JP5564347B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Description
また、第2の本発明によるプローブ装置は、上記構成に加え、上記光源ユニットが、上記放射光を上方に向けて反射させる反射板を備えて構成される。
図1及び図2は、本発明の実施の形態によるプローブ装置を含むプローバーシステム1の概略構成の一例を模式的に示した説明図であり、プローバー13を垂直面により切断した場合の切断面の様子が示されている。図1には、プローブカード12上のプローブ121を接触させて半導体ウエハ11上の電子回路を検査する際の様子が示されている。図2には、ウエハチャック21の退避時に、ハロゲンランプ25によりプローブカード12が加熱される様子が示されている。また、図3は、図2のプローバー13を示した平面図であり、プローバー13内を上方から見た様子が示されている。
図4は、図1のプローバー13の要部における構成例を示したブロック図であり、プローブカード12の温度調整を行うためのコントロールユニットが示されている。このコントロールユニットは、温度調整部31及び目標温度記憶部32により構成され、ハロゲンランプ25が照射位置にある場合に、温度センサ26により検出された温度に基づいて、ハロゲンランプ25に対する電力供給を制御する。
2 放射光
3 放射熱
11 半導体ウエハ
12 プローブカード
121 プローブ
122 プローブ基板
123 メイン基板
13 プローバー
14 テスター装置
14a テスターヘッド
14b 伝送ケーブル
15 インターポーザ
21 ウエハチャック
22 プローブカードホルダ
23 チャック垂直駆動部
24 チャック水平駆動部
25 ハロゲンランプ
26 温度センサ
26a 検出面
27 光源ユニット取付部
28 光源ユニット水平駆動部
31 温度調整部
32 目標温度記憶部
A1 検査位置
A2 退避位置
Claims (2)
- 電子回路が形成された半導体ウエハを、上記電子回路の形成面を上方に向けて保持するウエハチャックと、
プローブが形成されたプローブカードを、上記プローブの形成面を下方に向けて保持するプローブカード保持手段と、
上記半導体ウエハを検査するための検査位置から、上記検査位置よりも水平方向に離間した退避位置へ上記ウエハチャックを移動させるチャック移動手段と、
上記プローブカードを加熱するための放射光を生成する光源ユニットとを備え、
上記光源ユニットは、上記放射光の光軸を上方向に向け、かつ、上記プローブカードの下面と対向する状態で固定され、上記ウエハチャックが上記退避位置へ移動した際に、上記放射光を生成することを特徴とするプローブ装置。 - 上記光源ユニットは、上記放射光を上方に向けて反射させる反射板を備えたことを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
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