JP5600379B2 - 単層複屈折結晶トリム・リターダ - Google Patents

単層複屈折結晶トリム・リターダ Download PDF

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Description

マイクロフィッシュ付録 該当なし
本出願は、一般的に光リターダに関し、特に、単層複屈折結晶を利用するトリム・リターダおよびこれを含んだ液晶ディスプレイ・ベースのマイクロディスプレイ投影システムに関する。
液晶ディスプレイ(LCD)は、大画面テレビジョンおよびモニター用の投影ディスプレイで広く使用されている。これらのLCDベースの投影システムでは、高出力光ビームが、LCDパネルに入射する前に偏光子を通過する。LCDパネルは、入射光の偏光をピクセルごとに制御し、これを対応する偏光子/検光子の方に向け、次にその偏光子/検光子が、適切な偏光を有する光を投影レンズに向け、この投影レンズがイメージを画面に投影する。
1つの特に成功したLCDベースの投影システムは、WGPベースのLCoSマイクロディスプレイ・システムであり、このシステムは、ワイヤ格子偏光子(WGP)と液晶オン・シリコン(LCoS)・パネルの両方を使用する。このマイクロディスプレイ・システムは、透過型液晶(xLCD)、ディジタル光処理装置(DLP)および直視LCDのような他のマイクロディスプレイ技術に比べて高分解能かつ高イメージ・コントラストを示すことが実証されており、一般に、オン−スクリーン輝度を改善するために3以上のマイクロディスプレイ・パネル(例えば、原色帯ごとに1つ)を使用する。
図1を参照すると、従来の3パネルのWGPベースのLCoSマイクロディスプレイ・システムが示されている。マイクロディスプレイ・システムは、例えば高圧放電ランプである光源5、および光ロッド7を含む。光ロッド7は、空間一様光分布を保証するように、光源5で生成された円錐状の光を均質化する。場合によっては、光ロッド7は、直線偏光を生成する偏光変換光パイプ(PCLP)である。第1のレンズ8aは、光パイプ7からの光を第1の折曲げミラー9に向けて通過させ、この折曲げミラー9は、その光を第1の二色性フィルタ10に向ける。二色性フィルタ10は、残りの光から青色光を分離し、この青色光を、第2のレンズ8bと第3のレンズ8cおよび第2の折曲げミラー17と第3の折曲げミラー16を介して、第1のLCoSディスプレイ・パネル20aに向ける。二色性フィルタ10を通過した残りの光は、第4および第5のレンズ8dおよび8eおよび第4の折曲げミラー11を介して第2の二色性フィルタ12に向けられる。第2の二色性フィルタ12は、その残りの光を緑色光と赤色光に分離し、その中の緑色光は第2のLCoSディスプレイ・パネル20bに向けられ、またその中の赤色光は第3のLCoSディスプレイ・パネル20cに進む。
各LCoSディスプレイ・パネル20a、20bおよび20cに達する前に、入射光は、最初に、WGP 15、14および13およびトリム・リターダ補償器21a、21bおよび21cをそれぞれ通過する。各WGP 15、14および13は、複数の平行な微小ワイヤから形成された偏光子/検光子であり、この偏光子/検光子は、平行微小ワイヤの方向に直角な偏光を有する光を通過させ、このワイヤの方向に平行な偏光を有する光を反射する(例えば、図1に示されるように、偏光子が水平偏光すなわちP偏光を通過させるように設計されている場合、微小ワイヤは図1の面に垂直である)。各LCoSパネル20a、20bおよび20cは、直線偏光入射光の偏光をピクセルごとに変え、そして、その変調された光を元の対応するWGP 15、14および13に向けて反射する。各WGP 15、14および13は、主要な光伝播方向に対してほぼ±45°に方向付けされているので、各WGP 15、14および13は、偏光子/検光子として作用することに加えて、また、各LCoSパネルから反射された光を入射光路に対して直角な出力光路に沿って向け、すなわち偏向させて、入射光を出力光から分離するビームスプリッタとしても作用する。より具体的には、各WGP 15、14および13は、S偏光(例えば、オン状態のピクセルによって90°回転された偏光)をXキューブ19に反射する。Xキューブ19は、3つの色チャネルの各々からのイメージを統合し(すなわち、集め)、投影レンズ18を介して、最終的なイメージを大きな画面(図示されない)に投影する。場合によっては、各色チャネルは、さらに、前偏光子(図示されない)および/またはクリーンアップ検光子(図示されない)を含み、これらは、例えば、1つまたは複数のWGPおよび/または二色性シート偏光子を含んでもよい。
トリム・リターダ補償器21a、21bおよび21c(本明細書では単にトリム・リターダと呼ばれる)は、マイクロディスプレイ・システムのコントラストの性能レベルを改善するために使用される補償要素であり、このコントラスト性能レベルは、補償されないと、暗(例えば、オフ)状態のLCoSパネルの残留複屈折によって制限される。特に、各トリム・リターダ21a、21bおよび21cは、対応するLCoSパネルの固有複屈折に起因するリターダンスを打ち消す位相リターダンスを導入する。本明細書で使用されるとき、「リターダンス」または「リタデーション」という用語は、特に指定されない限り、円形リターダンス(circular retardance)大きさに対して線形リターダンス(linear retardance)大きさを意味する。線形リターダンスは、光学要素の厚さに2つの直交屈折率の差を掛けたものである。線形リターダンスは、2つの直交直線偏光の間に位相差を生じさせ、一方の偏光は直線リターダの異常軸に平行に配向され、他方の偏光は直線リターダの正常軸に平行に配向されている。それに比べて、円形リターダンスは、右旋円偏光と左旋円偏光の間の相対的な位相差を生じさせる。
線形リターダンスは、面内(in−plane)リターダンスか面外(out−of−plane)リターダンスかのどちらかとして説明することができる。面内リターダンスは、光路長の差として表され、光学要素の物理的厚さに2つの直交面内屈折率の差を掛けたものを意味する。面外リターダンスは、光学要素の厚さ方向(z方向)に沿った屈折率と1つの面内屈折率(または、面内屈折率の平均)の差を光学要素の物理的厚さに掛けたものを意味する。円錐状束の垂直入射光線は、面内リターダンスだけを見るが、傾斜光線(すなわち、非垂直であるが主SおよびP面に沿っている)およびスキュー光線(すなわち、非垂直で、かつ主SおよびP面から離れて入射する)を含んだ軸外光線は、面外リターダンスと面内リターダンスの両方の影響を受ける。注目すべきことに、複屈折媒体において90°の光線角度のありふれた場合には、面内リターダンスは観察されない。
トリム・リターダ21a〜cのない状態では、暗(オフ)状態の各マイクロディスプレイ・パネルを照らすP偏光の偏光は、LCoSパネル20a〜cの残留複屈折のために反射によって僅かに楕円偏光になる。P成分とS成分の両方を含む楕円偏光が、対応するWGP 15、14、13に伝播したとき、そのS成分は、Xキューブに反射されて、大きな画面への暗状態光漏れを可能にし、また投影システムのコントラストを制限する。
トリム・リターダ21a〜cは、LCoSパネル20a〜cの残留複屈折に起因するリターダンスを補償する面内リターダンスを与えることによって、コントラスト・レベルを改善する。したがって、各トリム・リターダ21a〜cは、一般に、対応するLCoSパネル20a〜cの遅軸に対して直交方位角配向に構成された遅軸(「直交軸」と呼ばれる)を持つA−プレート(A−plate)成分を含み、そして一方で、A−プレート成分の速軸は、対応するLCoSパネル20a〜cの速軸に対して直交方位角配向に構成されている。遅軸(SA)および速軸(FA)という用語は、本明細書で使用されるとき、線形リターダンスが垂直入射に対して測定されるときの2つの直交複屈折軸を意味する。注目すべきことには、SAおよびFAの位置は、大きな入射角での負の面外リターダンス成分に対してSA/FAの役割を逆にすることだけでなく、軸外照明でも変化する。
トリム・リターダ21a〜cとLCoSパネル20a〜cの遅軸は、直交する方位角方向で構成されるので、速軸/遅軸の役割は、垂直入射光に対してトリム・リターダ21a〜cからLCoSパネル20a〜cに切り換わる。言い換えると、特定の偏光を有する光は、トリム・リターダ21a〜cおよびLCoSパネル20a〜cでそれぞれ、より多く次により少なく、またはその逆に、交互に遅延される。正味の効果は、入射偏光に対してゼロの相対遅延であり、結果として、不変の偏光(すなわち、出力光は楕円偏光にならない)である。対応するWGP 15、14、13および/または随意のクリーンアップ偏光子は、そのとき、暗状態パネルの光漏れが画面に現れないように出力光を排除する。トリム・リターダ21a〜cは、パネルのオン状態の処理能力を大きく変えないので、結果として得られる連続したコントラスト(完全オン/完全オフ)は優れている。
各トリム・リターダ21a〜cの動作原理は、単一チャネル光エンジンの中心的な光学部品に関連して、図2にさらに示されている。この中心的な光学部品は、前偏光子30、WGP 31、トリム・リターダ32、垂直配向ネマチック(VAN)−モードLCoSパネル33、およびクリーンアップ偏光子(図示されない)を含む。動作中に、前段の照明(図示されない)からの未偏光または部分偏光の光出力は、前偏光子30を通過してP偏光になる。この光は、WGP 31を通過し、その偏光消光率が高められる。トリム・リターダ32は、入射P偏光ビームを事前条件付けし、楕円出力を生成する。理想的には、暗(オフ)状態にあるLCoSパネル33に入射した偏光の楕円率は、残留パネル・リターダンスによって取り消される。したがって、反射光は、VAN−LCoSパネル33およびトリム・リターダ32の二回通過を完了した後で、P偏光のままである。WGP 31を通過した残りのP偏光成分は、元の照明システムの中に放出され、最終的には無くなる。
上で述べたように、トリム・リターダ32は、理想的には、暗状態の対応するLCoSパネル33の面内リターダンスに一致する面内リターダンスを与える。しかし、実際には、LCoSパネル33とトリム・リターダ32の両方の面内リターダンス(すなわち、A−プレート・リターダンス)は、稼動中のドリフト(温度、機械的応力など)だけでなく、デバイス厚さおよび材料複屈折の制御の製造公差によって各成分内で変化する傾向がある。その結果として、適切な補償を確実にするために、LCoSパネル33の示すリターダンスよりも大きなA−プレート・リターダンスをトリム・リターダ32に与えることが一般的である。例えば、暗状態で2nmA−プレート・リターダンス(λ=550nmで)を示すVANモードLCoSを補償するために、10nmのA−プレート・リターダンス(λ=550nmで)を有するトリム・リターダが設けられることが多い。
当業者には知られているように、このA−プレート値の不一致のために、上で説明した公称交差軸構成に関してトリム・リターダ32の光学軸のオフセットが必要になる。言い換えると、トリム・リターダは、それの方位角方向を交差軸構成から遠ざけるように回転させることによって「クロックイン」される。例えば、J.Chen、M.G.RobinsonおよびG.D.Sharp、「General methodology for LCoS panel compensation」、2004年、SID 04、Digest、990〜993頁を参照されたい。LCosパネルおよびトリム・リターダの遅軸の相対方位角方向を示す図3は、より大きな値のトリム・リターダが、隣接した象限でSおよびP偏光面の2等分線から角度φだけ遠ざけるように「クロック」される様子を図示している。上で述べたように、VAN−LCoSパネルの遅軸および速軸がSおよびP偏光面と交差し、LCoSリターダンスが非常に小さく(例えば、≪λ/50)、かつトリム・リターダのA−プレート・リターダンスが4分の1波長までであるとき、オーバクロック角φは、近似的に次式で与えられる。
Figure 0005600379
ここで、Г(TR)は、トリム・リターダのA−プレート・リターダンスであり、Г(LC)は、LCoSのA−プレート・リターダンスである。したがって、LCoSが2mmの面内リターダンスを示し、トリム・リターダが約10nmの面内リターダンスを与えるとき、オーバクロック角は約39°である。
面内リターダンスを与えることに加えて、トリム・リターダ32は、また、LCoSパネルの視野を増すように面外リターダンスを与えることを要求される。面外リターダンス補償は、しばしば、C−プレート(C−plate)成分で実現される。C−プレートは、垂直入射光線に正味のリターダンスを全く与えない(すなわち、垂直入射光は複屈折の影響を受けない)が、軸外(すなわち、異状軸に対してある角度)で入射した光線は、入射角に比例した正味のリターダンスを受ける。C−プレートは、リターダンスが入射角と共に増加するとき正であると考えられ、リターダンスが入射角と共に減少するとき負であると考えられる。もしくは、複屈折積Δndのリターダンスが負であるとき(例えば、n−nが負のとき)、C−プレートは正であると考えられる。VANモードLCoSパネルは一般に+C−プレートとして機能するので、トリム・リターダが面内リターダンス(すなわち、A−プレート・リターダンス)を補償するA−プレート成分と負の面外リターダンス(すなわち、−C−プレート・リターダンス)を補償する−C−プレート成分との両方を含むことは一般的である。結果として得られたトリム・リターダは、便宜上、A/−C−プレート・トリム・リターダと呼ばれる。
場合によっては、この全機能A/−C−プレート・トリム・リターダはO−プレート(O−plate)を含む。当業者にはよく知られているように、O−プレートは、面内リターダンスと面外リターダンスの両方を有している。O−プレートは、様々なLCD投影システムにおいて補償の改善を実現すると言われている(例えば、米国特許出願公開第20040085487号および、Lu他、「An O−Plate compensation in−plane switching liquid crystal display」、IEEE J.Disp.Technol.、2006年、Vol.2、No.3、pp.223を参照されたい)。はっきりさせるために、A−プレートは、プレートの面に平行に方向付けされた異常軸を有する光リタデーション要素であり、C−プレートは、プレートの面に垂直(垂直入射光の方向に平行)に方向付けされた異常軸を有する光リタデーション要素であり、O−プレートは、プレートの面に対して傾斜角に方向付けされた異常軸(すなわち、光学軸またはC−軸)を有する光学要素である。
トリム・リターダは、従来の光リターダを形成するために使用される任意の材料または材料の組合せから作ることができる(例えば、A−プレート、C−プレート、および/またはO−プレートとして構成される)。例えば、いくつかの可能な材料には、ポリビニルアルコール(PVA)膜またはポリカーボネート(PC)膜のような延伸重合体膜、ディスコティック膜(discotic film)、液晶重合体(LCP)材料の配向膜、セルロースアセテートのような有機箔、複屈折結晶、および誘電体薄膜がある。一般に、選ばれた材料は、a)一様かつ正確で再現性のあるA−プレート・リターダンスを実現し、b)正確で再現性のあるC−プレート・リターダンス特性を実現し、かつc)高光束および高温条件の下で耐久性がなければならない。さらに、トリム・リターダが比較的小さなリターダンス値を有するときでも、これらの特性が実現されなければならない。例えば、VANモードLCoSマイクロディスプレイ・パネルを補償するために使用されるトリム・リターダは、一般に、550nmの波長で、約30nm未満のA−プレート・リターダンスおよび約−100から−380nmの−C−プレート・リターダンスを持つ必要がある。
上述の光リターダ材料のうちの複屈折結晶は、高光束および高温環境で最も耐久性のあるものの1つであることが知られている。さらに、複屈折板は、光学軸がプレートの面に平行であるように(すなわち、A−プレート)、プレートの面に垂直であるように(すなわち、C−プレート)、またはプレートの面に対して傾斜角であるように(すなわち、O−プレート)、生の複屈折結晶からカットすることができる。結果として得られた複屈折板は、次に、所定のリターダンス(例えば、ゼロ次4分の1波長A−プレート・リターダンス)を与えるように所定の厚さに研磨することができる。さらに、複屈折結晶波長板の分野では、2つの複屈折結晶板の光学軸を交差させることによって、擬似ゼロ次リターダが日常的に作られている。個々の層は、正(例えば、単結晶石英または単結晶フッ化マグネシウム)または負(例えば、方解石結晶)の複屈折を有することができる。この交差軸配列は、また、適切な分散特性を有する2つの波長板要素(単結晶石英とフッ化マグネシウムの組合せなど)を利用して色消し波長板を作るためにも使用されている。
複屈折結晶が高光束および高温環境において高耐久性であることは知られているにもかかわらず、上述のマイクロディスプレイ・システム(MDPS)などの低リターダンス用途のトリム・リターダとしての複屈折結晶の使用は、一般に、理想的とは言えないと考えられている。一般に、このことは、A−プレートか低傾斜O−プレートかのどちらかとして構成された大抵の複屈折結晶が比較的高い複屈折を有し、したがって、VANモードLCoSマイクロディスプレイ・パネルに関連した低リターダンス値を実現するためには(例えば、真のゼロ次リターダとして)、極端に薄い必要があることに関係している。低複屈折(すなわち、λ=550nmでΔn〜0.009)であっても、石英A−プレートの物理的な厚さは、公称10nmトリム・リターダを生成するために約1.1μmである必要がある。バナジン酸イットリウム(YVO)(λ=550nmで、Δn〜0.23)などの高複屈折A−プレートでは、物理的な厚さは、公称10nmトリム・リターダの場合に約43nmに過ぎない。明らかに、この薄さのプレートの作業は現実的ではない。さらに、これらの極端に小さな厚さのために、一様かつ正確で再現性のあるA−プレート・リターダンスを実現することが困難になる。特に、従来の研磨方法を用いて、望ましい一様性仕様(例えば、数パーセント)を満たすことは困難であり、また絶対リターダンス値を目標にすることは大変である。
上述のMDPSでトリム・リターダとして複屈折結晶を使用する1つの方法は、多波リタデーションを使用することである。例えば、10波のプラス10nmリターダンスは、所定の中心波長で真のゼロ次10nmリターダと同じリタデーション効果を実現する。石英複屈折板の場合、10波プラス10nmリターダ(λ=550nmで)は、厚さ約610μmである。この公称厚さは作業するのに遥かに妥当であるが、一様かつ正確で再現性のあるA−プレート・リターダンスを実現することは依然として大変である。例えば±5%の正味リターダンス公差を維持するために要求される厚さの精度は、±0.0064%である。この厚さ公差は、7nm±5%公差を目標にすることと異ならず、この例では±30nmの物理厚さ公差を要求する。さらに、多次リターダは、広帯域コントラスト補償について分散的でありすぎる。
上述のMDPSでトリム・リターダとして複屈折結晶を使用するさらに他の方法は、2つの結晶板要素を所定の方位角オフセット角度で縦続接続することである。
図4aを参照すると、2つの実質的に等しい大きさのA−プレート・リターダ要素の非直交角縦続接続の例が示されている。第1および第2のA−プレート・リターダの大きさは、それぞれΓおよびΓであるが(ここで、Γ≒Γ)、方位角オフセット角度はφで与えられる。結果として得られる二重層リターダは、方位角φに配向された遅軸を有しかつほぼ(Γ+Γ)cos(φ)で与えられる面内リターダンスΓを有する面内リターダとして、機能する。2つのA−プレート・リターダ要素が、φ≒88.2°に配向されかつΓ≒Γ≒140.5nm@λ=550nmであるように研磨された石英の4分の1波長板であるとき、二重層リターダの正味の面内リターダンスは約7nmである。
図4bを参照すると、交差リターダ軸を有する2つのA−プレート要素の縦続接続の例が示されている。第1および第2のA−プレート・リターダの大きさは、ΓおよびΓによってそれぞれ与えられ、一方で、方位角のオフセット角度φは90°に等しい。この交差軸リターダは、方位角φに配向された遅軸を有しかつほぼ(Γ−Γ)で与えられる面内リターダンスΓを有する面内リターダとして、機能する。言い換えると、正味の面内リターダンスは、第1と第2のA−プレートの大きさ不一致で実現される。第1のA−プレート・リターダが207nmリターダンスの石英A−プレートで、第2のA−プレート・リターダが200nmリターダンスの他の石英A−プレートで、交差軸に向かって方向付けされているとき、正味の面内リターダンスは約7nmである。
各場合に、2つのA−プレート要素の縦続接続は、また、擬似−C−プレート・リターダンスを与える。図5および6は、それぞれ、二重層リターダおよび交差軸リターダのモデル化軸外リターダンスを示す。より具体的には、図5および6は、空気中における入射角(AOI)に対する線形リターダンスのグラフを示す。等価A/C−プレート・リターダ・モデル(例えば、K.Tan他、「Design and characterization of a compensator for high contrast LCoS projection system」、2005年、SID 2005、1810頁を参照されたい)は、λ=550nmでA−プレートの{1.65、1.50}およびC−プレートの{1.50、1.65}の{n、n}屈折率対を用いて与えられる。石英の{n、n}屈折率は、λ=550nmで{1.552、1.5459}である。図5および6を参照すると、擬似−C−プレート・リターダンスは、二重層リターダおよび交差軸リターダについて、それぞれ、約−84nm@λ=550nmおよび−200nm@λ=550nmである。交差軸リターダに関して、擬似−C−プレート要素は、2つの副要素の共通のリターダンス(例えば、−200nm)である。
トリム・リターダ用途に二重層リターダか交差軸層リターダかのどちらかを使用することの主な問題は、結晶板厚さおよび方位角オフセット角度の公差が、極めて厳しいことである。例えば、〜0.009の複屈折を有する石英結晶板は、各副要素の±1nmの正味リターダンスを維持するために、±100nm以内の厚さ公差を必要とするが、一方で、2つの副要素の方位角オフセットは、狭い分布の正味面内リターダンスを生じるために、0.1°よりも遥かに小さくなければならない。さらに、2つの副要素の非90°角度オフセットは、垂直入射で円形リターダンスを生じさせる。
0.2/88.4°に配向された遅軸および140.5/140.5nmの個々の面内リターダンス値を有する2層石英/石英リターダについて、二重層リターダのモデル化直線および円形リターダンスが図7に示されている。この計算は、光学活性(等方性旋回)を含む。光学活性は、材料が面偏光を回転させることができるようにする材料特性である。左回りと右回り、左回りまたは右回りの回転光学異性体が存在する。単結晶石英板では、単位長当たりの回転は、550nm波長でほぼ25.4°/mmである(例えば、P.Yeh、「Optical waves in layered media」、John Wily & Sons、New York、1988年、210頁を参照されたい)。右旋性石英/石英二重層は、正の角度回転(ビームの末端を見るとき右回り)を含んだが、一方で、左旋性石英/石英二重層は同じ層厚さであったが、負の角度回転(左回り)を含んだ。左旋性石英/石英二重層は、第1(光入射に近い方)および第2の石英層がそれぞれ−0.3/86.9°に配向されていた。
図7に示されるように、線形リターダンスのΔnd積は、青波長端に向かって次第に減少し、一方で、対応する円形リターダンスは増加する。VANモードLCoSなどのいくつかのイメージャ・パネルでは、軸上複屈折は実質的に直線である。円形リターダンスの存在は、青波長縁部の近くで不満足なイメージ・コントラストをもたらす。X軸に対して実質的に平行な第1の層およびY軸に対して実質的に平行な第2の層を有する右旋性と左旋性の石英/石英二重層リターダを比較すると、より平らな線形リターダンス・スペクトルおよび減少した円形リターダンスを持つためには、右旋性デバイスが好ましい。
交差軸の2つの石英A−プレートのモデル化線形および円形リターダンスが図8に示されている。光学活性の観念に依存して、複合石英/石英リターダの正味円形リターダンスの符号だけでなく、直線リターダの実効的な軸も変化する。
米国特許出願公開第20040085487号 J.Chen、M.G.RobinsonおよびG.D.Sharp、「General methodology for LCoS panel compensation」、2004年、SID 04、Digest、990〜993頁 Lu他、「An O−Plate compensation in−plane switching liquid crystal display」、IEEE J.Disp.Technol.、2006年、Vol.2、No.3、pp.223 K.Tan他、「Design and characterization of a compensator for high contrast LCoS projection system」、2005年、SID 2005、1810頁 P.Yeh、「Optical waves in layered media」、John Wily & Sons、New York、1988年、210頁
上述の問題を除去する、複屈折結晶を含んだトリム・リターダを提供することが有利であろう。
また、製作することが現実的であり、かつ妥当な厚さおよび方位角公差を示す複屈折結晶を含んだトリム・リターダを提供することも有利であろう。
本発明は、単層複屈折結晶トリム・リターダに関する。複屈折結晶は、これの光学軸(すなわち、異常軸またはC−軸)が高傾斜角であり、かつ複屈折結晶が比較的厚いときでも低面内リターダンス値を与えるように、カットされる。
複屈折結晶板の表面に対して高傾斜角に方向付けされた光学軸を有する複屈折結晶は、一般に、望ましくないほど大きな+C−プレート・リターダンスを示すので、例えばVANモードLCoSパネルのコントラスト補償に適した全体的なA/−C−プレート・リターダ機能を有するトリム・リターダを実現するために、高傾斜O−プレートが−C−プレート・リターダと結合される。−C−プレート・リターダが薄膜多層構造性複屈折コーティングであるとき、この全機能トリム・リターダは、製作することが現実的であり、厚さおよび方位角で公差が大きく、潜在的に高製造歩留まりである。特に、高傾斜O−プレートの物理的厚さの範囲は、現在の研磨/研削方法に適合したものであり、管理可能な研磨/研削公差を与える(数十から数百ミクロンの厚さおよびミクロン程度の公差)。さらに、この大きさの小さいトリム・リターダは、LCoSパネル補償の低感度角度クロッキング要求に適している。
本発明の一態様に従って光リターダが提供され、この光リターダは、単軸複屈折結晶層の表面に対して傾斜角の光学軸を有する単軸複屈折結晶層を備え、この傾斜角は、単軸複屈折結晶層が、単軸複屈折結晶層の厚さが20μmよりも大きいとき、所定の波長範囲で使用される液晶ディスプレイ・パネルの残留面内リターダンスを補償するのに適した面内リターダンスを前記所定の波長範囲に有するように選ばれ、さらに、光リターダは、対照的な屈折率材料の交互の層の少なくとも1つの周期的スタックを含む少なくとも1つの多層スタックを備え、この交互の層の各々の厚さおよび屈折率は、前記少なくとも1つの多層スタックが、所定の波長範囲での単軸複屈折結晶層の正の面外リターダンスおよび液晶ディスプレイ・パネルの正の面外リターダンスを補償するのに適した負の面外リターダンスを所定の波長範囲に有するように、選ばれる。
本発明の他の態様に従って、液晶ディスプレイに基づいた投影システムが提供され、この投影システムは、光源と、光源から光を受け取り第1の直線偏光軸を有する第1の直線偏光を通過させる第1の偏光子と、第1の直線偏光を光学的に変調する液晶ディスプレイ・パネルと、光学的に変調された光を受け取り第2の直線偏光軸を有する第2の直線偏光を通過させる第2の偏光子と、第2の直線偏光を画面に投影する投影レンズと、液晶ディスプレイ・パネルと第1および第2の偏光子の少なくとも1つとの間に配置されたトリム・リターダと、を備え、このトリム・リターダは、単軸複屈折結晶層の表面に対して傾斜角の光学軸を有する単軸複屈折結晶層を備え、この傾斜角は、単軸複屈折結晶層の厚さが20μmよりも大きいとき、単軸複屈折結晶層が液晶ディスプレイ・パネルの残留面内リターダンスを補償するのに適した面内リターダンスを有するように、選ばれ、さらに、トリム・リターダは、対照的な屈折率材料の交互の層の少なくとも1つの周期的スタックを含む少なくとも1つの多層スタックを備え、交互の層の各々の厚さおよび屈折率は、その少なくとも1つの多層スタックが単軸複屈折結晶層の正の面外リターダンスおよび液晶ディスプレイ・パネルの正の面外リターダンスを補償するのに適した負の面外リターダンスを有するように、選ばれる。
本発明の他の態様に従って、液晶ディスプレイに基づいた投影システムが提供され、この投影システムは、光源と、光源から光を受け取り第1の直線偏光軸を有する第1の直線偏光を通過させる第1の偏光子と、第1の直線偏光を光学的に変調する液晶ディスプレイ・パネルと、光学的に変調された光を受け取り第2の直線偏光軸を有する第2の直線偏光を通過させる第2の偏光子と、第2の直線偏光を画面に投影する投影レンズと、液晶ディスプレイ・パネルと第1および第2の偏光子の少なくとも1つとの間に配置されたトリム・リターダと、を備え、このトリム・リターダは、面内リターダンスおよび正の面外リターダンスを有する単軸複屈折結晶層を含み、この面内リターダンスは液晶ディスプレイ・パネルの残留面内リターダンスを補償するのに適しており、正の面外リターダンスと面内リターダンスの比は30よりも大きく150よりも小さく、さらにトリム・リターダは、対照的な屈折率材料の交互の層の少なくとも1つの周期的スタックを含む少なくとも1つの多層スタックを含み、交互の層の各々の厚さおよび屈折率は、その少なくとも1つの多層スタックが単軸複屈折結晶層の正の面外リターダンスおよび液晶ディスプレイ・パネルの正の面外リターダンスを補償するのに適した負の面外リターダンスを有するように、選ばれる。
本発明のさらなる特徴および有利点は、添付の図面と組み合わせて解釈される以下の詳細な説明から明らかになるだろう。
添付の図面全体を通して、同様な特徴は同様な参照数字で示されていることに留意されたい。
本発明は、単層複屈折結晶を含んだトリム・リターダに関し、この単層複屈折結晶は、それの光学軸が大きな傾斜角であるように(例えば、高傾斜O−プレート)、かつ複屈折結晶が比較的厚いときでも低面内リターダンス値を有するように、カットされる。
図9aおよび9bは、高傾斜O−プレートの直交成分への分解を示す模式図である。この例では、O−プレートは、xy面に平行な単軸複屈折層である。図9aを参照すると、単軸複屈折層の光学軸(すなわち、異常またはC軸)は、正のz軸に対して鋭角θで傾斜している。ここで、0≦θ≦90°である。C軸のxy面への投影は、x軸に対してφの方位角に配向される。オイラー角(θ、φ)は、右手系XYZ座標系(RH−XHZ)に従って定義される。2次屈折率楕円式を使用すると、デバイス面に対して垂直および平行な光線の実効異常光屈折率は、次式を使用して表される。
Figure 0005600379
ここで、n(in−plane)およびn(out−of−plane)は、それぞれ、xy面およびz軸に沿った異常光屈折率を指す。θは、z軸からのC軸の傾きである。nおよびnは、それぞれ単軸媒体の主軸の方向での異常光屈折率および常光線屈折率である。図9bを参照すると、分解された面内(in−plane)および面外(out−of−plane)実効異常光屈折率が示されている。面内複屈折と面外複屈折の両方の常光線屈折率はnである。両方ともθに無関係である。
面内および面外リターダンスの実効複屈折は、これらの実効異常光屈折率によって、次式のように表される。
Δn(in−plane)=n(in−plane)−n (3)
および、
Δn(out−of−plane)=n(out−of−plane)−n (4)
O−プレート層の面内リターダンスに対する面外リターダンスの比は、これらの実効複屈折値の比をとることによって次式のように決定される。
Figure 0005600379
ここで、Γ(OP)およびΓ(OP)は、それぞれ、斜め配向層から得ることができる近似的なC−プレート・リターダンスおよびA−プレート・リターダンスである。
表1は、80度と87度の間の面外傾斜角θ(すなわち、90°−θ)について、A−プレート・リターダンス、C−プレート・リターダンスの理論結果、およびC−プレート・リターダンスとA−プレート・リターダンスの比を与える。これらの計算では、λ=550nmで{1.5552、1.5459}の屈折率を有する厚さ公称100ミクロンのO−プレート石英層が想定された。±5%の厚さ公差が含まれている(例えば、公称100μmに対して95および105μmの物理厚さ)。
Figure 0005600379
表1:斜め配向単軸複屈折層の推定された面外と面内のリターダンス比。
表1に示されるように、80度と87度の間の面外傾斜角θを有する厚さ100μmの石英O−プレートは、30nm未満の面内リターダンスおよび800nmを超える面外リターダンスを持つと思われる。C−プレート・リターダンスとA−プレート・リターダンスの比γ(Γ/Γ)は、図10に面外傾斜角θに対してプロットされており、85度よりも大きな傾斜角で急速に増加する。一般に、50よりも大きく約150より小さなγ比は、C−プレート・リターダンスとA−プレート・リターダンスの間の妥当な妥協を与える。
再び表1を参照すると、85度の面外傾斜にカットされ、約100ミクロンの厚さに研磨された単層石英O−プレートは、λ=550nmで約7nmのA−プレート・リターダンス、およびλ=550nmで約900nmの+C−プレート・リターダンスを生じる。上で述べたように、このA−プレート・リターダンス値は、VANモードLCosパネルの残留複屈折を補償するのに完全に適している。不都合にも、この寄生+C−プレート・リターダンスは、VANモードLCoSパネルの視野を広げるために一般に必要な−100から−380nmの−C−プレート・リターダンスとは全く違っている。
本発明の一実施形態に従って、大きさの小さいA−プレート・リターダンスおよび大きさの大きい+C−プレート・リターダンスを与える高傾斜O−プレートは、VANモードLCoSパネルのコントラスト補償に適した全体的なA−プレート/−C−プレート・リターダ機能を有するトリム・リターダを実現するために、−C−プレート成分と結合される。
適切な−C−プレート成分のいくつかの例は、密接ピッチのコレステリック液晶、誘電体構造性複屈折、共面配向重合体構造性複屈折、および/またはディスコティック化合物の傾斜配向を利用する。もしくは、−C−プレート成分は、層の面に対して垂直な光学軸を有する層を形成するようにカットされた複屈折結晶(例えば、石英またはフッ化マグネシウム)であってもよい。密接ピッチのコレステリック液晶(例えば、螺旋ピッチLC媒体が可視波長範囲の最短波長よりも遥かに短い場合)は、例えば、H.Hatoh、M.Ishikawa、Y.HisatakeおよびJ.Hirata、T.Yamamoto、1992年、SID ’92 Digest.、401頁、H.eiberle、K.SchmittおよびM.Schadt、「Multidomain LCDs and complex optical retarder generated by photo−alignment」、1999年、Proceedings Euro Display ’99、121〜125頁、および米国特許第6,829,026号に説明されている。誘電体構造性複屈折は、例えば、J.P.Eblen Jr.、W.J.Gunning、J.Beedy、D.Taber、L.Hale、P.YehおよびM.Khoshnevisan、1994年、SID ’94 Digest、245頁、および米国特許第5,196,953号に述べられている。共面配向重合体構造性複屈折は、例えば、S−T.Wu、J.Appl.Phys.、1994年、76(10)、5975〜5980頁に述べられている。ディスコティック化合物の傾斜配向は、例えば、H.Mori、Y.Itoh、Y.Nishiura、T.NakamuraおよびY.Shinagawa、Jap.J.Appl.Phys.、1997年、36、143〜147頁に述べられている。
高傾斜O−プレートに結合するのに適した−C−プレート成分の他の例は、反射防止(AR)コーティング設計に一体化された構造性複屈折(FB)誘電体スタックである。米国特許第7,170,574号および米国特許出願公開第20070070276号に記載されているように、この誘電体スタックは、有機および/または重合体同等物に比べて高耐久性であり、複屈折結晶の低コスト代替え物である。
図11を参照すると、本発明の一実施形態に従った実施形態が示され、高傾斜O−プレートが、2つのFBARコーティングの間に配置されている。より具体的には、図11は、単層複屈折結晶アセンブリ110、単層複屈折結晶アセンブリの第1の側に配置された第1のFBAR誘電体コーティング120、および単層複屈折結晶アセンブリの反対の第2の側に配置された第2のFBAR誘電体コーティング130を含んだトリム・リターダ100を示す。
単層複屈折結晶アセンブリ110は、デバイス垂線に対して鋭角113に傾斜した屈折率楕円体112を有し、かつ接着層115の付いた透明基板119に積層された単層の複屈折結晶111を含む。単層複屈折結晶111は、一般に、石英、フッ化マグネシウム、バナジン酸イットリウムなどのような無機複屈折材料の固体ブロックからカットされる。一般に、複屈折結晶は、高傾斜O−プレート(すなわち、θと同等である鋭角113が45°未満であり、かつ傾斜角θが45°よりも大きい)を形成するようにカットされる。適切な傾斜角θの範囲は、複屈折層の所望の厚さおよび複屈折材料の複屈折に依存する。例えば、上で述べたように、石英などの低複屈折を有する材料から形成された100μm層は、一般に、80から85°の傾斜角θを必要とするが、バナジン酸イットリウムなどのもっと高い複屈折を有する材料から形成された同様なサイズの層は、もっと大きな傾斜角θを必要とする可能性がある。もしくは、石英層が100μmより大きな厚さであることが要求される場合には、より大きな傾斜角が必要とされる可能性がある。高傾斜O−プレートの厚さは、一般に、意図された用途(例えば、暗状態のVANモードLCoSパネルの残留複屈折を補償するため)に適したA−プレート・リターダンスを与えるように複屈折材料および傾斜角θに依存して決定される。例えば、石英単層O−プレートおよび550nmの波長で目標10nmの面内リターダンスの場合には、傾斜角は、一般に、71から88度であり、より確実には81.5から85.5度である。高傾斜O−プレート111の物理的な厚さは、一般に、10μmから1mm、より確実には50μmから200μmである。
第1のFBARコーティング120は、第1の屈折率整合部分122と第2の屈折率整合部分123の間に配置された第1の構造性複屈折スタック121を含む。同様に、第2のFBARコーティング130は、第3の屈折率整合部分132と第4の屈折率整合部分133の間に配置された第2の構造性複屈折スタック131を含む。
各構造性複屈折(FB)スタック121/131は、一般に、対照的な屈折率の材料の交互の層から形成された周期的スタックである。例えば、一実施形態では、各FBスタック121/131は、高屈折率材料と低屈折率材料の交互の層を含む。他の実施形態では、各FBスタック121/131は、高屈折率材料、中間屈折率材料および低屈折率材料の交互の層を含む。各場合に、各層の厚さは、異なる材料で変化する可能性があり、動作波長の何分の1かに制限される(例えば、λ=550nmの何分の1か)。当技術分野では知られているように、光の波長よりも遥かに小さな厚さを有する交互の屈折率層の周期的スタックは、−C−プレート・リターダとして機能するゼロ次サブ波長回折格子(ZOG)を形成するように設計することができる。この回折要素の−C−プレート・リターダンスは、分子複屈折ではなく交互の層の構造(形)から生じるので、交互の層は、常態では等方性である材料から形成することができる。例えば、交互の層の適切な材料のいくつかの例には、シリカ(SiO、n=1.46)、タンタラ(Ta、n=2.20)、アルミナ(Al、n=1.63)、ハフニア(HfO、n=1.85)、チタニア(TiO、n=2.37)、ニオビア(Nb、n=2.19)、およびフッ化マグネシウム(MgF、n=1.38)のような有機および無機誘電体がある。
各FBスタック121/131の−C−プレート・リターダンスは、一般に、層の厚さ、層の屈折率、および/または交互の層の数を変えることによって、特定の用途に合わせて作られる。例えば、一実施形態では、−C−プレート・リターダンスの大きさは、ゼロ次の実効媒体理論(zeroth order Effective Media Theory、EMT)を使用して推定され、この理論では、周期的等方屈折率構造は、実効常光線屈折率および異常光屈折率を有する負の単軸複屈折の層として説明される。EMTは、米国特許第5,196,953号にさらに詳細に記載されている。EMT C−プレート・リターダンスの推定に続いて、1つまたは複数のこれらのパラメータを変えることによってFBスタックを設計するために、TFCalcおよびOptilayerのような市販のコンピュータ・モデル化プログラムを使用し、そして所望の−C−プレート・リターダンスを得ることができる。一般に、−C−プレート・リターダンスは、高傾斜O−プレート111によって与えられる+C−プレート・リターダンスおよびVANモードLCoSパネルによって与えられる+C−プレート・リターダンスを補償できるように十分大きくなければならない。交互の層の厚さが同じようであるように選ぶことによって、交互の層の間に大きな屈折率差(例えば、0.5よりも大きい)を設けることによって、および/または、交互の層の数を増すことによって(例えば、一般に約20から1000)、FBスタックの−C−プレート・リターダンスは一般に最大にされる。
各屈折率整合部分122、123、132、133は、一般に、対照的な屈折率の材料を有する材料から形成された複数の4分の1波長スタックを含む。FBスタック121、131と共に、屈折率整合部分122、123、132、133は、高傾斜O−プレート111および/または支持基板119からの光の反射を減少させるために使用されるFBARコーティング120、130を形成する。屈折率整合部分122、123、132、133は、FBスタック121/131を形成するために使用される同じ材料または異なる材料から形成されてもよい。注目すべきことには、屈折率整合部分122、123、132、133は、全正味リターダンスの要因の1つとしても含められるべき追加の面外リターダンス(例えば、一般に、+C−プレートとして機能する)を与える。言い換えると、トリム・リターダ100の正味の−C−プレート・リターダンスを意図された用途(例えば、VANモードLCoSパネルの視野を広げるため)に合わせるために、FBスタック121、131は、高傾斜O−プレート111、VANモードLCoSパネル、および/またはMDPSの他の偏光敏感デバイスによって与えられる+C−プレート・リターダンスを補償するほかに屈折率整合部分122、123、132、133によって与えられる+C−プレート・リターダンスを補償する−C−プレート・リターダンスを与えるように設計されるべきである。
妥当なFB厚さを維持するために、高傾斜O−プレートにおけるC−プレート・リターダンスとA−プレート・リターダンスの比γ(Γ/Γ)は、500未満であるべきであり、一般には150未満である。例えば、再び表1を参照すると、85度面外傾斜にカットされ約100ミクロンの厚さに研磨された単層石英O−プレートは、λ=550nmで約7nmの面内リターダンス、およびλ=550nmで約900nmの寄生+C−プレート・リターダンスを生じる。トリム・リターダ100が、λ=550nmで約200nmのC−プレート・リターダンスを有するLCoSイメージャ・パネルを補償するように設計される場合、FBARコーティングによる必要なC−プレート補償は、λ=550nmで約−990nmである。この量の−C−プレート・リターダンスは、1,100nm石英O−プレートとVANパネル+C−プレートとの組合せリターダンスを打ち消すのに十分である。この計算では、米国特許第7,170,574号に大要が説明されているように、C−プレート・リターダンスの基礎屈折率は、λ=550nmで、+C−プレートでは{1.65、1.50}、−C−プレートでは{1.50、1.65}の{n、n}に固定された。一実施形態では、λ=550nmで約−990nmのC−プレート・リターダンスは、2つのFBスタックで与えられ、各スタックは、各FBARコーティングの全厚さが約6.2μmであるような具合にシリカとタンタラの材料が交互になった194層から形成されている。
FBスタック121、131および屈折率整合部分122、123、132、133は、別個の成分として上で説明されたが、実際には、FBスタック121、131は、通常、各FBスタック121、131と対応する屈折率整合部分122、123、132、133との間の遷移がぼやけるように反射防止(AR)コーティング設計に一体化される。第1(120)および第2(130)のFBARコーティングは、一般に、化学気相成長法(CVD)、プラズマ増速CVD、電子ビーム蒸着、熱蒸着、スパッタリング、および/または原子層堆積のような従来の真空堆積技術を使用して作られる。
上述の実施形態では、傾斜角配向にカットされ、かつ2つの構造性複屈折ARスタックの間にサンドイッチ状に挟まれた固体複屈折結晶は、LCoSパネルのコントラスト補償に適したA/−C−プレート・リターダ機能を有するトリム・リターダを実現するために使用される。
有利なことには、このトリム・リターダ100のA−プレート・リターダンスは、単層複屈折結晶(例えば、高傾斜O−プレートとしてカットされた)によって与えられる。A−プレート・リターダンスは、有機層ではなく無機複屈折層によって与えられるので、トリム・リターダ100は、比較的耐久性が高く高信頼性である。例えば、トリム・リターダ100は、長期間にわたって(例えば、10,000時間を超えて)、高光束密度(例えば、40メガルクスを超える)および高温(例えば、摂氏120度を超える)に耐えることができなければならない。A−プレート・リターダンスは、A−プレートまたは低傾斜O−プレートではなく高傾斜O−プレートによって与えられるので、トリム・リターダ100は、比較的公差の大きい面内リターダンス厚さを有する。例えば、公称厚さ100μmの石英板では、1%の厚さ公差は1μmの研磨誤差要求になる。A−プレート・リターダンスは、A−プレートまたは低傾斜O−プレートではなく高傾斜O−プレートによって与えられるので、多波リタデーションではなく真にゼロ次の大きさの小さいリターダンスを与えるように、比較的厚い面内リターダ用板をカットすることができる。したがって、トリム・リターダ100は、比較的広帯域の用途に適している。A−プレート・リターダンスは、2つの複屈折層の縦続接続ではなく単層の複屈折結晶によって与えられるので、厳しい方位角公差に関連した問題は未然に除去される。さらに、円形リターダンスに関連した問題は、軽減される。特に、当技術分野では知られていることであるが、非光学活性単層結晶のO−プレートは、円形リターダンスを生じる筈がない。さらに、A−プレート・リターダンスは、2つの複屈折層の縦続接続ではなく単層の複屈折結晶によって与えられるので、トリム・リターダは、比較的安定な実効速軸/遅軸を全ての波長で有し、方位角オーバクロッキングに比較的鈍感であるようになり、さらに、比較的優れたリターダンスの大きさおよび方向一様性(すなわち、2つの層の縦続接続に関連した複合誤差がなくなる)を与える。
さらに有利なことには、トリム・リターダ100の−C−プレート・リターダンスは、1つまたは複数のFBARコーティングによって与えられる。FBARコーティングは、高傾斜O−プレートの+Cリターダンスを打ち消し、かつLCDパネル(例えば、VANモードLCoS)の+C−プレート・リターダンスを補償するのに十分な−C−プレートを実現することができるので、全機能A/−C−プレート機能を有するトリム・リターダが実現される。FBARコーティングは、高傾斜O−プレートおよび/または支持基板の外面に直接堆積される。したがって、全機能トリム・リターダは、製作することが現実的であり、潜在的に高製造歩留まりである。さらに、堆積されたFBAR誘電体膜は、高傾斜O−プレートおよび/または支持基板の表面に適合する。したがって、薄膜スタックとして作られた−C−プレート・リターダのC−プレート軸は、自動的に、その表面に垂直に配向されている。さらに、FBARが無機誘電体層から作られるとき、A/−C−プレート機能を有する結晶板トリム・リターダの耐久性は、犠牲にされない。注目すべきことには、FBARコーティングは、比較的広帯域の−C−プレート・リターダンスを有している。
図11に示された全機能トリム・リターダ100のコントラスト補償の効力を示すために、トリム・リターダ100のリターダンスおよびいくつかの個々の成分が、さらに詳細に調べられた。図12を参照すると、コーティングなし単層石英O−プレートの遅軸(SA)面・速軸(FA)面に沿ったAOI特性に対して測定リターダンスが示されている。コーティングなし単層石英O−プレートは、厚さが約100μmであり、約85度の傾斜角を有している。明らかなことであるが、赤色(630nm)、緑色(550nm)および青色(450nm)の波長での角度プロファイの間に分散はほとんどない。線形リターダンス特性は、FA面に沿って0度AOIに関して対称であり、一方で、SA面に沿った特性は非対称である。
図13は、ガラス基板上に積層されたコーティングなし単層石英O−プレートについて、測定された面内線形リターダンス・スペクトル、円形リターダンス・スペクトル、および軸方向スペクトルを示す。このリターダは、λ=550nmにおいて、約6.5nmの線形リターダンスおよび7.5nmの円形リターダンスを与える。線形リターダンスは、比較的非分散的である。円形リターダンスの大きさは、大きくかつ分散的である。軸方向は、波長範囲全体にわたって比較的一様な特性を示すが、データがARコーティングの無いことの影響を受けている可能性がある。
図14を参照すると、FBARコーティング単層石英O−プレート・リターダについて、測定された、およびモデル化された線形リターダンス・スペクトル、円形リターダンス・スペクトル、および軸方向スペクトルが示されている。FBARコーティング(積層O−プレートの両側)は、−C−プレートFBスタックに加えて2帯域(すなわち、赤および緑)ARスタックを含む。高傾斜単層石英O−プレートを表す数値モデルは、85度の傾斜角および85μmのプレート厚さを含んだ。異常波および正常波に対してそれぞれ1.5554および1.5461の屈折率を持つ全{n、n}分散データが使用された(すなわち、この分散データは、http://www.almazoptics.com/Quartz.htmから入手可能である)。測定面内リターダンスとモデル化面内リターダンスの両方は、全AR帯域にわたって約6nmであった。注目すべきことには、このA−プレート・リターダンスは、LCoSイメージャ・パネルの残留A−プレート・リターダンスを補償するのに適している。
FBARコーティング単層石英O−プレート・リターダの−C−プレート機能は、図15に示されている測定リターダンス対AOI特性から明らかである。追加FBARスタックは約−990nmのC−プレート・リターダンスを与え、これは、単層石英O−プレートの約+900nmのC−プレート・リターダンスと組み合わされたとき、約−180nmの正味C−プレート・リターダンスを生じた。約−180nmの正味C−プレート・リターダンスは、LCoSイメージャ・パネルの約200nmC−プレート・リターダンスを補償するのに適している。注目すべきことには、様々な要素による正および負のC−プレート・リターダンスは、屈折率差のために単純に加算にならない。
FBARコーティング単層石英O−プレート・リターダは、また、図16に示されるように、リターダンスの三つ組(例えば、直線および円形リターダンス、並びに軸方向)を与えるようにもモデル化された。等方性旋回が想定されたが、これが、AOIに対する測定リターダンス特性とモデル化リターダンス特性の不一致の原因である。
完璧にするために、コーティング単層石英O−プレートを使用して測定されたリターダンスの三つ組の全視野(FOV)図が図17に与えられている。高傾斜単層石英O−プレートを使用することで、線形リターダンスFOV特性と軸方向FOV特性の著しい非対称性が生じたことが分る。幸いなことに、反射型LCoS光エンジンで補償器として使用されるトリム・リターダなどの二回通過方式では、非対称性は二回通過伝播で打ち消される。円形リターダンスFOV特性は、石英層の旋回定数が本質的に等方性に近いことを示す。
コーティング単層石英O−プレート(例えば、積層O−プレートの両側のFBAR)が、VANモードLCoSシステムのコントラスト強調物として試験された。試験の構成は、K.Tan他、「Design and characterization of a compensator for high contrast LCoS projection system」、2005年、SID 2005、1810頁に述べられている通りである。緑色波長帯域と赤色波長帯域のコントラスト比は、約3,500:1および4,500:1と測定された。これらの結果は、K.Tan他、「Design and characterization of a compensator for high contrast LCoS projection system」、2005年、SID 2005、1810頁に述べられているLCP/FBARリターダと比較することができ、ここでは、同じ試験構成および同じLCoSパネルを利用して、緑色および赤色のコントラスト比は6,500:1および8,500:1であった。
その比較してより悪いコントラスト比は、厚い単層石英O−プレートに無視できない円形リターダンスが存在することに起因すると考えられる。単層石英O−プレートの厚さが4分の1に減ると(例えば、厚さ88μmではなく約22μm)、円形リターダンスもまた4分の1に減少し、したがってコントラスト比が向上することは予想される。単層石英O−プレートの厚さが4分の1に減った(例えば、厚さ約22μ)ときでも、6.5nmの面内リターダは、依然として、石英の4分の1波長板(例えば、これは約14μmの厚さであろう)よりも厚い。上で述べたように、石英A−プレートとして構成された138nmのリターダではなく石英O−プレートとして構成された6.5nmのリターダを使用することの重要な有利点は、関連したリターダのオーバクロッキング感度である。一般に、4分の1波長板と大きさの小さいリターダの感度には、10:1の係数がある。
もしくは、その比較的悪いコントラストは、異なる複屈折結晶材料を選ぶことによって向上させることができ、この場合、複屈折は小さい(例えば、石英のように)が、光学活性がない(すなわち、円形リターダンスとして現れる)。例えば、適切な材料の一例は、単結晶MgFである。
もちろん、上述の実施形態は、単に例として提供されただけである。当業者は理解することであろうが、本発明の範囲から逸脱することなしに、様々な修正物、代替え構成、および/または同等物が使用されるだろう。例えば、2つのFBARコーティングの間に高傾斜O−プレートを位置付けすることは低応力設計を実現するが、他の実施形態では、高傾斜O−プレートの1つの側だけがFBARでコーティングされる。もしくは、他の実施形態では、1つまたは複数のFBARコーティングおよび高傾斜O−プレートは、異なる基板で支持される。さらに、FBARコーティング高傾斜O−プレートは、VANモードLCoSシステムでトリム・リターダとして使用するのに適していると述べたが、他の実施形態では、これは、他のLCoSシステムおよび/または透過型LCD投影システムで使用される。さらに、FBARコーティング高傾斜O−プレートは、独立型のトリム・リターダとして示されたが、他の実施形態では、これは、マイクロディスプレイ投影システムのディスプレイ・パネル・カバーに一体化される。したがって、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される意図である。
従来技術の3パネル・ワイヤ格子偏光子(WGP)ベースの液晶オン・シリコン(LCoS)光投影エンジンを示す模式図である。 LCoSパネルおよびトリム・リターダを二回通過による直線偏光の維持を示す図である。 LCosパネルおよびトリム・リターダの遅軸の相対的な方位角方向を示す模式図である。 図4aは実質的に大きさの等しいA−プレート副要素を有する二重層A−プレート要素を示す模式図である。図4bは交差軸A−プレート要素を示す模式図であり、A−プレート副要素は、実質的に直交するリターダ軸で方向付けされている。 二重層A−プレート/A−プレート石英リターダのモデル化軸外リターダンス特性を示す図である。 交差軸A−プレート/A−プレート石英リターダのモデル化軸外リターダンス特性を示す図である。 二重層A−プレート・リターダ要素のモデル化面内リターダンス成分(直線および円)およびリターダ軸を示す図である。 交差軸A−プレート/A−プレート石英リターダのモデル化面内リターダンス成分(直線および円)およびリターダ軸を示す図である。 図9aは傾斜配向単軸層を示す模式図である。図9bは傾斜配向単軸層の面内および面外リターダ要素への分解を示す模式図である。 傾斜配向単軸複屈折層のC−プレート・リターダンスとA−プレート・リターダンスの比を示す図である。 本発明の一実施形態に従った構造性複屈折ARコーティング傾斜配向固体複屈折結晶板を示す図である。 赤色、緑色および青色波長におけるコーティングなし単層O−プレート石英リターダの測定された軸外リターダンス特性を示す図である。 コーティングなし単層O−プレート石英リターダの測定された面内リターダンス・スペクトル(直線および円)およびリターダ軸を示す図である。 緑−赤FBARコーティング単層石英O−プレート・リターダの測定およびモデル化面内リターダンス・スペクトル(直線および円)およびリターダ軸を示す図である。 コーティング単層石英O−プレートの測定リターダンスの三つ組(直線、軸および円形リターダンス)を示す図である。 コーティング単層石英O−プレートのモデル化リターダンスの三つ組(直線、軸および円形リターダンス)を示す図である。 0から20°のAOIについて全方位面にわたったコーティング単層石英O−プレートの測定リターダンスの三つ組(直線、軸および円形リターダンス)を示す図である。
符号の説明
100 トリム・リターダ
110 単層複屈折結晶アセンブリ
111 単層の複屈折結晶
112 屈折率楕円体
113 デバイス垂線に対する鋭角
115 接着層
119 透明基板
120 第1のFBAR誘電体コーティング
121 第1の構造性複屈折スタック
122 第1の屈折率整合部分
123 第2の屈折率整合部分
130 第2のFBARコーティング
131 第2の構造性複屈折スタック
132 第3の屈折率整合部分
133 第4の屈折率整合部分

Claims (18)

  1. 単軸複屈折結晶層の表面に対して傾斜角の光学軸を有する前記単軸複屈折結晶層を含む単層ゼロ次リターダを備え、前記傾斜角は、前記単軸複屈折結晶層の厚さが10μmよりも大き、前記単軸複屈折結晶層が所定の波長範囲で使用される液晶ディスプレイ・パネルの残留面内リターダンスを補償するのに適した面内リターダンスを前記所定の波長範囲に有するように、選ばれ、および
    対照的な屈折率材料の交互の層の少なくとも1つの周期的スタックを含む少なくとも1つの多層スタックを備え、前記交互の層の各々の厚さおよび屈折率は、前記少なくとも1つの多層スタックが前記所定の波長範囲において前記単軸複屈折結晶層の正の面外リターダンスおよび前記液晶ディスプレイ・パネルの正の面外リターダンスを補償するのに適した負の面外リターダンスを前記所定の波長範囲に有するように、選ばれる、光リターダ。
  2. 前記少なくとも1つの多層スタックが、第1の反射防止コーティングを含み、交互の層の前記少なくとも1つの周期的スタックが、前記第1の反射防止コーティングに一体化された第1の構造性複屈折スタックを含む、請求項1に記載の光リターダ。
  3. 前記少なくとも1つの多層スタックが、第2の反射防止コーティングを含み、交互の層の前記少なくとも1つの周期的スタックが、前記第2の反射防止コーティングに一体化された第2の構造性複屈折スタックを含む、請求項2に記載の光リターダ。
  4. 前記第1の反射防止が、前記単軸複屈折結晶層の第1の側によって支持され、前記第2の反射防止コーティングが、前記単軸複屈折結晶層の反対の第2の側によって支持される、請求項3に記載の光リターダ。
  5. 前記単軸複屈折結晶層を支持する基板を備え、前記基板は、前記単軸複屈折結晶層に積層された第1の表面と、前記第1および第2の反射防止コーティングの一方が堆積された第2の表面とを有する、請求項4に記載の光リターダ。
  6. 前記傾斜角が、前記単軸複屈折結晶層の正の面外リターダンスと前記単軸複屈折結晶層の面内リターダンスの比が約10よりも大きく約200よりも小さいように選ばれる、請求項1から5のいずれかに記載の光リターダ。
  7. 前記傾斜角が、前記単軸複屈折結晶層の正の面外リターダンスと前記単軸複屈折結晶層の面内リターダンスの比が約30よりも大きく約150よりも小さいように選ばれる、請求項1から5のいずれかに記載の光リターダ。
  8. 前記単軸複屈折結晶層が、石英を含む、請求項7に記載の光リターダ。
  9. 前記単軸複屈折結晶層の面内リターダンスが、30nmよりも小さい、請求項1から5のいずれかに記載の光リターダ。
  10. 前記単軸複屈折結晶層の厚さが、50μmよりも大きい、請求項1から5のいずれかに記載の光リターダ。
  11. 前記傾斜角が、45°よりも大きい、請求項1から5のいずれかに記載の光リターダ。
  12. 前記傾斜角が、75°よりも大きい、請求項1から5のいずれかに記載の光リターダ。
  13. 前記傾斜角が、80°と86°の間である、請求項1から5のいずれかに記載の光リターダ。
  14. 前記所定の波長範囲が、380nmから800nmである、請求項1から5のいずれかに記載の光リターダ。
  15. 光源と、
    前記光源から光を受け取り、第1の直線偏光軸を有する第1の直線偏光を通過させる第1の偏光子と、
    前記第1の直線偏光を光学的に変調する液晶ディスプレイ・パネルと、
    前記光学的に変調された光を受け取り、第2の直線偏光軸を有する第2の直線偏光を通過させる第2の偏光子と、
    前記第2の直線偏光を画面に投影する投影レンズと、
    前記液晶ディスプレイ・パネルと前記第1および第2の偏光子の少なくとも1つとの間に配置されたトリム・リターダと、を備え、
    前記トリム・リターダが、
    単軸複屈折結晶層の表面に対して傾斜角の光学軸を有する前記単軸複屈折結晶層を含む単層ゼロ次リターダを備え、前記傾斜角は、前記単軸複屈折結晶層の厚さが10μmよりも大き、前記単軸複屈折結晶層が前記液晶ディスプレイ・パネルの残留面内リターダンスを補償するのに適した面内リターダンスを有するように、選ばれ、および
    対照的な屈折率材料の交互の層の少なくとも1つの周期的スタックを含む少なくとも1つの多層スタックを備え、前記交互の層の各々の厚さおよび屈折率は、前記少なくとも1つの多層スタックが前記単軸複屈折結晶層の正の面外リターダンスおよび前記液晶ディスプレイ・パネルの正の面外リターダンスを補償するのに適した負の面外リターダンスを有するように、選ばれる、液晶ディスプレイに基づいた投影システム。
  16. 前記液晶ディスプレイ・パネルが、反射型液晶ディスプレイ・パネルであり、前記第1および第2の直線偏光軸は直交し、さらに、前記第1および第2の偏光子は同じ偏光ビームスプリッタを備える、請求項15に記載の液晶ディスプレイに基づいた投影システム。
  17. 前記液晶ディスプレイ・パネルが、垂直配向ネマチック液晶オン・シリコン・パネルを備える、請求項15または16に記載の液晶ディスプレイに基づいた投影システム。
  18. 前記トリム・リターダが、前記液晶ディスプレイ・パネルと一体化されている、請求項15または16に記載の液晶ディスプレイに基づいた投影システム。
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