JP5588672B2 - 半導体装置の試験方法 - Google Patents
半導体装置の試験方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5588672B2 JP5588672B2 JP2009293375A JP2009293375A JP5588672B2 JP 5588672 B2 JP5588672 B2 JP 5588672B2 JP 2009293375 A JP2009293375 A JP 2009293375A JP 2009293375 A JP2009293375 A JP 2009293375A JP 5588672 B2 JP5588672 B2 JP 5588672B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity type
- trench
- semiconductor device
- type
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 86
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 19
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 69
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 238000010998 test method Methods 0.000 claims description 12
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 5
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 108010075750 P-Type Calcium Channels Proteins 0.000 description 52
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 description 20
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 description 5
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
図1は、実施の形態にかかる半導体装置の要部の構成を示す断面図である。ここでは、シリコン基板表面におけるパターンがストライプ状のトレンチゲート構成を有するnチャネル型IGBTを例にして説明する。図1には、IGBTを、シリコン基板面に垂直な方向であって、トレンチゲート構成のストライプ状パターン部分を横切る方向に切断した断面の構成が示されている。図1に示すように、n型半導体基板21aの一方の主表面には、p型チャネル層23aが形成されている。n型半導体基板21aにおいて、n型の半導体層は低濃度のn型ベース層21bである。p型チャネル層23a内の表面層には、n+型エミッタ領域24となるn型半導体領域が選択的に形成されている。
実施の形態にかかる半導体装置の試験方法においては、実施の形態にかかる半導体装置を用いてターンオフスイッチング試験が実施される。図2は、実施の形態にかかる半導体装置のターンオフ波形の概略を示す特性図である。図2において、左の縦軸はコレクタ電圧およびコレクタ電流であり、右の縦軸はゲート電圧および第3p型チャネル領域の電圧である。横軸は時間である。VGEはゲート電圧であり、VCEはコレクタ電圧であり、ICはコレクタ電流である。
23a 第2導電型チャネル層
23b 第1チャネル領域
23c 第2チャネル領域
23d 第3チャネル領域
24 第1導電型半導体領域
25a 第1トレンチ
25b 第2トレンチ
26a ゲート絶縁膜
26b 第1絶縁膜
27a ゲート電極
27b 埋設電極
30 電極
Claims (4)
- 第1導電型半導体基板の一方の主表面に第2導電型チャネル層が形成され、該第2導電型チャネル層内の表面層に第1導電型半導体領域が選択的に形成され、前記第2導電型チャネル層の表面から前記第1導電型半導体基板に達する複数のトレンチが形成され、該トレンチが、ゲート絶縁膜を介してゲート電極が埋め込まれてなる第1トレンチと、第1絶縁膜を介して、前記ゲート電極に非接続の埋設電極が埋め込まれてなる第2トレンチと、に分けられ、前記第2導電型チャネル層が、前記第1トレンチのみに隣接する第1チャネル領域と、前記第2トレンチに隣接する第2チャネル領域と、に分けられ、前記埋設電極が、両側を前記第1トレンチと前記第2トレンチとに挟まれる前記第2チャネル領域の表面のみに導電接続されており、前記第1トレンチの側壁に接する前記第1導電型半導体領域および前記第1チャネル領域に共通に電気的に接続する電極が、前記ゲート電極、前記埋設電極および前記第2チャネル領域から絶縁されてなる絶縁ゲート型半導体装置に対する試験方法において、
前記半導体装置のゲート抵抗値および前記半導体装置のターンオフ電流値の一方または両方を、前記半導体装置のターンオフ時に前記埋設電極と前記第2トレンチのみに隣接する前記第2チャネル領域との間に前記第1絶縁膜の耐電圧を保証する最大電圧程度の電位差を発生させ得る値以下のゲート抵抗値または前記電位差を発生させ得る値以上のターンオフ電流値に設定し、前記半導体装置をターンオフさせることにより、前記埋設電極と前記第2トレンチのみに隣接する前記第2チャネル領域との間に前記電位差を発生させて前記第1絶縁膜の絶縁特性を評価することを特徴とする半導体装置の試験方法。 - 前記半導体装置は、前記第1導電型半導体基板の他方の主表面に形成された第2導電型半導体層と、該第2導電型半導体層に電気的に接続する電極と、を備える絶縁ゲート型バイポーラトランジスタであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の試験方法。
- 前記半導体装置は、前記第1導電型半導体基板における第1導電型の半導体層と前記第2導電型半導体層との間に、前記第1導電型の半導体層よりも高濃度のフィールドストップ層を備えることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の試験方法。
- 前記半導体装置は、前記第1導電型半導体基板の他方の主表面に導電接続された電極、または前記第1導電型半導体基板の他方の主表面に形成された、前記第1導電型半導体基板よりも高濃度の第1導電型半導体層に電気的に接続する電極、を備える絶縁ゲート型トランジスタであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009293375A JP5588672B2 (ja) | 2009-12-24 | 2009-12-24 | 半導体装置の試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009293375A JP5588672B2 (ja) | 2009-12-24 | 2009-12-24 | 半導体装置の試験方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011134911A JP2011134911A (ja) | 2011-07-07 |
JP5588672B2 true JP5588672B2 (ja) | 2014-09-10 |
Family
ID=44347325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009293375A Expired - Fee Related JP5588672B2 (ja) | 2009-12-24 | 2009-12-24 | 半導体装置の試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5588672B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000040951A (ja) * | 1998-05-18 | 2000-02-08 | Toshiba Corp | 半導体素子、その駆動方法及び駆動装置 |
JP2004111604A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Denso Corp | トランジスタのチップ構造及びその耐圧測定方法 |
JP2006049455A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | トレンチ型絶縁ゲート半導体装置 |
JP5359182B2 (ja) * | 2008-01-28 | 2013-12-04 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
-
2009
- 2009-12-24 JP JP2009293375A patent/JP5588672B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011134911A (ja) | 2011-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5694505B2 (ja) | 電力半導体デバイス | |
JP6459791B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP6021908B2 (ja) | 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ | |
JP6056202B2 (ja) | 半導体装置、半導体装置の制御方法および半導体装置の評価方法 | |
JP6115050B2 (ja) | 半導体装置 | |
US10734375B2 (en) | Semiconductor device | |
JP6515484B2 (ja) | 半導体装置 | |
WO2019159351A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置 | |
JP2017501567A (ja) | 絶縁ゲートバイポーラトランジスタ | |
CN204102904U (zh) | 半导体装置 | |
US8227857B2 (en) | Planar extended drain transistor and method of producing the same | |
JP6930858B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5068057B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2008060152A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP7147703B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2019117867A (ja) | 半導体装置 | |
US20170170310A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method of the semiconductor device | |
JP2005327806A (ja) | 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ | |
JP5686507B2 (ja) | トレンチゲート型半導体装置 | |
JP5588672B2 (ja) | 半導体装置の試験方法 | |
JP2012049428A5 (ja) | ||
JP2012028451A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
US9755020B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
KR20100048061A (ko) | 개선된 트랜스컨덕턴스를 갖는 고전력 반도체 소자 | |
JP2017045874A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110422 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140701 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140728 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5588672 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |