JP5556878B2 - Laminated cover substrate for solar cell, solar cell, and method for producing laminated cover substrate for solar cell - Google Patents

Laminated cover substrate for solar cell, solar cell, and method for producing laminated cover substrate for solar cell Download PDF

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Description

本発明は、太陽電池用積層カバー基板、及びその太陽電池用積層カバー基板を用いた太陽電池、並びに前記太陽電池用積層カバー基板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a laminated cover substrate for solar cells, a solar cell using the laminated cover substrate for solar cells, and a method for producing the laminated cover substrate for solar cells.

近年、地球温暖化の防止対策として、太陽光エネルギーを電気エネルギーに変換して利用できる太陽電池の普及が注目されている。このような太陽電池においては、発電の高効率化が求められている。高効率化は低コスト化や軽量化にも深く関係している。
太陽電池の効率に関する因子としては、太陽電池セル内の半導体部分での量子効率や、太陽電池のカバー基板(受光面)の表面反射率等が挙げられる。特にカバー基板の表面反射を低減することは、太陽光エネルギーを太陽電池セル内に効率よく取り込んでエネルギー変換することに繋がり、半導体部分の種類や特性に依らず太陽電池の高効率化を図ることが可能であることから、その意義は大きい。また、例えば屋根または壁面に施工される太陽電池のカバー基板の表面反射は、反射光公害を生じさせることがあるという側面もある。
In recent years, the spread of solar cells that can be used by converting solar energy into electrical energy has attracted attention as a measure for preventing global warming. In such a solar cell, high efficiency of power generation is required. High efficiency is deeply related to low cost and light weight.
Factors relating to the efficiency of the solar cell include the quantum efficiency in the semiconductor portion in the solar cell, the surface reflectance of the cover substrate (light receiving surface) of the solar cell, and the like. In particular, reducing the surface reflection of the cover substrate leads to efficient conversion of energy by taking solar energy into the solar cell, and improving the efficiency of the solar cell regardless of the type and characteristics of the semiconductor part. This is significant because it is possible. Further, for example, the surface reflection of the cover substrate of the solar cell applied to the roof or the wall surface may cause reflected light pollution.

ここで、特許文献1には、表面の算術平均表面粗さを制御することにより、フィルムの防眩性を良好なものとする方法が報告されている。しかしながら、上記方法は、フィルムの表面反射自体を抑制するものではなく、この方法を用いたとしても、太陽電池の発電効率向上には繋がりにくい。
また、特許文献2には、光の反射防止と同時に防眩性を付与するため、表面に微細な凸凹形状を有する防眩層と、屈折率の低い層とを組合せたカバー基板が提案されている。しかしながら、上記文献では防眩層の凸凹の最適な条件が言及されていない。またさらに低屈折率層に関しても屈折率が1.4程度と推測されるため、十分に太陽光エネルギーを取り込むことが可能なカバー基板とすることは難しい。したがって、防眩性と同時に十分な反射防止効果が得られているとはいえない。
Here, Patent Document 1 reports a method for improving the antiglare property of a film by controlling the arithmetic average surface roughness of the surface. However, the above method does not suppress the surface reflection of the film itself, and even if this method is used, it is difficult to improve the power generation efficiency of the solar cell.
Further, Patent Document 2 proposes a cover substrate that combines an antiglare layer having a fine unevenness on the surface with a layer having a low refractive index in order to impart antiglare properties at the same time as preventing reflection of light. Yes. However, the above-mentioned document does not mention the optimum conditions for the unevenness of the antiglare layer. Furthermore, since the refractive index of the low refractive index layer is estimated to be about 1.4, it is difficult to obtain a cover substrate that can sufficiently take in solar energy. Therefore, it cannot be said that a sufficient antireflection effect is obtained simultaneously with the antiglare property.

また特許文献3では、特定のアルコキシシランの共加水分解・重縮合物を用いることにより太陽電池に凸凹パターンを形成し、反射や散乱効果によって太陽光エネルギーの利用効率を向上させることを提案しているが、実際には屈折率が1.4以上と推測される層を形成しており、前記同様、十分な反射防止効果が得られているとはいえない。
また、特許文献4では、0.01μm〜1μmの段差の凸凹面を有する反射防止層を提案している。しかしながら、実施例をみる限り、反射防止層自体の屈折率は1.3程度であると推測され、前記同様、十分な反射防止効果が得られているとはいえない。
Patent Document 3 proposes to form an uneven pattern on a solar cell by using a co-hydrolyzed / polycondensate of a specific alkoxysilane, and to improve the utilization efficiency of solar energy by reflection and scattering effects. However, a layer having a refractive index of 1.4 or more is actually formed, and it cannot be said that a sufficient antireflection effect is obtained as described above.
Patent Document 4 proposes an antireflection layer having an uneven surface with a step of 0.01 μm to 1 μm. However, as far as the examples are concerned, it is estimated that the refractive index of the antireflection layer itself is about 1.3, and it cannot be said that a sufficient antireflection effect is obtained as described above.

さらに、特許文献5では、ガラス基材上に1.22〜1.44の屈折率を有する反射防止層を提案している。しかしながら、防眩性に対しては言及されておりず、実際の屋根または壁面に施工される太陽電池に用いる場合には、防眩性の向上等、更なる改良が求められる。   Furthermore, Patent Document 5 proposes an antireflection layer having a refractive index of 1.22 to 1.44 on a glass substrate. However, the antiglare property is not mentioned, and further improvements such as improvement of the antiglare property are required for use in solar cells constructed on an actual roof or wall surface.

特開平11−298030号公報JP 11-298030 A 特開平7−333404号公報JP 7-333404 A 特開2000−216417号公報JP 2000-216417 A 特開2002−270866号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-270866 特表2002−543028号公報Japanese translation of PCT publication No. 2002-543028

以上のことから、高い反射防止性能を有し、かつ十分な防眩性を維持した太陽電池モジュールや、太陽電池モジュールに用いる太陽電池用積層カバー基板はいまだ得られておらず、その提供が望まれている。
本発明は上記の課題に鑑みて創案されたもので、本発明は、高い反射防止性能を有し、かつ防眩性にも優れた太陽電池用積層カバー基板や太陽電池を得ることを目的とする。
Based on the above, solar cell modules having high antireflection performance and maintaining sufficient antiglare properties and laminated cover substrates for solar cells used in solar cell modules have not been obtained yet, and the provision thereof is hoped for. It is rare.
The present invention was devised in view of the above problems, and an object of the present invention is to obtain a solar cell laminated cover substrate and a solar cell having high antireflection performance and excellent antiglare properties. To do.

本発明者らは、上記課題を解決するべく鋭意検討した結果、透光基材に一定の屈折率を有する積層膜を有し、かつ受光面の中心線平均表面粗さ、及び表面粗さの最大高さがある一定領域にあることで、防眩性にも優れ、かつ太陽光の透過率が著しく向上した太陽電池用積層カバー基板が得られることを見出し、本発明に至った。
本発明の第1の要旨は、透光基材の片面及び/または両面に、屈折率が1.05〜1.3である積層膜が積層された太陽電池用積層カバー基板であって、受光面側の中心線平均表面粗さRaが0.3μm〜10μmであり、かつ表面粗さの最大高さRmaxが0.1μm〜50μmであり、前記透光基材の受光面側の表面粗さの最大高さRmaxが11.73〜50μmであり、該積層膜を、少なくとも上記の透光基材の受光面側に有することを特徴とする太陽電池用積層カバー基板に存する(請求項1)。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have a laminated film having a constant refractive index on the light-transmitting substrate, and the center line average surface roughness of the light receiving surface, and the surface roughness The present inventors have found that a laminated cover substrate for a solar cell that is excellent in anti-glare property and has a significantly improved sunlight transmittance can be obtained by being in a certain region having a maximum height, and has led to the present invention.
The first gist of the present invention is a laminated cover substrate for a solar cell in which a laminated film having a refractive index of 1.05 to 1.3 is laminated on one side and / or both sides of a translucent base material. center line average surface roughness Ra of the surface side is 0.3 μm~10μm, and the maximum height Rmax of the surface roughness is the 0.1Myuemu~50myuemu, the surface roughness of the light-receiving surface side of the ToruHikarimoto material The maximum height Rmax is 11.73 to 50 μm, and the laminated film is provided at least on the light receiving surface side of the light-transmitting base material. ).

前記太陽電池用積層カバー基板においては、前記積層膜の最大膜厚が50nm〜10μmであることが好ましく(請求項2)、また前記透光基材が強化ガラスであることが好ましく(請求項3)、さらに太陽電池用積層カバー基板の面積が0.1m以上であることが好ましい(請求項4)。
また上記太陽電池用積層カバー基板におけるD65光の全光線透過率が80%以上であることが好ましく(請求項5)、さらに上記太陽電池用積層カバー基板は、熱線遮断層を有することが好ましい(請求項6)。
In the laminated cover substrate for a solar cell, it is preferable that the maximum film thickness of the laminated film is 50 nm to 10 μm (Claim 2), and it is preferable that the translucent substrate is tempered glass (Claim 3). Furthermore, it is preferable that the area of the laminated cover substrate for solar cells is 0.1 m 2 or more.
Further, the total light transmittance of D65 light in the laminated cover substrate for solar cells is preferably 80% or more (Claim 5), and the laminated cover substrate for solar cells preferably has a heat ray blocking layer ( Claim 6).

また本発明の第2の要旨は、上記記載の太陽電池用積層カバー基板を有することを特徴とする太陽電池モジュールに存する(請求項7)。
また本発明の第3の要旨は、上記記載の太陽電池用積層カバー基板を製造する方法であって、粘度0.05Pas・sec以下のシリカ系前駆体を用いて前記積層膜を形成する形成過程を有することを特徴とする太陽電池用積層カバー基板の製造方法に存する(請求項8)。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a solar cell module comprising the above-described laminated cover substrate for solar cells.
The third gist of the present invention is a method for producing the above-described laminated cover substrate for solar cells, wherein the laminated film is formed using a silica-based precursor having a viscosity of 0.05 Pas · sec or less. It exists in the manufacturing method of the laminated cover board | substrate for solar cells characterized by having (Claim 8).

前記太陽電池用積層カバー基板の製造方法においては、前記シリカ系前駆体のpHが2以下であることが好ましい(請求項9)。
また前記太陽電池用積層カバー基板の製造方法においては、前記積層膜の形成過程で、100℃〜800℃の加熱工程を経ることが好ましい(請求項10)。
In the method for producing a laminated cover substrate for a solar cell, the silica precursor preferably has a pH of 2 or less (claim 9).
Moreover, in the manufacturing method of the said laminated cover board | substrate for solar cells, it is preferable to pass through the heating process of 100 to 800 degreeC in the formation process of the said laminated film (Claim 10).

本発明の太陽電池用積層カバー基板によれば、受光面側の中心線平均表面粗さ及び表面粗さの最大高さが所定の範囲内とされていることから、防眩性を高いものとすることができ、反射光公害等が生じないものとすることができる。また所定の屈折率を有する積層膜との組み合わせにより、太陽光エネルギーを極めて効率的に太陽電池セル側に取り込むことが可能な太陽電池用積層カバー基板とすることが可能である。   According to the laminated cover substrate for a solar cell of the present invention, the centerline average surface roughness on the light-receiving surface side and the maximum height of the surface roughness are within a predetermined range, so that the antiglare property is high. It is possible to prevent reflection light pollution and the like from occurring. In addition, a combination with a laminated film having a predetermined refractive index can provide a laminated cover substrate for a solar cell that can take solar energy into the solar cell side extremely efficiently.

また本発明の太陽電池モジュールによれば、上記太陽電池用積層カバー基板を用いていることから、太陽光エネルギーを極めて効率的に取り込み、電気エネルギーに変換可能なものとすることができる。
またさらに、本発明の太陽電池用積層カバー基板の製造方法によれば、所定の粘度を有するシリカ系前駆体を用いて積層膜を形成することから、生産性よく太陽電池用積層カバー基板を製造することが可能である。
Moreover, according to the solar cell module of the present invention, since the solar cell laminated cover substrate is used, solar energy can be taken in very efficiently and converted into electric energy.
Furthermore, according to the method for manufacturing a laminated cover substrate for a solar cell of the present invention, a laminated film is formed using a silica-based precursor having a predetermined viscosity, so that a laminated cover substrate for a solar cell is manufactured with high productivity. Is possible.

本発明の太陽電池用積層カバー基板の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the laminated cover board | substrate for solar cells of this invention. 本発明の太陽電池用積層カバー基板の他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of the laminated cover board | substrate for solar cells of this invention.

以下、本発明について実施形態や例示物等を示して詳細に説明するが、本発明は以下の実施形態や例示物等に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、任意に変更して実施できる。
本発明の太陽電池用積層カバー基板、太陽電池、及び太陽電池用積層用カバー基板の製造方法について以下、それぞれ説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments, examples, etc., but the present invention is not limited to the following embodiments, examples, etc., and may be arbitrarily selected without departing from the gist of the present invention. You can change it to
The manufacturing method of the laminated cover substrate for solar cells, the solar cell, and the laminated cover substrate for solar cells of the present invention will be described below.

A.太陽電池用積層カバー基板
まず、本発明の太陽電池用積層カバー基板について説明する。本発明の太陽電池用積層カバー基板は、透光基材の片面及び/または両面に、所定の屈折率を有する積層膜が積層されたものであり、受光面側の中心線平均表面粗さRa及び表面粗さの最大高さRmaxが所定の範囲内とされているものである。なお、本発明でいう受光面側とは、太陽電池用積層カバー基板が太陽電池モジュールに用いられた際に、太陽光が入射する側をいうこととする。
A. First, the laminated cover substrate for solar cells of the present invention will be described. The laminated cover substrate for a solar cell of the present invention is obtained by laminating a laminated film having a predetermined refractive index on one side and / or both sides of a translucent base material, and the center line average surface roughness Ra on the light receiving surface side. In addition, the maximum height Rmax of the surface roughness is within a predetermined range. In addition, when the light-receiving surface side as used in the field of this invention is used for a solar cell module, the solar cell laminated cover board | substrate shall mean the side into which sunlight enters.

本発明によれば、受光面側の中心線平均表面粗さRa、及び表面粗さの最大高さRmaxが所定の範囲内とされていることから、太陽光エネルギーの反射を拡散反射とすることができ、防眩性を高いものとすることができる。したがって、本発明の太陽電池用積層カバー基板を、屋根や壁面に用いられる太陽電池モジュールに適用した場合に、反射光公害が生じることが少ないものとすることができる。   According to the present invention, since the center line average surface roughness Ra on the light receiving surface side and the maximum height Rmax of the surface roughness are within a predetermined range, the reflection of sunlight energy is made diffuse reflection. The antiglare property can be increased. Therefore, when the laminated cover substrate for a solar cell of the present invention is applied to a solar cell module used for a roof or a wall surface, reflected light pollution is less likely to occur.

またさらに、上記積層膜が形成されていることから、太陽電池用積層カバー基板の太陽光エネルギーの反射を少ないものとし、太陽光エネルギーを太陽電池セル側に極めて効率よく取り込むことが可能であり、発電効率が高い太陽電池モジュールを実現することが可能となる。
以下、本発明の太陽電池用積層カバー基板の特性について説明し、その後、その太陽電池用積層カバー基板を構成する各部材について説明する。
Furthermore, since the laminated film is formed, it is possible to reduce the reflection of solar energy of the laminated cover substrate for solar cells, and to take solar energy into the solar cell side very efficiently, A solar cell module with high power generation efficiency can be realized.
Hereinafter, the characteristic of the laminated cover substrate for solar cells of this invention is demonstrated, and each member which comprises the laminated cover substrate for solar cells is demonstrated after that.

[1.太陽電池用積層カバー基板の特性]
1−1.構成
本発明の太陽電池用積層カバー基板は、透光基材及び積層膜を有するものであれば、その構成は特に限定されない。例えば図1に示すような、所定の表面粗さの凹凸を有する透光基材1の凹凸上に、積層膜2を積層した構成や、図2に示すような、凹凸を有さない透光基材1上に、所定の粗さの凹凸を有する積層膜2を積層した構成等とすることができる。なお、上記図1及び図2は、本発明の太陽電池用積層カバー基板を説明するために便宜的に用いられるものであり、太陽電池用積層カバー基板の構成は上記構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、いかなる変更も行うことが可能である。
[1. Characteristics of laminated cover substrates for solar cells]
1-1. Structure The structure of the laminated cover substrate for a solar cell of the present invention is not particularly limited as long as it has a light-transmitting substrate and a laminated film. For example, as shown in FIG. 1, a structure in which a laminated film 2 is laminated on the unevenness of a translucent substrate 1 having unevenness with a predetermined surface roughness, or a translucent light having no unevenness as shown in FIG. 2. A configuration in which a laminated film 2 having irregularities with a predetermined roughness is laminated on the substrate 1 can be employed. 1 and 2 are used for convenience in explaining the solar cell laminated cover substrate of the present invention, and the configuration of the solar cell laminated cover substrate is not limited to the above configuration. Any changes can be made without departing from the spirit of the present invention.

本発明の太陽電池用積層カバー基板において、上記積層膜は、透光基材の片面のみに積層してもよく、また両面に積層してもよいが、太陽光エネルギーの反射防止の観点から少なくとも透光基材の受光面側に積層することが好ましい。
また従来、太陽光により、太陽電池用積層カバー基板、太陽電池セル、又は両方に発生した熱が、太陽電池セルに伝播、又は滞在することで、太陽電池セルの発電効率を低下させる場合があった。そこで、透光基材の受光面とは反対側(セル部側)にも積層膜を積層することにより、前述した太陽電池用積層カバー基板からの熱の伝播について抑制することが可能となり、熱の伝播による太陽電池セルの発電効率低下を軽減する効果も期待できる。したがって、透光基材の両面に積層膜を有してもよい。
In the laminated cover substrate for a solar cell of the present invention, the laminated film may be laminated only on one side of the light-transmitting substrate, or may be laminated on both sides, but at least from the viewpoint of preventing reflection of solar energy. It is preferable to laminate on the light receiving surface side of the translucent substrate.
In addition, conventionally, the heat generated by the solar cell laminated cover substrate, the solar cell, or both due to sunlight propagates or stays in the solar cell, which may reduce the power generation efficiency of the solar cell. It was. Therefore, by laminating the laminated film on the side opposite to the light receiving surface (cell side) of the translucent base material, it becomes possible to suppress the propagation of heat from the above-described laminated cover substrate for solar cells. The effect which reduces the power generation efficiency fall of the photovoltaic cell by propagation of can also be expected. Therefore, you may have a laminated film on both surfaces of a translucent base material.

ここで、本発明の太陽電池用積層カバー基板は、上記透光基材及び積層膜以外にも適宜必要な層を有するものとすることができる。例えば積層膜と透光基材との間や、積層膜上、または透光基材上に、熱線遮断層や、防汚性層や紫外線劣化防止層、親水性層、疎水性層、防曇層、粘着層、接着層、ハード層、導電性層、反射層、アンチグレア層、拡散層等を有していてもよい。本発明においては、特に太陽電池用積層カバー基板からの熱の伝播による太陽電池モジュールの発電効率低下を低減することが可能となることから、熱線遮断層を有することが好ましい。   Here, the laminated cover substrate for a solar cell of the present invention may have necessary layers as appropriate in addition to the light-transmitting substrate and the laminated film. For example, between a laminated film and a translucent substrate, on a laminated film, or on a translucent substrate, a heat ray blocking layer, an antifouling layer, an ultraviolet degradation preventing layer, a hydrophilic layer, a hydrophobic layer, an antifogging layer A layer, an adhesive layer, an adhesive layer, a hard layer, a conductive layer, a reflective layer, an antiglare layer, a diffusion layer, and the like may be included. In this invention, since it becomes possible to reduce the power generation efficiency fall of the solar cell module especially by propagation of the heat | fever from the laminated cover board | substrate for solar cells, it is preferable to have a heat ray blocking layer.

1−2.受光面側の中心線平均表面粗さRa、最大高さRmax、及び凹凸の平均間隔
本発明の太陽電池用積層カバー基板の受光面側の中心線平均表面粗さRaは、通常0.1μm以上、好ましくは0.2μm以上、より好ましくは0.3μm以上である。また、通常10μm以下、好ましくは7μm以下、より好ましくは5μm以下、特に好ましくは4μm以下である。
1-2. Centerline average surface roughness Ra on the light-receiving surface side, maximum height Rmax, and average interval between the irregularities The centerline average surface roughness Ra on the light-receiving surface side of the laminated cover substrate for solar cells of the present invention is usually 0.1 μm or more. , Preferably 0.2 μm or more, more preferably 0.3 μm or more. Moreover, it is 10 micrometers or less normally, Preferably it is 7 micrometers or less, More preferably, it is 5 micrometers or less, Most preferably, it is 4 micrometers or less.

またこの際、表面粗さの最大高さRmaxは、通常0.1μm以上であり、好ましくは0.2μm以上、より好ましくは0.4μm以上、特に好ましくは0.6μm以上である。また、通常50μm以下、好ましくは40μm以下、より好ましくは35μm以下、特に好ましくは30μm以下である。上記中心線平均表面粗さ及び表面粗さの最大高さを上記範囲内とすることにより、太陽電池用積層カバー基板の光の反射を拡散反射とし、太陽電池用積層カバー基板が防眩性を有するものとすることが可能となる。   At this time, the maximum height Rmax of the surface roughness is usually 0.1 μm or more, preferably 0.2 μm or more, more preferably 0.4 μm or more, and particularly preferably 0.6 μm or more. Moreover, it is 50 micrometers or less normally, Preferably it is 40 micrometers or less, More preferably, it is 35 micrometers or less, Most preferably, it is 30 micrometers or less. By making the centerline average surface roughness and the maximum height of the surface roughness within the above ranges, the reflection of light from the laminated cover substrate for solar cells is made diffuse reflection, and the laminated cover substrate for solar cells has anti-glare properties. It becomes possible to have.

またさらに、凹凸の平均間隔Smには、通常特に制限はないが、防汚性と防眩性の観点から、通常0.005mm以上であり、好ましくは0.01mm以上、より好ましくは0.05mm以上である。また通常20mm以下であり、好ましくは15mm以下、より好ましくは12mm以下である。かかる範囲を下回ると汚れやすい表面となる場合があり、かかる範囲を超えると十分な防眩性を得られない場合がある。
上記中心線平均表面粗さRa、表面粗さの最大高さRmax、及び上記凹凸の平均間隔Smは、JIS−B0601に従った汎用の表面粗さ計で測定することで得られる。
Furthermore, the average spacing Sm of the irregularities is not particularly limited, but is usually 0.005 mm or more, preferably 0.01 mm or more, more preferably 0.05 mm from the viewpoint of antifouling properties and antiglare properties. That's it. Moreover, it is 20 mm or less normally, Preferably it is 15 mm or less, More preferably, it is 12 mm or less. Below this range, the surface may be easily soiled, and when it exceeds this range, sufficient antiglare properties may not be obtained.
The center line average surface roughness Ra, the maximum height Rmax of the surface roughness, and the average interval Sm of the irregularities are obtained by measuring with a general-purpose surface roughness meter according to JIS-B0601.

1−3.サイズ
本発明の太陽電池用積層カバー基板の面積は、0.1m2以上が好ましく、より好ましくは0.25m2以上、さらに好ましくは1m2以上である。かかるサイズよりも小さい場合には、太陽電池モジュールとした際の発電量が低く、積層膜による反射防止効果が十分に現れない場合がある。
1-3. Size The area of the laminated cover substrate for a solar cell of the present invention is preferably 0.1 m 2 or more, more preferably 0.25 m 2 or more, and further preferably 1 m 2 or more. When the size is smaller than this size, the amount of power generation when the solar cell module is made is low, and the antireflection effect by the laminated film may not be sufficiently exhibited.

また、太陽電池カバー基板全体の厚みは、機械的強度およびガスバリア性の観点から0.05mm以上が好ましく、0.1mm以上がより好ましい。また、軽量化および光透過性の観点から80mm以下が好ましく、より好ましくは30mm以下、さらに好ましくは10mm以下である。   Further, the thickness of the entire solar cell cover substrate is preferably 0.05 mm or more, more preferably 0.1 mm or more from the viewpoint of mechanical strength and gas barrier properties. Moreover, 80 mm or less is preferable from a lightweight viewpoint and a light-transmissive viewpoint, More preferably, it is 30 mm or less, More preferably, it is 10 mm or less.

1−4.透過率及びヘイズ
本発明の太陽電池用積層カバー基板のD65光の全光線透過率は通常80%以上、好ましくは85%以上、より好ましくは90%以上である。これにより太陽電池モジュールの発電効率を良好なものとすることができる。
1-4. Transmittance and haze The total light transmittance of D65 light of the laminated cover substrate for solar cells of the present invention is usually 80% or more, preferably 85% or more, more preferably 90% or more. Thereby, the power generation efficiency of the solar cell module can be improved.

また、太陽電池用積層カバー基板のヘイズは通常5%以上、好ましくは10%以上、より好ましくは15%以上である。また通常95%以下であり、好ましくは92%以下、より好ましくは90%以下である。かかる下限以上のヘイズをもつことは、拡散透過光が存在することを意味し、その拡散透過光は太陽電池セル中での光路長が長いために、太陽電池の効率向上に寄与できる。しかしながら、かかる上限より大きなヘイズを持つ場合には、拡散透過光量があまりに多くなりすぎて、全光線透過率が減少する場合がある。   Moreover, the haze of the laminated cover substrate for solar cells is usually 5% or more, preferably 10% or more, more preferably 15% or more. Moreover, it is 95% or less normally, Preferably it is 92% or less, More preferably, it is 90% or less. Having a haze equal to or greater than the lower limit means that diffuse transmitted light is present, and the diffuse transmitted light has a long optical path length in the solar battery cell, and thus can contribute to an improvement in the efficiency of the solar battery. However, when the haze is larger than the upper limit, the amount of diffuse transmitted light may be too large, and the total light transmittance may be reduced.

上記全光線透過率およびヘイズの値は、JIS−K7105に従ったヘーズメーターで測定することで得られる。本発明では、スガ試験機(株)社製ヘーズメーターHZ−2により測定した値とする。なお、太陽電池用積層カバー基板のセル部側にも凹凸構造がある場合には、かかる構造が全光線透過率・ヘイズに影響を与える。但し、太陽電池用カバー基板のセル部側は、通常、太陽電池モジュールに用いられるときには、EVA(エチレン−酢酸ビニル共重合体)などの樹脂層で充填されるため、セル部側の凹凸に由来する全光線透過率・ヘイズは、実際には太陽電池の防眩性、効率にはほとんど影響しない。したがって、セル部側に凹凸を有する太陽電池積層用カバー基板は、透明基材に屈折率の近いEVAなどの樹脂または溶媒でセル部側凹凸を埋めて、受光面の凹凸のみが寄与する全光線透過率・ヘイズを測定することが好ましい。   The total light transmittance and haze value can be obtained by measuring with a haze meter according to JIS-K7105. In this invention, it shall be the value measured by Suga Test Instruments Co., Ltd. product haze meter HZ-2. In addition, when there is an uneven | corrugated structure also in the cell part side of the laminated cover board | substrate for solar cells, this structure influences a total light transmittance and a haze. However, since the cell portion side of the cover substrate for solar cells is normally filled with a resin layer such as EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer) when used in a solar cell module, it is derived from the irregularities on the cell portion side. The total light transmittance and haze to be used actually have little effect on the antiglare property and efficiency of the solar cell. Therefore, the solar cell stacking cover substrate having irregularities on the cell part side fills the irregularities on the cell part side with a resin or solvent such as EVA having a refractive index close to the transparent base material, and only the light rays on the light receiving surface contribute. It is preferable to measure transmittance and haze.

[2.透光基材]
次に、本発明の太陽電池用積層カバー基板に用いられる透光基材の材料や各種特性について説明する。
[2. Translucent substrate]
Next, the material and various characteristics of the translucent base material used for the laminated cover substrate for solar cells of the present invention will be described.

2−1.材料
本発明に用いられる透光基材としては特に限定されず、一般的な太陽電池用積層カバー基板に汎用されているものを用いることができ、具体的にはガラスや樹脂等が挙げられ、寸法安定性やガスバリア性等の面からガラスが好ましく用いられる。
上記透光基材に用いられるガラスは、任意の種類のものを使用できる。例えばその種類として、珪酸ガラス、高珪酸ガラス、珪酸アルカリガラス、鉛アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、カリ石灰ガラス、バリウムガラスなどの珪酸塩ガラス、硼珪酸ガラスやアルミナ珪酸ガラス、燐酸塩ガラスや、これらの強化ガラスが挙げられる。中でも価格の点で、ソーダ石灰ガラスが好ましい。さらに、耐衝撃性の観点から強化ガラスを使用することも好ましい。また、単結晶太陽電池や他結晶太陽電池などの近赤外光でも光電変換可能な太陽電池に使用されるカバーガラスについては、通常のソーダ石灰ガラスでは含有される2価の鉄イオンにより近赤外領域に吸収を持つため、鉄イオン含有量を低減することで光透過性を高め、さらに耐衝撃強度が優れた白板強化ガラスを用いることがより好ましくなる。上記白板強化ガラスのガラス組成中の全酸化鉄量は、Fe23換算で0.06重量%以下が好ましい。より好ましくは0.04重量%以下、さらに好ましくは0.02重量%以下である。かかる範囲より大きいときは、前述の通り鉄イオンによる近赤外光の吸収が顕著になる場合がある。さらに積層膜との密着性の観点で、カリウム、カルシウム、亜鉛の割合が少ない方が好ましい。上記カリウム、カルシウム、亜鉛の割合はXPSで測定でき、カリウム、カルシウム、及び亜鉛の含有量の総和が、ケイ素との元素比で0.1以下が好ましく、0.08以下がより好ましく、0.05以下がさらに好ましい。
上記強化ガラスには、任意の強化方法を適用することができる。例えば、ガラス強化方法として、物理強化、化学強化、積層強化が挙げられる。中でも物理強化は、熱処理による強化方法であり、本発明の積層膜形成に熱処理を有する場合には、強化工程と膜形成工程とを両立できる点から好ましい。
2-1. Materials The light-transmitting substrate used in the present invention is not particularly limited, and those generally used for a general laminated cover substrate for a solar cell can be used, and specifically, glass, resin, etc. can be mentioned, Glass is preferably used from the viewpoints of dimensional stability and gas barrier properties.
Any kind of glass can be used as the glass used for the translucent substrate. For example, silicate glass such as silicate glass, high silicate glass, alkali silicate glass, lead alkali glass, soda lime glass, potash lime glass, barium glass, borosilicate glass, alumina silicate glass, phosphate glass, etc. Tempered glass. Among them, soda lime glass is preferable in terms of price. Furthermore, it is also preferable to use tempered glass from the viewpoint of impact resistance. In addition, the cover glass used for solar cells capable of photoelectric conversion even in the near-infrared light, such as single crystal solar cells and other crystal solar cells, is near red due to the divalent iron ions contained in ordinary soda-lime glass. Since it has absorption in the outer region, it is more preferable to use white plate tempered glass having improved light transmittance by reducing the iron ion content and having excellent impact strength. The total iron oxide content in the glass composition of the white plate tempered glass is preferably 0.06% by weight or less in terms of Fe 2 O 3 . More preferably, it is 0.04 weight% or less, More preferably, it is 0.02 weight% or less. When it is larger than this range, the absorption of near-infrared light by iron ions may become remarkable as described above. Further, from the viewpoint of adhesion to the laminated film, it is preferable that the ratio of potassium, calcium, and zinc is small. The ratio of the potassium, calcium, and zinc can be measured by XPS, and the total content of potassium, calcium, and zinc is preferably 0.1 or less, more preferably 0.08 or less in terms of element ratio with silicon. 05 or less is more preferable.
Any tempering method can be applied to the tempered glass. For example, the glass strengthening method includes physical strengthening, chemical strengthening, and lamination strengthening. In particular, physical strengthening is a strengthening method by heat treatment, and when the heat treatment is used for forming the laminated film of the present invention, it is preferable from the viewpoint that both the strengthening step and the film forming step can be achieved.

また透光基材に用いられる樹脂は透光性を有するものであれば、特に制限はないが、寸法安定性の観点から、ガラス転移点や耐熱温度の高いものが好ましい。具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート;三フッ化塩化エチレン樹脂、ポリビニリデンフルオライド、ポリビニルフルオライド等のホモポリマーや、四フッ化エチレン−パーフルオロビニルエーテル共重合体、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体、四フッ化エチレン−エチレン共重合体等のコーポリマ等のフッ素系フィルム;芳香族ジカルボン酸−ビスフェノール共重合芳香族ポリエステル等のポリアクリレートフィルム;ポリサルホン、ポリエーテルサルホン等の含イオウポリマーフィルム;ポリカーボネートフィルム;非晶質ポリオレフィン系樹脂、シクロオレフィン樹脂;ノルボルネン系樹脂;ポリメタクリレート樹脂;オレフィン−マレイミド共重合体、パラアラミド、フッ化ポリイミド、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、セルローストリアセテート等が挙げられる。
上記ガラス及び樹脂は、1種のみを単独で用いてもよく、また2種以上を任意の組み合わせで用いてもよい。
The resin used for the translucent substrate is not particularly limited as long as it has translucency, but from the viewpoint of dimensional stability, a resin having a high glass transition point and high heat resistance temperature is preferable. Specifically, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate; homopolymers such as trifluoroethylene chloride resin, polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride, tetrafluoroethylene-perfluorovinylether copolymer, tetrafluoroethylene- Fluorine films such as copolymers such as hexafluoropropylene copolymer, tetrafluoroethylene-ethylene copolymer; polyacrylate films such as aromatic dicarboxylic acid-bisphenol copolymer aromatic polyester; polysulfone, polyethersulfone, etc. Sulfur-containing polymer film; polycarbonate film; amorphous polyolefin resin, cycloolefin resin; norbornene resin; polymethacrylate resin; olefin-maleimide copolymer, para-aramid, fluorinated polyimide Polystyrene, polyvinyl chloride, cellulose triacetate and the like.
The said glass and resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types by arbitrary combinations.

2−2.中心線平均表面粗さ、表面粗さの最大高さ、及び凹凸の平均間隔
上述したように、本発明の太陽電池用積層カバー基板においては、受光面側が所定の範囲内の中心線平均表面粗さを有するものである。太陽電池用積層カバー基板の受光面側の表面が上記中心線平均表面粗さを有するように、透光基材表面が凹凸を有するものとしてもよいが、例えば受光面側に形成される積層膜自体が凹凸を有し、上記中心線平均表面粗さや表面粗さの最大高さを実現するものである場合には、透光基材の中心線平均表面粗さや表面粗さの最大高さ等は特に限定されるものではない。また透光基材の受光面側と反対側の面の中心線平均表面粗さ等についても特に限定されるものではない。
2-2. Centerline average surface roughness, maximum height of surface roughness, and average interval of unevenness As described above, in the laminated cover substrate for solar cells of the present invention, the centerline average surface roughness within a predetermined range on the light receiving surface side It has a thickness. The light-transmitting substrate surface may have irregularities so that the surface on the light-receiving surface side of the laminated cover substrate for solar cells has the centerline average surface roughness, but for example, a laminated film formed on the light-receiving surface side In the case where it has irregularities and realizes the above-mentioned centerline average surface roughness and the maximum height of the surface roughness, the centerline average surface roughness and the maximum height of the surface roughness of the translucent substrate, etc. Is not particularly limited. Moreover, it is not specifically limited about the centerline average surface roughness etc. of the surface on the opposite side to the light-receiving surface side of a translucent base material.

透光基材の表面の凹凸によって太陽電池用積層カバー基板の受光面側の上記中心線平均表面粗さを実現する場合、すなわち透光基材表面に凹凸を形成し、その上に積層膜を形成することによって上記中心線平均表面粗さを実現する場合等における透光基材の受光面側の中心線平均表面粗さRaは通常0.2μm以上、好ましくは0.3μm以上である。また通常20μm以下であり、好ましくは15μm以下であり、より好ましくは10μm以下、特に好ましくは8μm以下である。かかる範囲より小さいと、積層膜形成後に、太陽電池用積層カバー基板表面の中心線平均表面粗さを上述した範囲内とすることが難しくなる。またかかる範囲を越えると積層膜との密着性低下、または透過率低下につながることで太陽電池モジュールの発電効率を低下させる場合がある。   When the above-mentioned center line average surface roughness on the light receiving surface side of the laminated cover substrate for solar cells is realized by the unevenness of the surface of the light transmissive substrate, that is, the unevenness is formed on the surface of the light transmissive substrate, and the laminated film is formed thereon. The centerline average surface roughness Ra on the light-receiving surface side of the translucent substrate in the case where the above-mentioned centerline average surface roughness is realized by forming is usually 0.2 μm or more, preferably 0.3 μm or more. Moreover, it is 20 micrometers or less normally, Preferably it is 15 micrometers or less, More preferably, it is 10 micrometers or less, Most preferably, it is 8 micrometers or less. If it is smaller than this range, it becomes difficult to set the center line average surface roughness of the surface of the laminated cover substrate for solar cells within the above-mentioned range after the laminated film is formed. Moreover, if it exceeds such a range, the power generation efficiency of the solar cell module may be reduced by reducing the adhesion with the laminated film or the transmittance.

また、表面粗さの最大高さRmaxは通常0.2μm以上であり、好ましくは0.3μm以上であり、より好ましくは0.5μm以上、特に好ましくは0.8μm以上である。また通常60μm以下、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下、特に好ましくは35μm以下である。かかる範囲を下回ると積層膜形成後に、太陽電池用積層カバー基板表面の表面粗さの最大高さを上述した範囲内とすることが難しくなる。また、かかる範囲を越えると積層膜との密着性が低下、または防汚性が損なわれる場合がある。   The maximum height Rmax of the surface roughness is usually 0.2 μm or more, preferably 0.3 μm or more, more preferably 0.5 μm or more, and particularly preferably 0.8 μm or more. Moreover, it is 60 micrometers or less normally, Preferably it is 50 micrometers or less, More preferably, it is 40 micrometers or less, Most preferably, it is 35 micrometers or less. Below this range, it becomes difficult to make the maximum height of the surface roughness of the surface of the laminated cover substrate for solar cells within the above-mentioned range after the laminated film is formed. Moreover, when it exceeds this range, the adhesiveness with the laminated film may be lowered, or the antifouling property may be impaired.

さらに、凹凸の平均間隔Smには特に制限はないが、防汚性と防眩性の観点から、通常0.005mm以上であり、好ましくは0.01mm以上、より好ましくは0.05mm以上である。また通常20mm以下であり、好ましくは15mm以下、より好ましくは12mm以下である。かかる範囲を下回ると汚れやすい表面となる場合があり、かかる範囲を超えると十分な防眩性を得られない場合がある。   Further, the average interval Sm of the irregularities is not particularly limited, but is usually 0.005 mm or more, preferably 0.01 mm or more, more preferably 0.05 mm or more from the viewpoint of antifouling properties and antiglare properties. . Moreover, it is 20 mm or less normally, Preferably it is 15 mm or less, More preferably, it is 12 mm or less. Below this range, the surface may be easily soiled, and when it exceeds this range, sufficient antiglare properties may not be obtained.

上記中心線平均表面粗さRa、表面粗さの最大高さRmax、及び上記平均間隔Smは、太陽電池用積層カバー基板における測定方法と同様とすることができる。
ここで、透光基材表面に上記凹凸を形成する方法としては特に限定されず、例えば上記材料からなる基材にブラスト処理、エンボス加工、エッチング処理、スパッタリング処理、CVD処理、表面コーティング処理などの方法を適用することにより得られる。
The center line average surface roughness Ra, the maximum height Rmax of the surface roughness, and the average interval Sm can be the same as the measurement method in the laminated cover substrate for solar cells.
Here, the method for forming the irregularities on the surface of the translucent substrate is not particularly limited. For example, blasting, embossing, etching, sputtering, CVD, surface coating, etc. Obtained by applying the method.

2−3.透過率及びヘイズ
上記透光基材のD65光の全光線透過率は、可視光透過率は80%以上が好ましく、より好ましくは83%以上、さらに85%以上が太陽電池モジュールの発電効率の観点から好ましい。
また、ヘイズは通常5%以上、好ましくは10%以上、より好ましくは15%以上である。また通常97%以下であり、好ましくは95%以下、より好ましくは93%以下である。かかる下限以上のヘイズをもつことは、拡散透過光が存在することを意味し、その拡散透過光は太陽電池セル中での光路長が長いために、太陽電池の効率向上に寄与できる。しかしながら、かかる上限より大きなヘイズを持つ場合には、拡散透過光量があまりに多くなりすぎて、全光線透過率が減少する場合がある。
2-3. Transmittance and haze The total light transmittance of D65 light of the light-transmitting substrate is preferably 80% or more, more preferably 83% or more, and more preferably 85% or more in terms of power generation efficiency of the solar cell module. To preferred.
The haze is usually 5% or more, preferably 10% or more, more preferably 15% or more. Moreover, it is 97% or less normally, Preferably it is 95% or less, More preferably, it is 93% or less. Having a haze equal to or greater than the lower limit means that diffuse transmitted light is present, and the diffuse transmitted light has a long optical path length in the solar battery cell, and thus can contribute to an improvement in the efficiency of the solar battery. However, when the haze is larger than the upper limit, the amount of diffuse transmitted light may be too large, and the total light transmittance may be reduced.

上記光線透過率、及び上記ヘイズは、上述した太陽電池用積層カバー基板における各値の測定方法と同様とすることができる。   The said light transmittance and the said haze can be made to be the same as that of the measuring method of each value in the laminated cover board | substrate for solar cells mentioned above.

2−4.屈折率
また、上記透光基材の屈折率は通常1.40以上であり、好ましくは1.43以上である。また通常1.7以下であり、好ましくは1.65以下、より好ましくは1.53以下である。かかる範囲に透光基材の屈折率があることで、透光基材の種類によらず、後述する所定の屈折率を有する積層膜がより高い反射防止効果を示すことができる。また透光基材がガラスの場合、かかる範囲を超えるガラスは光学用途が多く、高価格である場合がある。透光基材が樹脂の場合は、かかる範囲を超える樹脂は限定されるため、太陽電池用積層カバー基板としての制約を受ける場合がある。上記屈折率の測定方法としては分光エリプソメトリー、プリズムカプラーなどが挙げられる。
2-4. Refractive index Moreover, the refractive index of the said translucent base material is 1.40 or more normally, Preferably it is 1.43 or more. Moreover, it is 1.7 or less normally, Preferably it is 1.65 or less, More preferably, it is 1.53 or less. By having the refractive index of the translucent substrate in such a range, a laminated film having a predetermined refractive index described later can exhibit a higher antireflection effect regardless of the type of the translucent substrate. Moreover, when a translucent base material is glass, the glass exceeding this range has many optical uses and may be expensive. When the translucent base material is a resin, the resin exceeding the above range is limited, and thus may be restricted as a laminated cover substrate for a solar cell. Examples of the refractive index measurement method include spectroscopic ellipsometry and prism coupler.

2−5.サイズ
さらに、上記透光基材の面積は、本発明の太陽電池用積層カバー基板の面積に応じて適宜選択される。また、上記透光基材の厚みは、機械的強度およびガスバリア性の観点から通常0.05mm以上であり、好ましくは0.1mm以上である。また、軽量化および光透過性の観点から通常80mm以下であり、好ましくは30mm以下、より好ましくは10mm以下である。
2-5. Size Furthermore, the area of the translucent substrate is appropriately selected according to the area of the laminated cover substrate for solar cells of the present invention. Moreover, the thickness of the said translucent base material is 0.05 mm or more normally from a viewpoint of mechanical strength and gas barrier property, Preferably it is 0.1 mm or more. Further, from the viewpoint of weight reduction and light transmittance, it is usually 80 mm or less, preferably 30 mm or less, more preferably 10 mm or less.

[3.積層膜]
次に、本発明の太陽電池用積層カバー基板に用いられる積層膜の材料及び各種特性について説明する。
[3. Laminated film]
Next, the material and various characteristics of the laminated film used for the laminated cover substrate for solar cells of the present invention will be described.

3−1.材料
積層膜の材料としては、後述する屈折率を有する膜を形成可能なものであれば特に限定されず、樹脂などの有機層や、無機層、有機材料と無機材料との複合層が挙げられるが、寸法安定性や耐熱性の観点から、無機層、または有機材料と無機材料との複合層が好ましく、無機層がより好ましい。また、積層膜が透光基材の両面に形成される場合、それぞれ異なる材料からなる膜であってもよく、また同一の材料からなる膜であってもよい。
3-1. Material The material of the laminated film is not particularly limited as long as it can form a film having a refractive index to be described later, and examples thereof include an organic layer such as a resin, an inorganic layer, and a composite layer of an organic material and an inorganic material. However, from the viewpoint of dimensional stability and heat resistance, an inorganic layer or a composite layer of an organic material and an inorganic material is preferable, and an inorganic layer is more preferable. Moreover, when a laminated film is formed on both surfaces of a translucent substrate, they may be films made of different materials or may be films made of the same material.

また各積層膜は、単層からなるものであってもよく、また2層以上が積層された複数層からなるものであってもよい。積層数には特に制限はないが、膜の安定性(内部歪み低減)の観点から、5層以下であること好ましく、3層以下がより好ましく、1層が特に好ましい。5層を越えると各層の界面で剥離等の現象が起き易く、膜安定性(信頼性)が低下する場合がある。なお、複数の層が積層されている場合、各層はそれぞれ同じ層であってもよく、また異なる層であってもよい。   Each laminated film may be composed of a single layer, or may be composed of a plurality of layers in which two or more layers are laminated. The number of stacked layers is not particularly limited, but is preferably 5 layers or less, more preferably 3 layers or less, and particularly preferably 1 layer from the viewpoint of film stability (reduction of internal strain). If the number of layers exceeds five, phenomena such as peeling are likely to occur at the interface between the layers, and film stability (reliability) may be reduced. When a plurality of layers are stacked, each layer may be the same layer or different layers.

積層膜の形成に用いられる無機材料としては、酸化ケイ素、酸化アルミなどの金属酸化物、窒化ケイ素などが挙げられる。これらは1種単独で、または2種以上を任意の比率及び組み合わせで用いることができる。中でも、膜安定性の観点から酸化ケイ素を用いることがより好ましい。
さらに、陽性元素を含む任意の化学組成の材料が含有されていてもよい。例えば、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化セリウム、酸化プラセオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化テルビウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化クロム、酸化マンガン、酸化鉄、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化銅、酸化亜鉛、酸化カドミウム、酸化ガリウム、酸化インジウム、酸化ゲルマニウム、酸化スズ、酸化鉛等の遷移金属酸化物組成;酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化ルビジウム、酸化セシウム等の酸化アルカリ金属組成;酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム等の酸化アルカリ土類金属組成;酸化ホウ素組成;酸化アルミニウム組成;等を挙げることができる。この他、カルコゲナイドガラス組成、フッ化ガラス組成等の公知の無機ガラス組成、金、銀、銅などの金属ナノ粒子も挙げることができる。これらは1種単独で、または2種以上を任意の比率及び組み合わせで用いてもよい。
Examples of the inorganic material used for forming the laminated film include metal oxides such as silicon oxide and aluminum oxide, and silicon nitride. These may be used alone or in combination of two or more in any ratio and combination. Among these, it is more preferable to use silicon oxide from the viewpoint of film stability.
Furthermore, a material having an arbitrary chemical composition containing a positive element may be contained. For example, yttrium oxide, lanthanum oxide, cerium oxide, praseodymium oxide, samarium oxide, europium oxide, gadolinium oxide, terbium oxide, dysprosium oxide, holmium oxide, erbium oxide, thulium oxide, titanium oxide, zirconium oxide, chromium oxide, manganese oxide, Transition metal oxide compositions such as iron oxide, cobalt oxide, nickel oxide, copper oxide, zinc oxide, cadmium oxide, gallium oxide, indium oxide, germanium oxide, tin oxide, lead oxide; lithium oxide, sodium oxide, potassium oxide, oxide Alkali metal oxide compositions such as rubidium and cesium oxide; alkaline earth metal compositions such as magnesium oxide, calcium oxide, strontium oxide and barium oxide; boron oxide composition; aluminum oxide composition; It can be. In addition, known inorganic glass compositions such as a chalcogenide glass composition and a fluoride glass composition, and metal nanoparticles such as gold, silver, and copper can also be exemplified. You may use these individually by 1 type or 2 or more types by arbitrary ratios and combinations.

また積層膜の形成に用いられる有機材料としては、耐光性、耐久性に優れているものであれば、特に制限はないが、具体的にはポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を混合又は積層して用いてもよい。   The organic material used for forming the laminated film is not particularly limited as long as it has excellent light resistance and durability, but specifically, polyimide resin, polymethyl methacrylate resin, polycarbonate resin, silicone resin. , Polyurethane resin, epoxy resin, polyethersulfone resin and the like. One of these may be used alone, or two or more of these may be mixed or laminated.

3−2.屈折率
反射防止の観点から、積層膜の屈折率は通常1.05以上であるが、積層膜の機械強度、防汚性(汚れによる反射防止性能の信頼性)の観点から、1.08以上であることが好ましく、より好ましくは1.1以上、特に好ましくは1.13以上である。また通常1.3以下であり、好ましくは1.28以下、より好ましくは1.26以下である。
3-2. Refractive index From the viewpoint of antireflection, the refractive index of the laminated film is usually 1.05 or more, but from the viewpoint of mechanical strength and antifouling property (reliability of antireflection performance due to dirt) of the laminated film, 1.08 or more. Preferably, it is 1.1 or more, particularly preferably 1.13 or more. Moreover, it is 1.3 or less normally, Preferably it is 1.28 or less, More preferably, it is 1.26 or less.

一般的に、積層膜の屈折率が小さい場合、積層膜中に屈折率の低い「空気」や「フッ素」を含む。例えば、空気の屈折率(1.0)に近づける場合、積層膜内に空孔を有するもとすることが多く、上記下限より小さいと防汚性が著しく低下したり、機械強度が低下する可能性がある。一方、上記上限を越えると、汚れによる反射防止効果の低下が著しく、太陽電池の効率を上げることができない可能性がある。上記屈折率の測定方法としては分光エリプソメトリー、プリズムカプラー、反射分光膜厚計などが挙げられる。   Generally, when the refractive index of the laminated film is small, the laminated film contains “air” or “fluorine” having a low refractive index. For example, when approaching the refractive index of air (1.0), the laminated film often has pores, and if it is smaller than the above lower limit, the antifouling property may be remarkably lowered or the mechanical strength may be lowered. There is sex. On the other hand, when the above upper limit is exceeded, there is a possibility that the antireflection effect due to dirt is remarkably lowered and the efficiency of the solar cell cannot be increased. Examples of the refractive index measurement method include spectroscopic ellipsometry, prism coupler, and reflective spectral film thickness meter.

ここで、積層膜の屈折率を上述した範囲とするためには、積層膜を多孔質構造とすることが有効であり、その空孔の構造には特に制限はないが、通常、空孔の構造として、トンネル状や独立空孔、またはそれらがつながった連結孔が挙げられる。ただし、上記空孔の構造としては連続的な空孔が好ましく、こうした連続的な空孔は電子顕微鏡により確認することができる。例えば、多孔質構造の積層膜を形成する方法としては、以下の方法が挙げられる。
(1)微粒子からなる積層体とすることで、粒子間に空隙を形成し、多孔質構造な積層体とする方法。
(2)積層体にエッチング処理を施すことで、多孔質構造な積層体とする方法。
(3)ポロゲン(空孔の元となるもの)を含む積層体を形成し、ポロゲンを空孔にする処理を加えることで、多孔質構造な積層体とする方法。なお、ポロゲンを空孔にする処理としては、超臨界二酸化炭素処理、溶剤処理、加熱処理、冷凍乾燥処理などが挙げられる。(4)上記の方法を組み合わせて、多孔質構造な積層体とする方法。
Here, in order to make the refractive index of the laminated film in the above-described range, it is effective to make the laminated film have a porous structure, and the structure of the pores is not particularly limited. Examples of the structure include a tunnel shape, independent holes, or a connecting hole connecting them. However, continuous pores are preferred as the structure of the pores, and such continuous pores can be confirmed by an electron microscope. For example, as a method for forming a laminated film having a porous structure, the following methods may be mentioned.
(1) A method of forming a laminate having a porous structure by forming voids between particles by forming a laminate comprising fine particles.
(2) A method of forming a laminate having a porous structure by performing an etching process on the laminate.
(3) A method of forming a laminate having a porous structure by forming a laminate containing a porogen (a source of pores) and adding a treatment to make the porogen pores. In addition, as a process which makes a porogen a void | hole, a supercritical carbon dioxide process, a solvent process, heat processing, a freeze-dry process, etc. are mentioned. (4) A method of combining the above methods into a porous structure.

例えば後述する「B.太陽電池用積層カバー基板の製造方法」では、ポロゲンとして鋳型剤を含む所定のシリカ系前駆体を用いて積層膜を形成する方法を説明する。   For example, in “B. Manufacturing method of laminated cover substrate for solar cell” described later, a method of forming a laminated film using a predetermined silica-based precursor containing a templating agent as a porogen will be described.

3−3.中心線平均表面粗さ、表面粗さの最大高さ、及び凹凸の平均間隔
上述したように、本発明の太陽電池用積層カバー基板においては、受光面側の表面が所定の範囲内の中心線平均表面粗さを有するものである。積層膜が太陽電池用積層カバー基板の受光面側の最表層に位置する場合、積層膜表面が上記中心線平均表面粗さや最大高さを有するものとされる。この際、積層膜自体が凹凸を有し、上記中心線平均表面粗さや表面粗さの最大高さを実現するものであってもよく、また上記透光基材表面に形成された凹凸に沿って積層膜が形成され、上記中心線平均表面粗さや表面粗さの最大高さを実現するものであってもよい。
3-3. Centerline average surface roughness, maximum height of surface roughness, and average interval between irregularities As described above, in the laminated cover substrate for a solar cell of the present invention, the surface on the light receiving surface side is a centerline within a predetermined range. It has an average surface roughness. When the laminated film is located on the outermost layer on the light-receiving surface side of the laminated cover substrate for solar cells, the laminated film surface has the centerline average surface roughness and the maximum height. At this time, the laminated film itself may have unevenness, and the centerline average surface roughness or the maximum height of the surface roughness may be realized, and along the unevenness formed on the surface of the translucent substrate. A laminated film may be formed to realize the centerline average surface roughness and the maximum height of the surface roughness.

積層膜が、太陽電池用積層カバー基板の受光面側の最表層に形成される場合の積層膜の中心線平均表面粗さRaや、表面粗さの最大高さRmax、及び凹凸の平均間隔Smについては、上述した太陽電池用積層カバー基板の受光面側の上記各値と同一とする。
なお、受光面側と反対側の面に形成される積層膜の表面粗さについては特に制限はない。
The center line average surface roughness Ra of the laminated film, the maximum height Rmax of the surface roughness, and the average interval Sm of the irregularities when the laminated film is formed on the outermost layer on the light receiving surface side of the laminated cover substrate for solar cells. Is the same as the above values on the light receiving surface side of the above-described laminated cover substrate for solar cells.
In addition, there is no restriction | limiting in particular about the surface roughness of the laminated film formed in the surface on the opposite side to the light-receiving surface side.

3−4.最大膜厚
上記積層膜の最大膜厚は、反射防止性能及び防眩性の観点から、通常50nm以上、好ましくは60nm以上、より好ましくは70nm以上、特に好ましくは80nm以上である。また通常10μm以下であり、好ましくは5μm以下、より好ましくは1μm以下、特に好ましくは500nm以下である。なお、50nmを下回ると膜厚の均一な膜を形成することが困難となる場合があり、10μmを越えると凸凹表面に積層した際に均質な膜を得ることが困難となる場合がある。積層膜が複数層からなる場合には、各層の膜厚の総和が上記範囲内とされる。
3-4. Maximum film thickness The maximum film thickness of the laminated film is usually 50 nm or more, preferably 60 nm or more, more preferably 70 nm or more, and particularly preferably 80 nm or more, from the viewpoints of antireflection performance and antiglare properties. Further, it is usually 10 μm or less, preferably 5 μm or less, more preferably 1 μm or less, and particularly preferably 500 nm or less. If the thickness is less than 50 nm, it may be difficult to form a film having a uniform thickness. If the thickness exceeds 10 μm, it may be difficult to obtain a uniform film when laminated on the uneven surface. When the laminated film is composed of a plurality of layers, the total thickness of each layer is within the above range.

また、例えば図2に示すような凹凸表面を有する積層膜である場合における上記積層膜の最大膜厚とは、積層膜の透光基材とは反対側の表面と透光基材との距離が最も大きい値をいうこととする。また最大膜厚の測定方法としては、分光エリプソメトリー、干渉膜厚計、反射分光膜厚計、接触式段差計、プリズムカプラー、太陽電池用積層カバー基板断面の電子顕微鏡観察が挙げられる。   Further, for example, in the case of a laminated film having an uneven surface as shown in FIG. 2, the maximum film thickness of the laminated film is the distance between the surface of the laminated film opposite to the light transmissive substrate and the light transmissive substrate. Is the largest value. Examples of the method for measuring the maximum film thickness include spectroscopic ellipsometry, interference film thickness meter, reflection spectral film thickness meter, contact step meter, prism coupler, and electron microscope observation of the cross section of the laminated cover substrate for solar cells.

[4.熱線遮断層]
熱線遮断層を形成する材料としては、透明誘電体の多層体、赤外線領域に吸収を有する材料、金属などが挙げられ、これらを1種単独で、または2種以上を任意の比率及び組み合わせで用いることができる。上記の中でも特に透明誘電体の多層体や赤外線領域に吸収を有する材料が好ましい。
[4. Heat ray blocking layer]
Examples of the material for forming the heat ray blocking layer include transparent dielectric multilayers, materials having absorption in the infrared region, metals, and the like. These are used alone or in combination of two or more in any ratio and combination. be able to. Of these, a multilayer body of transparent dielectric and a material having absorption in the infrared region are particularly preferable.

また、上記熱線遮断層の膜厚としては、通常5nm以上、好ましくは15nm以上、より好ましくは100nm以上である。また、通常100μm以下、好ましくは50μm以下、より好ましくは5μm以下である。
また、波長1300nm〜2500nmまでの赤外線透過率は通常5%以上、好ましくは10%以上、さらに好ましくは15%以上であり、通常95%以下、好ましくは85%以下、より好ましくは70%以下である。下限値を下回ると、全光線透過率を低下させる場合があり、上限値を上回った場合、太陽電池における発電効率が低下する場合がある。なお、赤外線透過率は、分光光度計で測定した波長1300nm〜2500nmでの50nmおきの透過率の平均値と定義する。
The film thickness of the heat ray blocking layer is usually 5 nm or more, preferably 15 nm or more, more preferably 100 nm or more. Moreover, it is 100 micrometers or less normally, Preferably it is 50 micrometers or less, More preferably, it is 5 micrometers or less.
Further, the infrared transmittance at a wavelength of 1300 nm to 2500 nm is usually 5% or more, preferably 10% or more, more preferably 15% or more, and usually 95% or less, preferably 85% or less, more preferably 70% or less. is there. If the lower limit is not reached, the total light transmittance may be reduced, and if the upper limit is exceeded, the power generation efficiency in the solar cell may be reduced. The infrared transmittance is defined as an average value of transmittances every 50 nm at wavelengths of 1300 nm to 2500 nm measured with a spectrophotometer.

上記透明誘電体の多層体としては、例えば、高屈折率層と低屈折率層を交互に積層したものとすることができる。また高屈折率層と低屈折率層の界面は完全に分かれていても、あるいは界面で高屈折率層と低屈折率層が混合した状態になっていてもよい。高屈折率層と低屈折率層の積層数は通常1層以上であればよく、通常5層以下、好ましくは3層以下である。高屈折率層1層でもよい。積層数が多くなると製造が困難となる場合があり、また太陽電池とした際、発電コストが増大する場合がある。   As the multilayer body of the transparent dielectric, for example, a high refractive index layer and a low refractive index layer can be alternately laminated. The interface between the high refractive index layer and the low refractive index layer may be completely separated, or the high refractive index layer and the low refractive index layer may be mixed at the interface. The number of layers of the high refractive index layer and the low refractive index layer may be usually 1 or more, usually 5 or less, preferably 3 or less. One high refractive index layer may be used. When the number of stacked layers is increased, production may be difficult, and when a solar cell is used, the power generation cost may increase.

透明誘電体としては熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、無機酸化物、これらの複合物などが挙げられる。また、金属としては、アルミニウム、金、銀、銅等が挙げられる。またさらに、赤外線領域に吸収を有する材料としては、In、等の金属化合物、色素などが挙げられる。これらは1種単独で、または2種以上を任意の比率及び組み合わせで用いることができる。金属や無機酸化物を用いた熱線遮断層の形成方法としては、真空蒸着法、スパッタ法、気相成長法、プラズマCVD法、塗布法等、いずれの方法であってもよい。 Examples of the transparent dielectric material include thermoplastic resins, thermosetting resins, photocurable resins, inorganic oxides, and composites thereof. Examples of the metal include aluminum, gold, silver, and copper. Furthermore, examples of the material having absorption in the infrared region include metal compounds such as In 2 O 3 , dyes, and the like. These may be used alone or in combination of two or more in any ratio and combination. As a method for forming a heat ray blocking layer using a metal or an inorganic oxide, any method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, a vapor phase growth method, a plasma CVD method, a coating method, or the like may be used.

B.太陽電池用積層カバー基板の製造方法
次に、本発明における太陽電池用積層カバー基板の製造方法について説明する。本発明の太陽電池用積層カバー基板の製造方法は、上述した「A.太陽電池用積層カバー基板」の製造方法に関するものであり、所定の粘度を有するシリカ系前駆体から積層膜を形成する形成過程を有することを特徴とする。
B. Next, the manufacturing method of the laminated cover board | substrate for solar cells in this invention is demonstrated. The manufacturing method of the laminated cover substrate for solar cells of this invention is related with the manufacturing method of "A. laminated cover substrate for solar cells" mentioned above, and forms formation of a laminated film from the silica type precursor which has a predetermined | prescribed viscosity. It has a process.

本発明によれば、上記シリカ系前駆体を用いて積層膜を形成することから、湿式コーティング法を用いて太陽電池用積層カバー基板を形成することができ、従来一般的であった乾式コーティング法と比較して、コストや生産性、設備等の面で有利なものとすることが可能である。また、シリカ系前駆体を用いて積層膜を形成することから、屈折率が低い積層膜を形成することが可能となる。したがって、本発明により製造された太陽電池用積層カバー基板を用いることにより、太陽電池セル側に太陽光エネルギーをより多く取り込むことが可能となり、効率のよい太陽電池モジュールを実現することができる。
以下、本発明に用いられるシリカ系前駆体について説明し、その後、積層膜を形成する形成過程、及びその他の工程について説明する。
According to the present invention, since the laminated film is formed using the silica-based precursor, a laminated cover substrate for a solar cell can be formed by using a wet coating method, and a conventionally known dry coating method. Compared to the above, it can be advantageous in terms of cost, productivity, equipment, and the like. Further, since the laminated film is formed using the silica-based precursor, it is possible to form a laminated film having a low refractive index. Therefore, by using the laminated cover substrate for a solar cell manufactured according to the present invention, it becomes possible to take in more solar energy to the solar cell side, and an efficient solar cell module can be realized.
Hereinafter, the silica-based precursor used in the present invention will be described, and then the formation process for forming the laminated film and other processes will be described.

[1.シリカ系前駆体]
本発明でいうシリカ系前駆体とは、シリカを少なくとも含む積層膜を形成するために用いられる組成物をいうこととし、その種類は特に限定されないが、例えばテトラアルコキシシラン類、その加水分解物、及び部分縮合物からなる群(以下適宜、「テトラアルコキシシラン類群」という)より選ばれる少なくとも一種と、前記テトラアルコキシシラン類以外のアルコキシシラン類(以下適宜、「他のアルコキシシラン類」という)、その加水分解物、及び部分縮合物からなる群(以下適宜、「他のアルコキシシラン類群」という)より選ばれる少なくとも一種と、並びに/又は、前記テトラアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも一種及び前記他のアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも一種の部分縮合物(以下適宜、「特定部分縮合物」という)と、水と、有機溶媒と、触媒と、空孔を形成するための鋳型剤とを含むことが好ましい。
[1. Silica-based precursor]
The silica-based precursor referred to in the present invention refers to a composition used for forming a laminated film containing at least silica, and the type thereof is not particularly limited. For example, tetraalkoxysilanes, hydrolysates thereof, And at least one selected from the group consisting of partial condensates (hereinafter referred to as “tetraalkoxysilane group” as appropriate), and alkoxysilanes other than the tetraalkoxysilane (hereinafter referred to as “other alkoxysilanes” as appropriate), At least one selected from the group consisting of the hydrolyzate and partial condensate (hereinafter referred to as “other alkoxysilane group” as appropriate) and / or at least one selected from the tetraalkoxysilane group and the other At least one partial condensate selected from the alkoxysilane group (hereinafter referred to as “specific” And that Bunchijimigobutsu "), and water, and an organic solvent, and the catalyst preferably contains a templating agent to form the pores.

1−1.テトラアルコキシシラン類群
上記テトラアルコキシシラン類の種類に制限は無く、例えばテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ(n−プロポキシ)シラン、テトライソプロポキシシラン、テトラ(n−ブトキシ)シラン等が好ましいものとして挙げられる。また、テトラアルコキシシラン類群の例としては、前記のテトラアルコキシシラン類の加水分解物及び部分縮合物(オリゴマー等)なども挙げられる。
1-1. Tetraalkoxysilane Group There is no limitation on the type of the tetraalkoxysilane, and for example, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetra (n-propoxy) silane, tetraisopropoxysilane, tetra (n-butoxy) silane and the like are preferable. Can be mentioned. Examples of the tetraalkoxysilane group include hydrolysates and partial condensates (such as oligomers) of the above tetraalkoxysilanes.

ただし、テトラアルコキシシラン類は経時的に加水分解及び部分縮合を生じやすいため、テトラアルコキシシラン類のみを用意した場合でも、通常はそのテトラアルコキシシラン類の加水分解物及び部分縮合物がテトラアルコキシシラン類と共存することが多い。なお、テトラアルコキシシラン類群に属する化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。   However, since tetraalkoxysilanes tend to undergo hydrolysis and partial condensation over time, even when only tetraalkoxysilanes are prepared, the hydrolysates and partial condensates of tetraalkoxysilanes are usually tetraalkoxysilanes. Often co-exists with other species. In addition, the compound which belongs to the tetraalkoxysilane group may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio.

1−2.他のアルコキシシラン類群
他のアルコキシシラン類は、上述したテトラアルコキシシラン類に属さないアルコキシシランであれば、任意のものを使用できる。好適なものとして、例えばトリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のトリアルコキシシラン類;ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン等のジアルコキシシラン類;ビス(トリメトキシシリル)メタン、ビス(トリエトキシシリル)メタン、1,2−ビス(トリメトキシシリル)エタン、1,2−ビス(トリエトキシシリル)エタン、1,4−ビス(トリメトキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(トリエトキシシリル)ベンゼン、1,3,5−トリス(トリメトキシシリル)ベンゼン等の有機残基が2つ以上のトリアルコキシシリル基を結合したもの;3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−カルボキシプロピルトリメトキシシラン等のケイ素原子に置換するアルキル基が反応性官能基を有するもの;等が挙げられる。また、他のアルコキシシラン類群の例としては、前記の他のアルコキシシラン類の加水分解物及び部分縮合物(オリゴマー等)なども挙げられる。
1-2. Other Alkoxysilane Groups As the other alkoxysilanes, any alkoxysilanes that do not belong to the tetraalkoxysilanes described above can be used. Suitable examples include trialkoxysilanes such as trimethoxysilane, triethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane; dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diphenyl Dialkoxysilanes such as dimethoxysilane and diphenyldiethoxysilane; bis (trimethoxysilyl) methane, bis (triethoxysilyl) methane, 1,2-bis (trimethoxysilyl) ethane, 1,2-bis (triethoxy 2 or more organic residues such as silyl) ethane, 1,4-bis (trimethoxysilyl) benzene, 1,4-bis (triethoxysilyl) benzene, 1,3,5-tris (trimethoxysilyl) benzene The trialkoxysilyl group of 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidyloxypropyltriethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-acryloyl Examples include alkyl groups substituted with silicon atoms such as loxypropyltrimethoxysilane and 3-carboxypropyltrimethoxysilane having a reactive functional group. Examples of other alkoxysilane groups include hydrolysates and partial condensates (such as oligomers) of the other alkoxysilanes.

上記の中でも、芳香族炭化水素基又は脂肪族炭化水素基を有するモノアルキルアルコキシシラン及びジアルキルアルコキシシランが好ましい。具体的には、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエチルシランなどが挙げられる。
ただし、他のアルコキシシラン類は経時的に加水分解及び部分縮合を生じやすいため、他のアルコキシシラン類のみを用意した場合でも、通常はその他のアルコキシシラン類の加水分解物及び部分縮合物が他のアルコキシシラン類と共存することが多い。
なお、他のアルコキシシラン類に属する化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
Among these, monoalkylalkoxysilanes and dialkylalkoxysilanes having an aromatic hydrocarbon group or an aliphatic hydrocarbon group are preferable. Specific examples include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, and dimethyldiethylsilane.
However, since other alkoxysilanes tend to undergo hydrolysis and partial condensation over time, even when only other alkoxysilanes are prepared, other alkoxysilane hydrolysates and partial condensates are usually other. Often coexists with other alkoxysilanes.
In addition, the compound which belongs to other alkoxysilanes may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together by arbitrary combinations and ratios.

1−3.特定部分縮合物
特定部分縮合物としては、上述したテトラアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも一種と他のアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも一種とが部分縮合した部分縮合物であれば、任意のものを用いることができる。好適な例として、テトラアルコキシシラン類の好適な例として例示したものと、他のアルコキシシラン類の好適な例として例示したものとが部分縮合した部分縮合物が挙げられる。
1-3. Specific partial condensate Any specific condensate may be used as long as it is a partial condensate obtained by partial condensation of at least one selected from the above-described tetraalkoxysilane group and at least one selected from another alkoxysilane group. be able to. Preferable examples include partial condensates obtained by partial condensation of those exemplified as preferred examples of tetraalkoxysilanes and those exemplified as preferred examples of other alkoxysilanes.

なお、特定部分縮合物は、1種のみを用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。さらに、特定部分縮合物は、特定部分縮合物のみで用いてもよいが、上述したテトラアルコキシシラン類及び他のアルコキシシラン類の一方又は両方と併用してもよい。   In addition, the specific partial condensate may use only 1 type and may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio. Furthermore, although the specific partial condensate may be used only as the specific partial condensate, it may be used in combination with one or both of the tetraalkoxysilanes and other alkoxysilanes described above.

1−4.好ましい組み合わせ
上述したテトラアルコキシシラン類及び他のテトラアルコキシシラン類の組み合わせの中でも、特に好ましい組み合わせとしては、テトラアルコキシシラン類としてのテトラエトキシシランと、他のアルコキシシラン類としての芳香族炭化水素基又は脂肪族炭化水素基を有するモノアルキルアルコキシシラン又はジアルキルアルコキシシランとの組み合わせが挙げられる。この組み合わせによれば、均質且つ耐久性を有する積層膜が得られる。
1-4. Preferred combinations Among the combinations of tetraalkoxysilanes and other tetraalkoxysilanes described above, particularly preferred combinations include tetraethoxysilane as a tetraalkoxysilane and an aromatic hydrocarbon group as another alkoxysilane. The combination with the monoalkyl alkoxysilane or dialkyl alkoxysilane which has an aliphatic hydrocarbon group is mentioned. According to this combination, a laminated film having homogeneity and durability can be obtained.

1−5.アルコキシシラン類の含有比率
シリカ系前駆体中における上述したアルコキシシラン類の含有比率は、以下の条件(1)を満たすものとする。すなわち、全アルコキシシラン類由来のケイ素原子に対するテトラアルコキシシラン類由来のケイ素原子の割合が、通常0.3(mol/mol)以上、好ましくは0.35(mol/mol)以上、より好ましくは0.4(mol/mol)以上であり、また、通常0.7(mol/mol)以下、好ましくは0.65(mol/mol)以下、より好ましくは0.6(mol/mol)以下である(条件(1))。前記の割合が小さすぎる場合、得られる積層膜の疎水性は高くなるが、−O−Si−O−の結合が少なくなることで、積層膜の機械的強度が弱く、同様に耐水性も低下する可能性がある。一方、前記の割合が大きすぎる場合、積層膜中の残存シラノール基が多くなり、やはり耐水性が低下する可能性がある。
1-5. Content ratio of alkoxysilanes The content ratio of the alkoxysilanes described above in the silica-based precursor satisfies the following condition (1). That is, the ratio of silicon atoms derived from tetraalkoxysilanes to silicon atoms derived from all alkoxysilanes is usually 0.3 (mol / mol) or more, preferably 0.35 (mol / mol) or more, more preferably 0. .4 (mol / mol) or more, and usually 0.7 (mol / mol) or less, preferably 0.65 (mol / mol) or less, more preferably 0.6 (mol / mol) or less. (Condition (1)). When the ratio is too small, the hydrophobicity of the obtained laminated film becomes high, but the bond strength of -O-Si-O- is reduced, so that the mechanical strength of the laminated film is weak and the water resistance is similarly reduced. there's a possibility that. On the other hand, when the ratio is too large, the residual silanol groups in the laminated film increase, and the water resistance may also decrease.

ここで、全アルコキシシラン類由来のケイ素原子とは、シリカ系前駆体に含有されるテトラアルコキシシラン類群、他のアルコキシシラン類群、及び特定部分縮合物が有するケイ素原子の数の合計をいう。また、テトラアルコキシシラン類由来のケイ素原子とは、シリカ系前駆体に含有されるテトラアルコキシシラン類群が有するケイ素原子の数と、特定部分縮合物が有するケイ素原子のうちテトラアルコキシシラン類群に対応する部分構造に属するケイ素原子の数との合計をいう。したがって、シリカ系前駆体がアルコキシシラン類以外にケイ素原子を有する化合物を含有していたとしても、当該化合物が有するケイ素原子は前記の割合の算出には関与しない。
なお、前記の全アルコキシシラン類由来のケイ素原子に対するテトラアルコキシシラン類由来のケイ素原子の割合は、Si−NMRにより測定することができる。
Here, the silicon atoms derived from all alkoxysilanes refer to the total number of silicon atoms contained in the tetraalkoxysilane group, other alkoxysilane groups, and the specific partial condensate contained in the silica-based precursor. The silicon atom derived from tetraalkoxysilane corresponds to the number of silicon atoms contained in the tetraalkoxysilane group contained in the silica-based precursor and the tetraalkoxysilane group among silicon atoms contained in the specific partial condensate. Total with the number of silicon atoms belonging to the partial structure. Therefore, even if the silica-based precursor contains a compound having a silicon atom in addition to the alkoxysilanes, the silicon atom that the compound has does not participate in the calculation of the ratio.
In addition, the ratio of the silicon atom derived from tetraalkoxysilane to the silicon atom derived from all the alkoxysilanes can be measured by Si-NMR.

1−6.水
本発明に用いるシリカ系前駆体は、水を含有することが好ましく、水の純度は高いことが好ましい。通常は、イオン交換及び蒸留のうち、いずれか一方または両方の処理を施した水を用いる。ただし、より純度の高い積層膜を形成する場合には、蒸留水を用いることが好ましく、さらに蒸留後、イオン交換した超純水を用いることが好ましい。詳しくは、例えば0.01μm〜0.5μmの孔径を有するフィルターを通した水を用いればよい。
1-6. Water The silica-based precursor used in the present invention preferably contains water, and the purity of water is preferably high. Usually, water subjected to either or both of ion exchange and distillation is used. However, when forming a laminated film with higher purity, it is preferable to use distilled water, and it is preferable to use ultrapure water ion-exchanged after distillation. Specifically, for example, water that has passed through a filter having a pore size of 0.01 μm to 0.5 μm may be used.

上記シリカ系前駆体における水の使用量は、以下の条件(2)を満たすようにする。すなわち、全アルコキシシラン類由来のケイ素原子に対する水の割合を、通常10(mol/mol)以上、好ましくは11(mol/mol)以上、より好ましくは12(mol/mol)以上とする(条件(2))。全アルコキシシラン類由来のケイ素原子に対する水の割合が前記の範囲よりも小さいと、ゾル−ゲル反応のコントロールが難しく、ポットライフも短く、極めて疎水的な表面を有する積層膜が得られる可能性がある。このため、積層膜の耐水性が低くなり、また、表面が荒れる可能性がある。
なお、水の量は、カールフィッシャー法(電量滴定法)により算出できる。
The amount of water used in the silica-based precursor is set to satisfy the following condition (2). That is, the ratio of water to silicon atoms derived from all alkoxysilanes is usually 10 (mol / mol) or more, preferably 11 (mol / mol) or more, more preferably 12 (mol / mol) or more (conditions ( 2)). If the ratio of water to silicon atoms derived from all alkoxysilanes is smaller than the above range, it is difficult to control the sol-gel reaction, the pot life is short, and there is a possibility that a laminated film having an extremely hydrophobic surface can be obtained. is there. For this reason, the water resistance of the laminated film is lowered, and the surface may be roughened.
The amount of water can be calculated by the Karl Fischer method (coulometric titration method).

1−7.溶媒
シリカ系前駆体は、有機溶媒を含有することが好ましく、この有機溶媒の種類に制限は無い。中でも、有機溶媒としては、上述したアルコキシシラン類及び水を混和させる能力を有するものを1種以上用いることが好ましい。好適な有機溶媒の例を挙げると、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、t−ブタノール、1−ペンタノール等の炭素数1〜4の一価アルコール、炭素数1〜4の二価アルコール、グリセリン、ペンタエリスリトール等の多価アルコールなどのアルコール類;ジエチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、2−エトキシエタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等の、前記アルコール類のエーテルまたはエステル化物;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類;ホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N−エチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチルアセトアミド、N−エチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、N−ホルミルモルホリン、N−アセチルモルホリン、N−ホルミルピペリジン、N−アセチルピペリジン、N−ホルミルピロリジン、N−アセチルピロリジン、N,N’−ジホルミルピペラジン、N,N’−ジホルミルピペラジン、N,N’−ジアセチルピペラジン等のアミド類;γ−ブチロラクトン等のラクトン類;テトラメチルウレア、N,N’−ジメチルイミダゾリジン等のウレア類;ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。これらの中でも、含有するアルコキシシラン類がより安定な条件下で加水分解を行なうためには、アルコール類が好ましく、1価アルコールがより好ましい。
1-7. Solvent The silica-based precursor preferably contains an organic solvent, and the type of the organic solvent is not limited. Among these, as the organic solvent, it is preferable to use one or more organic silanes having the ability to mix the alkoxysilanes and water described above. Examples of suitable organic solvents include C1-C4 monohydric alcohols such as methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1-butanol, 2-butanol, t-butanol, 1-pentanol, Alcohols such as polyhydric alcohols such as dihydric alcohols having 1 to 4 carbon atoms, glycerin and pentaerythritol; diethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, 2-ethoxyethanol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol methyl ether acetate Ethers or esterified products of the above alcohols; ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; formamide, N-methylformamide, N-ethylformamide, N, N-dimethylphenol Muamide, N, N-diethylformamide, N-methylacetamide, N-ethylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N-methylpyrrolidone, N-formylmorpholine, N-acetylmorpholine, N- Amides such as formylpiperidine, N-acetylpiperidine, N-formylpyrrolidine, N-acetylpyrrolidine, N, N′-diformylpiperazine, N, N′-diformylpiperazine, N, N′-diacetylpiperazine; Examples include lactones such as butyrolactone; ureas such as tetramethylurea and N, N′-dimethylimidazolidine; dimethyl sulfoxide and the like. Among these, alcohols are preferable and monohydric alcohols are more preferable for the contained alkoxysilanes to perform hydrolysis under more stable conditions.

なお、有機溶媒は、1種のみを用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。中でも、積層膜とした際に、屈折率が低く、かつ透光基材との密着性を良好なものとすることが可能であるという観点から、2種類以上の有機溶媒を併用し、その混合物を有機溶媒として使用することが好ましい。
ただし、シリカ系前駆体を塗布後、加熱処理して均質な積層膜を形成するには、加熱処理の際に、ある程度の硬化(アルコキシシラン類の縮合反応)と水の除去とが同時に行なわれることが好ましい。したがって、表面近傍又は内部に存在する水分をある程度除去できる温度領域で、シリカ系前駆体内の有機溶媒が揮発するような有機溶媒を用いることが好ましい。
In addition, only 1 type may be used for an organic solvent and it may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio. In particular, when a laminated film is used, two or more kinds of organic solvents are used in combination from the viewpoint that the refractive index is low and the adhesiveness with the light-transmitting substrate can be improved. Is preferably used as the organic solvent.
However, in order to form a uniform laminated film by heat treatment after applying the silica-based precursor, a certain degree of curing (condensation reaction of alkoxysilanes) and removal of water are simultaneously performed during the heat treatment. It is preferable. Therefore, it is preferable to use an organic solvent in which the organic solvent in the silica-based precursor is volatilized in a temperature range in which moisture existing near or inside the surface can be removed to some extent.

したがって、シリカ系前駆体には、有機溶媒として所定範囲の沸点を有する有機溶媒を所定の高い割合で含有させるようにすることが好ましい。具体的には、以下の条件(3)を満たすようにすることが好ましい。すなわち、沸点が通常55℃以上、好ましくは60℃以上、より好ましくは65℃以上、また、通常140℃以下、好ましくは135℃以下、より好ましくは130℃以下の有機溶媒(以下適宜、「所定沸点溶媒」という)を少なくとも1種用いるとともに、全有機溶媒中に占める当該所定沸点溶媒の割合を、通常80重量%以上、好ましくは83重量%以上、より好ましくは85重量%以上とする(条件(3))。なお、当該割合の上限は通常100重量%である。前記の沸点が低すぎるとゾル−ゲル反応が不十分な状態でシリカ系前駆体が硬化し、本発明の積層膜が極めて耐水性に劣ることになる可能性がある。一方、前記の沸点が高すぎると、局所的にゾル−ゲル反応が進むことで、本発明の積層膜が不均質となり、表面性の低下や耐水性の低下につながる可能性がある。さらに、前記の所定沸点溶媒の割合が低い場合には、上記の利点が得られない可能性がある。このような観点から前記の所定沸点溶媒の例を挙げると、エタノール、1−プロパノール、t−ブタノール、2−プロパノール、1−ブタノール、1−ペンタノール、エチルアセテートなどが挙げられる。したがって、上記の有機溶媒としては、これらの中から選ばれる少なくとも一種を用いることが好ましい。   Therefore, it is preferable that the silica-based precursor contains an organic solvent having a boiling point in a predetermined range as an organic solvent at a predetermined high ratio. Specifically, it is preferable to satisfy the following condition (3). That is, an organic solvent having a boiling point of usually 55 ° C. or higher, preferably 60 ° C. or higher, more preferably 65 ° C. or higher, and usually 140 ° C. or lower, preferably 135 ° C. or lower, more preferably 130 ° C. or lower. (Referred to as “boiling point solvent”), and the ratio of the predetermined boiling point solvent in the total organic solvent is usually 80% by weight or more, preferably 83% by weight or more, more preferably 85% by weight or more (conditions) (3)). In addition, the upper limit of the said ratio is 100 weight% normally. If the boiling point is too low, the silica-based precursor is cured with insufficient sol-gel reaction, and the laminated film of the present invention may be extremely inferior in water resistance. On the other hand, if the boiling point is too high, the sol-gel reaction proceeds locally, so that the laminated film of the present invention becomes heterogeneous, which may lead to a decrease in surface properties and a decrease in water resistance. Furthermore, when the ratio of the predetermined boiling point solvent is low, the above advantages may not be obtained. From this point of view, examples of the predetermined boiling point solvent include ethanol, 1-propanol, t-butanol, 2-propanol, 1-butanol, 1-pentanol, and ethyl acetate. Therefore, it is preferable to use at least one selected from these as the organic solvent.

また、有機溶媒全体の使用量は、本発明の効果を著しく損なわない限り任意である。ただし、全アルコキシシラン類由来のケイ素原子に対して、通常0.01mol/mol以上、中でも0.1mol/mol以上、特には1mol/mol以上が好ましく、また、通常100mol/mol以下、中でも70mol/mol以下、特には20mol/mol以下が好ましい。有機溶媒の使用量が少なすぎると積層膜の表面性が低下する可能性があり、多すぎると積層膜を基板上に膜として形成した場合に膜質が基板の表面エネルギーに影響されやすくなる可能性がある。   Moreover, the usage-amount of the whole organic solvent is arbitrary unless the effect of this invention is impaired remarkably. However, with respect to the silicon atoms derived from all alkoxysilanes, usually 0.01 mol / mol or more, particularly 0.1 mol / mol or more, particularly 1 mol / mol or more is preferable, and usually 100 mol / mol or less, particularly 70 mol / mol. It is preferably not more than mol, particularly not more than 20 mol / mol. If the amount of the organic solvent used is too small, the surface properties of the laminated film may be degraded. If it is too large, the film quality may be affected by the surface energy of the substrate when the laminated film is formed on the substrate. There is.

1−8.触媒
シリカ系前駆体は、触媒を含有することが好ましい。触媒は、上述したアルコキシシラン類の加水分解および脱水縮合反応を促進させる物質を任意に用いることができる。
その例を挙げると、塩酸、硝酸、硫酸、ギ酸、酢酸、シュウ酸、マレイン酸などの酸類;アンモニア、ブチルアミン、ジブチルアミン、トリエチルアミン等のアミン類;ピリジンなどの塩基類;アルミニウムのアセチルアセトン錯体などのルイス酸類;などが挙げられる。
1-8. Catalyst The silica-based precursor preferably contains a catalyst. As the catalyst, a substance that promotes the hydrolysis and dehydration condensation reaction of the above-mentioned alkoxysilanes can be arbitrarily used.
Examples include acids such as hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, formic acid, acetic acid, oxalic acid and maleic acid; amines such as ammonia, butylamine, dibutylamine and triethylamine; bases such as pyridine; acetylacetone complexes of aluminum, etc. Lewis acids; and the like.

また、触媒の例としては、金属キレート化合物も挙げられる。この金属キレート化合物の金属種としては、例えば、チタン、アルミニウム、ジルコニウム、スズ、アンチモン等が挙げられる。金属キレート化合物の具体例としては、以下のようなものが挙げられる。
アルミニウム錯体としては、例えば、ジ−エトキシ・モノ(アセチルアセトナート)アルミニウム、ジ−n−プロポキシ・モノ(アセチルアセトナート)アルミニウム、ジ−イソプロポキシ・モノ(アセチルアセトナート)アルミニウム、ジ−n−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)アルミニウム、ジ−sec−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)アルミニウム、ジ−tert−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)アルミニウム、モノエトキシ・ビス(アセチルアセトナート)アルミニウム、モノ−n−プロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)アルミニウム、モノイソプロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)アルミニウム、モノ−n−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)アルミニウム、モノ−sec−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)アルミニウム、モノ−tert−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)アルミニウム、トリス(アセチルアセトナート)アルミニウム、ジエトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)アルミニウム、ジ−n−プロポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)アルミニウム、ジイソプロポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)アルミニウム、ジ−n−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)アルミニウム、ジ−sec−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)アルミニウム、ジ−tert−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)アルミニウム、モノエトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)アルミニウム、モノ−n−プロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)アルミニウム、モノイソプロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)アルミニウム、モノ−n−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)アルミニウム、モノ−sec−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)アルミニウム、モノ−tert−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)アルミニウム、トリス(エチルアセトアセテート)アルミニウム等のアルミニウムキレート化合物等を挙げることができる。
Moreover, a metal chelate compound is also mentioned as an example of a catalyst. Examples of the metal species of the metal chelate compound include titanium, aluminum, zirconium, tin, and antimony. Specific examples of the metal chelate compound include the following.
Examples of the aluminum complex include di-ethoxy mono (acetylacetonato) aluminum, di-n-propoxy mono (acetylacetonato) aluminum, di-isopropoxy mono (acetylacetonato) aluminum, di-n- Butoxy mono (acetylacetonato) aluminum, di-sec-butoxy mono (acetylacetonato) aluminum, di-tert-butoxy mono (acetylacetonato) aluminum, monoethoxy bis (acetylacetonato) aluminum, mono -N-propoxy bis (acetylacetonato) aluminum, monoisopropoxy bis (acetylacetonato) aluminum, mono-n-butoxy bis (acetylacetonato) aluminum, mono-sec-but Si-bis (acetylacetonato) aluminum, mono-tert-butoxy bis (acetylacetonato) aluminum, tris (acetylacetonato) aluminum, diethoxy mono (ethylacetoacetate) aluminum, di-n-propoxy mono ( Ethyl acetoacetate) aluminum, diisopropoxy mono (ethyl acetoacetate) aluminum, di-n-butoxy mono (ethyl acetoacetate) aluminum, di-sec-butoxy mono (ethyl acetoacetate) aluminum, di-tert- Butoxy mono (ethyl acetoacetate) aluminum, monoethoxy bis (ethyl acetoacetate) aluminum, mono-n-propoxy bis (ethyl acetoacetate) aluminum, mono Sopropoxy bis (ethyl acetoacetate) aluminum, mono-n-butoxy bis (ethyl acetoacetate) aluminum, mono-sec-butoxy bis (ethyl acetoacetate) aluminum, mono-tert-butoxy bis (ethyl acetoacetate) Examples thereof include aluminum chelate compounds such as aluminum and tris (ethylacetoacetate) aluminum.

チタン錯体としては、トリエトキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−n−プロポキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリイソプロポキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−n−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−sec−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−tert−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、ジエトキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−n−プロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジイソプロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−n−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−sec−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−tert−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、モノエトキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−n−プロポキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノイソプロポキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−n−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−sec−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−tert−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、テトラキス(アセチルアセトナート)チタン、トリエトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−n−プロポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリイソプロポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−n−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−sec−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−tert−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、ジエトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−n−プロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジイソプロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−n−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−sec−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−tert−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、モノエトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−n−プロポキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノイソプロポキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−n−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−sec−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−tert−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、テトラキス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ(アセチルアセトナート)トリス(エチルアセトアセテート)チタン、ビス(アセチルアセトナート)ビス(エチルアセトアセテート)チタン、トリス(アセチルアセトナート)モノ(エチルアセトアセテート)チタン等を挙げることができる。   Titanium complexes include triethoxy mono (acetylacetonato) titanium, tri-n-propoxy mono (acetylacetonato) titanium, triisopropoxy mono (acetylacetonato) titanium, tri-n-butoxy mono (acetyl). Acetonato) titanium, tri-sec-butoxy mono (acetylacetonato) titanium, tri-tert-butoxy mono (acetylacetonato) titanium, diethoxy bis (acetylacetonato) titanium, di-n-propoxy bis (Acetylacetonato) titanium, diisopropoxy bis (acetylacetonato) titanium, di-n-butoxy bis (acetylacetonato) titanium, di-sec-butoxy bis (acetylacetonato) titanium, di-tert -Butoxy bis (ace Ruacetonate) titanium, monoethoxy tris (acetylacetonato) titanium, mono-n-propoxy tris (acetylacetonato) titanium, monoisopropoxy tris (acetylacetonato) titanium, mono-n-butoxy tris (acetyl) Acetonato) titanium, mono-sec-butoxy-tris (acetylacetonato) titanium, mono-tert-butoxy-tris (acetylacetonato) titanium, tetrakis (acetylacetonato) titanium, triethoxy mono (ethylacetoacetate) titanium , Tri-n-propoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, triisopropoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-n-butoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-sec-butyl Xy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-tert-butoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, diethoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-n-propoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, diiso Propoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-n-butoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-sec-butoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-tert-butoxy bis (ethyl acetoacetate) Titanium, monoethoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-n-propoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, monoisopropoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-n-butoxy tris (ethyl acetoacetate) Acetate) titanium, mono-sec-butoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-tert-butoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, tetrakis (ethyl acetoacetate) titanium, mono (acetylacetonate) tris (ethyl aceto) Acetate) titanium, bis (acetylacetonato) bis (ethylacetoacetate) titanium, tris (acetylacetonato) mono (ethylacetoacetate) titanium and the like.

上述したものの中でも、アルコキシシラン類の加水分解および脱水縮合反応をより容易に制御するためには、酸類若しくは金属キレート化合物が好ましく、酸類がさらに好ましい。なお、触媒は、1種のみを用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
中でも、凸凹表面への造膜性、耐クラック性の観点から、シリカ系前駆体のpHを2以下にすることが好ましく、具体的には塩酸、硝酸、硫酸、ギ酸、酢酸、シュウ酸、マレイン酸などの酸類が好ましい。
Among those described above, acids or metal chelate compounds are preferable and acids are more preferable in order to more easily control the hydrolysis and dehydration condensation reaction of alkoxysilanes. In addition, a catalyst may use only 1 type and may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio.
Among these, from the viewpoints of film-forming properties on uneven surfaces and crack resistance, it is preferable that the pH of the silica-based precursor is 2 or less. Specifically, hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, formic acid, acetic acid, oxalic acid, malein Acids such as acids are preferred.

触媒の使用量は本発明の効果を著しく損なわない限り任意である。ただし、アルコキシシラン類に対して、通常0.001mol倍以上、中でも0.003mol倍以上、特には0.005mol倍以上が好ましく、また、通常0.8mol倍以下、中でも0.5mol倍以下、特には0.1mol倍以下が好ましい。触媒の使用量が少なすぎると加水分解反応が適度に進まず、製造後に積層膜中にシラノール基などの活性基が残存しやすくなり、積層膜の耐水性が低下する可能性があり、多すぎると反応制御が困難になり、製造中に触媒濃度が更に高くなることで、積層膜の表面性が低下する可能性がある。   The amount of the catalyst used is arbitrary as long as the effects of the present invention are not significantly impaired. However, it is usually 0.001 mol times or more, especially 0.003 mol times or more, particularly preferably 0.005 mol times or more, and usually 0.8 mol times or less, especially 0.5 mol times or less, especially with respect to alkoxysilanes. Is preferably 0.1 mol times or less. If the amount of the catalyst used is too small, the hydrolysis reaction does not proceed properly, and active groups such as silanol groups are likely to remain in the laminated film after production, which may reduce the water resistance of the laminated film. It becomes difficult to control the reaction, and the surface concentration of the laminated film may be deteriorated by further increasing the catalyst concentration during production.

1−9.鋳型剤
本発明により形成される積層膜中に空孔を形成したり、空孔量を制御するためには、鋳型剤を混合することが有効である。鋳型剤としては溶媒以外の分解温度が130℃以上の化合物であれば、特に制限はないが、屈折率制御の観点から、セチルトリメチルアンモニウムクロライドなどの界面活性剤、ポリエチレングリコールなどの高分子種が好ましく、シリカ系前駆体の安定性の観点から非イオン性高分子がより好ましい。さらに、アルコキシシラン類との相溶性の観点からエチレンオキサイド部位を有する化合物が好ましい。なお、主鎖骨格構造は特に限定されることはない。
1-9. Template Agent It is effective to mix a template agent in order to form pores in the laminated film formed according to the present invention and to control the amount of pores. The templating agent is not particularly limited as long as it is a compound having a decomposition temperature other than the solvent of 130 ° C. or higher, but from the viewpoint of refractive index control, a surfactant such as cetyltrimethylammonium chloride, and a polymer species such as polyethylene glycol are used. Preferably, a nonionic polymer is more preferable from the viewpoint of the stability of the silica-based precursor. Furthermore, a compound having an ethylene oxide moiety is preferable from the viewpoint of compatibility with alkoxysilanes. The main chain skeleton structure is not particularly limited.

主鎖骨格構造の具体例を挙げると、ポリエーテル、ポリエステル、ポリウレタン、ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリジエン、ポリビニルエーテル、ポリスチレン、及びそれらの誘導体などが挙げられる。中でも、ポリエーテルを構成成分とする高分子が好ましい。その具体例としては、ポリエチレングリコール(以下適宜、「PEG」という)、ポリプロピレングリコール、ポリイソブチレングリコールなどが挙げられる。中でも、ポリエチレンオキサイド−ポリプロピレンオキサイド−ポリエチレンオキサイド トリブロックポリマー、及び/又は、ポリエチレングリコールが特に好ましい。なお、上記鋳型剤は、1種のみを用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。   Specific examples of the main chain skeleton structure include polyether, polyester, polyurethane, polyolefin, polycarbonate, polydiene, polyvinyl ether, polystyrene, and derivatives thereof. Among these, a polymer containing a polyether as a constituent component is preferable. Specific examples thereof include polyethylene glycol (hereinafter referred to as “PEG” as appropriate), polypropylene glycol, polyisobutylene glycol, and the like. Among these, polyethylene oxide-polypropylene oxide-polyethylene oxide triblock polymer and / or polyethylene glycol are particularly preferable. In addition, the said template agent may use only 1 type and may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio.

また、上記鋳型剤の使用量は本発明の効果を著しく損なわない限り任意である。ただし、全アルコキシシラン類由来のケイ素原子に対する本発明に係る鋳型剤の割合が、通常0.001(mol/mol)以上、好ましくは0.002(mol/mol)以上、より好ましくは0.003(mol/mol)以上、また、通常0.05(mol/mol)以下、好ましくは0.04(mol/mol)以下、より好ましくは0.03(mol/mol)以下となるようにする。前記の割合が小さすぎると形成される積層膜が十分な多孔質構造を形成することができず、低屈折率を実現できない可能性がある。一方、前記の割合が大きすぎる場合には、積層膜を成形した際に表面に上記鋳型剤が過剰に析出し、表面を荒らす可能性がある。   The amount of the templating agent used is arbitrary as long as the effects of the present invention are not significantly impaired. However, the ratio of the templating agent according to the present invention to silicon atoms derived from all alkoxysilanes is usually 0.001 (mol / mol) or more, preferably 0.002 (mol / mol) or more, more preferably 0.003. (Mol / mol) or more, usually 0.05 (mol / mol) or less, preferably 0.04 (mol / mol) or less, more preferably 0.03 (mol / mol) or less. When the ratio is too small, the formed laminated film cannot form a sufficient porous structure, and a low refractive index may not be realized. On the other hand, when the said ratio is too large, when the laminated | multilayer film | membrane is shape | molded, the said template agent will precipitate excessively on the surface and there exists a possibility of roughening the surface.

さらに、不純物を減らす観点から上記鋳型剤は、カチオンを含まないことが好ましい。また、カチオンを含んでいたとしても、カチオンの量は少ないことが好ましい。具体的な範囲を挙げると、シリカ系前駆体中の鋳型剤の量は、10重量%以下が好ましく、より好ましくは5重量%以下、特に好ましくは1重量%以下である。カチオン成分が残存すると、透光基材が劣化したり、形成される積層膜が着色したりする可能性がある。   Further, from the viewpoint of reducing impurities, the templating agent preferably does not contain a cation. Moreover, even if it contains a cation, the amount of the cation is preferably small. Specifically, the amount of the templating agent in the silica-based precursor is preferably 10% by weight or less, more preferably 5% by weight or less, and particularly preferably 1% by weight or less. If the cation component remains, there is a possibility that the light-transmitting substrate is deteriorated or the formed laminated film is colored.

1−10.その他の物質
本発明の積層膜を製造することが可能である限り、シリカ系前駆体には、上述したアルコキシシラン類、水、有機溶媒、触媒及び鋳型剤以外の成分を含有していても良い。また、当該成分は1種のみを用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
1-10. Other Substances As long as it is possible to produce the laminated film of the present invention, the silica-based precursor may contain components other than the alkoxysilanes, water, organic solvent, catalyst, and templating agent described above. . Moreover, the said component may use only 1 type and may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio.

1−11.シリカ系前駆体の物性
上記シリカ系前駆体のpHは、例えば凸凹を有する透光基材表面への造膜性や、耐クラック性の観点から、通常pH2以下であり、好ましくは1.8以下、より好ましくは1.5以下である。
また、シリカ系前駆体の粘度は、造膜性の観点から、通常0.05Pas・sec以下であり、好ましくは0.03Pas・sec以下、より好ましくは0.02Pas・sec以下である。上記粘度は、回転粘度計により測定される。
1-11. Physical Properties of Silica-Based Precursor The pH of the above-mentioned silica-based precursor is usually 2 or less, preferably 1.8 or less, from the viewpoint of film-forming properties on the surface of a light-transmitting substrate having irregularities and crack resistance, for example. More preferably, it is 1.5 or less.
The viscosity of the silica-based precursor is usually 0.05 Pas · sec or less, preferably 0.03 Pas · sec or less, more preferably 0.02 Pas · sec or less, from the viewpoint of film forming properties. The viscosity is measured with a rotational viscometer.

[2.積層膜を形成する形成過程]
本発明において、積層膜を形成する方法としては、上記シリカ系前駆体を用いる方法であれば特に制限は無い。通常、シリカ系前駆体調製工程、塗布工程、焼成工程、冷却工程の順で得ることができる。また、前記工程に加え、透光基材の表面処理工程や、積層膜のシリル化処理工程等を行なってもよい。
[2. Formation process to form laminated film]
In the present invention, the method for forming the laminated film is not particularly limited as long as it is a method using the above silica-based precursor. Usually, it can obtain in order of a silica type precursor preparation process, a coating process, a baking process, and a cooling process. In addition to the above steps, a surface treatment step of the light-transmitting substrate, a silylation treatment step of the laminated film, and the like may be performed.

2−1.シリカ系前駆体調製工程
シリカ系前駆体調製工程では、シリカ系前駆体を構成する上記各成分を混合して、シリカ系前駆体を調製する。この際、各成分の混合の順番に制限は無い。また、各成分は、全量を一回で混合しても良く、2回以上に分けて連続又は断続的に混合しても良い。
ただし、従来、制御困難とされているゾル−ゲル反応を制御して、シリカ系前駆体をより工業的に調製するためには、以下の要領で混合することが好ましい。即ち、アルコキシシラン類、水、触媒及び溶媒を混合し、その混合物を熟成させることでアルコキシシラン類をある程度加水分解及び脱水縮合させる。その後、上記混合物に鋳型剤を混合して、シリカ系前駆体を調製する。これにより、ゾル−ゲル反応条件下で、アルコキシシラン類と鋳型剤との親和性を維持することができる。なお、熟成は、前記の混合物と鋳型剤とを混合した後で行なってもよい。
2-1. Silica-based precursor preparation step In the silica-based precursor preparation step, the above-described components constituting the silica-based precursor are mixed to prepare a silica-based precursor. At this time, there is no limitation on the order of mixing the components. In addition, each component may be mixed all at once, or may be mixed continuously or intermittently in two or more times.
However, in order to control the sol-gel reaction, which has heretofore been difficult to control, and to prepare the silica precursor more industrially, it is preferable to mix in the following manner. That is, alkoxysilanes, water, a catalyst and a solvent are mixed, and the mixture is aged to hydrolyze and dehydrate and condense alkoxysilanes to some extent. Thereafter, a templating agent is mixed with the above mixture to prepare a silica-based precursor. Thereby, the affinity of alkoxysilanes and a templating agent can be maintained under sol-gel reaction conditions. The aging may be performed after mixing the mixture and the templating agent.

前記の熟成の際、アルコキシシラン類の加水分解・脱水縮合反応を進めるためには、加熱することが好ましい。加熱条件として、用いる溶媒の沸点を超えなければ特に制限は無いが、通常40℃以上、中でも50℃以上、特には60℃以上とすることが好ましい。加熱温度が低すぎると反応時間が極度に長くなり、生産性が低下する可能性がある。一方、加熱温度の上限は、100℃以下が好ましく、95℃以下がより好ましい。100℃を超えるとシリカ系前駆体中の水が沸騰し、分解・脱水縮合反応を制御できなくなる可能性がある。   During the ripening, heating is preferably performed in order to advance hydrolysis / dehydration condensation reaction of alkoxysilanes. The heating condition is not particularly limited as long as it does not exceed the boiling point of the solvent to be used, but it is usually 40 ° C. or higher, preferably 50 ° C. or higher, and particularly preferably 60 ° C. or higher. If the heating temperature is too low, the reaction time becomes extremely long, and the productivity may decrease. On the other hand, the upper limit of the heating temperature is preferably 100 ° C. or less, and more preferably 95 ° C. or less. If it exceeds 100 ° C., the water in the silica-based precursor will boil, and the decomposition / dehydration condensation reaction may not be controlled.

また、熟成時間に制限は無いが、通常10分以上、好ましくは20分以上、より好ましくは30分以上、また、通常10時間以下、好ましくは8時間以下、より好ましくは5時間以下である。熟成時間が短すぎると均一に熟成反応を進めることが難しくなる可能性があり、長すぎると溶媒の揮発が無視できなくなり、組成比が変化してシリカ系前駆体の安定性が低くなったり、得られる積層膜の耐水性が低下する可能性がある。   The aging time is not limited, but is usually 10 minutes or more, preferably 20 minutes or more, more preferably 30 minutes or more, and usually 10 hours or less, preferably 8 hours or less, more preferably 5 hours or less. If the aging time is too short, it may be difficult to proceed with the aging reaction uniformly.If the aging time is too long, the volatilization of the solvent cannot be ignored, the composition ratio changes, and the stability of the silica precursor decreases, There is a possibility that the water resistance of the obtained laminated film is lowered.

さらに、熟成時の圧力条件に制限は無いが、通常は常圧で熟成を行なう。圧力が変化すると溶媒の沸点も変化し、熟成中の溶媒が揮発(蒸発)することで、組成比が変化して、シリカ系前駆体の安定性が低くなったり、高い耐水性を有する積層膜が得られない可能性がある。
また、熟成の後、膜化工程の前にシリカ系前駆体は有機溶媒を更に混合して希釈することが好ましい。これにより、シリカ系前駆体内でのゾル−ゲル反応速度を低下させることができ、シリカ系前駆体のポットライフを長く維持することが可能となる。
Furthermore, although there is no restriction | limiting in the pressure conditions at the time of ageing | curing | ripening, Usually, it matures by a normal pressure. When the pressure changes, the boiling point of the solvent also changes, and the solvent during aging volatilizes (evaporates), the composition ratio changes, the stability of the silica-based precursor becomes low, and the laminated film has high water resistance. May not be obtained.
Further, it is preferable that the silica-based precursor is further mixed with an organic solvent and diluted after the aging and before the film forming step. Thereby, the sol-gel reaction rate in a silica type precursor can be reduced, and it becomes possible to maintain the pot life of a silica type precursor long.

2−2.透光基材を表面処理する工程
シリカ系前駆体を塗布する前に、透光基材表面を洗浄することが好ましい。また透光基材表面を洗浄するだけではなく、必要に応じて、透光基材表面のシリカ系前駆体を塗布する領域に表面処理を施してもよい。
透光基材の洗浄方法としては、例えば化学的な方法として、フッ酸、硫酸、塩酸、硝酸、燐酸等の酸類、水酸化ナトリウム水溶液等のアルカル類、過酸化水素と濃硫酸、塩酸、アンモニア等の混合液への浸漬、物理的方法として、真空中での加熱処理、イオンスパッタリング、UVオゾン処理、コロナ処理、プラズマ処理などが挙げられる。また表面処理では、加熱、濃硫酸、塩酸、硝酸等の強酸類への浸漬が挙げられる。
2-2. Step of surface-treating translucent substrate It is preferable to wash the translucent substrate surface before applying the silica-based precursor. In addition to cleaning the surface of the light-transmitting substrate, surface treatment may be applied to the area where the silica-based precursor is applied on the surface of the light-transmitting substrate, if necessary.
As a method for cleaning the light-transmitting substrate, for example, as a chemical method, acids such as hydrofluoric acid, sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, phosphoric acid, alkanes such as aqueous sodium hydroxide, hydrogen peroxide and concentrated sulfuric acid, hydrochloric acid, ammonia Examples of the physical method include immersion in a mixed liquid such as heat treatment in vacuum, ion sputtering, UV ozone treatment, corona treatment, and plasma treatment. In the surface treatment, heating and immersion in strong acids such as concentrated sulfuric acid, hydrochloric acid and nitric acid can be mentioned.

さらに積層膜との密着性に劣る透光基材に対しては、界面活性剤、高分子電解質などの吸着層を形成する方法がある。これらの方法は1種のみ、または2種以上を任意の組み合わせで行なうことができる。   Furthermore, there is a method of forming an adsorbing layer such as a surfactant or a polymer electrolyte for a light-transmitting substrate having poor adhesion to the laminated film. These methods can be performed alone or in any combination of two or more.

2−3.シリカ系前駆体の塗布工程
シリカ系前駆体の塗布方法としては、湿式法を用いることができ、特に制限はされないが、例えば、スピンコート法、スプレーコート法、ディップコート法、カーテンコート法、インクジェット法、ロールコート法、ブレードコート法、スクリーン印刷法、ダイコート法などの方法が用いられる。
2-3. Silica-based precursor coating step The silica-based precursor coating method can be a wet method, and is not particularly limited. For example, spin coating, spray coating, dip coating, curtain coating, inkjet, and the like. Methods such as a method, a roll coating method, a blade coating method, a screen printing method, and a die coating method are used.

中でも膜の均質性の観点で、スピンコート法、スプレーコート法、ディップコート法、カーテンコート法、ロールコート法、ダイコート法が好ましく、スピンコート法、ディップコート法、スプレーコート法、ダイコート法が特に好ましい。
例えば上記ダイコート等の流延法でシリカ系前駆体を膜化する場合、流延速度に制限は無いが、通常0.1m/分以上、好ましくは0.5m/分以上、より好ましくは1m/分以上、また、通常1000m/分以下、好ましくは700m/分以下、より好ましくは500m/分以下である。流延速度が遅すぎると膜厚にムラができる可能性があり、速すぎると透光基材とシリカ系前駆体との濡れ性の制御が困難になる可能性がある。
Among these, from the viewpoint of film homogeneity, spin coating, spray coating, dip coating, curtain coating, roll coating, and die coating are preferable, and spin coating, dip coating, spray coating, and die coating are particularly preferable. preferable.
For example, when the silica-based precursor is formed into a film by a casting method such as die coating, the casting speed is not limited, but is usually 0.1 m / min or more, preferably 0.5 m / min or more, more preferably 1 m / min. Min. Or more, and usually 1000 m / min or less, preferably 700 m / min or less, more preferably 500 m / min or less. If the casting speed is too slow, the film thickness may be uneven. If it is too fast, it may be difficult to control the wettability between the light-transmitting substrate and the silica-based precursor.

また、ディップコート法においては、任意の速度で、透光基材を塗布液に浸漬し引き上げればよい。この際の引き上げ速度に制限は無いが、通常0.01mm/秒以上、好ましくは0.05mm/秒以上、より好ましくは0.1mm/秒以上、また、通常50mm/秒以下、好ましくは30mm/秒以下、より好ましくは20mm/秒以下である。引き上げ速度が遅すぎたり速すぎたりすると、積層膜の膜厚にムラができる可能性がある。一方、透光基材を塗布液中に浸漬する速度に制限はないが、通常は、引き上げ速度と同程度の速度で透光基材を塗布液中に浸漬することが好ましい。さらに、透光基材を塗布液中に浸漬してから引き上げるまでの間、適当な時間浸漬を継続してもよい。この浸漬を継続する時間に制限は無いが、通常1秒以上、好ましくは3秒以上、より好ましくは5秒以上、また、通常48時間以下、好ましくは24時間以下、より好ましくは12時間以下である。この時間が短すぎると透光基材への密着性に劣る可能性があり、長すぎると浸漬中に膜が形成されて平滑性に劣る可能性がある。   In the dip coating method, the translucent substrate may be dipped in the coating solution and pulled up at an arbitrary speed. The pulling speed at this time is not limited, but is usually 0.01 mm / second or more, preferably 0.05 mm / second or more, more preferably 0.1 mm / second or more, and usually 50 mm / second or less, preferably 30 mm / second. Second or less, more preferably 20 mm / second or less. If the pulling speed is too slow or too fast, the film thickness of the laminated film may be uneven. On the other hand, although there is no restriction | limiting in the speed | rate which immerses a translucent base material in a coating liquid, Usually, it is preferable to immerse a translucent base material in a coating liquid at a speed | rate comparable as a raising speed. Further, the immersion may be continued for an appropriate period of time after the translucent substrate is immersed in the coating solution and then pulled up. There is no limitation on the duration of this immersion, but it is usually 1 second or more, preferably 3 seconds or more, more preferably 5 seconds or more, and usually 48 hours or less, preferably 24 hours or less, more preferably 12 hours or less. is there. If this time is too short, the adhesiveness to the light-transmitting substrate may be inferior, and if it is too long, a film may be formed during immersion and the smoothness may be inferior.

さらに、スピンコート法でシリカ系前駆体を塗布形成する場合、回転速度は、通常10回転/分以上、好ましくは50回転/分以上、より好ましくは100回転/分以上、また、通常100000回転/分以下、好ましくは50000回転/分以下、より好ましくは10000回転/分以下である。回転速度が遅すぎると、形成される積層膜の膜厚にムラができる可能性があり、速すぎると溶媒の気化が進みやすくなりアルコキシシラン類の加水分解等の反応が十分進まず耐水性に劣る可能性がある。   Furthermore, when the silica-based precursor is applied and formed by spin coating, the rotation speed is usually 10 revolutions / minute or more, preferably 50 revolutions / minute or more, more preferably 100 revolutions / minute or more, and usually 100,000 revolutions / minute. Min or less, preferably 50000 revolutions / minute or less, more preferably 10,000 revolutions / minute or less. If the rotational speed is too slow, there may be unevenness in the film thickness of the laminated film to be formed.If it is too fast, the vaporization of the solvent will easily proceed, and the reaction such as hydrolysis of alkoxysilanes will not proceed sufficiently, resulting in water resistance. May be inferior.

ただし、本発明の製造方法におけるシリカ前駆体の塗布工程では、相対湿度が通常20%以上、好ましくは25%以上、より好ましくは30%以上、また、通常85%以下、好ましくは80%以下、より好ましくは75%以下の環境下において塗布を行う。塗布工程での相対湿度を前記の範囲にすることにより、表面平滑性の高い膜が得られる。
塗布工程における雰囲気に制限は無い。例えば、空気雰囲気中で膜化を行なっても良く、例えばアルゴン等の不活性雰囲気中で塗布を行なってもよい。
However, in the silica precursor coating step in the production method of the present invention, the relative humidity is usually 20% or more, preferably 25% or more, more preferably 30% or more, and usually 85% or less, preferably 80% or less, More preferably, the coating is performed in an environment of 75% or less. By setting the relative humidity in the coating process within the above range, a film having high surface smoothness can be obtained.
There is no restriction | limiting in the atmosphere in an application | coating process. For example, the film may be formed in an air atmosphere, or may be applied in an inert atmosphere such as argon.

また塗布工程を行なう際の温度に制限は無いが、通常0℃以上、好ましくは10℃以上、より好ましくは20℃以上、また、通常100℃以下、好ましくは80℃以下、より好ましくは70℃以下、更に好ましくは60℃以下、中でも好ましくは50℃以下、特に好ましくは40℃以下である。塗布の際の温度が低すぎると溶媒が気化しにくくなり膜の表面平滑性が低下する可能性があり、高すぎるとアルコキシシラン類の硬化が急速に進み膜歪みが大きくなる可能性がある。   Moreover, although there is no restriction | limiting in the temperature at the time of performing an application | coating process, Usually, 0 degreeC or more, Preferably it is 10 degreeC or more, More preferably, it is 20 degreeC or more, Usually, 100 degreeC or less, Preferably it is 80 degreeC or less, More preferably, it is 70 degreeC. Hereinafter, it is more preferably 60 ° C. or less, particularly preferably 50 ° C. or less, particularly preferably 40 ° C. or less. If the temperature at the time of application is too low, the solvent is difficult to evaporate and the surface smoothness of the film may be lowered. If it is too high, the curing of the alkoxysilanes proceeds rapidly and the film distortion may increase.

塗布工程を行なう際の圧力に制限は無いが、通常0.05MPa以上、好ましくは0.08MPa以上、より好ましくは0.1MPa以上、また、通常0.3MPa以下、好ましくは0.2MPa以下、より好ましくは0.15MPa以下である。圧力が低すぎると溶媒が気化しやすくなり膜化後のレベリング効果が得られず膜の平滑性が低下する可能性があり、高すぎると溶媒が気化しにくくなり膜の表面性が低下する可能性がある。   Although there is no restriction | limiting in the pressure at the time of performing an application | coating process, Usually 0.05 Mpa or more, Preferably it is 0.08 Mpa or more, More preferably, it is 0.1 Mpa or more, Usually, 0.3 Mpa or less, Preferably it is 0.2 Mpa or less. Preferably it is 0.15 MPa or less. If the pressure is too low, the solvent tends to evaporate and the leveling effect after film formation cannot be obtained, and the smoothness of the film may decrease.If it is too high, the solvent is difficult to evaporate and the surface property of the film may decrease. There is sex.

ところで、ディップコート法とスピンコート法とでは、乾燥速度に違いがあり、塗布直後の膜の安定構造に僅かな違いが生じることがある。これは膜化中の雰囲気を変えることで調整する事ができる。また、前記の膜の安定構造の僅かな違いは、透光基材の表面処理によっても対処する事ができる。   Incidentally, there is a difference in drying speed between the dip coating method and the spin coating method, and a slight difference may occur in the stable structure of the film immediately after coating. This can be adjusted by changing the atmosphere during film formation. In addition, the slight difference in the stable structure of the film can be dealt with by the surface treatment of the translucent substrate.

2−4.焼成工程
上記シリカ系前駆体を加熱処理する方式は特に制限されないが、例えば加熱炉(ベーク炉)内に透光基材を配置してシリカ系前駆体の膜を加熱する炉内ベーク方式、プレート(ホットプレート)上に透光基材を搭載しそのプレートを介してシリカ系前駆体の膜を加熱するホットプレート方式、前記透光基材の上面側及び/又は下面側にヒーターを配置し、ヒーターから電磁波(例えば赤外線)を照射して、シリカ系前駆体の膜を加熱する方式、などが挙げられる。
2-4. Firing step The method for heat-treating the silica-based precursor is not particularly limited. For example, an in-furnace baking method in which a translucent base material is disposed in a heating furnace (baking furnace) to heat the silica-based precursor film, a plate (Hot plate) A hot plate system in which a translucent substrate is mounted and the silica-based precursor film is heated via the plate, a heater is disposed on the upper surface side and / or the lower surface side of the translucent substrate, Examples include a method of heating a silica-based precursor film by irradiating electromagnetic waves (for example, infrared rays) from a heater.

加熱温度に制限は無く、シリカ系前駆体を硬化できれば任意であるが、通常100℃以上、好ましくは230℃以上、より好ましくは300℃以上、さらに好ましくは320℃以上、特に好ましくは350℃以上、また、通常800℃以下、より好ましくは550℃以下、さらに好ましくは450℃以下である。加熱温度が低すぎると得られる膜(すなわち積層膜)の屈折率が下がらなかったり、着色したりする可能性がある。一方、加熱温度が高すぎると透光基材と積層膜との線膨張が異なるため、剥離等が発生する可能性がある。なお、加熱工程において、前記の加熱温度で連続的に加熱を行なってもよいが、断続的に加熱を行なうようにしてもよい。   There is no restriction on the heating temperature, and it is optional as long as the silica-based precursor can be cured, but it is usually 100 ° C or higher, preferably 230 ° C or higher, more preferably 300 ° C or higher, further preferably 320 ° C or higher, particularly preferably 350 ° C or higher. Also, it is usually 800 ° C. or lower, more preferably 550 ° C. or lower, and further preferably 450 ° C. or lower. If the heating temperature is too low, the refractive index of the resulting film (that is, the laminated film) may not decrease or may be colored. On the other hand, if the heating temperature is too high, the linear expansion of the translucent base material and the laminated film is different, and peeling or the like may occur. In the heating step, the heating may be performed continuously at the heating temperature, but the heating may be performed intermittently.

加熱を行なう際、昇温速度は本発明の効果を著しく損なわない限り任意であるが、通常1℃/分以上、好ましくは10℃/分以上、また、通常500℃/分以下、好ましくは300℃/分以下で昇温する。昇温速度が遅すぎると膜が緻密化し、膜歪みが大きくなって耐水性が低下する可能性があり、昇温速度が速すぎると膜歪みが大きくなって耐水性が低下する可能性がある。   When heating, the rate of temperature increase is arbitrary as long as the effect of the present invention is not significantly impaired, but is usually 1 ° C./min or more, preferably 10 ° C./min or more, and usually 500 ° C./min or less, preferably 300. The temperature is raised at a temperature of ℃ / min or less. If the rate of temperature increase is too slow, the film may become dense, resulting in increased film strain and reduced water resistance, and if the rate of temperature increase is too high, the film strain may be increased and water resistance may be decreased. .

加熱を行なう時間は本発明の効果を著しく損なわない限り任意であるが、通常30秒以上、好ましくは1分以上、より好ましくは2分以上、また、通常5時間以下、好ましくは2時間以下、より好ましくは1時間以下である。加熱時間が短すぎると十分に鋳型剤を取り除けなくなる可能性があり、長すぎるとアルコキシシランの反応が進み、透光基材との密着性が低下する可能性がある。   The heating time is arbitrary as long as the effect of the present invention is not significantly impaired, but is usually 30 seconds or more, preferably 1 minute or more, more preferably 2 minutes or more, and usually 5 hours or less, preferably 2 hours or less, More preferably, it is 1 hour or less. If the heating time is too short, the templating agent may not be sufficiently removed, and if it is too long, the reaction of the alkoxysilane proceeds and the adhesion to the light-transmitting substrate may be reduced.

加熱を行なう際の圧力は本発明の効果を著しく損なわない限り任意であるが、減圧環境とすることが好ましい。アルコキシシランの反応よりも溶媒の気化が進行し、耐水性に劣る膜になる可能性があるためである。この観点から、加熱工程では、圧力を、通常0.2MPa以下、好ましくは0.15MPa以下、より好ましくは0.1MPa以下とする。一方、圧力の下限に制限は無いが、通常10−4MPa以上、好ましくは10−3MPa以上、より好ましくは10−2MPa以上である。圧力が低すぎるとアルコキシシランの反応よりも溶媒の気化が進行し、耐水性に劣る膜になる可能性がある。 The pressure at the time of heating is arbitrary as long as the effect of the present invention is not significantly impaired, but a reduced pressure environment is preferable. This is because the vaporization of the solvent proceeds more than the reaction of alkoxysilane, which may result in a film having poor water resistance. From this viewpoint, in the heating step, the pressure is usually 0.2 MPa or less, preferably 0.15 MPa or less, more preferably 0.1 MPa or less. On the other hand, the lower limit of the pressure is not limited, but is usually 10 −4 MPa or more, preferably 10 −3 MPa or more, more preferably 10 −2 MPa or more. If the pressure is too low, the vaporization of the solvent proceeds more than the reaction of alkoxysilane, which may result in a film with poor water resistance.

加熱を行なう際の雰囲気は本発明の効果を著しく損なわない限り任意であるが、中でも、乾燥ムラの生じにくい環境が好ましい。その中でも、大気雰囲気下で加熱を行なうことが好ましい。また、不活性ガス処理を行ない、不活性雰囲気下で乾燥を行なうことも可能である。   The atmosphere during heating is arbitrary as long as the effects of the present invention are not significantly impaired. Among them, an environment in which drying unevenness is unlikely to occur is preferable. Among these, it is preferable to perform heating in an air atmosphere. It is also possible to perform an inert gas treatment and dry in an inert atmosphere.

2−5.冷却工程
冷却工程では、加熱工程で高温となった積層膜を冷却する。この際、冷却速度は特に制限はないが、通常0.1℃/分以上、好ましくは0.5℃/分以上、より好ましくは0.8℃/分以上、更に好ましくは1℃/分以上、また、通常50℃/分以下、好ましくは30℃以下、より好ましくは20℃/分以下、更に好ましくは10℃/分以下である。冷却速度が遅すぎると製造コストが高くなる可能性があり、速すぎると透光基材と積層膜との線膨張が異なることによる膜質の低下が予想される。
2-5. Cooling Step In the cooling step, the laminated film that has reached a high temperature in the heating step is cooled. At this time, the cooling rate is not particularly limited, but is usually 0.1 ° C./min or more, preferably 0.5 ° C./min or more, more preferably 0.8 ° C./min or more, further preferably 1 ° C./min or more. Also, it is usually 50 ° C./min or less, preferably 30 ° C. or less, more preferably 20 ° C./min or less, and further preferably 10 ° C./min or less. If the cooling rate is too slow, the production cost may increase, and if it is too fast, the film quality is expected to deteriorate due to the difference in linear expansion between the translucent substrate and the laminated film.

また、冷却工程における雰囲気は本発明の効果を著しく損なわない限り任意であり、例えば、真空環境、不活性ガス環境であってもよい。さらに、温度及び湿度に制限は無いが、通常は常温・常湿で冷却する。   The atmosphere in the cooling step is arbitrary as long as the effects of the present invention are not significantly impaired, and may be, for example, a vacuum environment or an inert gas environment. Furthermore, although there is no restriction | limiting in temperature and humidity, normally it cools at normal temperature and normal humidity.

2−6.シリル化処理
得られた積層膜をシリル化剤で処理することで、より機能性に優れた表面にする事ができる。シリル化剤で処理することにより、積層膜に疎水性が付与され、コンタミネーションにより空孔が汚染されるのを防ぐことができる。
2-6. Silylation treatment By treating the obtained laminated film with a silylating agent, the surface can be made more excellent in functionality. By treating with a silylating agent, hydrophobicity is imparted to the laminated film, and contamination of the pores due to contamination can be prevented.

シリル化剤としては、例えば、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルエトキシシラン、メチルジエトキシシラン、ジメチルビニルメトキシシラン、ジメチルビニルエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のアルコキシシラン類、トリメチルクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシラン、メチルジクロロシラン、ジメチルクロロシラン、ジメチルビニルクロロシラン、メチルビニルジクロロシラン、メチルクロロジシラン、トリフェニルクロロシラン、メチルジフェニルクロロシラン、ジフェニルジクロロシランなどのクロロシラン類、ヘキサメチルジシラザン、N,N’−ビス(トリメチルシリル)ウレア、N−トリメチルシリルアセトアミド、ジメチルトリメチルシリルアミン、ジエチルトリエチルシリルアミン、トリメチルシリルイミダゾールなどのシラザン類、(3,3,3−トリフルオロプロピル)トリメトキシシラン、(3,3,3−トリフルオロプロピル)トリエトキシシラン、ペンタフルオロフェニルトリメトキシシラン、ペンタフルオロフェニルトリエトキシシラン等のフッ化アルキル基やフッ化アリール基を有するアルコキシシラン類などが挙げられる。これらは1種または2種以上を任意の比率及び組み合わせで用いることができる。   Examples of the silylating agent include trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethylethoxysilane, methyldiethoxysilane, dimethylvinylmethoxysilane, and dimethyl. Alkoxysilanes such as vinylethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, trimethylchlorosilane, dimethyldichlorosilane, methyltrichlorosilane, methyldichlorosilane, dimethylchlorosilane, dimethylvinylchlorosilane, Methyl vinyl dichlorosilane, methyl chloro disilane, triphenyl chloro silane, methyl diphenyl chloro Chlorosilanes such as silane, diphenyldichlorosilane, hexamethyldisilazane, N, N′-bis (trimethylsilyl) urea, N-trimethylsilylacetamide, dimethyltrimethylsilylamine, diethyltriethylsilylamine, trimethylsilylimidazole and other silazanes, (3, 3,3-trifluoropropyl) trimethoxysilane, (3,3,3-trifluoropropyl) triethoxysilane, pentafluorophenyltrimethoxysilane, pentafluorophenyltriethoxysilane, etc. And alkoxysilanes having a group. These can be used alone or in combination of two or more in any ratio and combination.

またシリル化は、シリル化剤を積層膜に塗布したり、シリル化剤中に積層膜を浸漬したり、積層膜をシリル化剤の蒸気中に曝したりすることにより行うことができる。   Silylation can be performed by applying a silylating agent to the laminated film, immersing the laminated film in the silylating agent, or exposing the laminated film to the vapor of the silylating agent.

3.その他の工程
本発明の製造方法では、本発明の効果を著しく損なわない限り、上述した積層膜の形成過程における各工程の工程前、工程中及び工程後の任意の段階で、任意の工程を行なってもよい。また上記積層膜の形成過程以外にも、必要に応じて任意の段階で任意の工程を行うことができる。
3. Other Steps In the production method of the present invention, unless the effects of the present invention are significantly impaired, an arbitrary step is performed at any stage before, during and after each step in the formation process of the laminated film described above. May be. In addition to the process of forming the laminated film, an arbitrary process can be performed at an arbitrary stage as necessary.

なお、本発明の製造方法では本発明の積層膜を膜状に形成したが、膜状以外の形状に成形するのであれば、塗布工程の代わりに所定の形状に成形する成形工程を行なえばよい。   In the production method of the present invention, the laminated film of the present invention is formed into a film shape. However, if the film is formed into a shape other than the film shape, a forming step of forming into a predetermined shape may be performed instead of the coating step. .

C.太陽電池モジュール
次に、本発明の太陽電池モジュールについて説明する。本発明でいう太陽電池セルとは、光起電力効果を利用して、光エネルギーを電力に変換することのできる素子または装置であり、太陽電池モジュールとは、一つまたは複数個の太陽電池セルに保護部材を備えた構造体のことをいう。
C. Next, the solar cell module of the present invention will be described. The solar cell as used in the present invention is an element or device capable of converting light energy into electric power using the photovoltaic effect, and the solar cell module is one or more solar cells. The structure provided with a protective member.

本発明の太陽電池モジュールは、上記「A.太陽電池用積層カバー基板」を有することを特徴とするものである。
本発明によれば、上記太陽電池用積層カバー基板を有することから、太陽光エネルギーの反射が少なく、太陽光エネルギーを太陽電池セル内に極めて効率よく取り込むことが可能となる。したがって、発電効率の高い太陽電池モジュールとすることができる。また上記太陽電池用積層カバー基板は防眩性が高いことから、本発明の太陽電池モジュールを屋根や壁面に用いた場合に、反射光公害が生じないものとすることができるという利点も有する。
The solar cell module of the present invention has the above-mentioned “A. Laminated cover substrate for solar cells”.
According to this invention, since it has the said laminated | stacked cover substrate for solar cells, there is little reflection of solar energy, and it becomes possible to take in solar energy very efficiently in a photovoltaic cell. Therefore, a solar cell module with high power generation efficiency can be obtained. Moreover, since the said laminated | stacked cover substrate for solar cells is high in glare-proof property, when the solar cell module of this invention is used for a roof or a wall surface, it also has the advantage that a reflected light pollution cannot be made.

本発明の太陽電池モジュールに使用できる太陽電池セルの例として、単結晶シリコン太陽電池、多結晶シリコン太陽電池、アモルファスシリコン太陽電池などのシリコン系太陽電池、CIS系太陽電池、CIGS系太陽電池、GaAs系太陽電池などの化合物太陽電池、色素増感太陽電池、有機薄膜太陽電池、また多接合型太陽電池、HIT太陽電池が挙げられるが、特にこれらに限定するものではない。   Examples of solar cells that can be used in the solar cell module of the present invention include silicon solar cells such as single crystal silicon solar cells, polycrystalline silicon solar cells, and amorphous silicon solar cells, CIS solar cells, CIGS solar cells, GaAs A compound solar cell such as a solar cell, a dye-sensitized solar cell, an organic thin film solar cell, a multi-junction solar cell, and a HIT solar cell are exemplified, but not limited thereto.

太陽電池モジュールの構造としては、様々な種類が検討されているが、本発明の太陽電池モジュールとしては、特に構造は限定されない。代表的な一例として、スーパーストレート方式が挙げられる。スーパーストレート方式の太陽電池モジュールの具体的な構造としては、直列もしくは並列接続された複数個の太陽電池セルを、その受光面側に表面保護部材として本発明の太陽電池用積層カバー基板を配置し、非受光面側に裏面保護部材として耐候性フィルムを配置する。また各太陽電池セル間に透明な充填材を封入させる。   Various types of structures of the solar cell module have been studied, but the structure of the solar cell module of the present invention is not particularly limited. A typical example is a super straight type. As a specific structure of the super straight type solar cell module, a plurality of solar cells connected in series or in parallel are arranged, and the laminated cover substrate for solar cells of the present invention is arranged on the light receiving surface side as a surface protection member. A weather resistant film is disposed as a back surface protection member on the non-light receiving surface side. A transparent filler is sealed between the solar cells.

上記耐候性フィルムとしては、例えばアルミニウムなどをフッ素系樹脂で挟んだ多層フィルムが用いられる。また透明充填材としては、例えばEVA(エチレン−酢酸ビニル共重合体)やポリビニルブチラールなどが挙げられる。また太陽電池セルの構造としては、例えば一対の電極層間に半導体層を挟んだ構造とすることができる。太陽電池セルの種類は特に限定されず、汎用されている太陽電池セルを任意に用いることができる。   As the weather resistant film, for example, a multilayer film in which aluminum or the like is sandwiched between fluororesins is used. Examples of the transparent filler include EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer) and polyvinyl butyral. Moreover, as a structure of a photovoltaic cell, it can be set as the structure which pinched | interposed the semiconductor layer between a pair of electrode layers, for example. The kind of solar cell is not particularly limited, and a widely used solar cell can be arbitrarily used.

また、基板一体型太陽電池モジュールも他の代表例として挙げられる。基板一体型太陽電池モジュールの構造としては、例えば本発明の太陽電池用積層カバー基板上に透明電極層、薄膜半導体層、および裏面電極層を順次積層し、パターニングした構造とすることができる。透明電極層としては、例えばITO、IZO(酸化インジウム亜鉛)などの酸化物、金属薄膜が用いられる。また薄膜半導体層としては、例えばアモルファスシリコン、薄膜結晶シリコン、それらの複合体などが用いられる。またさらに、裏面電極層としては、例えばアルミニウム、銀などの導電薄膜が用いられる。   Another representative example is a substrate integrated solar cell module. As a structure of the substrate integrated solar cell module, for example, a transparent electrode layer, a thin film semiconductor layer, and a back electrode layer are sequentially laminated on the laminated cover substrate for solar cells of the present invention and patterned. As the transparent electrode layer, for example, an oxide such as ITO or IZO (indium zinc oxide) or a metal thin film is used. As the thin film semiconductor layer, for example, amorphous silicon, thin film crystalline silicon, a composite thereof, or the like is used. Furthermore, as the back electrode layer, for example, a conductive thin film such as aluminum or silver is used.

本発明の太陽電池モジュールでは、そのモジュール構造によらず太陽電池用積層カバー基板は受光面側の保護部材として、上述した表面粗さを有する面が、受光面側(モジュール外側)に向けた状態で用いられる。なお、上記太陽電池モジュールにおいて、上記太陽電池用積層カバー基板が最表層となるような構成としてもよいが、例えば太陽電池用積層カバー基板のさらに外側に防汚層等の機能層を設けてもよい。   In the solar cell module of the present invention, regardless of the module structure, the laminated cover substrate for solar cells is a protective member on the light receiving surface side, and the surface having the above-described surface roughness faces the light receiving surface side (module outside) Used in The solar cell module may be configured such that the solar cell laminated cover substrate is the outermost layer. For example, a functional layer such as an antifouling layer may be provided on the outer side of the solar cell laminated cover substrate. Good.

上記機能層としては、例えば、熱線遮断層、紫外線劣化防止層、親水性層、防汚性層、防曇層、防湿層、粘着層、ハード層、導電性層、反射層、アンチグレア層、拡散層などが挙げられ、これらは1層単独で、または2層以上を任意の組み合わせで積層して用いることができる。本発明の太陽電池モジュールは特に、太陽光照射での発熱による太陽電池の発電効率低下を軽減するためには、熱線遮断層を有することが好ましい。   Examples of the functional layer include a heat ray blocking layer, an ultraviolet deterioration preventing layer, a hydrophilic layer, an antifouling layer, an antifogging layer, a moisture proof layer, an adhesive layer, a hard layer, a conductive layer, a reflective layer, an antiglare layer, and a diffusion layer. A layer etc. are mentioned, These can be used by laminating | stacking 1 layer independent or 2 layers or more in arbitrary combinations. In particular, the solar cell module of the present invention preferably has a heat ray blocking layer in order to reduce a decrease in power generation efficiency of the solar cell due to heat generated by sunlight irradiation.

以下、本発明を実施例によって更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を逸脱しない限り、以下の実施例の記載に限定されるものではない。
なお、以下において、中心線平均表面粗さRa、及び表面粗さの最大高さRmaxは表面粗さ形状測定機((株)東京精密社製サーフコム570A)により、1走査距離30mmの条件で3回測定した平均値を算出した。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the description of the following examples unless departing from the gist thereof.
In the following, the centerline average surface roughness Ra and the maximum height Rmax of the surface roughness are 3 with a surface roughness profile measuring machine (Surfcom 570A manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.) under the condition of one scanning distance of 30 mm. The average value measured once was calculated.

また、屈折率はJ.A.ウーラム社製分光エリプソメータにより測定した波長550nmでの値とする。
膜厚は、積層カバー基板の破断面を電子顕微鏡観察することで見積もった。
D65光の全光線透過率Ttはヘーズメータ(スガ試験機(株)製HZ−2)により測定した。なお、積層体を形成する前の透光基材の全光線透過率をTt_sub、太陽電池
用積層カバー基板の全光線透過率をTt_arとした。
The refractive index is J. A. The value at a wavelength of 550 nm measured with a spectroscopic ellipsometer manufactured by Woollam Co., Ltd. is used.
The film thickness was estimated by observing the fracture surface of the laminated cover substrate with an electron microscope.
The total light transmittance Tt of D65 light was measured with a haze meter (HZ-2 manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd.). In addition, the total light transmittance of the translucent base material before forming a laminated body was set to Tt_sub, and the total light transmittance of the laminated cover board | substrate for solar cells was set to Tt_ar.

反射率Rは、5°正反射付属装置(P/N132−0462)を装着した分光光度計((株)日立製作所製U−4000)により測定した。測定値の波長400〜800nm範囲における最大値をR−maxとする。
粘度は、レオメトリックス社製ARES−FRT100を用いて、せん断速度100sec-1での粘度測定により求めた。
The reflectance R was measured with a spectrophotometer (U-4000 manufactured by Hitachi, Ltd.) equipped with a 5 ° specular reflection accessory (P / N132-0462). The maximum value of the measured value in the wavelength range of 400 to 800 nm is R-max.
The viscosity was determined by measuring the viscosity at a shear rate of 100 sec −1 using ARES-FRT100 manufactured by Rheometrics.

(実施例1)
[シリカ系前駆体の調製]
テトラエトキシシラン1.70g、メチルトリエトキシシラン1.73g、及びエタノール(沸点78.3℃)0.58gを混合し、さらに水1.39g、触媒として0.3重量%の塩酸水溶液3.26gを加えて、60℃のウォーターバス中で30分、さらに室温で30分攪拌することで、混合物(A)を調製した。
Example 1
[Preparation of silica-based precursor]
1.70 g of tetraethoxysilane, 1.73 g of methyltriethoxysilane, and 0.58 g of ethanol (boiling point: 78.3 ° C.) are mixed. Further, 1.39 g of water and 3.26 g of 0.3 wt% hydrochloric acid aqueous solution as a catalyst. And a mixture (A) was prepared by stirring in a water bath at 60 ° C. for 30 minutes and further at room temperature for 30 minutes.

次に、鋳型剤としてALDRICH社製ポリエチレンオキサイド−ポリプロピレンオキサイド−ポリエチレンオキサイドトリブロックポリマー(重量平均分子量5,800、エチレンオキサイド部位の割合は30重量%)0.61gをエタノール0.8gと混合して混合物(B)とした。混合物(B)に前記の混合物(A)を混合し、室温で60分撹拌し混合物(C)を調製した。   Next, 0.61 g of polyethylene oxide-polypropylene oxide-polyethylene oxide triblock polymer (weight average molecular weight 5,800, ratio of ethylene oxide moiety 30 wt%) manufactured by ALDRICH as a templating agent was mixed with ethanol 0.8 g. It was set as the mixture (B). The said mixture (A) was mixed with the mixture (B), and it stirred at room temperature for 60 minutes, and prepared the mixture (C).

この混合物(C)10mlと、希釈溶媒として1−ブタノール(沸点117.3℃)10mlとを混合し、室温で30分撹拌した後、0.20μmのフィルター(ワットマンジャパン(株)社製)でろ過することで組成物(D)(シリカ系前駆体)を得た。
この組成物(D)において、全アルコキシシラン類(テトラエトキシシランとメチルトリエトキシシラン)由来のケイ素原子に対する、テトラエトキシシラン由来のケイ素原子、水、及び鋳型剤の割合は、それぞれ、0.46、14.4及び0.0059(mol/mol)である。
得られたシリカ系前駆体のpHは1、粘度は0.005Pas・secであった。
10 ml of this mixture (C) and 10 ml of 1-butanol (boiling point 117.3 ° C.) as a dilution solvent were mixed and stirred at room temperature for 30 minutes, and then with a 0.20 μm filter (manufactured by Whatman Japan Co., Ltd.). The composition (D) (silica-based precursor) was obtained by filtering.
In this composition (D), the ratio of silicon atoms derived from tetraethoxysilane, water, and templating agent to silicon atoms derived from all alkoxysilanes (tetraethoxysilane and methyltriethoxysilane) was 0.46. 14.4 and 0.0059 (mol / mol).
The obtained silica precursor had a pH of 1 and a viscosity of 0.005 Pas · sec.

[太陽電池用積層カバー基板の製造]
平滑なガラス(中心線平均表面粗さRa=0.01μm、表面粗さの最大高さRmax=0.13μm)上に、前記シリカ系前駆体を500rpm、2分間の条件でスピンコーター(ミカサ(株)社製)でスピンコートし、450℃のホットプレートで2分焼成し、室温で5分冷却することで、積層膜の屈折率測定用基板を得た。得られた積層膜の屈折率は1.25であった。
[Manufacture of laminated cover substrates for solar cells]
On a smooth glass (centerline average surface roughness Ra = 0.01 μm, maximum height of surface roughness Rmax = 0.13 μm), the silica-based precursor was spin-coated at 500 rpm for 2 minutes (Mikasa ( The substrate for spin-refractive index measurement of the laminated film was obtained by spin-coating with a hot plate at 450 ° C. for 2 minutes and cooling at room temperature for 5 minutes. The refractive index of the obtained laminated film was 1.25.

次に、ブラスト処理したガラス(平均表面粗さRa=0.47μm、最大高さRmax=4.76μm、サイズ76mm×52mm)上に、前記シリカ系前駆体1mlを均一に滴下した。その後、500rpm、2分間の条件でスピンコーター(ミカサ(株)社製)でスピンコートし、450℃のホットプレート(アズワン(株)社製)上で2分間焼成し、室温で5分冷却することで、屈折率1.25の積層体を含む太陽電池用積層カバー基板を得た。得られた太陽電池用積層カバー基板の中心線平均表面粗さRaは0.49μm、表面粗さの最大高さRmaxは5.77μmであった。また、積層膜の最大膜厚は1.2μmであった。得られた太陽電池用積層カバー基板の全光線透過率Ttおよび反射率の結果は表1に記載する。   Next, 1 ml of the silica-based precursor was uniformly dropped on the blasted glass (average surface roughness Ra = 0.47 μm, maximum height Rmax = 4.76 μm, size 76 mm × 52 mm). Then, spin coat with a spin coater (manufactured by Mikasa Co., Ltd.) under conditions of 500 rpm for 2 minutes, bake on a 450 ° C. hot plate (manufactured by ASONE Co., Ltd.) for 2 minutes, and cool at room temperature for 5 minutes. Thus, a laminated cover substrate for a solar cell including a laminated body having a refractive index of 1.25 was obtained. The center line average surface roughness Ra of the obtained laminated cover substrate for solar cells was 0.49 μm, and the maximum height Rmax of the surface roughness was 5.77 μm. The maximum film thickness of the laminated film was 1.2 μm. The results of the total light transmittance Tt and the reflectance of the obtained laminated cover substrate for solar cells are shown in Table 1.

(実施例2)
実施例1と同様にシリカ系前駆体を調製した。その後、ブラスト処理したガラス(中心線平均表面粗さRa=1.11μm、表面粗さの最大高さRmax=11.73μm)上に前記シリカ系前駆体0.5mlを均一に滴下し、500rpm、2分間の条件で実施例1と同様にスピンコートし、450℃のホットプレートで2分焼成し、室温で5分冷却することで、太陽電池用積層カバー基板を得た。
(Example 2)
A silica-based precursor was prepared in the same manner as in Example 1. Thereafter, 0.5 ml of the silica-based precursor was uniformly dropped on the blasted glass (center line average surface roughness Ra = 1.11 μm, maximum height of surface roughness Rmax = 11.73 μm), 500 rpm, Spin coating was performed in the same manner as in Example 1 under conditions of 2 minutes, baking was performed on a hot plate at 450 ° C. for 2 minutes, and cooling was performed at room temperature for 5 minutes to obtain a laminated cover substrate for a solar cell.

実施例1と同様に積層膜の屈折率を測定したところ、得られた積層膜の屈折率は1.25であった。また太陽電池用積層カバー基板の中心線平均表面粗さRaは1.09μm、表面粗さの最大高さRmaxは10.60μmであった。また、積層膜の最大膜厚は400nmであった。得られた太陽電池用積層カバー基板の全光線透過率Ttおよび反射率の結果は表1に記載する。   When the refractive index of the laminated film was measured in the same manner as in Example 1, the refractive index of the obtained laminated film was 1.25. Moreover, the center line average surface roughness Ra of the laminated cover substrate for solar cells was 1.09 μm, and the maximum height Rmax of the surface roughness was 10.60 μm. The maximum film thickness of the laminated film was 400 nm. The results of the total light transmittance Tt and the reflectance of the obtained laminated cover substrate for solar cells are shown in Table 1.

(実施例3)
実施例1と同様にシリカ系前駆体を調製した。その後、ガラス(中心線平均表面粗さRa=2.55μm、表面粗さの最大高さRmax=22.89μm)上に前記シリカ系前駆体1mlを均一に滴下し、500rpm、2分間の条件で実施例1と同様にスピンコートし、450℃のホットプレートで2分焼成し、室温で5分冷却することで、太陽電池用積層カバー基板を得た。
(Example 3)
A silica-based precursor was prepared in the same manner as in Example 1. Thereafter, 1 ml of the silica-based precursor is uniformly dropped on glass (center line average surface roughness Ra = 2.55 μm, maximum height of surface roughness Rmax = 22.89 μm), under conditions of 500 rpm for 2 minutes. Spin coating was performed in the same manner as in Example 1, baking was performed on a hot plate at 450 ° C. for 2 minutes, and cooling was performed at room temperature for 5 minutes to obtain a laminated cover substrate for a solar cell.

実施例1と同様に積層膜の屈折率を測定したところ、得られた積層膜の屈折率は1.25であった。また太陽電池用積層カバー基板の中心線平均表面粗さRaは2.51μm、表面粗さの最大高さRmaxは24.45μmであった。また、積層膜の最大膜厚は600nmであった。得られた太陽電池用積層カバー基板の全光線透過率Ttおよび反射率の結果を表1に記載する。
(比較例1)
実施例1と同様の操作により、実施例1の組成物(D)を得た。この組成物(D)4mlと、希釈溶媒として1−ブタノール6mlとを混合することで、シリカ系前駆体を調製した。
When the refractive index of the laminated film was measured in the same manner as in Example 1, the refractive index of the obtained laminated film was 1.25. Moreover, the center line average surface roughness Ra of the laminated cover substrate for solar cells was 2.51 μm, and the maximum height Rmax of the surface roughness was 24.45 μm. The maximum film thickness of the laminated film was 600 nm. Table 1 shows the results of the total light transmittance Tt and the reflectance of the obtained laminated cover substrate for solar cells.
(Comparative Example 1)
In the same manner as in Example 1, the composition (D) of Example 1 was obtained. A silica-based precursor was prepared by mixing 4 ml of this composition (D) and 6 ml of 1-butanol as a diluent solvent.

得られたシリカ系前駆体のpHは1、粘度は0.003Pas・secであった。その後、処理なしガラス(中心線平均表面粗さRa=0.01μm、表面粗さの最大高さRmax=0.13μm)上に前記シリカ系前駆体1mlを均一に滴下し、500rpm、2分間の条件で実施例1と同様にスピンコートし、450℃のホットプレートで2分焼成し、室温で5分冷却することで、太陽電池用積層カバー基板を得た。   The resulting silica-based precursor had a pH of 1 and a viscosity of 0.003 Pas · sec. Thereafter, 1 ml of the silica-based precursor was uniformly dropped onto glass without treatment (center line average surface roughness Ra = 0.01 μm, maximum height of surface roughness Rmax = 0.13 μm), and 500 rpm for 2 minutes. The film was spin-coated in the same manner as in Example 1, baked on a hot plate at 450 ° C. for 2 minutes, and cooled at room temperature for 5 minutes to obtain a laminated cover substrate for a solar cell.

得られた積層膜の屈折率は1.25であり、その積層カバー基板の中心線平均表面粗さRaは0μm、表面粗さの最大高さRmaxは0.16μmであった。また、積層膜の最大膜厚は160nmであった。得られた太陽電池用積層カバー基板の全光線透過率Ttおよび反射率の結果を表1に記載する。   The obtained laminated film had a refractive index of 1.25, the center line average surface roughness Ra of the laminated cover substrate was 0 μm, and the maximum height Rmax of the surface roughness was 0.16 μm. The maximum film thickness of the laminated film was 160 nm. Table 1 shows the results of the total light transmittance Tt and the reflectance of the obtained laminated cover substrate for solar cells.

Figure 0005556878
Figure 0005556878

表1の通り、実施例1〜3では可視光波長域(400〜800nm)での正反射R−maxが十分に小さいことから優れた防眩性を有し、かつ全光線透過率Ttも著しく大きく向上しており、防眩性と反射防止性を両立する優れた性能をもつことがわかる。   As shown in Table 1, in Examples 1 to 3, the specular reflection R-max in the visible light wavelength region (400 to 800 nm) is sufficiently small, so that it has excellent antiglare properties and the total light transmittance Tt is also remarkably high. It is greatly improved, and it can be seen that it has excellent performance that achieves both antiglare and antireflection properties.

本発明は産業上の任意の太陽電池に用いることが可能であるが、特に本発明によれば、防眩性および反射防止機能を有するものであることから、例えば屋根や壁面等に用いられる太陽電池に好適である。   The present invention can be used for any industrial solar cell. In particular, according to the present invention, since it has an antiglare property and an antireflection function, it can be used for, for example, a roof or a wall surface. Suitable for batteries.

1 透光基材
2 積層膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Translucent base material 2 Laminated film

Claims (10)

透光基材の片面及び/または両面に、屈折率が1.05〜1.3である積層膜が積層された太陽電池用積層カバー基板であって、
受光面側の中心線平均表面粗さRaが0.3μm〜10μmであり、かつ表面粗さの最大高さRmaxが0.1μm〜50μmであり、
前記透光基材の受光面側の表面粗さの最大高さRmaxが11.73〜50μmであり、
該積層膜を、少なくとも上記の透光基材の受光面側に有す
とを特徴とする太陽電池用積層カバー基板。
A laminated cover substrate for a solar cell in which a laminated film having a refractive index of 1.05 to 1.3 is laminated on one side and / or both sides of a translucent substrate,
The center line average surface roughness Ra on the light receiving surface side is 0.3 μm to 10 μm, and the maximum height Rmax of the surface roughness is 0.1 μm to 50 μm,
The maximum height Rmax of the surface roughness on the light receiving surface side of the translucent substrate is 11.73 to 50 μm,
The laminated film, that Yusuke on the light-receiving surface side of at least the above ToruHikarimoto material
Laminated cover substrate for a solar cell, wherein a call.
前記積層膜の最大膜厚が50nm〜10μmである
ことを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用積層カバー基板。
The laminated cover substrate for a solar cell according to claim 1, wherein the laminated film has a maximum film thickness of 50 nm to 10 μm.
前記透光基材が強化ガラスである
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の太陽電池用積層カバー基板。
The laminated cover substrate for a solar cell according to claim 1 or 2, wherein the translucent substrate is tempered glass.
面積が0.1m以上である
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池用積層カバー基板。
4. The laminated cover substrate for a solar cell according to claim 1, wherein the area is 0.1 m 2 or more.
D65光の全光線透過率が80%以上である
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の太陽電池用積層カバー基板。
The laminated cover substrate for a solar cell according to any one of claims 1 to 4, wherein the total light transmittance of D65 light is 80% or more.
熱線遮断層を有する
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の太陽電池用積層カバー基板。
It has a heat ray blocking layer, The laminated cover board for solar cells of any one of Claims 1-5 characterized by the above-mentioned.
請求項1〜6のいずれか1項に記載の太陽電池用積層カバー基板を有する
ことを特徴とする太陽電池モジュール。
It has a laminated cover board | substrate for solar cells of any one of Claims 1-6, The solar cell module characterized by the above-mentioned.
請求項1〜6のいずれか1項に記載の太陽電池用積層カバー基板の製造方法であって、鋳型剤を含む粘度0.05Pas・sec以下のシリカ系前駆体を用いて前記積層膜を形成する形成過程を有する
ことを特徴とする太陽電池用積層カバー基板の製造方法。
It is a manufacturing method of the lamination | stacking cover board | substrate for solar cells of any one of Claims 1-6, Comprising: The said laminated film is formed using the silica type precursor of the viscosity of 0.05 Pas * sec or less containing a templating agent. The manufacturing method of the laminated cover board | substrate for solar cells characterized by having the formation process to do.
前記シリカ系前駆体のpHが2以下である
ことを特徴とする請求項8に記載の太陽電池用積層カバー基板の製造方法。
The method for producing a laminated cover substrate for a solar cell according to claim 8, wherein the silica-based precursor has a pH of 2 or less.
前記積層膜の形成過程で、100℃〜800℃の加熱工程を経る
ことを特徴とする請求項8または請求項9に記載の太陽電池用積層カバー基板の製造方法。
10. The method for manufacturing a laminated cover substrate for a solar cell according to claim 8, wherein a heating step of 100 ° C. to 800 ° C. is performed in the process of forming the laminated film.
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JP (2) JP2009088503A (en)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101154727B1 (en) * 2009-06-30 2012-06-08 엘지이노텍 주식회사 Solar cell and method of fabricating the same
MX2012000771A (en) * 2009-07-14 2012-02-28 Agc Flat Glass Na Inc Photovoltaic device with patterned glass concentrator.
US9188705B2 (en) 2009-12-11 2015-11-17 Nippon Sheet Glass Company, Limited Cover glass for photoelectric conversion devices and method for producing the same
WO2011127318A2 (en) * 2010-04-07 2011-10-13 Applied Materials, Inc. Use of al barrier layer to produce high haze zno films on glass substrates
JP5771362B2 (en) * 2010-04-27 2015-08-26 株式会社巴川製紙所 Optical laminate, polarizing plate and display device
DE102010017246A1 (en) * 2010-06-04 2011-12-08 Solibro Gmbh Solar cell module and manufacturing method therefor
JP5609290B2 (en) * 2010-06-15 2014-10-22 コニカミノルタ株式会社 Mirror for reflecting sunlight, film mirror and manufacturing method thereof
KR101116977B1 (en) 2010-07-12 2012-03-14 고려대학교 산학협력단 Solar cell and method for fabricating the same
KR101210073B1 (en) * 2011-01-19 2012-12-07 엘지이노텍 주식회사 Solar cell and manufacturing method of the same
JP5490031B2 (en) * 2011-02-04 2014-05-14 三菱電機株式会社 Photovoltaic device and photovoltaic module
JP2014199828A (en) * 2011-07-29 2014-10-23 三洋電機株式会社 Photovoltaic device
JP5956198B2 (en) * 2012-03-05 2016-07-27 旭化成株式会社 Lens for concentrating solar cell and method for manufacturing lens for concentrating solar cell
JP2013206901A (en) * 2012-03-27 2013-10-07 Toyota Central R&D Labs Inc Solar battery
JP6200712B2 (en) * 2012-07-19 2017-09-20 株式会社カネカ Solar cell module and manufacturing method thereof
JP6039962B2 (en) * 2012-08-01 2016-12-07 日本板硝子株式会社 Cover glass for photoelectric conversion device
US20160141432A1 (en) * 2013-06-17 2016-05-19 Kaneka Corporation Solar cell module and method for producing solar cell module
CN105393367B (en) * 2013-06-17 2017-06-09 株式会社钟化 The manufacture method of solar cell module and solar cell module
US20160190357A1 (en) * 2013-07-05 2016-06-30 Kaneka Corporation Anti-glare film for solar cell module, solar cell module provided with anti-glare film, and method for manufacturing same
KR20150037013A (en) * 2013-09-30 2015-04-08 코닝정밀소재 주식회사 Manufacturing method of cover substrate
CN106536440B (en) * 2014-07-16 2020-09-01 Agc株式会社 Cover glass
JP6722107B2 (en) * 2014-09-17 2020-07-15 株式会社カネカ Solar cell module and method of manufacturing solar cell module
JP6619139B2 (en) * 2014-12-26 2019-12-11 株式会社マテリアル・コンセプト Protective glass for solar cell and method for producing the same
JP7044101B2 (en) * 2017-02-24 2022-03-30 Agc株式会社 Chemically tempered glass plate and its manufacturing method
MA47245B1 (en) * 2017-05-23 2021-05-31 Agc Glass Europe COVER GLASS FOR SOLAR CELLS AND SOLAR CELL MODULE
TWI821234B (en) 2018-01-09 2023-11-11 美商康寧公司 Coated articles with light-altering features and methods for the production thereof
JP7161900B2 (en) * 2018-09-26 2022-10-27 株式会社カネカ Method for manufacturing solar cell module
US20220011477A1 (en) 2020-07-09 2022-01-13 Corning Incorporated Textured region to reduce specular reflectance including a low refractive index substrate with higher elevated surfaces and lower elevated surfaces and a high refractive index material disposed on the lower elevated surfaces

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6378746A (en) * 1986-09-22 1988-04-08 東レ株式会社 Surface hardened film
JPH02102502U (en) * 1989-02-01 1990-08-15
JP3093427B2 (en) * 1992-03-30 2000-10-03 日本写真印刷株式会社 Low reflection sheet
JP3338538B2 (en) * 1993-12-27 2002-10-28 日新製鋼株式会社 Ferritic stainless steel sheet excellent in corrosion resistance, anti-glare property and workability and method for producing the same
JP4010053B2 (en) * 1998-04-15 2007-11-21 旭硝子株式会社 Cover glass for solar cell, method for producing the same, and solar cell
JP3824299B2 (en) * 2001-01-30 2006-09-20 東芝セラミックス株式会社 Frost treatment liquid and frost treatment method on quartz glass surface
JP2003124491A (en) * 2001-10-15 2003-04-25 Sharp Corp Thin film solar cell module
JP4279063B2 (en) * 2003-06-27 2009-06-17 三菱化学株式会社 Porous silica film and laminate having the same
JP2006111851A (en) * 2004-03-31 2006-04-27 Nippon Sheet Glass Co Ltd Solution for forming silica-based film
JP2006301126A (en) * 2005-04-18 2006-11-02 Hitachi Chem Co Ltd Low refractive index film
JP2007018909A (en) * 2005-07-08 2007-01-25 Kyocera Corp Manufacturing method for photoelectric conversion device

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Publication number Publication date
JP2009088503A (en) 2009-04-23
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