JP5563873B2 - 樹脂封止装置 - Google Patents

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Description

本発明は、樹脂封止装置に関する。
特許文献1には、樹脂封止装置が開示されている。
樹脂封止装置は、相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する。樹脂封止装置は、実際の第1、第2金型の当接位置を、制御上の基準位置とすることにより、樹脂封止を適正に制御するようにしている。このため、樹脂封止装置は、第1、第2金型の当接位置を検出するための検出機構を有している。しかしながら、第1、第2金型に付与される閉じ圧力が立ち上がるときは、検出機構の測定値(閉じ圧力)は、樹脂封止装置の構造的なガタ、第1、第2金型の周辺部材の誤差や静止摩擦等の影響、及び検出機構の零付近の精度誤差が全体のレンジに対して比較的大きいことによる影響等を受けてばらつくため、検出機構は、第1、第2金型の閉じ圧力(が零付近)の立ち上がりを検出することによって第1、第2金型の当接位置を測定(検出)するのは、再現上問題があった。このため、検出機構は、第1、第2金型を当接させた後、閉じ圧力がある程度まで上昇したときの第1、第2金型の当接位置をもって「検出された当接位置」とし、これを制御上の基準位置としていた。
特開2009−172816号公報
しかしながら、第1、第2金型の真の当接位置と「検出された当接位置(制御上の基準位置)」の間にはずれがあり、この当接位置の認定のずれが、その後の樹脂封止制御の品質上重要な領域において、第1、第2金型に「実際に生じている状態」と、制御式(計算)により求められた「生じているであろうと推察している状態」との間のずれとして残存し、被封止品の品質を低減させる恐れがあった。
本発明では、上記の問題を解決するために、樹脂封止装置の第1、第2金型の当接位置の検出精度を向上させ、高品質な被封止品を安定して供給することを課題とする。
本発明は、相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた2以上の閉じ圧力と、該2以上の閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、を有し、該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備え、前記演算手段が、前記閉じ圧力の前記所定値を設定する設定手段を備えており、該設定手段が、前記所定値を変更可能である構成により上記課題を解決した。
本発明に係る樹脂封止装置では、その制御上の基準位置となる当接位置を確定するに当たって、閉じ圧力が所定値(即ち、ばらつきがなくなった再現性のよい領域)以上において、2以上の閉じ圧力を測定し、この測定された2以上の閉じ圧力とそのときの金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を当接位置として推定・演算する。測定された2以上の閉じ圧力とその金型位置指標値は、再現性の高い信頼できる値であるため、これらから求められる閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値も、信頼性が高い。これにより、本発明に係る樹脂封止装置によれば、ばらつきなく実際の金型の当接位置を推定・検出することができ、実際の当接位置と制御上の基準位置とのずれを低減させることができる。この結果、本発明は、樹脂封止制御の原点(基点)を正確に定められるようになるため、それだけ被封止品の品質を向上させることができる。
なお、本発明は、その趣旨より、相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた閉じ圧力と、該閉じ圧力に対応する前記金型位置指標値とから、予め当該樹脂封止装置において得られている補正係数を用いて、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、を有し、該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備えている発明と捉えることもできる。
例えば、複数の樹脂封止装置間で、あるいは特定の樹脂封止装置における複数回の事前測定によって、予め閉じ圧力と金型位置指標値(の変化態様)を関係づける補正係数が得られるならば、この補正係数を用いて、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値(即ち、制御上の基準位置)を推定・演算できる。これにより、閉じ圧力と金型位置指標値の測定点は、1個でありながら、推定・演算することによって補正された分、制御上の基準位置の検出精度を従来より向上させることができる。
本発明は、樹脂封止装置の第1、第2金型の当接位置の検出精度を向上させ、高品質な被封止品を安定して供給することができる。
本発明の実施形態の一例にかかる金型の当接位置の検出機構が備えられている樹脂封止装置の概略側面図 金型の当接位置の検出機構による金型の当接位置の検出工程を示したフローチャート 金型の当接位置の検出機構による金型の当接に伴う型閉じ圧力と金型位置指標値の経時的変化を示すグラフ
以下、図面に基づいて本発明の実施形態の一例にかかる上、下金型114、115の当接位置の検出機構121を備えた樹脂封止装置100について詳細に説明する。
図1に樹脂封止装置100の概略側面図を示す。
樹脂封止装置100は、相対向する上金型(第1金型)114と下金型(第2金型)115を接近・当接させて閉じ圧力Pを付与し、被封止品を樹脂(共に図示略)にて封止する。上金型114は、樹脂封止装置100の本体に支持固定されている固定プラテン110から垂設されている。一方、下金型115は、可動プラテン113上に載置されている。下金型115(より詳細には、下金型115が載置される可動プラテン113)には、トグルリンク機構(トグルリンク式のプレス機構)130が付設されており、該トグルリンク機構130は、下金型115を上金型114に接近・当接させる。具体的には、このトグルリンク機構130には、ボールねじ120が連結されており、ボールねじ120は、タイミングベルト118を介してモータ116と連結されている。これにより、モータ116の回転は、タイミングベルト118を介してボールねじ120へ伝達され、当該ボールねじ120が直線運動することにより、トグルリンク機構130が屈曲運動し、下金型115を上下運動させる。
樹脂封止装置100は、上、下金型114、115の当接位置X0の検出機構121を備えている。上、下金型114、115の当接位置X0の検出機構121は、エンコーダ(金型位置指標値測定手段)122、ロードセル(閉じ圧力測定手段)124、及び演算部(演算手段)126を備えている。
当接位置の検出機構121の各構成要素について以下で詳述する。
ロードセル124は、可動プラテン113に配置されており、現に掛かっている下金型115の(上金型114に対する)閉じ圧力Pを測定することができる。
エンコーダ122は、モータ116に付設されており、上、下金型114、115の相対位置に関係して変化する金型位置指標値Xを測定する。具体的には、エンコーダ122は、モータ116の回転に伴って発生するパルスデータをカウントし、モータ116の総回転数を算出し、このモータ116の総回転数に基づき、金型位置指標値Xを測定する。上、下金型114、115が当接した後、実際の上、下金型114、115の相対位置(実際の上、下金型114、115の当接面の位置)は、ほとんど変化しないが、モータ116が回転を続ける限り、エンコーダ122によって測定される金型位置指標値Xも、変化を継続する。モータ116の回転継続により、閉じ圧力Pは上昇を開始するので、ロードセル124はこの上昇してゆく閉じ圧力Pを測定する。なお、上、下金型114、115が完全に離反しているときは、ロードセル124の測定値は、一定(零)であり安定している。しかしながら、上、下金型114、115が接触して、閉じ圧力Pが零の状態から上昇し始める時、ロードセル124の測定値(実際の閉じ圧力P)は、様々な要因によってばらつくため、閉じ圧力Pがある程度立ち上がるまで不安定な傾向となる。
演算部126は、制御部127、パラメータ設定部128、及び記憶部129を備えている。また、この演算部126は、ロードセル124、エンコーダ122に接続されており、ロードセル124の閉じ圧力Pとその閉じ圧力Pが得られたときのエンコーダ122による金型位置指標値Xを把握できる。
ロードセル124から出力される閉じ圧力Pが、所定値PA(第1閉じ圧力PA)となった時、制御部127は、エンコーダ122から(第1閉じ圧力PAに対応する)第1金型位置指標値XAを取得する。また、ロードセル124から出力される閉じ圧力Pが、第2閉じ圧力PBになった時、制御部127は、エンコーダ122から、(第2閉じ圧力PBに対応する)第2金型位置指標値XBを取得する。この第1、第2閉じ圧力PA、PBと第1、第2金型位置指標値XA、XBの関係から、制御部127は、閉じ圧力Pが零のときに対応する金型位置指標値X0(即ち、本実施形態で求められる上、下金型114、115の当接位置X0)を推定・演算し、この金型位置指標値X0を当接位置として検出する。
本発明における所定値は、パラメータ設定部128によって、少なくとも10kNより大きな値に設定される。これは、ロードセル124によって検出される閉じ圧力Pが10kN以上となると、測定値(閉じ圧力P)が安定して、一定の再現性があるようになるためである。本実施形態では、所定値(=第1閉じ圧力)PAは、20kNに設定されている。
パラメータ設定部128は、前述した制御部127がロードセル124から取得する閉じ圧力Pの閾値となる第1、第2閉じ圧力PA、PBを設定し(あるいは変更し)、制御部127に入力する。第2閉じ圧力PBは、第1閉じ圧力PAより大きく設定される(PA<PB)。
次に、図2、図3を用いて、樹脂封止装置100における上、下金型114、115の当接位置X0の検出機構121の作用について説明する。
図2は、検出機構121による上、下金型114、115の当接位置X0の検出工程を示したフローチャートである。また、図3は、検出機構121による上、下金型114、115の当接に伴う閉じ圧力Pと金型位置指標値Xの経時的変化を示すグラフである。
検出機構121の一連の当接位置X0の検出は以下のようにして行われる。なお、離間している上金型114と下金型115の間に、封止材料である樹脂と被封止品(ワーク)のサンプルを投入しておくと、より正確に当接位置X0を検出できる。
図2を参照して、先ず、モータ116を回転させ、当接動作を開始させる(ステップS201)。この回転は、ボールねじ120を速度Vにて動作させ、トグルリンク機構130および可動プラテン113の動作として伝達される(ステップS202)。
ステップS203では、第1金型位置指標値XAが既に取得されているかを判定し、取得されていなければ、未だ第1閉じ圧力PAに至っていない状態であるから(ステップS203でNO判定)、ステップS204に進んで、ロードセル124が測定する閉じ圧力Pが、(今般)第1閉じ圧力PA以上となったかを判定する。閉じ圧力Pが第1閉じ圧力PAになるまで(ステップS204でNO判定がなされているうちは)、ボールねじ120の動作を進行させ(下金型115を上昇させ)、閉じ圧力Pを大きくしてゆきながら、閉じ圧力Pと、第1閉じ圧力PAを比較する作業を繰り返し行う(ステップS202〜204の繰返し)。
ステップS204で閉じ圧力Pが、第1閉じ圧力PAになったと判定されると、制御部127は、エンコーダ122から(第1閉じ圧力PAに対応する)第1金型位置指標値XAを取得する(ステップS205)。第1金型位置指標値XAが取得されると次にステップS203に戻ったときにYESの判定がなされるため、フローはステップS206に進んで閉じ圧力Pが第2閉じ圧力PB以上となったかどうかが判定される。ステップS204、ステップS205と同様に、閉じ圧力Pが、第2閉じ圧力PBになった時、制御部127は、エンコーダ122から(第2閉じ圧力PBに対応する)第2金型位置指標値XBを取得する(ステップS207)。その後、モータ116、ボールねじ120の動作は停止される(ステップS208)。
続いて、制御部127は、上、下金型114、115の当接位置X0を推定する(ステップS209)。即ち、測定された第1、第2閉じ圧力PA、PBと第1、第2金型位置指標値XA、XBとの関係から、閉じ圧力Pが零のときに対応する金型位置指標値X0を推定・演算する。この推定・演算は、具体的には、図3に示されるようにして行われる。制御部127は、時刻t1、t2における第1、第2閉じ圧力PA、PBの2点をつなぎ、閉じ圧力P(縦軸)の変化を時刻t(横軸)に沿って示す直線LPを求める。また、制御部127は、同じ時刻t1、t2における第1、第2金型位置指標値XA、XBの2点をつなぎ、金型位置指標値X(縦軸)の変化を時刻t(横軸)に沿って示す直線LXを求める。そして、直線LPが、閉じ圧力Pが零を示す直線L0の延長線と交わる交点(時刻t0)を求め、該時刻t0に相当する直線LX上の座標Xを求めると、それが閉じ圧力Pが零のときに対応する金型位置指標値X0である。このようにして金型位置指標値X0が本樹脂封止装置100の上、下金型114、115の当接位置として検出されると、樹脂封止装置100は、この当接位置(X0)を制御上の原点としてその後に行う封止作業を良好に行うことができるようになる。
第1、第2閉じ圧力PA、PBは、そのいずれもが、(10kN以上である)20kNの所定値PA以上で測定されているため、制御部127は、再現性のある第1、第2閉じ圧力PA、PBを測定することができ、上、下金型114、115の当接位置X0を非常に再現性よく高精度に求めることができる。また、パラメータ設定部128は、上、下金型114、115を変更したりしたときに、第1、第2閉じ圧力PA、PBを変更することができるため、適用範囲が広く、また、樹脂封止装置100の長時間の運転に伴う各部材の熱膨張等による変化等にも柔軟に対応できる。
また、下金型115は、トグルリンク機構130により移動されるため、例えば、ボールねじ等により下金型115を迅速に移動させることができるため、より短時間に第1、第2金型114、115の当接位置X0を検出することができる。
最後のステップとして、モータ116が駆動され、下金型115が上金型114から離間し、上、下金型114、115の当接検出動作が完了する(ステップS210)。
なお、他の実施形態として、所定値以上において、閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力と、金型位置指標値測定手段によって測定された閉じ圧力に対応する金型位置指標値に対して、予め樹脂封止装置において得られている補正係数を用いて、演算手段が、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する第1、第2金型の当接位置の検出機構を構成することができる。
この構成によれば、例えば、複数の樹脂封止装置間で、あるいは特定の樹脂封止装置において、複数回の事前測定によって、予め閉じ圧力と金型位置指標値(の変化態様)を関係づける補正係数を得ておき、この補正係数を用いて、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値(即ち、第1、第2金型の金型の当接位置)を推定・演算する。これにより、閉じ圧力と金型位置指標値の測定点は、1個でありながら、推定・演算することによって補正された分、第1、第2金型の当接位置の検出精度を少なくとも従来より向上させることができる。
上記実施形態においては、金型位置指標値測定手段としてエンコーダを用いているが、金型位置指標値を測定できる限り、種々の金型位置指標値測定手段を採用することができる。例えば、金型位置指標値測定手段として、レゾルバを採用してもよい。レゾルバは、エンコーダと異なり、構造がシンプルで電子部品を使用していないため、ほこり、振動等による性能への影響が小さく、耐環境性、信頼性に優れている。
また、上記実施形態において、上下金型の当接位置の推定作業は、測定した閉じ圧力、金型位置指標値をそれぞれ直線で結び、これらの直線を用いて行っているが、必ずしも上述した推定作業に限らず、閉じ圧力と金型位置指標値の関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値(第1、第2金型の当接位置)を推定できるのであれば、他の推定作業でもよい。例えば、座標軸の縦軸と横軸をそれぞれ金型位置指標値と閉じ圧力に設定し、時刻tの概念を排除したグラフにて閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定するようにしてもよい。また、閉じ圧力の測定点を3個以上に増やし、3個以上得られた閉じ圧力と閉じ圧力に対応するそれぞれの金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値(第1、第2金型の当接位置)を推定・演算してもよい。これにより、金型の当接位置の検出機構は、測定点が多くなった分、閉じ圧力と、金型位置指標値との関係をより厳密に求めることができるため、結果として、第1、第2金型の当接位置をより高精度に推定することができる。
上記実施形態において、設定手段は、所定値(第1閉じ圧力)PAを10kNより大きな値である20kNに設定しているが、この所定値についても、必ずしも上記例に限定されない。なお、前述したように、好ましくは変更できるようにしておくとよい。
上記実施形態においては、トグルリンク機構が第2金型に付設されており、該トグルリンク機構も、第1、第2金型を接近・当接させているが、第1、第2金型を接近させる機構は、トグルリンク機構に限定されない。
100…樹脂封止装置
114…上金型(第1金型)
115…下金型(第2金型)
122…エンコーダ(金型位置指標値測定手段)
124…ロードセル(閉じ圧力測定手段)
126…演算部(演算手段)
P…閉じ圧力
PA…所定値(第1閉じ圧力)
PB…第2閉じ圧力
X…金型位置指標値
X0…閉じ圧力が零のとき対応する金型位置指標値
XA、XB…第1、第2金型位置指標値

Claims (7)

  1. 相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、
    前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、
    前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、
    前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた2以上の閉じ圧力と、該2以上の閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、
    を有し、
    該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備え
    前記演算手段は、前記閉じ圧力の前記所定値を設定する設定手段を備えており、該設定手段は、前記所定値を変更可能である
    ことを特徴とする樹脂封止装置。
  2. 請求項1において、
    記設定手段は、前記圧力測定手段の前記所定値を少なくとも10kNより大きな値に設定する
    ことを特徴とする樹脂封止装置。
  3. 請求項1または2において、
    3個以上得られた前記閉じ圧力と該閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する
    ことを特徴とする樹脂封止装置。
  4. 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
    前記第1、第2金型が変更可能とされている
    ことを特徴とする樹脂封止装置。
  5. 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
    トグルリンク機構が付設されており、該トグルリンク機構が、前記第1、第2金型を接近・当接させる
    ことを特徴とする樹脂封止装置。
  6. 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
    前記閉じ圧力測定手段は、前記第1、第2金型のいずれかを支持する可動プラテンに配置されている
    ことを特徴とする樹脂封止装置。
  7. 相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、
    前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、
    前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、
    前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた閉じ圧力と、該閉じ圧力に対応する前記金型位置指標値とから、予め当該樹脂封止装置において得られている補正係数を用いて、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、
    を有し、
    該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備えた
    ことを特徴とする樹脂封止装置。
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