JP5582253B2 - ガス排気用ポンプの回転機構およびその製造方法、並びにその回転機構を備えるガス排気用ポンプ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
AC−5539(静電塗装高分子厚塗り用、紛体)
AC系列としては、この他には、AC−5600、ACX−21、ACX−31、ACX−31WH、ACX−34、ACX−41が挙げられる。
EM−500CL(水性トップコート用)、EM−500GN(水性トップコート用)、EM−700CL(水性トップコート用)、EM−700GN(水性トップコート用)、EM−700GY(水性トップコート用)が挙げられ、これらは、複雑な形状のためで静電塗装が出来ない物品向きである。
NK−108(潤滑性、標準膜厚50μm、耐熱温度260℃)、NK−372,379(潤滑、帯電防止、標準膜厚100、300μm、耐熱温度260℃)、NK−013,013C(耐摩耗、標準膜厚300μm、耐熱温度150℃)が挙げられる。
NF−015(標準膜厚50μm)、NF−015EC(標準膜厚40μm、帯電防止)、NF−020AC(標準膜厚600μm、帯電防止)が挙げられる。
(1)金属基材(被塗装材)(電解研磨処理済)の準備 → (2)脱脂またはカラ焼き → (3)粗面化処理(ブラスト処理)又は/及び下地膜形成 ⇒ (4)清浄化⇒ (5)プライマー塗装 → (6)予備乾燥 → (7)トップコート(PFA)塗装 → (8)予備乾燥 → (9)一次焼成(溶融) → (10)一次冷却(使用するPFAの融点より低くする) → (11)二次焼成(再溶融) → (12)二次冷却(室温)
鏡面研磨処理した後、所定の洗浄処理を施した板状のSUS基材(SUS316LーEP:10x10mm2、厚さ2mm)を2枚(基材1,2)、用意した。これらの基材の鏡面加工面の表面平滑度を市販の面粗さ測定装置(Veeco社製 dektak 6M)で測定したところ、何れも面粗度Raは、0.006μmであった。
無電解メッキ液(A):硫酸ニッケル・・・・・・・26.3g/l
次亜リン酸ナトリウム・・・21.2g/l
クエン酸・・・・・・・・・25.0g/l
酢酸・・・・・・・・・・・12.5g/l
ロッセル塩・・・・・・・・16.0g/l
尿素・・・・・・・・・・・12.5g/l
pH・・・・・・・・・・・6.0
浴温・・・・・・・・・・・80℃
塗装条件:スプレーガンのノズル径・・・・・1.2mmφ
霧化圧力・・・・・・・・・・・・0.3MPa
乾燥条件:85℃、15分
静電塗装装置(ランズバーグ株式会社製):ハンドガン・・・・・REA90/L
高圧コントローラ・・9040
重ね塗り回数・・・・3回
一回当たりの塗装量・・・・120±10μm
塗装間での中間焼成・・・・・約340℃、15分
本実験で使用した赤外線加熱炉は、未使用時でも、石英容器の設置された内部に常に100%アルゴンを1l/minの流量で流して内部の清浄度を保っている。
測定結果が、表1に示される。
実験1における板状基材に代えて、内面が円筒凹面の半円筒基材にした以外は、実験1と同様にして、各基材をNi処理やPFA処理を施して平滑度測定用の試料2−1(Ni処理が施されている)、2−2(Ni処理が施されてない)を得た。これらについて、実験1と同様にして平滑度を測定した。その結果を表2−1及び表2−2に示す。
鏡面研磨がされている板状SUS基板(SUS316L―EP:2cm×5cm)を2枚(試料3−1,3−2)用意し、実験1と同様にしてSUS基板の鏡面研磨した面上にNi膜を設けた。実験1と同様に、2枚のSUS基板の鏡面研磨面とNi膜面の表面粗さを測定したところ、実験1と略同様の結果を得た。
委託先:日本フッソ工業株式会社
トップコート材:ACX-31(ダイキン工業株式会社製)
塗装法:静電塗装
PFA塗装厚:20μm
(1)20%O2/Arを1l/minの流量で流し室温から345℃まで1時間で昇温する。
(2)雰囲気はそのままで345℃を30分間保持する。
(3)Ar100%を5l/minの流量で流し10分で280℃に下げる。この段階で、試料3−2は、不加熱位置に移動させ、その後の加熱履歴(再溶融)が生じないようにする。
(4)雰囲気はそのままで280℃を30分間保持する
(5)雰囲気をAr100%、1l/minの流量に変えて6分で280℃から310℃まで昇温する。
(6)雰囲気はそのままで310℃を30分間保持する。
(7)加熱をOFFにし石英製の簀の子(試料3−1の)を不加熱位置に移動させて自然放冷させる。
試料3−1:Ra=0.061μm、PV=0.302μm
試料3−2:Ra=0.354μm、PV=2.141μm
トップコート材を変え、表4に記載の条件にした以外は、実験1と同様にして板状SUS基材の鏡面研磨面上にPFA膜を設けて、実験1と同様にしてPFA膜表面の平滑度を測定した。結果は、表4に示す。
トップコート材
MP−310(三井・デュポンフロロケミカル社)
EM−500CL(三井・デュポンフロロケミカル社),
EM−700CL(三井・デュポンフロロケミカル社)
AW−5000L(ダイキン工業株式会社)
101・・・・雌スクリューローター
102・・・・雄スクリューローター
103・・・・スクリュー歯溝部
104・・・・スクリュー雌雄歯溝噛合部
105・・・・回転軸
106・・・・ステータ
107・・・・アンギュラーベアリング
108・・・・シールハウジング
109・・・・潤滑油供給路
110・・・・ベースプレート
111・・・・潤滑油
112・・・・潤滑油貯留部
113・・・・シール部材
114・・・シールガス供給路
115・・・・シールガス排出路
116・・・・軸受ボディ
117・・・・間隙
118・・・・シールハウジング内壁面
119・・・・回転軸外表面
120・・・・PFA膜
Claims (3)
- スクリューロ−ターの回転軸と前記回転軸を回転自在に取り付けて収容するシールハウジングとを備えるガス排気用ポンプの回転機構の製造方法において、
外壁面にPFAの塗装膜が設けてある回転軸および内壁表面にPFAの塗装膜が設けてあるシールハウジングの少なくとも一方を用意し、
用意された方の部材を、PFAの溶融温度より高い温度雰囲気に晒して前記塗装膜の少なくとも自由表面領域を溶融し、
その後、PFAの溶融温度より低い温度に晒して少なくとも自由表面領域となる部分を固化し、
次いで、PFAの溶融温度またはPFAの溶融温度を越した辺りの温度の雰囲気に晒して少なくとも自由表面領域となる部分を再溶融し、
その後、PFAの溶融温度より十分低い温度に下げることで、PFAからなる固体膜の自由表面の平滑性を高める工程を含むことを特徴とする製造方法。 - ガス排気用ポンプの製造方法において、請求項2に記載の回転機構の製造方法に含まれる工程を含むことを特徴とする製造方法。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
JP2014177630A (ja) * | 2011-07-08 | 2014-09-25 | Tohoku Univ | ガス排気用ポンプの回転機構およびその製造方法、並びにその回転機構を備えるガス排気用ポンプ及びその製造方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112263850B (zh) * | 2020-09-30 | 2022-04-26 | 青岛双瑞海洋环境工程股份有限公司 | 用于次氯酸钠发生器的气液分离装置 |
CN114812199B (zh) * | 2022-06-22 | 2023-10-27 | 宁夏三元中泰冶金有限公司 | 一种硅铁矿热炉的电极控制系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62165067A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-21 | Japan Steel Works Ltd:The | 耐食性を具えた圧力容器の製造方法 |
JPH0693988A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-05 | Hitachi Ltd | ドライスクリュ圧縮機 |
JP2001323817A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 機械駆動式過給機のシール構造 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4722664A (en) * | 1981-06-05 | 1988-02-02 | The Duriron Company, Inc. | Lined corrosion resistant pump |
JPH0646032B2 (ja) * | 1985-02-25 | 1994-06-15 | 株式会社日立製作所 | 容積形オイルフリ−式ガス圧送ポンプ |
JPS6323774A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-02-01 | Samitsuto Jushi Kogyo Kk | ふつ素樹脂のライニング方法 |
JPS63212547A (ja) * | 1987-02-28 | 1988-09-05 | 住友電気工業株式会社 | 弗素樹脂を被覆した鉄箔 |
US5401149A (en) * | 1992-09-11 | 1995-03-28 | Hitachi, Ltd. | Package-type screw compressor having coated rotors |
JPH0763179A (ja) * | 1993-08-27 | 1995-03-07 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | リショルム型コンプレッサ |
IT1309299B1 (it) * | 1999-06-23 | 2002-01-22 | Samputensili Spa | Compressore rotativo a vite per gas refrigerante da utilizzare in unimpianto di condizionamento o refrigerazione di piccola potenza. |
JP2004190605A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Toshiba Kyaria Kk | 流体機械 |
JP4250585B2 (ja) * | 2004-12-07 | 2009-04-08 | 日本ピラー工業株式会社 | メカニカルシール装置 |
JP2007039711A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Nippon Kanizen Kk | フッ素樹脂膜を有するめっき皮膜およびその製造方法 |
JP4812886B2 (ja) * | 2009-11-12 | 2011-11-09 | 住友電工ファインポリマー株式会社 | フッ素樹脂被覆ローラまたはベルトの製造方法 |
JP4992136B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2012-08-08 | 住友電工ファインポリマー株式会社 | 定着ユニット用部材の製造方法及び定着ユニット用部材 |
JP5582253B2 (ja) * | 2011-07-08 | 2014-09-03 | 国立大学法人東北大学 | ガス排気用ポンプの回転機構およびその製造方法、並びにその回転機構を備えるガス排気用ポンプ及びその製造方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62165067A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-21 | Japan Steel Works Ltd:The | 耐食性を具えた圧力容器の製造方法 |
JPH0693988A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-05 | Hitachi Ltd | ドライスクリュ圧縮機 |
JP2001323817A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 機械駆動式過給機のシール構造 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014177630A (ja) * | 2011-07-08 | 2014-09-25 | Tohoku Univ | ガス排気用ポンプの回転機構およびその製造方法、並びにその回転機構を備えるガス排気用ポンプ及びその製造方法 |
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