JP5560688B2 - 電気光学装置の製造方法 - Google Patents
電気光学装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5560688B2 JP5560688B2 JP2009281297A JP2009281297A JP5560688B2 JP 5560688 B2 JP5560688 B2 JP 5560688B2 JP 2009281297 A JP2009281297 A JP 2009281297A JP 2009281297 A JP2009281297 A JP 2009281297A JP 5560688 B2 JP5560688 B2 JP 5560688B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- sealing material
- electro
- forming
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 247
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 92
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 13
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 11
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 9
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 9
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
ここで、一般的にシール材40の外周線はかなり波打っている。したがって、スクライブラインをシール材40とは確実に重ならないように形成するためには、分断ローラー64を、シール材40の外周線から若干の距離(間隔)が空くように走査させる必要がある。
なお、本適用例においては、第4の工程の後に、第5の工程と第6の工程の組み合わせと、第9の工程と第10の工程の組み合わせのうちのどちらの組み合わせを先に実施するかは任意に設定できる。
まず、本実施形態の対象となる有機EL装置及び有機ELパネルについて述べる。図2は、有機EL装置55の概略を示す模式断面図である。図示するように、有機EL装置55は後述する有機ELパネル53を保護シートで被い、外部の駆動回路等と導通させるための回路基板等を加えて構成されている。すなわち、有機ELパネル53の素子基板10上に形成された接続端子58に配線基板59を接続し、さらに、有機ELパネル53の対向基板11側を第2の保護シート9で被い、素子基板10側を第1の保護シート8で被うことで構成されている。上記双方の保護シート(8,9)間の隙間、及び、端部の合わせ目等には封止樹脂84が充填されており、気密性等が担保されている。なお、上記のように括弧内に符号をカンマで区切って併記する場合、「第1の要素(上記の場合は第1の保護シート8)」と「第2の要素(上記の場合は第2の保護シート9)」の双方を示している。
ここで、第1のシール材41は、図1に示すシール材40と同等のものである。本実施形態では、2種類のシール材(41,42)を形成するため、上記の名称及び符号を用いている。
本実施形態にかかる製造方法によれば、薄板化されたマザー基板を含んで構成される貼り合せ基板3に対して、該マザー基板を撓ませることなく分断ローラー64を走査させて塑性変形領域49(図1参照)を形成できる。したがって、水平クラック47(図1参照)の発生を抑制しつつスクライブライン(45,46)を形成できる。
本発明の実施の形態は上述の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えた変形例として実施することも可能である。変形例としての製造方法を、以下に述べる。図9は、変形例にかかる有機EL装置の製造方法を示す図である。本変形例の対象となる有機ELパネル53は、上述の実施形態の対象である有機ELパネル53と略同一である。そこで、各構成要素には同一の符号を付与し、説明の記載は一部省略する。
Claims (2)
- 第1の基板の一方の面上に電気光学素子群を形成する第1の工程と、
前記電気光学素子群を囲む環状の第1のシール材と、前記第1の基板の基板面からの高さが前記第1のシール材と同一であり平面視で前記第1のシール材を囲む第2のシール材と、を形成する第2の工程と、
前記第1の基板に第2の基板を前記第1のシール材及び前記第2のシール材を介して真空中で貼り合せて貼り合せ基板を形成する第3の工程と、
前記貼り合せ基板を前記真空中よりも高圧の雰囲気中に配置して、前記第1のシール材を平面視で所定の間隔をもって囲む環状の領域であり前記第1の基板と前記第2の基板とが密着する部分である密着部を形成する第4の工程と、
前記貼り合せ基板を、剛性を有する真空吸着台上に前記第1の基板が対向するように載置して、該第1の基板を真空吸着させた状態で、前記第2の基板の前記密着部に分断刃を用いて押し圧を加えることにより、平面視で前記第1のシール材を所定の間隔をもって囲む環状の第2のスクライブラインを形成する第5の工程と、
前記第2のスクライブラインに沿って前記第2の基板を分断する第6の工程と、
を順に実施し、
前記第2の工程と前記第3の工程の間に、前記第1のシール材で囲まれた領域内に前記電気光学素子群を被う充填層を形成する第7の工程をさらに実施し、
前記第3の工程において、前記第1の基板と前記第2の基板と前記第1のシール材と前記第2のシール材とで構成される空間が、真空部となり、
前記第1の基板及び前記第2の基板はガラス製であり、前記第3の工程と前記第4の工程との間に、エッチング液を用いて常圧状態で、前記第1の基板及び前記第2の基板の双方を薄板化する第8の工程をさらに実施することにより、前記第1の基板及び前記第2の基板が薄板化され、剛性が低下した段階において、前記真空部が圧縮され、前記密着部が形成される結果として、前記第4の工程が実施され、
前記第4の工程の後に、前記貼り合せ基板を、前記剛性を有する真空吸着台上に前記第2の基板が対向するように載置して、該第2の基板を真空吸着させた状態で、前記第1の基板の前記密着部に分断刃を用いて押し圧を加えることにより、平面視で前記第1のシール材を所定の間隔をもって囲む環状の第1のスクライブラインを形成する第9の工程と、
前記第1のスクライブラインに沿って前記第1の基板を分断する第10の工程と、
をさらに実施することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項1に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記第1の工程は、前記第1の基板の一方の面上に複数個の前記電気光学素子群を形成する工程であり、
前記第2の工程は、該複数個の前記電気光学素子群の各々を囲む複数個の環状の前記第1のシール材を形成する工程であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009281297A JP5560688B2 (ja) | 2009-12-11 | 2009-12-11 | 電気光学装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009281297A JP5560688B2 (ja) | 2009-12-11 | 2009-12-11 | 電気光学装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011123321A JP2011123321A (ja) | 2011-06-23 |
JP5560688B2 true JP5560688B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=44287252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009281297A Expired - Fee Related JP5560688B2 (ja) | 2009-12-11 | 2009-12-11 | 電気光学装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5560688B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016059497A1 (en) | 2014-10-17 | 2016-04-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device, module, electronic device, and method for manufacturing light-emitting device |
JP2017004747A (ja) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | 双葉電子工業株式会社 | 有機el表示装置 |
JP2017022071A (ja) * | 2015-07-15 | 2017-01-26 | キヤノン株式会社 | 有機発光装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63245889A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-12 | 株式会社村田製作所 | 電界発光素子およびその製造方法 |
JP2003181825A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-02 | Sony Corp | 基板分断方法及び有機elディスプレイの製造方法 |
JP2004317983A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 表示素子多面取り用ガラス基板体、及び表示素子多面取り用ガラス基板体の製造方法 |
JP2005221944A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
-
2009
- 2009-12-11 JP JP2009281297A patent/JP5560688B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011123321A (ja) | 2011-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2704196B1 (en) | Organic light emitting display and method for manufacturing the same | |
JP6191260B2 (ja) | 電気光学装置、及び電子機器 | |
JP5593630B2 (ja) | 有機el装置および電子機器 | |
US9894755B2 (en) | Flexible display and method of manufacturing the same | |
KR102045733B1 (ko) | 유기전계발광표시장치 및 그 제조 방법 | |
JP5379817B2 (ja) | 表示パネル | |
WO2003098580A1 (fr) | Dispositif d'affichage et procede de fabrication | |
TW201707196A (zh) | 顯示裝置及其製造方法 | |
CN103887315A (zh) | 柔性显示装置及其制造方法 | |
KR20170061773A (ko) | 디스플레이 장치 | |
JP2010244694A (ja) | 有機el装置、電子機器 | |
JP2011128481A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 | |
JP2016218109A (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
JP5493791B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法 | |
JP5560688B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法 | |
JP5191257B2 (ja) | 液晶パネル | |
KR20160073531A (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 | |
JP2011108564A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法ならびに電子機器 | |
JP2011023265A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法 | |
JP2011119169A (ja) | 電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法 | |
JP2003337543A (ja) | 表示装置 | |
JP2009175234A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP2011112829A (ja) | 薄型表示装置の製造方法 | |
JP2004018333A (ja) | ガラスパネルの切断方法 | |
US11643362B2 (en) | Display device and manufacturing method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121030 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20140122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140513 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5560688 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |