JP5548426B2 - Inkjet coating apparatus and method - Google Patents
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Description
本発明は、インクジェット塗布によるフレキシブルな材料の製造に用いるロール・ツー・ロール方式のインクジェット塗布装置に係り、特に、非シリコン系の半導体材料(例えば、CIGS薄膜)が設けられた太陽電池フィルムに電極や絶縁膜などの形成に用いられるインクジェット塗布装置及び方法に関する。 The present invention relates to a roll-to-roll ink jet coating apparatus used for manufacturing a flexible material by ink jet coating, and more particularly, to an electrode on a solar cell film provided with a non-silicon based semiconductor material (for example, a CIGS thin film). The present invention relates to an ink jet coating apparatus and method used for forming a film and an insulating film.
従来、プリント装置の一例として、プリント媒体を、皺伸ばしと幅方向の位置合わせとを行ないながら、導入する導入部と、この導入部に隣接して配置され、プリント媒体に対向して配置されてプリント媒体をベルトで搬送する搬送部と、プリント媒体に対向して配置されて、色の種類数分の複数列のラインヘッドを有するプリント部と、このプリント部でのプリント媒体の搬送方向の下流側に配置されて、プリント後のプリント媒体を乾燥する乾燥部とを備えたプリント装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, as an example of a printing apparatus, a print medium is placed adjacent to the introduction section while facing the print medium while performing crease stretching and alignment in the width direction. A transport unit that transports the print medium by a belt, a print unit that is arranged opposite to the print medium and has a plurality of line heads corresponding to the number of colors, and downstream in the transport direction of the print medium in the print unit There is known a printing apparatus including a drying unit that is disposed on the side and dries a printed medium after printing (see, for example, Patent Document 1).
かかるプリント装置では、シート状のプリント媒体(例えば、ロール状あるいは箱に収
納された布帛)を複数のローラによって皺伸ばしし、搬送方向中央へのセンタリングや布
目矯正,両端(布帛の両耳)のカール是正が行なわれる。
In such a printing apparatus, a sheet- like print medium (for example, a roll or a cloth housed in a box) is stretched by a plurality of rollers, centered in the transport direction, texture correction, and both ends (both ears of the cloth). Curl correction is performed.
この場合、複数のローラによって布帛に張力が掛り、布帛の両耳のカールも是正するも
のであるが、張力の方向は、構造の上から、布帛の長手方向が大きく、布帛の長手方向に
対して直角方向の両側辺部のカールに対する張力は小さめとなっている。
In this case, the fabric is tensioned by a plurality of rollers, and the curl of both ears of the fabric is also corrected. However, the tension direction is large in the longitudinal direction of the fabric from the top of the structure, and the longitudinal direction of the fabric is relative to the longitudinal direction of the fabric. tension has a small Me for curling both side portions of the perpendicular Te.
さらに、このカール是正はこの布帛にプリントする場所よりも前位置となる搬入部で行なわれるものであって、この搬入部を通過してからプリント部に至るまでの区間、及びプリント部の区間においては、布帛の両側辺部でのカールの是正のための張力が一旦開放されたのに近い状態となってしまう。 Further, the curl correction is performed in the carry-in portion that is in a position before the place where the cloth is printed, and in the section from the passage through the carry-in portion to the print portion, and in the print portion section. Will be close to the state where the tension for correcting the curl at both sides of the fabric is once released.
ロール・ツー・ロール方式で巻き出されて搬送されるフィルムの中には、その表面に半導体材料が蒸着されている部位とそれが蒸着されていない部位とがあり、このため、フィルムの幅方向の両側辺部は丸まった(カールした)状態となっている。このようにロールから巻き出されたフィルムを、塗布材量の塗布のために、吸着テーブルで吸着保持する際、このようにその両側辺部にカールがあると、フィルムは吸着テーブルに平坦に吸着されにくくなり、皺や弛みが生ずるという問題がある。このように、皺や弛みが生ずると、塗布用のインクジェットなどのノズル先端面がフィルムに接触し、ノズル面が損傷する恐れがある。 In the film that is unrolled and conveyed by the roll-to-roll method, there are a portion where the semiconductor material is vapor-deposited on the surface and a portion where it is not vapor-deposited. Both sides are rounded (curled). Thus, when the film unrolled from the roll is sucked and held by the suction table for the application of the amount of the coating material, if the curls are present on both sides, the film is sucked flat on the suction table. There is a problem that wrinkles and slack occur. Thus, if wrinkles or slack occur, the nozzle tip surface of an application ink jet or the like may come into contact with the film and the nozzle surface may be damaged.
本発明の目的は、かかる問題を解消し、フィルムの両側辺部のカールが是正された状態で、このフィルムへの塗布材の塗布を行なうことができ、フィルムへの塗布品質を高めることができるようにしたインクジェット塗布装置及び方法を提供することにある。 The object of the present invention is to eliminate such problems and to apply the coating material to the film in a state in which the curl on both sides of the film is corrected, and to improve the coating quality to the film. It is an object of the present invention to provide an ink jet coating apparatus and method.
上記目的を達成するために、本発明は、ロール状のフィルムを巻き出して搬送する上流側のガイドロールと、巻き出された該フィルムを吸着保持する吸着テーブルと、該吸着テーブルに吸着保持された該フィルム上に液状の塗布材を塗布する塗布ヘッドと、塗布材が塗布された該フィルムを搬送してロール状に巻き取る下流側のガイドロールとからなるインクジェット塗布装置であって、フィルムの該塗布対象エリアでの両側辺部に生ずるカールをそれぞれ矯正する一対のカール矯正バーを備え、カール矯正バーは、フィルムの該吸着テーブルの吸着面に載置された塗布対象エリアでの両側辺部を吸着テーブルの吸着面に押し付けるように降下し、該フィルムに押し付けた状態で吸着テーブルの側辺側に拡げるように移動させ、フィルムの塗布対象エリアでの両側辺部に生ずるカールをカール矯正バーにより矯正し、塗布対象エリア全体を平坦状にして吸着テーブルの該吸着面に一様に吸着保持させることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides an upstream guide roll for unwinding and transporting a roll film, an adsorption table for adsorbing and holding the unwound film, and adsorbing and holding on the adsorption table. An inkjet coating apparatus comprising: a coating head that coats a liquid coating material on the film; and a downstream guide roll that conveys the film coated with the coating material and winds the film into a roll . The curl correction bar includes a pair of curl correction bars that respectively correct curls that occur on both sides in the application target area, and the curl correction bars are on both sides in the application target area placed on the suction surface of the suction table of the film. the drops so that pressing the suction surface of the suction table is moved so as to widen the side edge side of the suction table in a state pressed against the said film, the coating film Car Le occurring on both sides corrected by the curl correction bars in the target area, the entire coating object area in the flat, characterized in that uniformly sucked and held on the adsorption surface of the suction table.
また、吸着テーブルの吸着面は、フィルムの搬送方向に垂直な方向に関して、中心領域と中心領域の両側の周辺領域とに区分され、中心領域の真空吸着孔の動作と、周辺領域の真空吸着孔の動作とを制御する制御部を備え、制御部の制御により、吸着テーブルへのフィルムの塗布対象エリアの載置とともに、中心領域での真空吸着孔を動作させて、塗布対象エリアの中心領域に対向する領域を真空吸着保持し、カール矯正バーによる、吸着テーブルに載置されたフィルムの塗布対象エリアでの両側辺部のカール矯正とともに、周辺領域での真空吸着孔を動作させて、塗布対象エリアの周辺領域に対向する領域を真空吸着保持することを特徴とする。 Moreover, the suction surface of the suction table, with respect to a direction perpendicular to the conveying direction of the film is divided into both sides of the peripheral region of the central region and the central region, the operation of the vacuum suction holes in the central area, the vacuum suction holes in the peripheral area a control unit for controlling the operation of the control by the control unit, together with the placement of the coating object area of the film to the suction table, by operating the vacuum suction holes in the central region, the central region of the coating object area The opposite area is held by vacuum suction, and the curl correction bar is used to correct the curl on both sides of the application target area of the film placed on the suction table, and the vacuum suction holes in the peripheral area are operated to apply the film. A region facing the peripheral region of the area is held by vacuum suction.
さらに、吸着テーブルに真空吸着したフィルムの吸着テーブルの吸着面からの浮き上がりを検出する手段を備えたことを特徴とする。 Further, the present invention is characterized in that there is provided means for detecting lifting of the film vacuum-sucked on the suction table from the suction surface of the suction table.
さらに、カール矯正バーによってフィルムの塗布対象エリアの両側辺部を吸着テーブル
の両即辺部側へ押し広げる力を調節するための、カール矯正バーの昇降動作を駆動する昇
降シリンダの空気圧力を調整する手段を備えたことを特徴とする。
Further, for adjusting the force pushing the curl correction bar Thus the both side portions of the coating object area of the film to both immediate edge portion side of the suction table, the air pressure of the lifting cylinder for driving the vertical movement of the curl straightening bars A means for adjusting is provided.
上記目的を達成するために、本発明は、上流側のガイドロールでロール状に巻き付けられているフィルムを巻き出して搬送し、巻き出されたフィルムの塗布対象エリアが吸着テーブルの吸着面に搭載されて、塗布ヘッドにより、フィルムの塗布対象エリアに液状の塗布材が塗布され、塗布材が塗布されたフィルムが下流側のガイドロールで搬送されてロール状に巻き取られるインクジェット塗布方法であって、フィルムの該塗布対象エリアでの両側辺部に生ずるカールをそれぞれ矯正するための一対のカール矯正バーにより、吸着テーブルの吸着面に搭載されたフィルムの塗布対象エリアの両側辺を吸着面に押し付けるように降下し、フィルムに押し付けた状態で吸着テーブルの側辺側に拡げて、吸着面に吸着保持させることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention unwinds and conveys a film wound in a roll shape with an upstream guide roll, and the application target area of the unwound film is mounted on the suction surface of the suction table. In the inkjet coating method, a liquid coating material is applied to a film application target area by a coating head, and the film coated with the coating material is conveyed by a downstream guide roll and wound into a roll shape. , the curl generated in the both side portions in the coating target areas of the film by a pair of curl correction bars for correcting respectively, the both sides of the coating object area of installed film suction surface of the suction table to suction Chakumen It drops so that pressing, is spread on the side sides of the suction table in a state pressed against the film, and wherein the adsorbing held on the attracting surface.
本発明によれば、塗布対象のフィルムを吸着テーブルに固定して位置決めする際、このフィルムの両側辺部をカール矯正バーでこの吸着テーブルに押し付けて吸着させるものであるから、このフィルムの両側辺部に生ずるカールが矯正されて吸着テーブルに平坦に吸着固定されることになり、かかる状態でこのフィルムへの塗布材の塗布が行なわれるものであるから、フィルムの塗布品質が向上する。 According to the present invention, when the film to be coated is fixed and positioned on the suction table, both side portions of the film are pressed against the suction table with the curl correction bar and sucked. The curl generated in the portion is corrected and flatly fixed to the suction table, and the coating material is applied to the film in such a state, so that the coating quality of the film is improved.
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
なお、以下に説明する実施形態は、一例として、非シリコン系の半導体材料(例えば、
CIGS薄膜)が施された太陽電池フィルム上に、インクジェット方式の塗布ヘッドで電
極材や絶縁材を塗布することにより、電極や絶縁膜などの膜形成を行なうようにするもの
である。なお、CIGS薄膜は、Cu(銅),In(インジウム),Ga(ガリウム),
Se(セレン)から成る半導体材料の薄膜であって、「CIGS」はこれら素材の頭文字
を配列したものであり、このCIGS薄膜の膜厚は、数10μm〜100μm程度と薄く
することができる。
In the embodiment described below, as an example, a non-silicon-based semiconductor material (for example,
A film such as an electrode or an insulating film is formed on a solar cell film on which a CIGS thin film is applied by applying an electrode material or an insulating material with an ink jet type coating head. The CIGS thin film includes Cu (copper), In (indium), Ga (gallium),
It is a thin film of a semiconductor material made of Se ( selenium ), and “CIGS” is an arrangement of initials of these materials. The thickness of this CIGS thin film can be as thin as several tens of μm to 100 μm.
図1は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第1の実施形態の概略構成を示
す斜視図である。1は太陽電池フィルム(以下、単にフィルムという)、2は巻出側フィ
ルムロール、3は巻取側フィルムロール、4,5はガイドロール、6,7は昇降ガイドロ
ール、8,9は吸着バー、10は吸着テーブル、11は巻出側軸モータ、12は巻取側軸
モータ、13,14はカール矯正バー、15は塗布ヘッド、16は巻出部、17は塗布部、
18は巻取部である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a first embodiment of an ink jet coating apparatus and method according to the present invention . 1 is a solar cell film (hereinafter simply referred to as film), 2 is an unwinding film roll, 3 is a winding side film roll, 4 and 5 are guide rolls, 6 and 7 are lifting guide rolls, and 8 and 9 are suction bars. 10 is a suction table, 11 is a winding side shaft motor, 12 is a winding side shaft motor, 13 and 14 are curl correction bars, 15 is a coating head, 16 is a winding portion, 17 is a coating portion,
Reference numeral 18 denotes a winding unit.
同図において、X軸方向に空間が巻出部16と塗布部17と巻取部19とに区分されて
おり、巻出部16には、巻出側軸モータ11によって回転駆動される巻出側フィルムロー
ル2や上流側のガイドロール4,昇降ガイドロール6,吸着バー8をX軸方向に順次配列
させて設け、巻取部18には、下流側の吸着バー9や昇降ガイドロール7,ガイドロール
5,巻取側フィルムロール3をX軸方向に順次配列させて設けられている。また、塗布部
17には、吸着テーブル10や塗布ヘッド15,カール矯正バー13,14を設けている。
In the figure, the space in the X-axis direction is divided into an unwinding portion 16, an application portion 17, and a
In the winding unit 18, the
巻出部16において、巻出側フィルムロール2には、塗布部17で電極材や絶縁材の塗
布対象となるフィルム1をロール状に巻き付けている。また、このフィルム1は、この巻
出側フィルムロール2から巻き出されて塗布部17を通り、巻取部18で巻取側フィルム
ロール3に巻き取られている。かかる状態で、フィルム1の長さ方向がX軸方向、その幅
方向がY軸方向、X軸とY軸からなる面に垂直な方向がZ軸方向である。
In unwinding unit 16, the unwinding
塗布部17では、フィルム1が吸着テーブル10によって真空吸着されて位置固定され
、また、図示しないガントリ(門型フレーム)構造で支持されているインクジェット式の
塗布ヘッドが複数配置されていて、これらにより、液状の電極材や絶縁材など(以下、こ
れらをまとめて「塗布材」という)がフィルム1のCIGS薄膜上に塗布されて電極や絶
縁膜が形成される。このCIGS薄膜には、溝状の窪み部を設けており、この窪み部に塗
布材が塗布されて電極や絶縁膜が形成される。
In the coating unit 17, the
また、塗布ヘッド15は夫々、XY軸平面内での移動動作とZ軸方向(高さ方向)の移動動作が可能であり、夫々の塗布ヘッド15の下面には、フィルム1に向いたノズル孔が250個程度設けられており、ピエゾ駆動によって塗布材の液滴を押し出してフィルム1上に射出する。このように、塗布ヘッド15のノズルがXY軸平面内で移動して個別に塗布材を射出することにより、フィルム1の塗布面にあらゆるパターンで塗布材を精細に塗布することが可能となる。
Further, the
このようにして、塗布部17でフィルム1の所定の塗布対象エリアでの塗布材の塗布が
終了すると、巻出側フィルムロール2からフィルム1が巻き出され、また、巻取側フィル
ムロール3にこのフィルム1が巻き取られることにより、このフィルム1の次の塗布対象
エリアが塗布部17で塗布材の塗布ができる位置に配置できるように、フィルム1が巻出
側フィルムロール2側から巻取側フィルムロール3側に搬送されるが、このときには、巻
出部16において、巻出側軸モータ11によって回転駆動される巻出側フィルムロール2
から巻き出されたフィルム1は、ガイドローラ4と昇降ガイドローラ6とによって支持さ
れるが、このとき、昇降ガイドローラ6が吸着テーブル10の吸着面よりも高い位置に上
昇しており、また、巻取部18では、フィルム1が昇降ガイドローラ7とガイトローラ5
とで支持されて巻取側フィルムロール3で巻き取っている。昇降ガイドローラ7は吸着テ
ーブル10の吸着面よりも高い位置に上昇している。これにより、フィルム1は、吸着バ
ー8,9や吸着テーブル10に接触することなく、X軸方向に移動する。
Thus, when application | coating of the coating material in the predetermined application | coating area of the
The
And is wound up by the winding-side film roll 3 . The elevating guide roller 7 is raised to a position higher than the suction surface of the suction table 10 . Thereby, the
このようにして、フィルム1が巻出部16側から巻取部18側に移送されるときには、
昇降ガイドローラ6,7によってフィルム1が持ち上げられることになり、フィルム1が
吸着テーブル7に接触することなく搬送されるので、フィルム1の裏面に擦り傷が付くの
を防止できる。
Thus, when the
By the elevating
このようにして、フィルム1が昇降ガイドローラ6,7によって吸着バー8,9や吸着
テーブル10に接触しない状態で搬送され、フィルム1での次の塗布対象エリアが塗布部
17に達すると、フィルム1の搬送が終了する。この塗布対象エリアの塗布部17でのX
軸方向の位置決めがなされ(この位置決めは、まず、巻取側フィルムロール3の巻取量を
監視して、粗く位置調整する。次いで、図示しないが、フィルム1の各塗布対象エリア毎
にマークを設け、これを図示しないカメラで撮影し、その撮影領域の所定の位置にこのマ
ークが位置するように、巻出側軸モータ11と巻取側軸モータ12を制御してフィルム1
のX軸方向の位置を精密に調整をする)、この位置調整が終了すると、巻取側軸モータ1
2にブレーキを掛けてフィルム1の巻取部18側を固定した状態とする。そして、これと
ともに、巻出側軸モータ11をフィルム1の巻き出しの回転方向とは逆回転方向にトルク
を掛けた状態にする。
In this way, when the
Positioning in the axial direction is made (this positioning first determines the winding amount of the winding side film roll 3
Monitor and coarsely adjust position. Next, although not shown, a mark is provided for each application target area of the
When the position adjustment is completed, the winding
2 is braked so that the winding part 18 side of the
これにより、フィルム1の搬送が終了しても、このフィルム1は、その長手方向(即ち、それが搬送されるX軸方向)にテンションが掛った状態に保持されることになり、フィルム1に弛みが生じない。
Thereby, even if the conveyance of the
かかる状態で、塗布部17では、昇降ガイドロール6,7が上記のように上昇した状態
で、吸着バー8,9がともに上昇し、フィルム1の裏面に当接してこのフィルム1を吸着
保持する。しかる後、昇降ガイドロール6,7が吸着テーブル10の吸着面よりも下方に
降下し、次いで、吸着バー8,9が、フィルム1を吸着保持したまま降下し、フィルム1
の裏面を吸着テーブル10の吸着面に当接する。これにより、フィルム1は吸着テーブル
10に吸着保持し、塗布ヘッド15により、新たな塗布対象エリアに塗布材の塗布する。
In this state, in the application unit 17, the suction bars 8 and 9 are both lifted while the lifting guide rolls 6 and 7 are lifted as described above, and come into contact with the back surface of the
Is brought into contact with the suction surface of the suction table 10. As a result, the
ところで、フィルム1が吸着テーブル10に当接したときも、フィルム1は、その長手
方向にテンションが掛った状態で、その吸着テーブル10の前後の部分が吸着バー8,9
によって保持している。ここで、巻出部16でのガイドロール4や昇降ガイドロール6の
側面の長手方向や吸着バー8の吸着面は、Y軸方向、即ち、フィルム1の幅方向に平行で
あって、フィルム1の幅全体がこれらガイドロール4や昇降ガイドロール6,吸着バー8
に押し付けられるようにし、巻取部18側でも、同様に、フィルム1の幅全体が吸着バー
9,昇降ガイドロール7,カイドロール5に押し付けられるようにして、フィルム1の幅
全体が水平、即ち、Y軸に平行になるようにしているが、フィルム1にその長手方向のテ
ンションが掛けられて吸着バー8,9によって保持されているため、間隔が長い吸着バー
8,9間では、テンション方向とカール方向との角度の違いが生じて、フィルム1の左右
両側辺部が、図2に示すように、下方に傾斜したカール部19が生ずる。
By the way, even when the
Is holding by . Here, the longitudinal direction of the side surfaces of the guide roll 4 and the lifting
In the same manner, the entire width of the
フィルム1をテンションを掛けた状態で吸着保持した吸着バー8,9を降下されることにより、このフィルムを吸着テーブル10に当接させると、このフィルム1はその両側辺部にカール19が生じたまま吸着テーブル10に当接することになり、吸着テーブル10でかかる状態のフィルム1を吸着させても、良好な吸着状態が得られるとは限らない。
When this
塗布部17で吸着テーブル10のY軸方向両側に設けられているカール矯正バー13,14は、フィルム1の両側辺部に生ずるカール19を矯正するために設けられているものである。
The curl correction bars 13 and 14 provided on both sides of the suction table 10 in the Y-axis direction at the application unit 17 are provided to correct the
図3は図1における塗布部17でのカール矯正バー13,14及びその駆動機構の一具体例を概略的に示す斜視図であって、10aは吸着テーブル10の一方の側辺部、20a,20bは昇降シリンダ、21a,21bはシリンダ軸、22a,22bは幅寄せシリンダ、23a,23bはシリンダ軸であり、図1に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。 FIG. 3 is a perspective view schematically showing one specific example of the curl correction bars 13 and 14 and their driving mechanism in the application unit 17 in FIG. 1, wherein 10a is one side portion of the suction table 10, 20a, 20b is an elevating cylinder, 21a and 21b are cylinder shafts, 22a and 22b are width adjusting cylinders, and 23a and 23b are cylinder shafts. Parts corresponding to those in FIG.
同図において、カール矯正バー14は、その長手方向がX軸方向に平行に、吸着テーブル10の一方の側辺部10a側に配置されている。このカール矯正バー14の一方の端部側に昇降シリンダ20aが、他方の端部側に昇降シリンダ20bが夫々設けられており、これら昇降シリンダ20a,20bの駆動によって上下動するシリンダ軸21a,21bによってカール矯正バー14の両端部が支持されている。これら昇降シリンダ20a,20bには、空気圧が供給され、昇降シリンダ20a,20bでの空気圧が加減されることにより、シリンダ軸21a,21bが同時に伸縮(上下動)し、カール矯正バー14が、X軸に沿う平行を保ちつつ、上下動する。
In the figure, the
また、昇降シリンダ20aにシリンダ軸23aが連結された幅寄せシリンダ22aと、
昇降シリンダ20bにシリンダ軸23bが連結された幅寄せシリンダ22bとを設けて
おり、これら幅寄せシリンダ22a,22bにも、図示しないが、そこでの空気圧を加
減調整するための空気圧調整器を設けている。幅寄せシリンダ22a,22bでの空気
圧を加減することにより、シリンダ軸23a,23bが同時に伸縮し、昇降シリンダ
20a,20bがY軸方向に進退移動する。
Further, a
A
The
図4は図3に示すカール矯正バー14によるフィルム1のカールの矯正動作の一具体例を示すフローチャートである。以下、図3を参照してこの具体例を説明する。
FIG. 4 is a flowchart showing a specific example of the curl correction operation of the
同図において、カール矯正バー14は、使用されないときには、図示するように、吸着テーブル10の一方の側辺部10aにほぼ対向した位置にあり、この位置を退避位置といい、この位置にあるときの状態を退避状態という。
In the figure, when the
フィルム1の次の塗布対象エリアが塗布部17に至ると、吸着テーブル10の吸着面に
設けられた吸着孔が真空吸着可能な状態に設定され、フィルム1のこの塗布対象エリアへ
の塗布材の塗布のための動作が開始し(ステップS100)、上記のように、フィルム1
が、それにテンションが掛けられたまま、吸着テーブル10に真空吸着されると(ステッ
プS110)、カール矯正バー14を動作させてフィルム1の側辺部のカール19を矯正
する場合には、昇降シリンダ20a,20bと幅寄せシリンダ22a,22bとを駆動す
ることにより、カール矯正バー14を、実線矢印Aで示すように、まず、退避状態からZ
軸方向に吸着テーブル10上のフィルム1よりも上方の第1の定位置まで上昇させ、しか
る後、フィルム1の方向に(Y軸に沿って)フィルム1での吸着テーブル10の側辺部1
0a側のカール部19(図2)を越えた第2の定位置まで水平に移動させ、その第2の定
位置に達すると(ステップS120)、さらにフィルム1を吸着テーブル10に押し付け
る第3の定位置まで降下させる(ステップS130)。そして、フィルム1を吸着テーブ
ル10に押し付けた状態でカール矯正バー14を吸着テーブル10の側辺部10aの近く
まで退避位置の方向に戻し、フィルム1での上記のカール部19全体を外側に広げて吸着
テーブル10の吸着面に押し付ける第4の定位置まで移動する(ステップS140)。こ
れにより、フィルム1での吸着テーブル10の側辺部10a側の部分も全体として平坦と
なってこの吸着テーブル10に押し付け、真空吸着する。
When the next application target area of the
However, when the suction table 10 is vacuum-sucked with the tension applied thereto (step S110), when the
Raise to the first fixed position above the
When the second fixed position is moved horizontally to the second fixed position beyond the curled portion 19 (FIG. 2) on the 0a side (step S120), the
このようにして、カールの矯正が終了すると、カール矯正バー14を、破線矢印Bで示
すように、第4の定位置から第5の定位置に上昇させ、この第5の定位置から退避位置側
に水平に移動させ、退避位置の真上の第6の定位置に達すると、そこから退避位置まで降
下させて退避状態にする(ステップS150)。これにより、この塗布対象エリアでのカ
ール矯正動作を終了する(ステップS160)。
When the curl correction is completed in this manner, the
なお、ここでは、説明を省略するが、カール矯正バー13についても同様であり、その駆動機構については、カール矯正バー14の駆動機構に対応する部分に同一符号にダッシュを付加して示している。但し、カール矯正バー13はフィルタ1でのカール矯正バー14がカールを矯正する側辺部とは反対側の側辺部のカールを矯正するものであるから、このカール矯正バー13のY軸に沿う移動方向は、矢印A’,B’で示すように、逆方向となる。
Although not described here, the same applies to the
図5はカール矯正動作の流れを示す図である。 FIG. 5 shows the flow of curl correction operation.
図5(a)は図4のステップS120によるカール矯正バー13,14の状態を示すものであって、この状態では、これらカール矯正バー13,14が退避位置から図3での実線矢印A’,Aに沿って移動して第2の定位置にある。 FIG. 5A shows the state of the curl correction bars 13 and 14 in step S120 of FIG. 4. In this state, the curl correction bars 13 and 14 are moved from the retracted position to the solid arrow A ′ in FIG. , A along the second fixed position.
図5(b)は図4のステップS130によるカール矯正バー13,14の状態を示すものであって、この状態では、これらカール矯正バー13,14が第2の定位置から図3での実線矢印A’,Aに沿って降下して、フィルム1を吸着テーブル10に押し付ける第3の定位置にある。
FIG. 5B shows the state of the curl correction bars 13 and 14 in step S130 of FIG. 4. In this state, the curl correction bars 13 and 14 are solid lines in FIG. 3 from the second fixed position. It descends along arrows A ′ and A and is in a third fixed position where the
図5(c)は図4のステップS140によるカール矯正バー13,14の状態を示すものであって、この状態では、これらカール矯正バー13,14が第3の定位置から図3での実線矢印A’,Aに沿って退避位置の方向に移動し、フィルム1のカールを矯正して第4の定位置にある。
FIG. 5C shows the state of the curl correction bars 13 and 14 in step S140 of FIG. 4. In this state, the curl correction bars 13 and 14 are solid lines in FIG. 3 from the third fixed position. It moves in the direction of the retracted position along the arrows A ′ and A, and corrects the curl of the
図5(d)は図4のステップS150におけるカール矯正バー13,14の第1の状態を示すものであって、この状態では、これらカール矯正バー13,14が第4の定位置から図3での破線矢印B’,Bに沿って上昇し、フィルム1から離れた第5の定位置にある。このときには、フィルム1はカールが矯正されてこの全面が吸着テーブル10に均一に当接して安定に真空吸着されている。
FIG. 5D shows the first state of the curl correction bars 13 and 14 in step S150 of FIG. 4. In this state, these curl correction bars 13 and 14 are shown in FIG. 3 from the fourth fixed position. It rises along the broken arrows B ′ and B in FIG. At this time, the curl of the
図5(e)は図5(d)に示す状態に続く図4のステップS150におけるカール矯正バー13,14の第2の状態を示すものであって、この状態では、これらカール矯正バー13,14が第5の定位置から図3での破線矢印B’,Bに沿って退避位置側に水平移動し、この退避位置の真上の第6の定位置にある。 FIG. 5 (e) shows a second state of the curl correction bars 13 and 14 in step S150 of FIG. 4 following the state shown in FIG. 5 (d). 14 horizontally moves from the fifth fixed position to the retracted position side along the broken line arrows B ′ and B in FIG. 3 and is in the sixth fixed position directly above the retracted position.
図5(f)は図5(e)に示す状態に続く図4のステップS150におけるカール矯正バー13,14の第3の状態を示すものであって、この状態では、これらカール矯正バー13,14が第6の定位置から図3での破線矢印B’,Bに沿って退避位置に降下し、退避位置にある。 FIG. 5 (f) shows the third state of the curl correction bars 13 and 14 in step S150 of FIG. 4 following the state shown in FIG. 5 (e). 14 descends from the sixth fixed position to the retracted position along broken line arrows B ′ and B in FIG. 3 and is at the retracted position.
このように、フィルム1が吸着テーブル10に吸着されている状態で、塗布ヘッド15
により、フィルム1の塗布対象エリアで塗布材の塗布が行なう。塗布動作を終了すると
、昇降ガイドローラ6,7が上昇してフィルム1が吸着テーブル10から持ち上げる。そ
して、巻出側フィルムロール2と巻取側フィルムロール3とを駆動して、フィルム1の次
の塗布対象エリアが塗布部17に位置するように、フィルム1の搬送を再開する。
In this way, the
Thus, the coating material is applied in the application target area of the
To, by driving the unwinding
以上の動作において、図5(b),(c)に示す状態でのカール矯正バー13,14が
フィルム1を吸着テーブル10に押さえ付ける力やフィルム1を広げる力は、カール矯正
バー13,14を移動する昇降シリンダ20a,20bの設定圧力を制御することによっ
てコントロールすることができる。また、図5(b)から図5(c)へのフィルムを広げ
るカール矯正バー13,14の速度は、幅寄せシリンダ22a,22bの速度制御バルブ
といったエア流量制御手段によって所望の速度に設定することができる。
In the above operation, the curl correction bars 13 and 14 in the state shown in FIGS. 5 (b) and 5 (c) are used to press the
以上のように、この第1の実施形態では、塗布部17でフィルム1上に塗布材を塗布するときのこのフィルム1の弛みをなくすことができるとともに、この弛みをなくすためにフィルム1にテンションを付加したことによって生ずるこのフィルム1の側辺部でのカールも除くことができ、フィルム1が吸着テーブル10に安定かつ高精度に吸着されて、フィルム1で塗布材を精度良く塗布することが可能となる。
As described above, in the first embodiment, it is possible to eliminate the slackness of the
図6は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第2の実施形態における吸着テ
ーブルを示す斜視図である。24は吸着面、25は中心領域吸着部、26a,26bは
周辺領域吸着部、27は吸着孔、28は中心領域吸着孔、29は周辺領域吸着孔であり、
図1に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
FIG. 6 is a perspective view showing a suction table in the second embodiment of the ink jet coating apparatus and method according to the present invention . 24 is a suction surface, 25 is a central region suction portion, 26a and 26b are peripheral region suction portions, 27 is a suction hole, 28 is a central region suction hole, and 29 is a peripheral region suction hole.
Parts corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals and redundant description is omitted.
この第2の実施形態も、先の第1の実施形態と同様、図1に示す構成をなすものであるが、吸着テーブル10での吸着の仕方(即ち、吸着の制御)が異なるものである。 Similarly to the first embodiment, the second embodiment also has the configuration shown in FIG. 1, but the suction method (ie, suction control) on the suction table 10 is different. .
即ち、図6において、吸着テーブル10の吸着面24には、フィルム1を真空吸着するための吸着孔27が複数均一に設けられているが、この第2の実施形態では、吸着面10aを、その幅方向(フィルム1の搬送方向に対して垂直な方向(Y軸方向))に中心部の中心領域吸着部25とこの中心領域吸着部25の両側の周辺領域吸着部26a,26bとの3つの領域に区分し、図示しない制御部の制御のもとに、中心領域吸着部25での吸着孔27、即ち、中心領域吸着孔28と周辺領域吸着部26a,26bでの吸着孔27、即ち、周辺領域吸着孔29との制御を独立に、時間的にずらして行なうことができるようにしたものである。
That is, in FIG. 6, the suction surface 24 of the suction table 10 is provided with a plurality of suction holes 27 for vacuum-sucking the
この第2の実施形態でも、カール矯正バー13,14の動作は図5に示す先の第1の実
施形態の動作と同様であるが、制御部は、フィルム1の塗布対象エリアが塗布部17(図
1)に到達したことを検知すると、吸着テーブル10の吸着面24での中心領域吸着部2
5の中心領域吸着孔28の動作を開始させ、少なくとも図5(a)に示す状態で中心領域
吸着孔28が動作状態となる。これに対し、周辺領域吸着部26a,26bでは、カール
矯正バー13,14が図5(b)に示す状態から図5(d)に示す状態となり、フィルム
1のカール部19が矯正されるとともに、制御部が、このカール矯正動作の終了を検出す
ることにより、周辺領域吸着孔29の吸着動作を開始させる制御を行なうようにしたもの
である。なお、フィルム1の塗布対象エリアでの塗布材の塗布動作を終了すると、制御部
は、これを検知して中心領域吸着孔28と周辺領域吸着孔29の吸着動作を終了させる。
Also in the second embodiment, the operation of the curl correction bars 13 and 14 is the same as the operation of the first embodiment shown in FIG. 5 except that the application target area of the
5 is started, and the central
図7はこの第2の実施形態での吸着テーブル10のフイルム1の吸着動作を示すフローチャートである。これを図1,図5,図6を用いて説明する。
FIG. 7 is a flowchart showing the suction operation of the
図1において、フィルム1が巻出側フィルムロール2から巻き出されて搬送されるとき
には、図6に示す構成の吸着テーブル10では、全ての吸着孔27は非動作状態にある。
フィルム1の次の塗布対象エリアが塗布部17に到達すると、図6において、この吸着テ
ーブル10での中心領域吸着部25の中心領域吸着孔28が動作を開始し、かかる状態で
、上記のように、吸着バー8,9が降下することにより、フィルム1(図1)が吸着テー
ブル10の吸着面24に当接する。このとき、吸着テーブル10での中心領域吸着部25
の中心領域吸着孔28で吸着動作しているので、フィルム1のこの中心領域吸着部25に
当接する部分が中心領域吸着孔28によって真空吸着保持される。これに対し、吸着テー
ブル10での周辺領域吸着部26a,26bの周辺領域吸着孔29は動作していないので、
フィルム1のこの周辺領域吸着部26に対向する部分は吸着保持されていない(図7のス
テップS210)。
In FIG. 1, when the
When the next application target area of the
Since the central area suction holes 28 are adsorbed operation portion abutting on the central
The portion of the
そして、先の第1の実施形態と同様、カール矯正バー13,14が動作して、図5(a)に示す第2の定位置の状態となり(図7のステップS220)、次いで、図5(b)に示す第3の定位置に降下してフィルム1を吸着テーブル10に押し付ける状態となり(図7のステップS230)、次いで、第3の定位置から第4の定位置に移動し、図5(c)に示すフィルム1の側辺部を吸着テーブルの側辺部側に押し拡げるようにしてこの側辺部でのカール矯正を行なう(図7のステップS240)。
Then, as in the first embodiment, the curl correction bars 13 and 14 operate to be in the second home position shown in FIG. 5A (step S220 in FIG. 7), and then in FIG. The
このように、カール矯正バー13,14が第4の定位置にあって、フィルム1の側辺部のカールが矯正されている状態で、吸着テーブル10の吸着面24の周辺領域吸着部26a,26bの周辺領域吸着孔29が動作を開始し、これら周辺領域吸着孔29により、カールが矯正されたフィルム1の側辺部が吸着テーブル10の周辺領域吸着部26a,26bで真空吸着保持される(図7のステップS245)。このようにして、フィルム1の塗布対象エリア全体が平坦となって吸着テーブル10に真空吸着保持される。
As described above, in the state where the curl correction bars 13 and 14 are in the fourth fixed position and the curl of the side portion of the
しかる後、カール矯正バー13,14は、先の第1の実施形態と同様、図5(c)に示
す状態から図5(d),(e)に示す状態を経て図5(f)に示す退避位置にある状態と
なり(図7のステップS250)、フィルム1のカール矯正動作を終了する(図7のステ
ップS260)。
Thereafter, the curl correction bars 13 and 14 are changed from the state shown in FIG. 5C to the state shown in FIGS. 5D and 5E, respectively, in the same manner as in the first embodiment. Then, the curl correction operation of the
このように、フィルム1が吸着テーブル10に吸着されている状態で、塗布ヘッド15
(図1)により、フィルム1の塗布対象エリアで塗布材の塗布を行ない、塗布動作を終
了すると、昇降ガイドローラ6,7が上昇してフィルム1が吸着テーブル10から持ち上
げられ、巻出側フィルムロール2と巻取側フィルムロール3とが駆動されることにより、
フィルム1の次の塗布対象エリアが塗布部17に位置するように、フィルム1の搬送が再
開される。
In this way, the
(FIG. 1) performs coating of the coating material in the coating object area of the
The conveyance of the
このように、この第2の実施形態においても、塗布部17でフィルム1をカール矯正して真空吸着保持することができ、先の第1の実施形態と同様の効果が得られることになる。
As described above, also in the second embodiment, the
図8は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第3の実施形態の要部を示す概
略斜視図である。30はフィルム浮き検知装置のフィルム有無検知センサ、31はフィ
ルム浮き検知装置の検知孔、32aはフィルム浮き検知装置のビーム発光装置、32bは
フィルム浮き検知装置の検知センサ、33は光ビームであり、図1に対応する部分には同
一符号を付けて重複する説明を省略する。
FIG. 8 is a schematic perspective view showing an essential part of a third embodiment of the ink jet coating apparatus and method according to the present invention . 30 is a film presence detection sensor of the film floating detection device, 31 is a detection hole of the film floating detection device, 32a is a beam light emitting device of the film floating detection device, 32b is a detection sensor of the film floating detection device, and 33 is a light beam. Parts corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals and redundant description is omitted.
この第3の実施形態は、先の第1,第2の実施形態にカール矯正動作が終了したか否か
を検知する装置を備えたものである。以下では、かかる装置をフィルム浮き検知装置とい
う。
This third embodiment is provided with a device for detecting whether or not the curl correction operation is completed in the first and second embodiments. Hereinafter, such an apparatus is referred to as a film floating detection apparatus.
図8において、吸着テーブル10の側辺部にその上面(吸着面)から下面(裏面)に貫通する検知孔31が設けられ、この検知孔31に対向して吸着テーブル10の裏面側に光学反射式のフィルム有無検知センサ30が設けられており、これら検知孔31とフィルム有無検知センサ30とでフィルム浮き検知装置を形成している。
In FIG. 8, a
この検知孔31は、フィルム1が吸着テーブル10に載置されたとき、このフィルム1
に生じているカール部19(図2)の位置に設けられているものであって、フィ
ルム有無検知センサ30は、この検知孔31を通して光を照射し、吸着テーブル10に載
置されたフィルム1の裏面からの反射光を検知孔31を通して受光し、その反射面までの
距離に応じて反射光の受光量を検出するものであるが、図5(a)に示すように、フィル
ム1の側辺部にカール部19があって、フィルム1の側辺部が吸着テーブル10から浮き
上がっているときと、図5(c)に示すように、カール矯正が行なわれてフィルム1の側
辺部も平坦となって吸着テーブル10の吸着面に接触しているときとで、フィルム有無検
知センサ30から照射光が反射するフィルム1の裏面までの距離が異なる。
The
Curled
このことから、フィルム有無検知センサ30は、上記のフィルム1のカール矯正の動作
を終了すると、検知孔31を通して光を照射し、吸着テーブル10に載置されたフィルム
1の裏面からの反射光を検知孔31を通して受光し、図示しない処理部がその受光結果に
基いてこのフィルム1の裏面までの距離を測定し、この測定結果を処理してフィルム1の
裏面が吸着テーブル10から浮き上がっているか、吸着テーブル10に平坦な状態で当接
しているか判定し、フィルム1の裏面が吸着テーブル10から浮き上がっているとの判定
結果が得られると、フィルム1のカール矯正がなされなかったものとして、装置の作業者
にこれを通知するとともに、装置を停止させて塗布作業を停止させる。
Therefore, the film presence /
The When finished, the light is irradiated through a
Based on this, the distance to the back surface of the
この第3の実施形態では、さらに、吸着テープル10の一方の側辺部の外側にビーム発光装置32aを設け、他方の側辺部の外側には検知センサ32bが夫々設けている。そして、ビーム発光装置32aからの光ビーム33が検知センサ32bで受光される。これらビーム発光装置32aと検知センサ32bとはフィルム浮き検知装置を構成するものであるが、この場合、ビーム発光装置32aと検知センサ32bとの配置位置としては、ビーム発光装置32aからの光ビーム33が吸着テーブル10の上方でこの吸着テーブル10を横切るように、かつフィルム1が全体として平坦な状態で吸着テーブル10に真空吸着されているときには、ビーム発光装置32aからの光ビーム33を検知センサ32bで検知できるようにし、カール部19(図2)が生じフィルム1が吸着テーブルの吸着面24(図6)から浮き上がっているときには、ビーム発光装置32aからの光ビーム33がフィルム1に遮られて検知センサ32bで受光できないように、設定する。
In the third embodiment, a beam
これにより、図示しない処理部では、フィルム1の上記カール矯正動作の終了後、検知
センサ32bで光ビーム33の受光結果が得られた場合は、フィルム1全体が平坦な状態
で吸着テーブル10に真空吸着保持されるいるものと判定する。そして、このフィルム1
の塗布材の塗布動作を開始させるが、検知センサ32bで光ビーム33の受光結果が得ら
れない場合には、フィルム1のカール矯正ができなかったものと判定する。そして、この
装置の作業者にその旨を通知するとともに、装置の動作を停止させて塗布作業を停止させ
る。
Thereby, in the processing unit (not shown), when the detection result of the light beam 33 is obtained by the
To start the coating operation of the coating material, but if the light receiving result of the light beam 33 can not be obtained by the
以上のように、この第3の実施形態では、フィルム1のカール矯正を行なった後におい
て、フィルム浮き検知装置によってカール矯正が確実に行なわれたか否かを確認すること
ができるので、カール矯正が充分なされていない状態で塗布材の塗布が行なわれるのを防
止することができる。
As described above, in this third embodiment, the smell after performing curl correction of the
Te, it is possible to check whether curl correction is ensured by the film floating sensing device, it is possible to prevent the coating of the coating material in a state where the curl correction is not performed sufficiently is performed.
なお、以上の説明では、フィルム有無検知センサ30と検知孔31とによるフィルム浮
き検知装置と、ビーム発光装置32aと検知センサ32bとからなるフィルム浮き検知装
置とを用いているものとしているが、これらフィルム浮き検知装置のいずれか一方のみを
用いるようにしてもよい。また、同じフィルム浮き検知装置を複数用いるようにしてもよ
い。かかるフィルム浮き検知装置は、フィルム1のカール状態に応じて使い分けるもので
ある。
In the above description, it is assumed that the film floating detection device including the film presence /
これらのいずれにしても、フィルム1のカールが矯正されて平坦な状態となって初めて
次の塗布工程に移行できる手順とすることで、信頼性を格段に向上させることができる。
もし、カール矯正を完了できず、製造工程を一時停止した場合には、エラーであることを
警報機などによって作業者に知らせることになる。この場合、生産時間に無駄が生じるが、
フィルム1が浮き上がったままで塗布動作を始めたり、皺が発生したままの状態で製造物
の歩留まりを低下させるような不具合を未然に防止することが可能となる。
In any of these cases, the reliability can be remarkably improved by adopting a procedure in which the curl of the
If the curl correction can not be completed and the manufacturing process is temporarily stopped, the operator is notified of the error by an alarm device or the like. In this case, production time is wasted,
It is possible to prevent problems such as starting the coating operation while the
図9は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第4の実施形態でのカール矯正
装置の一具体例を示す概略斜視図である。34,35は空気圧調整器であり、図3に対応
する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
FIG. 9 is a schematic perspective view showing a specific example of the curl correcting apparatus in the fourth embodiment of the ink jet coating apparatus and method according to the present invention .
同図において、昇降シリンダ20a,20bには、空気圧調整器34を介して空気圧が
供給される。同様にして、吸着テーブル10の反対側に設けられているカール矯正バー1
3を上下方向に移動させる昇降シリンダ(ここでは、昇降シリンダ20a’のみを示して
いる)にも、空気圧調整器35を介して空気圧を供給する。
In the figure, air pressure is supplied to the elevating
Air pressure is also supplied via an
これら空気圧調整器34,35は、一般的には、電空レギュレータと呼ばれているものであって、図示しない制御装置からの制御信号を空気圧力に変換し、この空気圧を昇降シリンダ20a,20bや昇降シリンダ20a’に出力するものである。
These
そこで、制御装置が空気圧調整器34,35に供給する制御信号を変化させることによ
り、昇降シリンダ20a,20bや昇降シリンダ20a’への空気圧を変化させることが
できる。そして、昇降シリンダ20a,20bや昇降シリンダ20a’に供給される空気
圧が変化すると、カール矯正バー14,13の上下動作の駆動圧力が変化することになり
、カール矯正バー14,13がフィルム1を吸着テーブル10に押し付ける押圧力が変化
することになる。
Therefore, by changing the control signal supplied from the control device to the
従って、制御装置によって空気圧調整器34,35を制御することにより、カール矯正バー14,13がフィルム1を吸着テーブル10に押し付ける押圧力を調整することができ、フィルム1のカールを良好に矯正し、フィルム1の塗布対象エリア全体を精度良く平坦な状態にして吸着テーブル10に真空吸着保持させることが可能となる。
Therefore, by controlling the
1 フィルム
2 巻出側フィルムロール
3 巻取側フィルムロール
4,5 ガイドロール
6,7 昇降ガイドロール
8,9 吸着バー
10 吸着テーブル
10a 側辺部
11 巻出側軸モータ
12 巻取側軸モータ
13,14 カール矯正バー
15 塗布ヘッド
16 巻出部
17 塗布部
18 巻取部
19 カール
20a,20b 昇降シリンダ
21a,21b シリンダ軸
22a,22b 幅寄せシリンダ
23a,23b シリンダ軸
24 吸着面
25 中心領域吸着部
26 周辺領域吸着部
27 吸着孔
28 中心領域吸着孔
29 周辺領域吸着孔
10b 吸着面
25 中心領域吸着部
26 周辺領域吸着部
27 吸着孔
28 中心領域吸着孔
29 周辺領域吸着孔
30 フィルム有無検知センサ
31 検知孔
32a ビーム発光装置
32b 検知センサ
33 光ビーム
34,35 空気圧調整器
DESCRIPTION OF
Claims (5)
該フィルムの該塗布対象エリアでの両側辺部に生ずるカールをそれぞれ矯正する一対のカール矯正バーを備え、
該カール矯正バーは、該フィルムの該吸着テーブルの吸着面に載置された塗布対象エリアでの両側辺部を該吸着テーブルの吸着面に押し付けるように降下し、該フィルムに押し付けた状態で該吸着テーブルの側辺側に拡げるように移動させ、該フィルムの該塗布対象エリアでの両側辺部に生ずるカールを該カール矯正バーにより矯正し、該塗布対象エリア全体を平坦状にして該吸着テーブルの該吸着面に一様に吸着保持させることを特徴とするインクジェット塗布装置。 An upstream guide roll for unwinding and transporting the roll film, an adsorption table for adsorbing and holding the unwound film, and applying a liquid coating material on the film adsorbed and held on the adsorption table In an inkjet coating apparatus comprising a coating head and a downstream guide roll that conveys the film coated with a coating material and winds it in a roll shape,
A pair of curl correction bars for correcting curl generated on both sides in the application target area of the film,
The curl correction bar, the both sides of the coating target area placed on the suction surface of the adsorber table of the film drops so that pressing on the attracting surface of the adsorber Table and pressed against the said film is moved to spread the side edge side of the adsorber table, a car Le occurring on both sides of the in the coating target area of the film was corrected by the curl correction bars, said to the entire coating object area flat An ink jet coating apparatus, wherein the suction surface of the suction table is uniformly sucked and held.
前記吸着テーブルの前記吸着面は、前記フィルムの搬送方向に垂直な方向に関して中心領域と該中心領域の両側の周辺領域とに区分され、
該中心領域の真空吸着孔の動作と、該周辺領域の真空吸着孔の動作とを制御する制御部を備え、
該制御部の制御により、
前記吸着テーブルへの前記フィルムの前記塗布対象エリアの載置とともに、該中心領域での真空吸着孔を動作させて、前記塗布対象エリアの該中心領域に対向する領域を真空吸着保持し、
前記カール矯正バーによる、前記吸着テーブルに載置された前記フィルムの前記塗布対象エリアでの両側辺部のカール矯正とともに、該周辺領域での真空吸着孔を動作させて、前記塗布対象エリアの該周辺領域に対向する領域を真空吸着保持することを特徴とするインクジェット塗布装置。 The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein
Wherein the suction surface of the suction table is divided into both sides of the peripheral region of the central region and the central region with respect to a direction perpendicular to the conveying direction of the film,
With the operation of the vacuum suction holes of the central region, the control unit for controlling the operation of the vacuum suction holes in the peripheral region,
By control of the control unit,
Wherein together with placement of the coating object area of the film to the suction table, by operating the vacuum suction holes in the central region, the opposing area held vacuum suction to the central region of the coating target area,
With the curl correction bar, the curl correction on both sides of the film placed on the suction table in the application target area is operated, and the vacuum suction holes in the peripheral region are operated to An ink jet coating apparatus characterized by holding a region opposite to a peripheral region by vacuum suction.
前記吸着テーブルに真空吸着した前記フィルムの前記吸着テーブルの吸着面からの浮き上がりを検出する手段を備えたことを特徴とするインクジェット塗布装置。 In the ink jet coating apparatus according to claim 1 or 2,
An inkjet coating apparatus comprising: means for detecting lifting of the film vacuum-sucked on the suction table from the suction surface of the suction table.
前記カール矯正バーによる前記フィルムの前記塗布対象エリアの両側辺部を前記吸着テーブルの両側辺部側へ押し広げる力を調節するための、前記カール矯正バーの昇降動作を駆動する昇降シリンダの空気圧力を調整する手段を備えたことを特徴とするインクジェット塗布装置。 In the ink jet coating apparatus according to claim 1, 2, or 3,
The coated both side portions for adjusting the force pushing the two side portion side of the suction table of the target area, air lift cylinder for driving the vertical movement of the curl straightening bars of the film by the curl correction bars An ink jet coating apparatus comprising means for adjusting pressure.
該フィルムの該塗布対象エリアでの両側辺部に生ずるカールをそれぞれ矯正するための一対のカール矯正バーにより、該吸着テーブルの吸着面に搭載された該フィルムの該塗布対象エリアの両側辺を該吸着面に押し付けるように降下し、該フィルムに押し付けた状態で該吸着テーブルの側辺側に拡げて、該吸着面に吸着保持させることを特徴とするインクジェット塗布方法。 The film wound in a roll shape is unwound and conveyed by the upstream guide roll, and the application target area of the unwound film is mounted on the suction surface of the suction table. In an inkjet coating method in which a liquid coating material is applied to an application target area, and the film coated with the coating material is conveyed by a downstream guide roll and wound into a roll shape,
A pair of curl correction bars for correcting curl generated on both sides of the film in the application target area respectively , and the both sides of the application target area of the film mounted on the suction surface of the suction table are inkjet coating method falls so that pressed against the suction surface, is spread on the side sides of the adsorber table pressed against the said film, and wherein the adsorbing held on the adsorption surface.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009248905A JP5548426B2 (en) | 2009-10-29 | 2009-10-29 | Inkjet coating apparatus and method |
TW099135744A TWI485008B (en) | 2009-10-29 | 2010-10-20 | Ink jet coating apparatus and method |
KR1020100105651A KR101287784B1 (en) | 2009-10-29 | 2010-10-28 | Ink jet application apparatus and method |
CN201010523356.5A CN102049901B (en) | 2009-10-29 | 2010-10-28 | Inkjet coating device and inkjet coating method |
US12/914,031 US8967075B2 (en) | 2009-10-29 | 2010-10-28 | Inkjet coating device and inkjet coating method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009248905A JP5548426B2 (en) | 2009-10-29 | 2009-10-29 | Inkjet coating apparatus and method |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011092855A JP2011092855A (en) | 2011-05-12 |
JP2011092855A5 JP2011092855A5 (en) | 2012-10-11 |
JP5548426B2 true JP5548426B2 (en) | 2014-07-16 |
Family
ID=43954856
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009248905A Expired - Fee Related JP5548426B2 (en) | 2009-10-29 | 2009-10-29 | Inkjet coating apparatus and method |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5548426B2 (en) |
KR (1) | KR101287784B1 (en) |
CN (1) | CN102049901B (en) |
TW (1) | TWI485008B (en) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10434804B2 (en) | 2008-06-13 | 2019-10-08 | Kateeva, Inc. | Low particle gas enclosure systems and methods |
US11975546B2 (en) | 2008-06-13 | 2024-05-07 | Kateeva, Inc. | Gas enclosure assembly and system |
US12018857B2 (en) | 2008-06-13 | 2024-06-25 | Kateeva, Inc. | Gas enclosure assembly and system |
US8383202B2 (en) | 2008-06-13 | 2013-02-26 | Kateeva, Inc. | Method and apparatus for load-locked printing |
JP5529673B2 (en) * | 2010-08-16 | 2014-06-25 | 中外炉工業株式会社 | Double-side coating device |
US10265719B2 (en) | 2011-04-13 | 2019-04-23 | Durr Megtec, Llc | Method and apparatus for coating discrete patches |
KR101716220B1 (en) * | 2011-06-03 | 2017-03-14 | 메그텍 시스템즈 인코포레이티드 | Web lifter/stabilizer and method |
US9120344B2 (en) * | 2011-08-09 | 2015-09-01 | Kateeva, Inc. | Apparatus and method for control of print gap |
CN106113943B (en) | 2011-08-09 | 2018-03-30 | 科迪华公司 | Printing device downwards and method |
JP5896820B2 (en) * | 2012-04-19 | 2016-03-30 | 株式会社アルバック | Film transport processing device |
KR20220039837A (en) * | 2012-08-08 | 2022-03-29 | 카티바, 인크. | Printing system |
KR20140123362A (en) * | 2013-04-12 | 2014-10-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus preventing curl in bottom protecting film for display device |
EP3787016B1 (en) | 2013-12-26 | 2023-09-20 | Kateeva, Inc. | Apparatus and techniques for thermal treatment of electronic devices |
KR102022816B1 (en) | 2014-01-21 | 2019-11-04 | 카티바, 인크. | Apparatus and techniques for electronic device encapsulation |
CN103801482A (en) * | 2014-01-25 | 2014-05-21 | 东莞东聚电子电讯制品有限公司 | Glue coating and fitting process |
JP6528476B2 (en) * | 2014-03-17 | 2019-06-12 | 株式会社リコー | Coating apparatus and coating method |
WO2015168036A1 (en) | 2014-04-30 | 2015-11-05 | Kateeva, Inc. | Gas cushion apparatus and techniques for substrate coating |
CN104124306B (en) * | 2014-07-11 | 2016-05-18 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | Inkjet printing is prepared connecting gear and the preparation method of the ultra-fine gate electrode of photovoltaic cell |
CN104494310B (en) * | 2014-09-16 | 2017-04-12 | 苏州锐发打印技术有限公司 | 3D printing system used for solar cell grid wire manufacturing, and control method thereof |
JP6237580B2 (en) * | 2014-11-13 | 2017-11-29 | 株式会社デンソー | Motor control device |
JP6254108B2 (en) * | 2015-01-07 | 2017-12-27 | 住友化学株式会社 | Manufacturing method of organic EL panel |
CN105690997A (en) * | 2016-02-15 | 2016-06-22 | 山东丽鹏股份有限公司 | Automatic code tagging machine for sheet materials |
JP6782087B2 (en) * | 2016-03-28 | 2020-11-11 | 株式会社日本マイクロニクス | Manufacturing method for seat jigs, stages, manufacturing equipment, and secondary batteries |
JP6729318B2 (en) * | 2016-11-15 | 2020-07-22 | トヨタ自動車株式会社 | Control device for hybrid vehicle |
JP6953823B2 (en) * | 2017-06-20 | 2021-10-27 | 東洋紡株式会社 | Liquid coating device and liquid coating method. |
CN107284032A (en) * | 2017-08-02 | 2017-10-24 | 中国建筑设计院有限公司 | A kind of printing head protection device for fully automatic digital blueprint printer |
KR102410347B1 (en) * | 2017-09-04 | 2022-06-17 | 세메스 주식회사 | Apparatus for processing substrate and Method for processing substrate |
CN117565573A (en) | 2019-05-31 | 2024-02-20 | 科迪华公司 | Printer calibration module |
CN110538777A (en) * | 2019-09-24 | 2019-12-06 | 苏州威格尔纳米科技有限公司 | Fixing platform for thin and flexible film substrate |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5248233Y2 (en) * | 1974-04-18 | 1977-11-01 | ||
JPS6098629U (en) * | 1983-12-09 | 1985-07-05 | 三菱重工業株式会社 | Horizontal stretching machine |
JP2551203B2 (en) * | 1990-06-05 | 1996-11-06 | 三菱電機株式会社 | Semiconductor device |
JPH09239968A (en) * | 1996-03-06 | 1997-09-16 | Toray Ind Inc | Printing device and production of printed product |
US7073902B2 (en) * | 2001-03-30 | 2006-07-11 | L&P Property Management Company | Method and apparatus for ink jet printing |
JP2003211652A (en) * | 2002-01-25 | 2003-07-29 | Konica Corp | Inkjet printer |
JP4042737B2 (en) * | 2004-10-27 | 2008-02-06 | セイコーエプソン株式会社 | Pattern forming system |
JP4654948B2 (en) * | 2006-03-10 | 2011-03-23 | セイコーエプソン株式会社 | Ejection inspection apparatus, droplet ejection apparatus, and electro-optic device manufacturing method |
JP4848869B2 (en) * | 2006-07-13 | 2011-12-28 | セイコーエプソン株式会社 | Drawing device |
JP4985434B2 (en) * | 2008-01-29 | 2012-07-25 | Nkワークス株式会社 | Decal mechanism |
JP5292834B2 (en) * | 2008-01-29 | 2013-09-18 | Nkワークス株式会社 | Decal mechanism |
JP4983623B2 (en) * | 2008-01-29 | 2012-07-25 | Nkワークス株式会社 | Decal mechanism |
-
2009
- 2009-10-29 JP JP2009248905A patent/JP5548426B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-20 TW TW099135744A patent/TWI485008B/en not_active IP Right Cessation
- 2010-10-28 KR KR1020100105651A patent/KR101287784B1/en not_active IP Right Cessation
- 2010-10-28 CN CN201010523356.5A patent/CN102049901B/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101287784B1 (en) | 2013-07-19 |
CN102049901B (en) | 2014-11-26 |
TWI485008B (en) | 2015-05-21 |
CN102049901A (en) | 2011-05-11 |
JP2011092855A (en) | 2011-05-12 |
KR20110047148A (en) | 2011-05-06 |
TW201138985A (en) | 2011-11-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120822 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120822 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20130530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131008 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131010 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140519 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5548426 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |