JP5603555B2 - 被熱処理物の熱処理方法 - Google Patents
被熱処理物の熱処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5603555B2 JP5603555B2 JP2009026085A JP2009026085A JP5603555B2 JP 5603555 B2 JP5603555 B2 JP 5603555B2 JP 2009026085 A JP2009026085 A JP 2009026085A JP 2009026085 A JP2009026085 A JP 2009026085A JP 5603555 B2 JP5603555 B2 JP 5603555B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- heat
- heat treatment
- treated
- treatment method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本実施の形態においては、例えばセラミックス製のガスセンサなどの製造プロセスにおいて、複数のセラミックグリーンシートを接着・積層して積層体を形成するのに先立って行う、セラミックグリーンシートに塗布された接着用ペーストの熱処理による乾燥(以下、単に熱処理、あるいは乾燥とも称する)処理について説明する。具体的には、ジルコニア(ZrO2)をセラミックス主成分とするセラミックグリーンシートに、同じくジルコニアを主成分とするセラミックスとバインダー(有機物)と溶剤(有機物)、及び可塑剤、分散剤、焼結補助剤とを含む混合物である接着用ペーストが塗布されたもの(以下、これを単にシートとも称する)が被熱処理物となる熱処理について説明する。セラミックグリーンシートの大きさは例えば150mm×114mm程度であり、厚みは例えば数百μm程度である。
次に、上述した本実施の形態に係る熱処理方法を実施するうえで好適な熱処理装置について説明する。図2は、係る熱処理装置の一例である、連続式熱処理装置100の全体構成を概略的に示す側面模式図である。連続式熱処理装置100は、被熱処理物1を搬送する搬送手段2と、被熱処理物1の加熱および保温を行う4つの加熱室3(3a〜3d)と、被熱処理物1の冷却を行う冷却室4とを主として備えている。また、各加熱室3a〜3dは隔壁14によって区画されており、各加熱室3a〜3dの上部にはそれぞれ、ダンパー5(5a〜5d)および排気路11(11a〜11d)が備わっている。なお、加熱室3aを第1加熱室3a、加熱室3bを第2加熱室3b、加熱室3cを第3加熱室3c、加熱室3dを第4加熱室3dとも称することとする。
次に、加熱室3(3a〜3d)の構成についてより詳細に説明する。図3は、加熱室3を被熱処理物1の搬送方向下流側(図2において図面視左側)から見た場合の断面模式図である。加熱室3の内部は、加熱空間15と、該加熱空間15の側部(図3においては図面視左側部)に備わる側部流通路13aと、加熱空間15の上部に備わる上部流通路13bとに区画されている。
次に、連続式熱処理装置100において、連続的にシートを搬送させつつ、各シートに対し、図1に示した熱処理プロファイルP1(2段階プロファイル)に従う接着用ペーストの熱処理乾燥を行う場合について説明する。なお、上述のように被熱処理物1を均一に加熱することができる連続式熱処理装置100は、多数のシートを同一条件(熱処理プロファイルP1)で熱処理乾燥させるのに適した装置であるといえる。
上述の実施の形態においては、接着用ペーストが塗布されたセラミックグリーンシートの熱処理を例として説明したが、本発明の適用はこれに限られるものではない。例えば、セラミックグリーンシートに対してスクリーン印刷等で印刷形成した電極パターンの熱処理等にも適用可能である。
ジルコニアを主成分とするセラミックグリーンシートに、接着用ペーストとして(ジルコニア+バインダー)が塗布されたものを100枚用意し、これらを被熱処理物1たるシートとして、連続式熱処理装置100により、熱処理プロファイルP1に従う熱処理を行った。なお、セラミックグリーンシートとしては、大きさが150mm×114mmであり、厚みが200μmであるものを用いた。また、熱処理は、連続送りにより行った。
比較例1および比較例2として、実施例と同様の条件で作製されたそれぞれ100枚のシートに対して、連続式熱処理装置100を用い、最終保持温度が異なる2通りの単純プロファイルでの熱処理を行った。図4は、比較例1に係る熱処理プロファイルP3と、比較例2に係る熱処理プロファイルP4とを示す図である。
実施例、比較例1、および比較例2において行った評価結果を表2に示す。表2においては、各評価項目について、不良と判定されたシートの枚数の割合を百分率で示している。
2 搬送手段
3(3a〜3d) 加熱室
4 冷却室
5(5a〜5d) ダンパー
6 ヒータ
7 温度センサ
8 温度制御部
9 ファン
10 整流版
11(11a〜11d) 排気路
12 フィルター
13a 側部流通路
13b 上部流通路
14 隔壁
15 加熱空間
100 連続式熱処理装置
Claims (7)
- セラミックグリーンシートに、他のセラミックグリーンシートと接着させるための接着用ペーストであって、含有するバインダー中の溶剤の重量減少率が80%以上90%以下となる乾燥処理が施されたうえで前記他のセラミックグリーンシートとの接着に供されるものが塗布されてなる被熱処理物を、前記乾燥処理のために熱処理する方法であって、
50℃以上70℃以下の中間保持温度にまで前記被熱処理物を昇温する第1昇温工程と、
前記中間保持温度にて前記被熱処理物の温度を維持する中間維持工程と、
75℃以上100℃以下の最終保持温度にまで前記被熱処理物を昇温する第2昇温工程と、
前記最終保持温度にて前記被熱処理物の温度を維持する最終維持工程と、
をこの順に行うことを特徴とする被熱処理物の熱処理方法。 - 請求項1に記載の熱処理方法であって、
前記中間保持温度より、前記最終保持温度のほうが大きいことを特徴とする被熱処理物の熱処理方法。 - 請求項1または請求項2に記載の熱処理方法であって、
前記中間保持温度が55℃以上65℃以下であり、
前記最終保持温度が80℃以上90℃以下であることを特徴とする被熱処理物の熱処理方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の熱処理方法であって、
前記第1昇温工程における昇温速度より、前記第2昇温工程における昇温速度のほうが大きいことを特徴とする被熱処理物の熱処理方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の熱処理方法であって、
独立に雰囲気温度を制御可能な複数の加熱室の間で順次に前記被熱処理物を搬送させつつ前記複数の加熱室のそれぞれにおいて前記被熱処理物に対する雰囲気加熱が可能な熱処理装置を用いて、前記第1昇温工程、前記中間維持工程、前記第2昇温工程、および前記最終維持工程を行うことを特徴とする被熱処理物の熱処理方法。 - 請求項5に記載の熱処理方法であって、
前記雰囲気加熱の際に、前記複数の加熱室のそれぞれの内部空間において上方から前記被熱処理物の搬送位置に向かう、水平方向について略均一な流速を有する雰囲気流れを生じさせる、
ことを特徴とする被熱処理物の熱処理方法。 - 請求項6に記載の熱処理方法であって、
所定の循環手段によって前記内部空間の雰囲気を循環させることによって前記雰囲気流れを形成し、前記搬送位置の上方に整流手段を設けることにより、前記雰囲気流れの流速を水平方向について略均一化させる、
ことを特徴とする被熱処理物の熱処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009026085A JP5603555B2 (ja) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | 被熱処理物の熱処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009026085A JP5603555B2 (ja) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | 被熱処理物の熱処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010181109A JP2010181109A (ja) | 2010-08-19 |
JP5603555B2 true JP5603555B2 (ja) | 2014-10-08 |
Family
ID=42762798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009026085A Active JP5603555B2 (ja) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | 被熱処理物の熱処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5603555B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2543565B2 (ja) * | 1988-03-31 | 1996-10-16 | 日本碍子株式会社 | セラミックスの焼成に用いるトンネル炉 |
JPH07164417A (ja) * | 1993-12-15 | 1995-06-27 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートの製造方法 |
JP2001330371A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Ngk Insulators Ltd | 連続式焼成炉 |
JP4626455B2 (ja) * | 2005-09-07 | 2011-02-09 | Tdk株式会社 | 積層型電子部品の製造方法 |
-
2009
- 2009-02-06 JP JP2009026085A patent/JP5603555B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010181109A (ja) | 2010-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001328870A (ja) | セラミックの焼成方法、トンネル式焼成炉、セラミック電子部品の製造方法及び装置、セラミック電子部品の焼成用収納体 | |
JP5603555B2 (ja) | 被熱処理物の熱処理方法 | |
US11796252B2 (en) | Continuous heating furnace and operating method thereof | |
CN107735637B (zh) | 连续式热处理炉及使用该连续式热处理炉的陶瓷电子元器件制造方法 | |
JP4661766B2 (ja) | ハニカム構造体の焼成方法及び焼成装置 | |
JP5446653B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JPWO2010137286A1 (ja) | 焼成装置 | |
JP6630216B2 (ja) | セラミックスグリーンシートの乾燥方法及びセンサ素子の製造方法 | |
CN1848319A (zh) | 印刷干燥方法、电子部件的制造方法以及印刷干燥装置 | |
JP2011046562A (ja) | セラミックグリーンシート焼成用セッター | |
JP6167453B2 (ja) | シンターハードニング方法 | |
JP2014122720A (ja) | プッシャー式連続焼成炉の雰囲気調整方法および装置 | |
JP2015042931A (ja) | 熱処理炉 | |
JP4593062B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 | |
JP5429534B2 (ja) | プッシャー式連続焼成炉 | |
JP6484664B2 (ja) | 乾燥装置及び該乾燥装置を用いた乾燥方法 | |
JP2003077398A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそのための炉設備 | |
JP4456033B2 (ja) | 連続式熱処理炉及び熱処理方法 | |
JP2015210072A (ja) | 焼成炉 | |
JP5935977B2 (ja) | 連続式焼成炉による焼成方法および連続式焼成炉 | |
JP4110958B2 (ja) | 熱処理装置におけるガス供給制御方法およびガス供給制御装置 | |
CN202099200U (zh) | 高温烧结炉 | |
JP3157109B2 (ja) | 膜形成素材を含む基板の焼成方法および装置 | |
JP2008256229A (ja) | 焼成炉及び焼成方法 | |
JP4222150B2 (ja) | ガラス繊維織物の脱油装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130823 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140819 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140822 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5603555 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |