JP5581090B2 - 酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液の処理方法および処理装置 - Google Patents
酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液の処理方法および処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5581090B2 JP5581090B2 JP2010074592A JP2010074592A JP5581090B2 JP 5581090 B2 JP5581090 B2 JP 5581090B2 JP 2010074592 A JP2010074592 A JP 2010074592A JP 2010074592 A JP2010074592 A JP 2010074592A JP 5581090 B2 JP5581090 B2 JP 5581090B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waste liquid
- hydrogen peroxide
- concentration
- acid
- irradiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 254
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 229
- 239000002699 waste material Substances 0.000 title claims description 229
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 71
- 239000002253 acid Substances 0.000 title claims description 54
- 239000002585 base Substances 0.000 title claims description 22
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 54
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 36
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 23
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 21
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 20
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims description 18
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical group N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims 2
- 239000010808 liquid waste Substances 0.000 claims 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 5
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 5
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 4
- -1 ammonia hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005502 peroxidation Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 2
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 1
Images
Description
2 促進剤
11 導入管
12 貯留槽
13 配管
14、14A、14B 処理槽
15 排出管
16 バルブ
17 環流管
18 測定装置
19 バルブ
21 促進剤槽
31,32,33,34 制御装置
41 (紫外線の)光源
42 配管
51,52,53,54,55,56 (廃液処理)装置
Claims (8)
- 酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液に紫外線を照射して、前記廃液に含まれる過酸化水素を分解する照射工程と、
前記照射工程を経た前記廃液における過酸化水素の濃度を測定する測定工程と、
前記測定工程において測定された前記過酸化水素の濃度と、当該濃度の基準値とを対比して、前記測定された濃度が前記基準値を超える場合に以下の(a)を実施する、制御工程と、
を含む、酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液の処理方法。
(a)前記照射工程を経た前記廃液の少なくとも一部の環流と、前記照射工程が実施される前の前記廃液に対する、環流させた前記廃液の混合と、を開始する、または
前記環流および混合が既に行われているときに、前記照射工程を経た前記廃液の当該環流および混合の量を増加させる。 - 前記照射工程が実施される前の前記廃液に対して、紫外線の照射による過酸化水素の分解を促進する促進剤を添加し、
前記促進剤が、有機物を含む溶液である請求項1に記載の処理方法。 - 前記酸が、硫酸、塩酸またはフッ酸である請求項1に記載の処理方法。
- 前記塩基が、アンモニアである請求項1に記載の処理方法。
- 酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液に紫外線を照射する紫外線照射機構と、
前記紫外線を照射した後の前記廃液における過酸化水素の濃度を測定する測定機構と、
以下の(A)と、を備える、酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液の処理装置。
(A)前記紫外線を照射した後の前記廃液の少なくとも一部を環流させて、前記紫外線が照射される前の前記廃液に混合する環流機構、ならびに
前記測定機構において測定された前記過酸化水素の濃度と、当該濃度の基準値とを対比して、前記測定された濃度が前記基準値を超える場合に、
前記環流機構による前記環流および混合を開始するか、または前記環流および混合が既に行われているときに前記環流および混合させる前記廃液の量を増加させる、環流制御機構。 - 前記紫外線が照射される前の前記廃液に対して、紫外線の照射による過酸化水素の分解を促進する促進剤を添加する促進剤添加機構をさらに備え、
前記促進剤が、有機物を含む溶液である請求項5に記載の処理装置。 - 前記酸が、硫酸、塩酸またはフッ酸である請求項5に記載の処理装置。
- 前記塩基が、アンモニアである請求項5に記載の処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010074592A JP5581090B2 (ja) | 2010-03-29 | 2010-03-29 | 酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液の処理方法および処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010074592A JP5581090B2 (ja) | 2010-03-29 | 2010-03-29 | 酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液の処理方法および処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011206637A JP2011206637A (ja) | 2011-10-20 |
JP5581090B2 true JP5581090B2 (ja) | 2014-08-27 |
Family
ID=44938347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010074592A Expired - Fee Related JP5581090B2 (ja) | 2010-03-29 | 2010-03-29 | 酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液の処理方法および処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5581090B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013158722A (ja) * | 2012-02-07 | 2013-08-19 | Sharp Corp | 殺菌用管部材およびそれを備えた殺菌装置 |
TW201536692A (zh) * | 2014-02-24 | 2015-10-01 | Kurashiki Boseki Kk | 含羥基自由基水供給裝置以及含羥基自由基水供給方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3812597B2 (ja) * | 1995-09-04 | 2006-08-23 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 過酸化水素の精製法 |
JPH10151451A (ja) * | 1996-11-21 | 1998-06-09 | Akira Fujishima | 光触媒と光照射による過酸化水素の除去方法 |
JP3125753B2 (ja) * | 1998-06-30 | 2001-01-22 | 日本電気株式会社 | 基板の洗浄方法および基板洗浄装置 |
JP4121078B2 (ja) * | 2003-03-18 | 2008-07-16 | 倉敷紡績株式会社 | 排水の処理装置及び方法 |
-
2010
- 2010-03-29 JP JP2010074592A patent/JP5581090B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011206637A (ja) | 2011-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2018092832A1 (ja) | 水処理方法および装置 | |
WO2018092831A1 (ja) | 水処理方法および装置 | |
JPH1199395A (ja) | 有機物含有水の処理方法 | |
KR100805378B1 (ko) | 난분해성 폐액처리를 위한 오존-전기분해/반도체촉매복합장치 및 그 사용방법 | |
JP2825081B2 (ja) | 有機物含有廃水の紫外線分解処理方法及び装置 | |
JP5581090B2 (ja) | 酸または塩基と過酸化水素とを含む廃液の処理方法および処理装置 | |
JPH1133567A (ja) | オゾン分解方法とその装置 | |
JP2005074409A (ja) | 1,4−ジオキサンの処理方法 | |
KR101775118B1 (ko) | 배기 및 배수 오염물질의 동시 저감 방법 | |
JP2004241726A (ja) | レジスト処理方法およびレジスト処理装置 | |
JP2007021290A (ja) | 排ガスの処理方法および処理装置 | |
JP4285468B2 (ja) | オゾンと光触媒を利用した促進酸化処理装置 | |
JP4040788B2 (ja) | 廃水処理方法及び装置 | |
JP2017202474A (ja) | オゾン溶解水製造装置 | |
JP2006281005A (ja) | 光触媒を用いた水処理装置及び水処理方法 | |
JP2004267974A (ja) | 有機物連続酸化処理装置 | |
JP4569884B2 (ja) | 水中の有機物処理方法および処理装置 | |
JP6192704B2 (ja) | 洗浄方法および洗浄装置 | |
WO2003051777A1 (fr) | Appareil et procede pour traiter les eaux usees ozonees et appareil de traitement de l'ozone | |
JP2002307083A (ja) | 促進酸化処理装置 | |
JP5755590B2 (ja) | 水処理方法 | |
KR101250811B1 (ko) | 오존 온라인 인젝터 | |
JP2009112953A (ja) | 水処理方法及び水処理装置 | |
RU94562U1 (ru) | Устройство для обработки жидкостей ультрафиолетовым излучением | |
JP2017113753A (ja) | 洗浄方法および洗浄装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140430 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140616 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140708 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140714 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5581090 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |