JP5574941B2 - ミラーホルダー - Google Patents
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Description
図1には、第1の実施形態に係るミラーホルダー10の概略図を示してある。このミラーホルダー10は、作業台1などの固定系に複数本のボルト2で固定されたブロック状の固定部材3を有する。固定部材3は、作業台1に固定する脚部3a、および脚部3aから鉛直上方に立設された立上げ部3bを有する。
以下、本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]
ミラーを固設した可動部材と、
この可動部材を移動可能に取り付けた固定部材と、
この固定部材と上記可動部材との間にそれぞれ取り付けられ、熱膨張または熱収縮によって上記可動部材を上記固定部材に対して移動させ、上記ミラーの角度を調整する複数の駆動部材と、
を有するミラーホルダー。
[2]
上記複数の駆動部材は、それぞれ、熱膨張または熱収縮によってその径を変えることで上記固定部材と上記可動部材との間の距離を調整する球体である[1]のミラーホルダー。
[3]
上記複数の駆動部材は、それぞれ、熱膨張または熱収縮によってその長さを変えるとともにそのねじ込み量を変えることで上記固定部材と上記可動部材との間の距離を調整する調整ねじである[1]のミラーホルダー。
[4]
ミラーを固設した可動部材と、
この可動部材を移動可能に取り付けた固定部材と、
この固定部材と上記可動部材との間にそれぞれ取り付けられ、熱膨張または熱収縮によって上記可動部材を上記固定部材に対して移動させ、上記ミラーの角度を調整する複数の駆動部材と、
これら複数の駆動部材をそれぞれ独立して加熱する複数のヒーターと、
これら複数のヒーターによる加熱温度をそれぞれ測定する複数の温度センサーと、
これら複数の温度センサーによる測定結果に基づいて上記複数のヒーターを制御する制御部と、
を有するミラーホルダー。
[5]
上記複数の駆動部材は、それぞれ、熱膨張または熱収縮によってその径を変えることで上記固定部材と上記可動部材との間の距離を調整する球体である[4]のミラーホルダー。
[6]
上記複数の駆動部材は、それぞれ、熱膨張または熱収縮によってその長さを変えるとともにそのねじ込み量を変えることで上記固定部材と上記可動部材との間の距離を調整する調整ねじである[4]のミラーホルダー。
[7]
ミラーを固設した可動部材と、
この可動部材を移動可能に取り付けた固定部材と、
この固定部材と上記可動部材との間にそれぞれ取り付けられ、熱膨張または熱収縮によって上記可動部材を上記固定部材に対して移動させ、上記ミラーの角度を調整する複数の駆動部材と、
これら複数の駆動部材をそれぞれ加熱する複数のヒーターと、
上記複数の駆動部材の熱による膨張または収縮の度合いをそれぞれ測定する複数のひずみゲージと、
これら複数のひずみゲージによる測定結果に基づいて上記複数のヒーターを制御する制御部と、
を有するミラーホルダー。
[8]
上記複数の駆動部材は、それぞれ、熱膨張または熱収縮によってその径を変えることで上記固定部材と上記可動部材との間の距離を調整する球体である[7]のミラーホルダー。
[9]
上記複数の駆動部材は、それぞれ、熱膨張または熱収縮によってその長さを変えるとともにそのねじ込み量を変えることで上記固定部材と上記可動部材との間の距離を調整する調整ねじである[7]のミラーホルダー。
Claims (3)
- ミラーを固設した可動部材と、
この可動部材を移動可能に取り付けた固定部材と、
この固定部材と上記可動部材との間にそれぞれ取り付けられ、熱膨張または熱収縮によってその径を変えることで上記可動部材と上記固定部材との間の距離を調整して、上記ミラーの角度を調整する複数の球体と、
を有するミラーホルダー。 - ミラーを固設した可動部材と、
この可動部材を移動可能に取り付けた固定部材と、
この固定部材と上記可動部材との間にそれぞれ取り付けられ、熱膨張または熱収縮によってその径を変えることで上記可動部材と上記固定部材との間の距離を調整して、上記ミラーの角度を調整する複数の球体と、
これら複数の球体をそれぞれ独立して加熱する複数のヒーターと、
これら複数のヒーターによる加熱温度をそれぞれ測定する複数の温度センサーと、
これら複数の温度センサーによる測定結果に基づいて上記複数のヒーターを制御する制御部と、
を有するミラーホルダー。 - ミラーを固設した可動部材と、
この可動部材を移動可能に取り付けた固定部材と、
この固定部材と上記可動部材との間にそれぞれ取り付けられ、熱膨張または熱収縮によってその径を変えることで上記可動部材と上記固定部材との間の距離を調整して、上記ミラーの角度を調整する複数の球体と、
これら複数の球体をそれぞれ加熱する複数のヒーターと、
上記複数の球体の熱による膨張または収縮の度合いをそれぞれ測定する複数のひずみゲージと、
これら複数のひずみゲージによる測定結果に基づいて上記複数のヒーターを制御する制御部と、
を有するミラーホルダー。
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JPH0996748A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Hoya Corp | 光学部品の支持装置 |
JPH11245899A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-14 | Mitsubishi Electric Corp | 寸法安定化構造物 |
JP2000330046A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-30 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
JP3322255B2 (ja) * | 1999-11-10 | 2002-09-09 | 三菱電機株式会社 | 反射鏡アンテナ装置 |
JP2001203514A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Fujitsu General Ltd | 誘電体発振器 |
JP2001249092A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-14 | Ibiden Co Ltd | 熱膨張測定方法および測定装置および熱設計された構造体 |
JP4032133B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2008-01-16 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 可変形ミラー装置 |
JP2005019628A (ja) * | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Nikon Corp | 光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
JP3959053B2 (ja) * | 2003-08-07 | 2007-08-15 | 株式会社不二越 | 表面研削装置の微小チルト装置 |
JP2005292167A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 可変形ミラー装置 |
JP2010056187A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Nikon Corp | 光学素子位置調整装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 |
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