JP5560239B2 - シラン・クロロシラン類のガスクロマトグラフ分離方法およびガスクロマトグラフィ用カラム - Google Patents
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PTFE樹脂をカッターナイフで切りだし、40〜80メッシュのPTFE細粒70gを作製した。このPTFE樹脂に対し18gのポリジメチルシロキサン(末端処理なし)を塩化メチレン200gに溶解した溶液を準備し、PTFE樹脂とフラスコ中で混合した後、60℃で48時間乾燥し、塩化メチレンを完全に除去した。
調製した固定相を、内径3mmで長さ4mのステンレス製カラムに真空ポンプによる吸引をしながら均一に充填した。
トリクロロシランを用いたシーメンス法による多結晶シリコン製造反応を行った際の反応装置からの排ガスを試料とし、カラムへの注入量は2μlとした。なお、上記多結晶シリコン製造時のプロセスガスは水素である。
調製したカラムを、ガスクロマトグラフィ装置(GLサイエンス社製GC−4000)に装着し、カラム温度を40℃一定として、水素を移動相として流速20ml/分で流し、下記試料の分離を行った。各ピークの検出は、熱伝導検出器を用い、島津製作所社製CR−8Aを用いて分離チャートの作成および分離度を評価した。
図2に分離チャートを示す。また、捕集されたシラン・クロロシラン類および塩化水素の順番と定量値は表1の通りである。図2から明らかなように、塩化水素のテーリングは十分に抑制され、各ピークの分離は良好である。なお、分離された各成分は、液体窒素により冷却したステンレス製U字管(直径10mm、長さ60cm)に導き、単離・捕集した。
実施例1の固定相の材料を、担体として珪藻土、固定相としてトリメチルシランによってエンドキャッピングした無極性シリコーンオイルを用いた以外は同様の方法により分離カラム用カラムを調製した。更に、実施例1で用いた試料を、実施例1で用いたガスクロマトグラフィ条件を用いて分離を試みた。
図1に分離チャートを示す。比較例のサンプルは窒素をコンタミ物質として含有し、これがモノシランのピークと重なっている。また、塩化水素のピークが大きくテーリングしているため、モノクロロシランのピークが全く分離されておらず、ジクロロシラン、トリクロロシランのピークについても定量値を得ることが難しい。
内径0.53mm、長さ60mのPTFE樹脂管に、ポリジメチルシロキサン2gを塩化メチレン19gで希釈した溶液を通液した。その後、窒素雰囲気中で室温で24時間、40℃で24時間、50℃で24時間、さらに、60℃で24時間、この順序で乾燥処理を行って塩化メチレンを揮発させた。得られたシリコーンオイル相の膜厚は約5μmであった。このカラムをステンレス管の中に入れ、実施例1で用いたのと同じガスクロマトグラフィ装置に装着した。
実施例1とは異なるロットの、トリクロロシランを用いたシーメンス法による多結晶シリコン製造反応を行った際の反応装置からの排ガスを試料とし、カラムへの注入量は1μlとした。なお、上記多結晶シリコン製造時のプロセスガスも水素である。
カラム温度を40℃一定として、窒素を移動相として流速6ml/分で流し、分離を行った。各ピークの検出および解析は実施例1と同じ方法で行った。
図3に分離チャートを示す。また、捕集されたシラン・クロロシラン類および塩化水素の順番と定量値は表2の通りである。図3から明らかなように、塩化水素のテーリングは十分に抑制され、各ピークの分離は良好である。なお、分離された各成分は、実施例1同様に、液体窒素により冷却したステンレス製U字管(直径10mm、長さ60cm)に導き、単離・捕集した。
Claims (6)
- 塩化水素を含有するシラン・クロロシラン類混合物から塩化水素とシラン・クロロシラン類の各成分をガスクロマトグラフ分離する方法であって、
一部にエーテル鎖を有するフッ素化された飽和炭化水素樹脂上に担持された無極性シリコーンオイルを固定相としたカラムを用い、不活性ガスを移動相として用いる、ことを特徴とするシラン・クロロシラン類のガスクロマトグラフ分離方法。 - 前記不活性ガスは水素である、請求項1に記載のシラン・クロロシラン類のガスクロマトグラフ分離方法。
- 前記シラン・クロロシラン類は、モノシラン、モノクロロシラン、及び、ジクロロシランの群より選択される1種以上のシラン系化合物を含む、請求項1又は2に記載のシラン・クロロシラン類のガスクロマトグラフ分離方法。
- 請求項1乃至3の何れか1項に記載の方法によって分離されたシラン・クロロシラン類成分を捕集する、ことを特徴とするシラン・クロロシラン類の精製方法。
- シラン・クロロシラン類をガスクロマトグラフィにより定量分析する方法であって、
一部にエーテル鎖を有するフッ素化された飽和炭化水素樹脂上に担持された無極性シリコーンオイルを固定相としたカラムを用い、移動相として不活性ガスを用いる、ことを特徴とするシラン・クロロシラン類のガスクロマトグラフィによる定量分析方法。 - 一部にエーテル鎖を有するフッ素化された飽和炭化水素樹脂上に担持された無極性シリコーンオイルを固定相とした、ガスクロマトグラフィ用カラム。
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