JP5583723B2 - 太陽電池の欠陥検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
太陽電池の欠陥を検査する装置において、
太陽電池に光を照射する光源と、
前記光源の照度を制御する光源制御回路と、
前記太陽電池から出力された電流を与えられ、電圧に変換して出力する電流電圧変換器と、
前記電流電圧変換器から出力された電圧を与えられて増幅して出力する増幅器と、
前記増幅器からの出力をディジタルデータに変換して出力するA/D変換器と、
前記A/D変換器から出力されたディジタルデータに画像処理を行って画像データを出力する画像処理装置と、
前記画像処理装置から出力された前記画像データを与えられて画像表示を行う表示器と、
を備え、
前記太陽電池が発電した起電流成分に基づいて検査する太陽電池の欠陥検査装置であって、
前記光源はレーザであり、
前記太陽電池に照射される前記レーザのビームは楕円形状であり、
前記光源は、前記楕円の短軸方向を、前記太陽電池の1辺と略平行に配置するとともに、前記楕円の長軸方向を、前記太陽電池の1辺と略垂直な他の辺と略平行に配置し、、
前記光源は、前記レーザのビームを、前記太陽電池の1辺から角度αの方向に、該1辺の端点から、該1辺に対向する他の辺上の前記端点の対角位置にある他の端点までジグザグ状に走査させる走査部材を有することを特徴とする太陽電池の欠陥検査装置である。
ここからは図を用いて、本発明の第1実施形態を説明する。
本実施形態において、測定対象セル1に光を照射するレーザは、波長630nm近辺、安全クラスは、Class3B、出力70mWの赤色半導体レーザである。半導体レーザは、出斜口が矩形であるため、その放射光は楕円錐形に広がることが特徴である。
次に、セル受光面に対して、レーザー光を適切なスポットサイズに集光する光学系は、コリメーターレンズ1枚もしくはレンズと半導体レーザー間にアパ−チャを追加したシンプルな形態で構成される。このような光学系では、そのビームスポット形状511は、楕円になる。
セル1とミラー52の集光点との距離lは、ミラー52の振り角度θ0は26度であるため、6インチのセル1の場合、180mmとなる。
図3は一枚のセル上を、レーザのビームが走査する様子を示している。図3に示すように、レーザ光は、X軸の正方向および負方向の走査とY軸の正方向の走査を順繰りに行う。したがって、レーザ光は辺bから角度αだけ辺aまたは辺cの方向に傾いた方向に走査される。つまり、ミクロな視点では、レーザ光はセル1上をジグザグ状に走査している。図3では、セル1の中間部分の走査を表す点線を省略している。より詳細には、レーザの走査開始点である辺aと辺bとの交点P0から辺c上のP1まで走査する(第一走査21)。この時、線分P0P1と辺bがなす角度がαである。次に、レーザは辺a上のP2まで走査する(第二走査22)。このとき、線分P1P2と辺bがなす角度もαである。このようにレーザは、辺aから辺cへの第一走査21と、辺cから辺aへの第二走査22を繰り返し、辺d上の点Pkに到達する。このようなレーザ光の走査方向の制御は、図2に示すミラー(走査部材)52によって行われる。
次に、楕円の長径および短径とレーザ光の走査方向との関係であるが、欠陥部12を持つセル1を検査するに当たり、ビームの走査方向(X軸)に短径を持つ場合が図4A,ビーム走査方向(X軸)に長径を持つ場合が図4Bである。欠陥が走査方向とほぼ水平に形成されている場合は欠陥として認識されやすいが、図4Aおよび図4Bのように走査方向に対して垂直に形成されている場合は見落としが生じる可能性がある。このため、走査方向と垂直方向に形成された欠陥を対象として考えると、図4Aのように短径が走査方向と同じである場合の方が、ビームに占める欠陥12の面積が大きいため、欠陥12として認識されやすい。このため、本実施形態では、楕円の向きを、短径が走査方向すなわちX軸側となるようにした。
本出願人は、以下の条件で最適なレーザビーム形状に関する実験を行った。
[条件]
X軸走査周波数:f = 500Hz(周期:2ms)
X軸走査触れ角:θ0= 26°
Y軸走査速度: V = 160mm/s
セル1辺の長さ: 2m = 160mm(おおよそ6インチセルと同等の長さ)
ビームの長径:DL = 0.1mm
ビームの短径:DS = 0.03mm
サンプリング周波数:Fs = 4MHz
ミラーとセルの距離:l =180mm
ミラー: MEMSミラー
(最適なビームの短径)
図6は、図5と同様に、上記条件において、おおよそ6インチセルの面積に相当するセル1にレーザを照射した場合の、レーザ照射領域を示す図である。図6A、6B、6C、6Dは、それぞれ、図6のE,F,G、Hの部分を拡大したものである。図6ではセル1のほぼ全体にレーザが照射されているように見えるが、図6A〜図6Dの通り、上記条件においては、セル端では走査漏れがあまり発生しないが、セル中央では走査漏れが多く発生する。本実施形態ではMEMSミラーを用いているので、その変位量は正弦波で表される。このため、走査速度はセル中央において最大となり、セル両端に近づくにしたがって遅くなる。
x(t)
= l*tan(θ(t))
= l*tan(θ0* sin(2πft)) と表すことができる。
X軸における最大のサンプリング間隔Hは、
H
= x(1/Fs)− x(0)
= x(1/Fs)
= l*tan(θ0* sin(2πf (1/Fs))
=180mm * tan (26°*sin(2π*500Hz*1/4MHz))
=0.064mmとなる。つまり、DS≧0.064mm =64μmとすれば、セル中央においてX軸方向におけるレーザの走査漏れ部分を少なくすることができる。
このように、第1の実施形態では、レーザ光のビームの短径方向を主走査方向であるX軸に略平行にし、長径方向をY軸方向に略平行にした状態で、セル1の1辺の端部から、この1辺に対向する他の辺上の対角位置の端点までジグザグ状にレーザ光を走査させるため、セル1の全領域を漏れなく走査できる。また、走査方向に沿って隣接するレーザビーム同士が互いに重なり合うようにビームの長径と短径を設定するため、セル1内にレーザビームが照射されないデッドスペースが生じることがない。よって、セル1の欠陥検査をより精度よく行うことができる。
次に、本発明の第2実施形態を説明する。
本実施形態において使用するレーザは、第1実施形態のものと同じであるので、説明は省略する。
図7に示すように、レーザは、X軸の正の方向の走査(第一主走査)と、Y軸の正の方向の走査(副走査)と、X軸の負の方向の走査(第二主走査)を繰り返しながら、セル1上の点Q0から点Qkまで走査する。つまり、レーザはセル1上を辺bと平行な方向に走査される。
このようにレーザは、辺aから辺cへの第一主走査と、辺cでの副走査と、辺cから辺aへの第二主走査と、辺aでの副走査を繰り返し、辺cと辺dの交点Qkに到達する。
2 フィンガー電極
3 バスバー電極
4 ピン
5 光源部
51 光源
52 ミラー
6 光源制御回路
7 電流電圧変換器
8 増幅器
9 A/D変換器
10 画像処理装置
11 画像表示器
511 ビームスポット
512 第一主走査
513 第二主走査
514 副走査
Claims (3)
- 太陽電池の欠陥を検査する装置において、
太陽電池に光を照射する光源と、
前記光源の照度を制御する光源制御回路と、
前記照射された光により前記太陽電池が発電した起電流を電圧に変換して出力する電流電圧変換器と、
前記電流電圧変換器から出力された電圧を増幅して出力する増幅器と、
前記増幅器からの出力をディジタルデータに変換して出力するA/D変換器と、
前記A/D変換器から出力されたディジタルデータに画像処理を行って画像データを出力する画像処理装置と、
前記画像処理装置から出力された前記画像データを与えられて画像表示を行う表示器と、
を備え、
前記太陽電池が発電した起電流成分に基づいて検査する太陽電池の欠陥検査装置であって、
前記光源はレーザであり、
前記太陽電池に照射される前記レーザのビームは楕円形状であり、
前記光源は、前記楕円の短軸方向を、前記太陽電池の1辺と略平行に配置するとともに、前記楕円の長軸方向を、前記太陽電池の1辺と略垂直な他の辺と略平行に配置し、
前記光源は、前記レーザのビームを、前記太陽電池の1辺から角度αの方向に、該1辺の端点から、該1辺に対向する他の辺上の前記端点の対角位置にある他の端点までジグザグ状に走査させる走査部材を有することを特徴とする太陽電池の欠陥検査装置。 - 前記楕円の短軸方向の長さDSは、DS≧d*tan(θ0* sin(2πft))(dは前記レーザから前記太陽電池までの距離、θ0は前記レーザの主走査方向の触れ角、fは前記レーザの主走査周波数、tは時刻)であり、
前記楕円の長軸方向の長さDLは、DL≧V/f(Vは前記レーザの主走査速度、fは前記レーザの主走査周波数)である、
請求項1に記載の太陽電池の欠陥検査装置。 - 太陽電池の受光面上でレーザのビームを走査させて、前記太陽電池が発電した起電流成分に基づいて前記太陽電池を検査する太陽電池の欠陥検査方法において、
前記太陽電池に照射される前記レーザのビームは楕円形状であり、
前記楕円の短軸方向を、前記太陽電池の1辺と略平行に配置し、かつ
前記楕円の長軸方向を、前記太陽電池の1辺と略垂直な他の辺と略平行に配置し、かつ、
前記レーザのビームを、前記太陽電池の1辺から角度αの方向に、該1辺の端点から、該1辺に対向する他の辺上の前記端点の対角位置にある他の端点までジグザグ状に走査させることを特徴とする太陽電池の欠陥検査方法。
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