５が装着されている。このスピンドルユニット支持部材５５はL字状に形成され、取り付け部５５１と、該取り付け部５５１の下端から直角に水平に延びる支持部５５２とからなっている。このように構成されたスピンドルユニット支持部材５５は、取り付け部５５１が切り込み移動基台５２の前面５２a（YZ平面）に取り付けられる。取り付け部５５１は、Z軸方向に長い４個の長穴５５１aが設けられており、この４個の長穴５５１aをそれぞれ挿通して配設された締結ボルト５５３によって切り込み移動基台５２の前面５２aに取り付けられる。また、スピンドルユニット支持部材５５を構成する支持部５５２にはX軸方向に長い４個の長穴５５２aが設けられており、この４個の長穴５５２aをそれぞれ挿通して配設された締結ボルト５５４によって支持部５５２の下面（XY平面）にスピンドルユニット６のユニットハウジング６１を装着する。 A spindle unit support member 55 for supporting the spindle unit 6 is mounted on the front surface 52a (YZ plane) of the cutting movement base 52. The spindle unit support member 55 is formed in an L shape, and includes an attachment portion 551 and a support portion 552 that extends horizontally from the lower end of the attachment portion 551 at a right angle. The spindle unit support member 55 configured as described above has a mounting portion 551 attached to the front surface 52a (YZ plane) of the cutting movement base 52. The attachment portion 551 is provided with four long holes 551a that are long in the Z-axis direction, and the front surface 52a of the cutting movement base 52 by fastening bolts 553 that are respectively inserted through the four long holes 551a. Attached to. The support portion 552 constituting the spindle unit support member 55 is provided with four long holes 552a that are long in the X-axis direction. The fastening bolts are respectively inserted through the four long holes 552a. The unit housing 61 of the spindle unit 6 is attached to the lower surface (XY plane) of the support portion 552 by 554.

上述したようにスピンドルユニット支持部材５５を構成する支持部５５２の下面（XY平面）に装着されたスピンドルユニット６について、図２および図３を参照して説明する。
図示の実施形態におけるスピンドルユニット６は、上記支持部５５２の下面（XY平面）に装着されるスピンドルハウジング６１と、該スピンドルハウジング６１に回転自在に支持された回転スピンドル６２と、該回転スピンドル６２の前端部に装着されるブレードマウント６３と、該ブレードマウント６３を回転スピンドル６２の前端部に取り付ける締結ボルト６４と、ブレードマウント６３に装着される切削ブレード６５と、該切削ブレード６５をブレードマウント６３との間に挟持固定する挟持ナット６６とによって構成されている。なお、回転スピンドル６２は、サーボモータ６７（図１参照）によって回転駆動されるように構成されている。 The spindle unit 6 attached to the lower surface (XY plane) of the support portion 552 constituting the spindle unit support member 55 as described above will be described with reference to FIGS.
The spindle unit 6 in the illustrated embodiment includes a spindle housing 61 mounted on the lower surface (XY plane) of the support portion 552, a rotary spindle 62 rotatably supported on the spindle housing 61, and the rotary spindle 62. A blade mount 63 attached to the front end portion, a fastening bolt 64 for attaching the blade mount 63 to the front end portion of the rotary spindle 62, a cutting blade 65 attached to the blade mount 63, and the cutting blade 65 to the blade mount 63 It is comprised by the clamping nut 66 clamped between these. The rotary spindle 62 is configured to be rotationally driven by a servo motor 67 (see FIG. 1).

上記回転スピンドル６２の前端面には雌ネジ穴４２１が形成されており、該雌ネジ穴４２１に締結ボルト６４を螺合することにより、ブレードマウント６３を回転スピンドル６２の前端に固定するようになっている。ブレードマウント６３は、円環状のフランジ部６３１と、該フランジ部６３１の中心部から側方に突出して形成され中心部に嵌合穴６３２aを備えた円柱状の装着部６３２とからなっている。このように形成されたブレードマウント６３は、円柱状の装着部６３２の嵌合穴６３２aを回転スピンドル６２の前端部に嵌合し、締結ボルト６４を嵌合穴６３２aに挿通して回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合することにより回転スピンドル６２の前端部に取り付けられる。なお、ブレードマウント６３を構成する装着部６３２の前端部外周面には、雄ネジ６３２bが形成されている。 A female screw hole 421 is formed in the front end surface of the rotary spindle 62, and the fastening bolt 64 is screwed into the female screw hole 421, thereby fixing the blade mount 63 to the front end of the rotary spindle 62. ing. The blade mount 63 includes an annular flange portion 631 and a columnar mounting portion 632 that is formed so as to protrude laterally from the center portion of the flange portion 631 and includes a fitting hole 632a at the center portion. In the blade mount 63 formed in this way, the fitting hole 632a of the columnar mounting portion 632 is fitted to the front end portion of the rotary spindle 62, and the fastening bolt 64 is inserted into the fitting hole 632a to the rotary spindle 62. It is attached to the front end portion of the rotary spindle 62 by being screwed into the formed female screw hole 421. A male screw 632 b is formed on the outer peripheral surface of the front end portion of the mounting portion 632 constituting the blade mount 63.

上記切削ブレード６５は、円環状の基台６５１と、該円環状の基台６５１の外周部側面に装着された円環状の切れ刃６５２とからなっている。円環状の基台６５１は、中心部に上記ブレードマウント６３の装着部６３２に嵌合する嵌合穴６５１aが設けられており、外周側に切れ刃装着部６５１bが設けられている。この切れ刃装着部６５１bの側面に円環状の切れ刃６５２が切れ刃装着部６５１bの外周縁から突出して装着される。図示の実施形態においては円環状の基台６５１がアルミニウムによって形成されており、環状の切れ刃６５２は切れ刃装着部６５１bの側面に砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレードからなっている。 The cutting blade 65 includes an annular base 651 and an annular cutting edge 652 attached to the outer peripheral side surface of the annular base 651. The annular base 651 is provided with a fitting hole 651a that fits into the mounting portion 632 of the blade mount 63 in the center, and a cutting blade mounting portion 651b on the outer peripheral side. An annular cutting blade 652 is mounted on the side surface of the cutting blade mounting portion 651b so as to protrude from the outer peripheral edge of the cutting blade mounting portion 651b. In the illustrated embodiment, an annular base 651 is made of aluminum, and the annular cutting edge 652 is composed of an electroformed blade in which abrasive grains are bonded to the side surface of the cutting edge mounting portion 651b by metal plating such as nickel. ing.

上述したように構成された切削ブレード６５は、円環状の基台６５１の嵌合穴６５１aを回転スピンドル６２に取付けられたブレードマウント６３の装着部６３２に嵌合し、装着部６３２に形成された雄ネジ６３２bに挟持ナット６６を螺合することによって挟持され固定される。 The cutting blade 65 configured as described above is formed in the mounting portion 632 by fitting the fitting hole 651 a of the annular base 651 into the mounting portion 632 of the blade mount 63 attached to the rotary spindle 62. The holding nut 66 is screwed into the male screw 632b to be held and fixed.

以上のように構成されたスピンドルユニット６は、切削ブレード６５を装着する回転スピンドル６２がX軸方向と直交するY軸方向に対して平行に配設されているとともに、回転スピンドル６２がチャックテーブル３４の上面である保持面に対して垂直なZ軸方向と直交して配設されていることが重要である。以下、切削ブレード６５を装着する回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行であるか否か、また回転スピンドル６２がZ軸方向と直交して配設されているか否かを容易に判定することができる回転スピンドルの取り付け状態確認治具について、図４を参照して説明する。 In the spindle unit 6 configured as described above, the rotary spindle 62 on which the cutting blade 65 is mounted is disposed in parallel to the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction, and the rotary spindle 62 is the chuck table 34. It is important that they are arranged perpendicular to the Z-axis direction perpendicular to the holding surface, which is the upper surface of the substrate. Hereinafter, it is easily determined whether or not the rotary spindle 62 on which the cutting blade 65 is mounted is parallel to the Y-axis direction, and whether or not the rotary spindle 62 is disposed orthogonal to the Z-axis direction. A rotating spindle mounting state checking jig that can be used will be described with reference to FIG.

図４に示す回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０は、上記回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に装着される回動部材１１０と、該回動部材１１０に取り付けられたマイクロメーター１２０とからなっている。回動部材１１０は、図示の実施形態においては円柱状に形成され、その一端面に上記回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合する雄ネジ１１１が突出して設けられている。この回動部材１１０の外周には、径方向に突出するマイクロメーター取り付け部材１３０が設けられている。マイクロメーター１２０は、マイクロメーター取り付け部材１３０の先端に適宜の固定手段によって装着される。なお、マイクロメーター取り付け部材１３０の先端に装着されたマイクロメーター１２０は、検出端子１２１が回動部材１１０の雄ネジ１１１と反対側に向けて配設される。このようにして、マイクロメーター取り付け部材１３０に装着されたマイクロメーター１２０の検出端子１２１は、回動部材１１０の雄ネジ１１１の軸心から偏芯した位置に位置付けられる。 The rotating spindle mounting state checking jig 10 shown in FIG. 4 includes a rotating member 110 mounted in the female screw hole 421 formed in the rotating spindle 62, and a micrometer 120 mounted on the rotating member 110. It is made up of. In the illustrated embodiment, the rotating member 110 is formed in a columnar shape, and a male screw 111 that is screwed into a female screw hole 421 formed in the rotary spindle 62 projects from one end surface of the rotating member 110. A micrometer mounting member 130 protruding in the radial direction is provided on the outer periphery of the rotating member 110. The micrometer 120 is attached to the tip of the micrometer mounting member 130 by appropriate fixing means. Note that the micrometer 120 attached to the tip of the micrometer mounting member 130 has the detection terminal 121 disposed on the opposite side of the rotating member 110 from the male screw 111. In this way, the detection terminal 121 of the micrometer 120 attached to the micrometer attachment member 130 is positioned at a position eccentric from the axis of the male screw 111 of the rotating member 110.

次に、上述した回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を用いて、上記スピンドルユニット６における切削ブレード６５を装着する回転スピンドル６２の取り付け状態を確認する方法について説明する。
先ず、回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行であるか否かを判定する方法について説明する。
回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行であるか否かを判定するには、先ず回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成する回動部材１１０の雄ネジ１１１を回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合して、図５に示すように回転スピンドル６２の先端に回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を装着する（取り付け状態確認治具装着工程）。このようにして、回転スピンドル６２の先端に装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０は、マイクロメーター１２０の検出端子１２１が回転スピンドル６２の軸心から偏芯した位置に位置付けられる。 Next, a method for confirming the attachment state of the rotary spindle 62 to which the cutting blade 65 is attached in the spindle unit 6 will be described using the above-described rotary spindle attachment state confirmation jig 10.
First, a method for determining whether or not the rotary spindle 62 is parallel to the Y-axis direction will be described.
In order to determine whether or not the rotary spindle 62 is parallel to the Y-axis direction, first, the male screw 111 of the rotary member 110 constituting the rotary spindle attachment state checking jig 10 is formed on the rotary spindle 62. As shown in FIG. 5, the rotary spindle 62 mounting state check jig 10 is mounted on the tip of the rotary spindle 62 (mounting state checking jig mounting step). In this manner, the attachment state confirmation jig 10 attached to the tip of the rotation spindle 62 is positioned at a position where the detection terminal 121 of the micrometer 120 is eccentric from the axis of the rotation spindle 62.

次に、図６に示すようにチャックテーブル３４の上面である保持面に被測定治具１５を載置する。この被測定治具１５は、図示の実施形態においては四角柱体からなっており、その長さは上記マイクロメーター１２０の検出端子１２１が回転スピンドル６２を中心として１８０度旋回する範囲より長く設定されている。このように構成された被測定治具１５は、チャックテーブル３４の上面である保持面に長手方向がX軸方向に沿って載置される。従って、チャックテーブル３４の上面である保持面に載置された被測定治具１５は、被検出平面である一つの面１５１が回転スピンドル６２側に向けて位置付けられることになる（被測定治具載置工程）。 Next, as shown in FIG. 6, the jig 15 to be measured is placed on the holding surface which is the upper surface of the chuck table 34. The jig 15 to be measured is a quadrangular prism in the illustrated embodiment, and its length is set to be longer than the range in which the detection terminal 121 of the micrometer 120 rotates 180 degrees around the rotary spindle 62. ing. The jig 15 to be measured thus configured is placed on the holding surface, which is the upper surface of the chuck table 34, with its longitudinal direction along the X-axis direction. Therefore, the jig 15 to be measured placed on the holding surface which is the upper surface of the chuck table 34 is positioned so that one surface 151 which is the detection plane is directed toward the rotary spindle 62 (the jig to be measured). Placement process).

上述した被測定治具載置工程を実施したならば、上記割り出し送り手段５３を作動して切削手段５のスピンドルユニット６を前進させ、図７に示すように回転スピンドル６２の先端に装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成するマイクロメーター１２０の検出端子１２１をチャックテーブル３４の保持面に載置された被測定治具１５の被検出平面１５１に接触させる。次に、上記切削送り手段３６を作動してチャックテーブル３４を図７においてX1で示す方向に移動しつつマイクロメーター１２０による計測値の変動を確認する。そして、マイクロメーター１２０による計測値が変動する場合には、マイクロメーターによる計測値が一定になるようにチャックテーブル３４を回動して被測定治具１５の被検出平面１５１がX軸方向と平行になるように調整する（被測定治具調整工程）。 If the above-mentioned measurement jig placing step is performed, the index feeding means 53 is operated to advance the spindle unit 6 of the cutting means 5 and is attached to the tip of the rotary spindle 62 as shown in FIG. The detection terminal 121 of the micrometer 120 that constitutes the rotating spindle attachment state checking jig 10 is brought into contact with the detected flat surface 151 of the measuring jig 15 placed on the holding surface of the chuck table 34. Next, the cutting feed means 36 is operated to move the chuck table 34 in the direction indicated by X1 in FIG. When the measurement value by the micrometer 120 fluctuates, the chuck table 34 is rotated so that the measurement value by the micrometer becomes constant, and the detection plane 151 of the jig 15 to be measured is parallel to the X-axis direction. (Measurement jig adjustment process).

上述した被測定治具調整工程を実施したしたならば、図８において実線で示すように回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成するマイクロメーター１２０の検出端子１２１を被測定治具１５の被検出平面１５１の任意の第１の点に接触させるとともに、図８において２点鎖線で示すように回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を回転スピンドル６２を中心として１８０度回動してマイクロメーター１２０の検出端子１２１を被測定治具１５の被検出平面１５１の第２の点に接触させる。なお、回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０の回動は、回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０をもって回転スピンドル６２を回動することによって容易に実施することができる。そして、マイクロメーターによる計測値が第１の点（図８において実線で示す位置）における第１の値と第２の点（図８において２点鎖線で示す位置）における第２の値が同一であるか否かを確認し、第１の値と第２の値が同一である場合には回転スピンドル３４はY軸方向に対して平行に配設されており、第１の値と第２の値が同一でない場合には回転スピンドル６２はY軸方向に対して傾斜して配設されていると判定する（回転スピンドルの取り付け状態判定工程）。 When the measurement jig adjustment process described above is performed, the detection terminal 121 of the micrometer 120 constituting the rotary spindle attachment state confirmation jig 10 is connected to the measurement jig 15 as shown in FIG. The micrometer 120 is brought into contact with an arbitrary first point on the detection plane 151 and rotated 180 degrees about the rotary spindle 62 by rotating the rotary spindle attachment state checking jig 10 as shown by a two-dot chain line in FIG. The detection terminal 121 is brought into contact with the second point of the detection plane 151 of the jig 15 to be measured. Note that the rotation spindle attachment state confirmation jig 10 can be easily rotated by turning the rotation spindle 62 with the rotation spindle attachment state confirmation jig 10. Then, the measured value by the micrometer is the same as the first value at the first point (position indicated by a solid line in FIG. 8) and the second value at the second point (position indicated by a two-dot chain line in FIG. 8). If the first value and the second value are the same, the rotary spindle 34 is arranged in parallel to the Y-axis direction, and the first value and the second value If the values are not the same, it is determined that the rotary spindle 62 is disposed inclined with respect to the Y-axis direction (rotating spindle attachment state determination step).

上述した回転スピンドルの取り付け状態判定工程を実施した結果、上記第１の値と第２の値が同一でなく回転スピンドル６２がY軸方向に対して傾斜して配設されていると判定した場合には、上記スピンドルユニット支持部材５５を構成する支持部５５２の下面（XY平面）にスピンドルユニット６のユニットハウジング６１を装着している４個の締結ボルト５５４を弛め、スピンドルユニット６のユニットハウジング６１を支持部５５２に形成された４個の長穴５５２aに沿ってXY平面で微回動し、回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行となるように調整する（XY平面取り付け状態調整工程）。なお、XY平面取り付け状態調整工程と上記回転スピンドルの取り付け状態判定工程は、交互に実施して回転スピンドル６２をY軸方向に対して平行となるように位置付ける。 When the first and second values are not the same as a result of performing the above-described rotating spindle attachment state determining step, and it is determined that the rotating spindle 62 is disposed inclined with respect to the Y-axis direction. In this case, the four fastening bolts 554 on which the unit housing 61 of the spindle unit 6 is mounted are loosened on the lower surface (XY plane) of the support portion 552 constituting the spindle unit support member 55, and the unit housing of the spindle unit 6 is loosened. 61 is finely rotated in the XY plane along the four elongated holes 552a formed in the support portion 552, and the rotary spindle 62 is adjusted to be parallel to the Y-axis direction (XY plane attachment state adjustment process) ). The XY plane attachment state adjustment step and the rotation spindle attachment state determination step are alternately performed to position the rotation spindle 62 so as to be parallel to the Y-axis direction.

次に、回転スピンドル６２がチャックテーブル３４の上面である保持面に対して垂直なZ軸方向と直交して配設されているか否かを判定する方法について説明する。
回転スピンドル６２がZ軸方向と直交して配設されているか否かを判定する場合にも、先ず回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成する回動部材１１０の雄ネジ１１１を回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合して、図５に示すように回転スピンドル６２の先端に回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を装着する（取り付け状態確認治具装着工程）。 Next, a method for determining whether or not the rotary spindle 62 is disposed perpendicular to the Z-axis direction perpendicular to the holding surface which is the upper surface of the chuck table 34 will be described.
Even when it is determined whether or not the rotary spindle 62 is disposed orthogonal to the Z-axis direction, first, the male screw 111 of the rotary member 110 constituting the rotary spindle attachment state checking jig 10 is attached to the rotary spindle 62. Then, as shown in FIG. 5, the rotary spindle 62 mounting state checking jig 10 is mounted on the tip of the rotating spindle 62 (mounting state checking jig mounting step).

次に、図９に示すようにチャックテーブル３４の上面である保持面に円柱治具１６を載置する（円柱治具載置工程）。この円柱治具１６は円形の底面１６１と該底面１６１から直角に立設する外周面１６２を有する円柱体からなっており、その長さは上記マイクロメーター１２０の検出端子１２１が回転スピンドル６２を中心として１８０度旋回する範囲より長く設定されている。 Next, as shown in FIG. 9, the columnar jig 16 is placed on the holding surface which is the upper surface of the chuck table 34 (columnar jig placement step). The cylindrical jig 16 is formed of a cylindrical body having a circular bottom surface 161 and an outer peripheral surface 162 standing upright from the bottom surface 161. The length of the cylindrical jig 16 is such that the detection terminal 121 of the micrometer 120 is centered on the rotary spindle 62. Is set longer than the range of turning 180 degrees.

上述した円柱治具載置工程を実施したならば、上記割り出し送り手段５３を作動して切削手段５のスピンドルユニット６を前進させ、図１０に示すように回転スピンドル６２の先端に装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成するマイクロメーター１２０の検出端子１２１をチャックテーブル３４の保持面に載置された円柱治具１６の外周面１６２に接触させる。次に、上記切削送り手段３６を作動してチャックテーブル３４を図１０において紙面垂直な方向に移動し、マイクロメーター１２０の値の第１の最大値を確認する（第１の最大値確認工程）。なお、マイクロメーター１２０の値の第１の最大値とは、円柱治具１６の外周面１６２に接触しているマイクロメーター１２０の検出端子１２１が接触した状態でチャックテーブル３４の保持面に載置された円柱治具１６が図１０において紙面垂直な方向に移動する際に、円柱治具１６の外周面１６２に接触している検出端子１２１が押されて後退する移動量が最大となるマイクロメーター１２０の値をいう。 When the above-described columnar jig placing step is performed, the indexing feeding means 53 is operated to advance the spindle unit 6 of the cutting means 5, and the rotation attached to the tip of the rotating spindle 62 as shown in FIG. The detection terminal 121 of the micrometer 120 constituting the spindle attachment state confirmation jig 10 is brought into contact with the outer peripheral surface 162 of the columnar jig 16 placed on the holding surface of the chuck table 34. Next, the cutting feed means 36 is actuated to move the chuck table 34 in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 10, and the first maximum value of the value of the micrometer 120 is confirmed (first maximum value confirmation step). . The first maximum value of the micrometer 120 is set on the holding surface of the chuck table 34 in a state where the detection terminal 121 of the micrometer 120 in contact with the outer peripheral surface 162 of the cylindrical jig 16 is in contact. When the cylindrical jig 16 is moved in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 10, the amount of movement by which the detection terminal 121 in contact with the outer peripheral surface 162 of the cylindrical jig 16 is pushed and moved backward is maximized. A value of 120 is said.

上述した第１の最大値確認工程を実施したならば、図１１に示すように取り付け状態確認治具１５を回転スピンドル６２を中心として１８０度回動する。そして、上記切削送り手段３６を作動してチャックテーブル３４を図１１において紙面垂直な方向に移動し、マイクロメーター１２０の値の第２の最大値を確認する（第２の最大値確認工程）。なお、マイクロメーター１２０の値の第２の最大値とは、円柱治具１６の外周面１６２に接触しているマイクロメーター１２０の検出端子１２１が接触した状態でチャックテーブル３４の保持面に載置された円柱治具１６が図１０において紙面垂直な方向に移動する際に、円柱治具１６の外周面１６２に接触している検出端子１２１が押されて後退する移動量が最大となるマイクロメーター１２０の値をいう。 When the first maximum value checking step described above is performed, the attachment state checking jig 15 is rotated 180 degrees around the rotary spindle 62 as shown in FIG. Then, the cutting feed means 36 is actuated to move the chuck table 34 in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 11, and the second maximum value of the value of the micrometer 120 is confirmed (second maximum value confirmation step). Note that the second maximum value of the value of the micrometer 120 is placed on the holding surface of the chuck table 34 in a state where the detection terminal 121 of the micrometer 120 that is in contact with the outer peripheral surface 162 of the cylindrical jig 16 is in contact. When the cylindrical jig 16 is moved in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 10, the amount of movement by which the detection terminal 121 in contact with the outer peripheral surface 162 of the cylindrical jig 16 is pushed and moved backward is maximized. A value of 120 is said.

上記第１の最大値確認工程および第２の最大値確認工程を実施することにより上記第１の最大値と第２の最大値を確認したならば、第１の最大値と第２の最大値に基づいて回転スピンドル６２がZ軸方向と直交して配設されているか否かを判定する。即ち、上記第１の最大値と第２の最大値が同一である場合には回転スピンドル６２はZ軸方向と直交して配設されており、第１の最大値と第２の最大値が同一でない場合には回転スピンドル６２はZ軸方向と直交する方向に対して傾斜して配設されていると判定する（回転スピンドルの取り付け状態判定工程）。 If the first maximum value and the second maximum value are confirmed by performing the first maximum value confirmation step and the second maximum value confirmation step, the first maximum value and the second maximum value Based on the above, it is determined whether or not the rotary spindle 62 is disposed perpendicular to the Z-axis direction. That is, when the first maximum value and the second maximum value are the same, the rotary spindle 62 is disposed orthogonal to the Z-axis direction, and the first maximum value and the second maximum value are the same. If they are not the same, it is determined that the rotary spindle 62 is disposed inclined with respect to the direction orthogonal to the Z-axis direction (rotating spindle attachment state determination step).

上述した回転スピンドルの取り付け状態判定工程を実施した結果、上記第１の最大値と第２の最大値が同一でなく回転スピンドル６２がZ軸方向と直交する方向に対して傾斜して配設されていると判定した場合には、上記切り込み移動基台５２の前面５２a（YZ平面）に上記スピンドルユニット支持部材５５を構成する取り付け部５５１を装着している４個の締結ボルト５５３を弛め、取り付け部５５１に形成された４個の長穴５５１aに沿ってYZ平面で微回動し、回転スピンドル６２がZ軸方向と直交するように調整する（YZ平面取り付け状態調整工程）。なお、YZ平面取り付け状態調整工程と上記回転スピンドルの取り付け状態判定工程は、交互に実施して回転スピンドル６２をZ軸方向と直交するように位置付ける。 As a result of performing the above-described rotating spindle attachment state determining step, the first maximum value and the second maximum value are not the same, and the rotating spindle 62 is disposed inclined with respect to the direction orthogonal to the Z-axis direction. If it is determined that the four fastening bolts 553 are attached to the front surface 52a (YZ plane) of the notch moving base 52, the mounting portions 551 that constitute the spindle unit support member 55 are loosened. The YZ plane is slightly rotated along the four long holes 551a formed in the mounting portion 551, and the rotary spindle 62 is adjusted to be orthogonal to the Z-axis direction (YZ plane mounting state adjusting step). It should be noted that the YZ plane attachment state adjustment step and the rotation spindle attachment state determination step are alternately performed to position the rotation spindle 62 so as to be orthogonal to the Z-axis direction.

以上のように図示の実施形態における回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０は、上記回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合する雄ネジ１１１を備えた回動部材１１０と、該回動部材１１０に装着されたマイクロメーター１２０とからなり、該マイクロメーター１２０の検出端子１２１が雄ネジ１１１の軸心から偏芯した位置に位置付けられているので、雄ネジ１１１を回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合することにより、回転スピンドル６２に容易に装着することができる。
そして、マイクロメーター１２０の検出端子１２１をチャックテーブル３４の上面である保持面に載置された被測定治具１５の被検出平面１５１の第１の点に接触させるとともに、取り付け状態確認治具１５を回転スピンドル６２を中心として１８０度回動してマイクロメーター１２０の検出端子１２１を被測定治具１５の被検出平面１５１の第２の点に接触させ、第１の点の第１の値と第２の点の第２の値が同一であるか否かを確認することにより、回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行であるか否かを容易に判定することができる。 As described above, the rotating spindle attachment state checking jig 10 in the illustrated embodiment includes the rotating member 110 including the male screw 111 that is screwed into the female screw hole 421 formed in the rotating spindle 62, and the rotating member 110. Since the detection terminal 121 of the micrometer 120 is positioned at a position eccentric from the axis of the male screw 111, the male screw 111 is formed on the rotary spindle 62. By screwing into the formed female screw hole 421, the rotary spindle 62 can be easily mounted.
Then, the detection terminal 121 of the micrometer 120 is brought into contact with the first point of the detection plane 151 of the jig 15 to be measured placed on the holding surface which is the upper surface of the chuck table 34, and the attachment state confirmation jig 15 Is rotated 180 degrees around the rotary spindle 62 to bring the detection terminal 121 of the micrometer 120 into contact with the second point of the detection plane 151 of the jig 15 to be measured, and the first value of the first point By checking whether or not the second value of the second point is the same, it can be easily determined whether or not the rotary spindle 62 is parallel to the Y-axis direction.

また、回転スピンドル６２に装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成するマイクロメーター１２０の検出端子１２１をチャックテーブル３４の上面である保持面に載置された円柱治具１６の外周面１６２に接触させてマイクロメーター１２０の値の第１の最大値を確認するとともに、取り付け状態確認治具１５を回転スピンドル６２を中心として１８０度回動して円柱治具１６の外周面１６２に接触させマイクロメーター１２０の値の第２の最大値を確認することにより、第１の最大値と第２の最大値が同一であるか否かに基づいて回転スピンドル６２がZ軸方向と直交して配設されているか否かを容易に判定することができる。 Further, the outer peripheral surface of the cylindrical jig 16 in which the detection terminal 121 of the micrometer 120 constituting the mounting state confirmation jig 10 mounted on the rotary spindle 62 is placed on the holding surface which is the upper surface of the chuck table 34. 162, the first maximum value of the value of the micrometer 120 is confirmed, and the attachment state confirmation jig 15 is rotated 180 degrees about the rotary spindle 62 to contact the outer peripheral surface 162 of the columnar jig 16. By confirming the second maximum value of the micrometer 120, the rotary spindle 62 is orthogonal to the Z-axis direction based on whether the first maximum value and the second maximum value are the same. It can be easily determined whether or not it is arranged.

１：切削装置
２：基台
３：チャックテーブル機構
３２：チャックテーブル支持基台
３４：チャックテーブル
３６：切削送り手段
４：支持フレーム
５：切削手段
５１：割り出し移動基台
５２：切り込み移動基台
５３：割り出し送り手段
５４：切り込み送り手段
５５：スピンドルユニット支持部材
６：スピンドルユニット
６１：ユニットハウジング
６２：回転スピンドル
６３：ブレードマウント
６４：締結ボルト
６５：切削ブレード
６６：挟持ナット
６７：サーボモータ
１０：回転スピンドルの取り付け状態確認治具
１１０：回動部材
１２０：マイクロメーター
１５：被測定治具
１６：円柱治具
1: Cutting device 2: Base 3: Chuck table mechanism 32: Chuck table support base 34: Chuck table 36: Cutting feed means 4: Support frame 5: Cutting means 51: Indexing movement base 52: Cutting movement base 53 : Index feeding means 54: Cutting feed means 55: Spindle unit support member 6: Spindle unit 61: Unit housing 62: Rotating spindle 63: Blade mount 64: Fastening bolt 65: Cutting blade 66: Nipping nut 67: Servo motor 10: Rotation Spindle attachment state confirmation jig 110: Rotating member 120: Micrometer 15: Jig to be measured 16: Cylinder jig

Claims

A chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and a cutting feed for cutting and feeding the chuck table in a cutting feed direction. Means, index feed means for indexing and feeding the cutting means in an index feed direction orthogonal to the cutting feed direction, and cutting feed means for cutting and feeding the cutting means in a cut feed direction perpendicular to the holding surface of the chuck table And
The cutting means includes a spindle housing, a rotary spindle that is rotatably supported by the spindle housing and has a female screw hole at the center of the tip, and a blade mount that is attached to the tip of the rotary spindle and supports the cutting blade. A rotary spindle mounting state confirmation jig in a cutting device configured to be fixed by a fastening bolt that is screwed into the female screw hole provided in the rotary spindle.
A rotating member provided with a male screw threadably engaged with the female screw hole provided in the rotating spindle; and a micrometer mounted on the rotating member, and a detection terminal of the micrometer is connected to the male screw. It is located at a position that is eccentric from the axis.
An installation state confirmation jig for a rotating spindle to which a cutting blade is mounted.

A chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and the chuck table in the cutting feed direction (X-axis direction) A cutting feed means for cutting and feeding, an index feed means for indexing and feeding the cutting means in an index feed direction (Y-axis direction) orthogonal to the X-axis direction, and the cutting means perpendicular to the holding surface of the chuck table. Cutting feed means for cutting and feeding in the cutting feed direction (Z-axis direction),
The cutting means includes a spindle housing, a rotary spindle that is rotatably supported by the spindle housing and has a female screw hole at the center of the tip, and a blade mount that is attached to the tip of the rotary spindle and supports the cutting blade. A method for confirming the mounting state of the rotary spindle in a cutting apparatus configured to fix the blade mount by a fastening bolt that is screwed into the female screw hole provided in the rotary spindle,
A rotating member provided with a male screw threadably engaged with the female screw hole provided in the rotating spindle; and a micrometer mounted on the rotating member, and a detection terminal of the micrometer is connected to the male screw. A mounting in which the male screw of the rotating member constituting the mounting state confirmation jig of the rotating spindle positioned at a position eccentric from the shaft center is screwed into the female screw hole provided in the rotating spindle. Condition check jig mounting process,
A measuring jig mounting step of mounting a measuring jig having a detected plane on the holding surface of the chuck table with the detected plane facing the rotating spindle;
The chuck table is moved in the X-axis direction in a state where the detection terminal of the micrometer constituting the attachment state confirmation jig is in contact with the detection plane of the measurement jig placed on the holding surface of the chuck table. To change the measurement value by the micrometer, and when the measurement value by the micrometer fluctuates, rotate the chuck table so that the measurement value by the micrometer becomes constant. A measurement jig adjustment step for adjusting the detected plane of the measurement jig to be parallel to the X-axis direction;
After performing the measurement jig adjustment step, the detection terminal of the micrometer constituting the attachment state confirmation jig is brought into contact with the first point of the detection plane of the measurement jig, and the attachment The rotary spindle on which the state confirmation jig is mounted is rotated 180 degrees so that the detection terminal of the micrometer is brought into contact with the second point of the detection plane of the jig to be measured, Whether the first value at the point 1 and the second value at the second point are the same, and if the first value and the second value are the same, the rotation The spindle is arranged parallel to the Y-axis direction, and when the first value and the second value are not the same, the rotary spindle is arranged inclined with respect to the Y-axis direction. A rotating spindle mounting state determining step for determining that
A method for confirming the mounting state of a rotating spindle.

A chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and the chuck table in the cutting feed direction (X-axis direction) A cutting feed means for cutting and feeding, an index feed means for indexing and feeding the cutting means in an index feed direction (Y-axis direction) orthogonal to the X-axis direction, and the cutting means perpendicular to the holding surface of the chuck table. Cutting feed means for cutting and feeding in the cutting feed direction (Z-axis direction),
The cutting means includes a spindle housing, a rotary spindle that is rotatably supported by the spindle housing and has a female screw hole at the center of the tip, and a blade mount that is attached to the tip of the rotary spindle and supports the cutting blade. A method for confirming the mounting state of the rotary spindle in a cutting apparatus configured to fix the blade mount by a fastening bolt that is screwed into the female screw hole provided in the rotary spindle,
A rotating member provided with a male screw threadably engaged with the female screw hole provided in the rotating spindle; and a micrometer mounted on the rotating member, and a detection terminal of the micrometer is connected to the male screw. A mounting in which the male screw of the rotating member constituting the mounting state confirmation jig of the rotating spindle positioned at a position eccentric from the shaft center is screwed into the female screw hole provided in the rotating spindle. Condition check jig mounting process,
A cylindrical jig having a bottom surface and an outer peripheral surface standing perpendicularly from the bottom surface, and a cylindrical jig mounting step of mounting the bottom surface on a holding surface of the chuck table;
The chuck table is moved in the X-axis direction in a state where the detection terminal of the micrometer constituting the attachment state confirmation jig is in contact with the outer peripheral surface of the cylindrical jig placed on the holding surface of the chuck table. A first confirmation step of confirming a first maximum value of the micrometer value;
After the first confirmation step, the rotary spindle on which the attachment state confirmation jig is mounted is rotated 180 degrees, the chuck table is moved in the X-axis direction, and a second value of the micrometer is obtained. A second confirmation step for confirming the maximum value;
It is confirmed whether or not the first maximum value and the second maximum value confirmed by the first confirmation step and the second confirmation step are the same, and the first maximum value and the second maximum value are confirmed. When the maximum value is the same, the rotary spindle is disposed perpendicular to the Z-axis direction, and when the first maximum value and the second maximum value are not the same, the rotary spindle is Z A rotating spindle mounting state determining step for determining that the rotating spindle is disposed to be inclined with respect to a direction orthogonal to the axial direction,
A method for confirming the mounting state of a rotating spindle.