JP5564403B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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前記排気ダクトの先端部は、前記排気ダクト本体から絶縁されていることを特徴とする荷電粒子線装置とする。
前記排気ダクトと前記試料台とが兼用されており、前記排気ダクトの排気口が前記試料を固定するためのグリッド構造を持つことを特徴とする荷電粒子線装置とする。
第1の実施例について、図1、図2A〜図2C、図8を用いて説明する。図1は、本実施例1に係る荷電粒子線装置の概略全体構成図であり、指向性の高いガス吹き付けノズルをSEMに適用した場合を示す。ここでは、SEMの適用例を用いて説明するが、SEMに限ったものではなく、SIM観察時の試料の帯電軽減を目的としたガス吹き付け用のノズルや、FIBによる加工の際のエッチング用のノズルに適用しても構わない。
第2の実施例について図3、図4A〜図4Cを用いて説明する。なお、本実施例2では排気ダクトをガス吹き付け用ノズルの近傍に設けたSEMの実施例について述べる。以降の実施例においては、ガス吹き付け用ノズルの内部形状は、内径が均一な単なる筒状であっても良く、実施例1(図2A、図2B、図2C)で示したような、テーパー形状を持つガス吹き付け用高指向性ノズル16であっても良い。また、実施例1に記載され、本実施例に未記載の事項は特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。
第3の実施例について図5を用いて説明する。なお、本実施例において、試料台と、対物レンズと、ガス吹き付けノズルと、ガス排気ダクトの構成は、そのいずれの組み合わせにおいても、実施例2(図4A〜図4C)で説明したものと同様に、電源や、電流増幅器をノズルや排気ダクトや試料台に接続してもよい。その場合、実施例2(図4A〜図4C)の対応する構成と同様の効果が得られる。また、試料の被観察位置から見た排気ダクトの排気口の立体角は、試料に被観察位置から見たノズルの吹き出し口の立体角を超えた大きさとする。また、実施例1又は2に記載され、本実施例に未記載の事項は特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。
第4の実施例について図6A〜図6Eを用いて説明する。なお、実施例1乃至3のいずれかに記載され、本実施例に未記載の事項は特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。
第5の実施例について図7を用いて説明する。なお、実施例1乃至4のいずれかに記載され、本実施例に未記載の事項は特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。
Claims (15)
- 荷電粒子源と、試料を配置する試料台と、前記荷電粒子源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として前記試料の上に収束させる光学系と、前記荷電粒子線の通過経路を排気する真空排気系と、前記荷電粒子線の照射による前記試料の帯電を防止するガスを前記試料に吹き付ける吹き付けノズルと、前記吹き付けノズルから吹き出されたガスを排気する排気ダクトと、を備えた荷電粒子線装置において、
前記排気ダクトの先端部は、前記排気ダクト本体から絶縁されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源と、試料を配置する試料台と、前記荷電粒子源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として前記試料の上に収束させる光学系と、前記荷電粒子線の通過経路を排気する真空排気系と、前記荷電粒子線の照射による前記試料の帯電を防止するガスを前記試料に吹き付ける吹き付けノズルと、前記吹き付けノズルから吹き出されたガスを排気する排気ダクトと、を備えた荷電粒子線装置において、
前記排気ダクトと前記試料台とが兼用されており、前記排気ダクトの排気口が前記試料を固定するためのグリッド構造を持つことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記試料の被観察位置から見た前記排気ダクトの排気口の立体角は、前記吹き付けノズルのガス吹き付け口の立体角を超えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記吹き付けノズルは、前記ガスの進行方向に垂直な断面の面積が前記吹き付けノズルの先端部で小さくなり、最小値をもった後に大きくなる構造を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記吹き付けノズルの先端部は、前記吹き付けノズル本体から絶縁されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5記載の荷電粒子線装置において、
前記吹き付けノズルの先端部に接続される電源を更に有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記排気ダクトの先端部に接続される電源を更に有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5記載の荷電粒子線装置において、
前記吹き付けノズルの先端部に接続される増幅器を更に有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記排気ダクトの先端部に接続される増幅器を更に有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記試料台に接続される増幅器を更に有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記吹き付けノズルの開放端は、前記試料台表面と平行になるように加工された形状を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記吹き付けノズルは、それぞれの中心軸が同一となるように前記排気ダクトの内部に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記吹き付けノズルは、前記荷電粒子線が通過できるようにそれぞれ中央部に開口部を備えた二枚のディスクを間隙を設けて配置させた形状を有し、前記ディスクの間隙をガス流路として前記開口部側に前記ガスが吹き出すように前記開口部側に前記吹き付けノズルの先端部が配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項13記載の荷電粒子線装置において、
前記排気ダクトは、前記吹き付けノズルよりも前記荷電粒子源側に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項13記載の荷電粒子線装置において、
前記吹き付けノズルは、前記ガスの進行方向に垂直な断面の面積が前記先端部で小さくなり、最小値をもった後に大きくなる構造を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
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