JP5563873B2 - 樹脂封止装置 - Google Patents
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Description
114…上金型(第1金型)
115…下金型(第2金型)
122…エンコーダ(金型位置指標値測定手段)
124…ロードセル(閉じ圧力測定手段)
126…演算部(演算手段)
P…閉じ圧力
PA…所定値(第1閉じ圧力)
PB…第2閉じ圧力
X…金型位置指標値
X0…閉じ圧力が零のとき対応する金型位置指標値
XA、XB…第1、第2金型位置指標値
Claims (7)
- 相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、
前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、
前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、
前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた2以上の閉じ圧力と、該2以上の閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、
を有し、
該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備え、
前記演算手段は、前記閉じ圧力の前記所定値を設定する設定手段を備えており、該設定手段は、前記所定値を変更可能である
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1において、
前記設定手段は、前記圧力測定手段の前記所定値を少なくとも10kNより大きな値に設定する
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1または2において、
3個以上得られた前記閉じ圧力と該閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記第1、第2金型が変更可能とされている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
トグルリンク機構が付設されており、該トグルリンク機構が、前記第1、第2金型を接近・当接させる
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記閉じ圧力測定手段は、前記第1、第2金型のいずれかを支持する可動プラテンに配置されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、
前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、
前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、
前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた閉じ圧力と、該閉じ圧力に対応する前記金型位置指標値とから、予め当該樹脂封止装置において得られている補正係数を用いて、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、
を有し、
該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備えた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
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