JP2013150946A - Web coating apparatus - Google Patents

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啓 福井
Keisuke Nakahara
敬輔 中原
Mitsunori Oda
光徳 織田
Masaaki Tanabe
雅明 田邊
Jun Takami
準 高見
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a web coating apparatus capable of forming a coating film on a web with a high yield by adjusting a coating position before the start of coating.SOLUTION: A coating position can be adjusted by driving a first nozzle horizontal moving mechanism 17 and a second nozzle horizontal moving mechanism 18 to move a nozzle 14 in a conveying direction of a web W and in a direction orthogonal to the conveying direction in a resting period of a conveying mechanism 10 for intermittently conveying the web W. A web lifting mechanism is then driven to lower the web W, and the web W is suction-fixed onto a suction surface table 13 by a suction force generating mechanism to form a horizontal coated surface P. A coating liquid is supplied to the nozzle 14 by a feed mechanism 15, and the coating liquid is ejected from an ejection port of the nozzle 14 maintaining a predetermined coating gap to the upper face of the web W, to form a bead. The first nozzle horizontal moving mechanism 17 is then allowed to scan in the conveying direction of the web W. The bead thereby follows the nozzle 14 to form a coating film on the coated surface P.

Description

この発明は、紙、プラスチック、布、金属箔およびこれらの積層体からなるシートないしはフィルム(以下、ウエブと称する。)の片面に塗布液を塗布するウエブ塗布装置に関する。   The present invention relates to a web coating apparatus for coating a coating liquid on one side of a sheet or film (hereinafter referred to as a web) made of paper, plastic, cloth, metal foil, and a laminate thereof.

従来のウエブ塗布装置として、間欠搬送の休止期間に、吸着定盤上にウエブを吸着固定し、スリットダイの吐出口とウエブの上面と間に所定の塗布ギャップを保持して、給送機構を用いてスリットダイへ塗布液を供給しながらノズル水平移動機構を駆動してスリットダイを搬送方向に移動させることで、ウエブWの上面に塗布膜を形成するものが提案されている(例えば、特許文献1参照。)。スリットダイは、その下端にスリット状の吐出口を有し、ウエブの搬送方向に直交する方向(ウエブの幅方向)に吐出口の長手方向が配向するように配置される。スリットダイの吐出口の長さは、一般的にウエブの幅に比べて短い長さに設定される。   As a conventional web coating device, the web is sucked and fixed on the suction surface plate during the intermittent conveyance pause period, and a predetermined coating gap is maintained between the discharge port of the slit die and the upper surface of the web. A coating film is formed on the upper surface of the web W by driving the nozzle horizontal movement mechanism while supplying the coating liquid to the slit die and moving the slit die in the transport direction (for example, patents). Reference 1). The slit die has a slit-like discharge port at its lower end, and is arranged so that the longitudinal direction of the discharge port is oriented in a direction (web width direction) perpendicular to the web conveyance direction. The length of the discharge port of the slit die is generally set shorter than the width of the web.

このようなウエブ塗布装置では、可撓性を有するウエブであっても、ウエブを硬い水平面を有する吸着定盤上に安定的に吸着固定して塗布を行うので、均一な塗布膜厚を得やすく、非塗布部を挟んで塗布膜を間欠的に形成する間欠塗布に適している。   In such a web coating apparatus, even a flexible web is applied by stably adsorbing and fixing the web on an adsorption surface plate having a hard horizontal surface, so that it is easy to obtain a uniform coating film thickness. It is suitable for intermittent coating in which a coating film is intermittently formed across a non-coating portion.

厚みが要求される塗布膜では、1回の塗布では塗布膜厚が不足する場合、2回、3回と重ね塗りをする必要がある。また、異種塗布膜を多層に形成する多層塗りをするときも同様である。   In the case of a coating film that requires a thickness, if the coating film thickness is insufficient with a single coating, it is necessary to perform repeated coating twice and three times. The same applies to a multi-layer coating in which different types of coating films are formed in multiple layers.

特開2009−45565号公報JP 2009-45565 A

搬送機構にウエブのロールをセットする作業は手作業であるため、ウエブの幅方向両端位置の再現性を得ることが難しい。また、ウエブのロール毎に寸法公差もある。そうすると、ウエブの幅方向についてウエブの塗布面に対するスリットダイの吐出口の相対的な位置(以下、塗布位置とも言う。)にズレが生じることがある。   Since the work of setting the web roll on the transport mechanism is a manual work, it is difficult to obtain reproducibility of the both ends of the web in the width direction. There are also dimensional tolerances for each roll of web. As a result, the relative position of the discharge port of the slit die with respect to the web application surface in the width direction of the web (hereinafter also referred to as application position) may occur.

スリットダイの吐出口の長さは、ウエブの幅に比べて短いので、ウエブのロール1本に一層しか塗布しない一層塗りの場合は、この塗布位置のズレが小さい限り、それほど問題になることはない。しかし、重ね塗りや多層塗りを行う際には、既にウエブ上に形成された塗布膜の上にスリットダイの吐出口を精度良く重ね合わす必要があるため、塗布位置のズレが生じると均一な塗布膜を歩留まり良く得ることが難しくなる。なお、重ね塗りや多層塗りを行う場合は、塗布位置のズレはウエブの搬送方向にも生じ得る。   The length of the slit die outlet is shorter than the width of the web, so in the case of single-layer coating in which only one layer is applied to one roll of the web, as long as the deviation of the application position is small, there is no problem. Absent. However, when performing overcoating or multi-layer coating, it is necessary to accurately overlay the slit die discharge port on the coating film already formed on the web. It becomes difficult to obtain a film with a high yield. In addition, in the case of performing overcoating or multi-layer coating, deviation of the application position can also occur in the web conveyance direction.

本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされたものであり、塗布開始前に塗布位置を調整することにより、ウエブ上に塗布膜を歩留まり良く形成することが可能なウエブ塗布装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and provides a web coating apparatus capable of forming a coating film on a web with high yield by adjusting the coating position before the start of coating. With the goal.

この発明のウエブ塗布装置は、搬送機構、吸着定盤、吸着力発生機構、ノズル、給送機構、第1のノズル水平移動機構、第2のノズル水平移動機構およびウエブ昇降機構を備える。前記搬送機構は長尺のウエブを水平な搬送面を形成するように間欠搬送する。前記吸着定盤は、前記搬送面の下方に配置され、前記ウエブが吸着固定される。前記吸着力発生機構は、前記吸着定盤の上面に吸着力を発生する。前記ノズルは前記搬送面の上方に配置され、前記ウエブの上面と所定の塗布ギャップを維持する吐出口を有し、該吐出口から塗布液を吐出する。前記給送機構は前記ノズルに塗布液を給送する。前記第1のノズル水平移動機構は前記ウエブの搬送方向に前記ノズルを水平移動可能に構成される。前記第2のノズル水平移動機構はウエブの搬送方向に直交する方向に前記ノズルを水平移動可能に構成される。前記ウエブ昇降機構は前記搬送面と前記吸着定盤との間で前記ウエブを昇降可能に構成される。   The web coating apparatus of the present invention includes a transport mechanism, an adsorption surface plate, an adsorption force generation mechanism, a nozzle, a feeding mechanism, a first nozzle horizontal movement mechanism, a second nozzle horizontal movement mechanism, and a web lifting mechanism. The conveyance mechanism intermittently conveys a long web so as to form a horizontal conveyance surface. The suction surface plate is disposed below the transport surface, and the web is sucked and fixed. The suction force generation mechanism generates a suction force on the upper surface of the suction surface plate. The nozzle is disposed above the transport surface, has a discharge port that maintains a predetermined coating gap with the upper surface of the web, and discharges the coating liquid from the discharge port. The feeding mechanism feeds the coating liquid to the nozzle. The first nozzle horizontal movement mechanism is configured to be able to move the nozzle horizontally in the web conveyance direction. The second nozzle horizontal movement mechanism is configured to be able to move the nozzle horizontally in a direction orthogonal to the web conveyance direction. The web lifting mechanism is configured to be able to lift and lower the web between the transport surface and the suction surface plate.

この構成によると、ウエブの間欠搬送の休止期間に、第1のノズル水平移動機構および第2のノズル水平移動機構を駆動してウエブの搬送方向およびこれに直交する方向にノズルを移動することにより、塗布位置の調整を行うことが可能である。その後、ウエブ昇降機構を駆動してウエブを下降させ、吸着力発生機構により吸着定盤上にウエブを吸着固定することで水平な塗布面を形成する。給送機構によりノズルに塗布液を供給し、ウエブの上面と所定の塗布ギャップを維持するノズルの吐出口から塗布液を吐出してビードを作り、第1のノズル水平移動機構をウエブの搬送方向に走査することにより、ビードがノズルに追従し塗布面に塗布膜が形成される。   According to this configuration, the first nozzle horizontal movement mechanism and the second nozzle horizontal movement mechanism are driven to move the nozzles in the web conveyance direction and in a direction perpendicular thereto during the pause period of the intermittent conveyance of the web. It is possible to adjust the application position. Thereafter, the web lifting mechanism is driven to lower the web, and the web is sucked and fixed on the suction surface plate by the suction force generating mechanism to form a horizontal coating surface. The feeding liquid is supplied to the nozzle by the feeding mechanism, and the coating liquid is discharged from the nozzle outlet that maintains the predetermined coating gap with the upper surface of the web to form a bead, and the first nozzle horizontal movement mechanism is moved in the web transport direction. By scanning, the bead follows the nozzle and a coating film is formed on the coating surface.

塗布位置の調整には、塗布位置検出センサおよび塗布位置制御部を利用する。前記塗布位置検出センサは、前記ウエブのエッジまたは前記ウエブの上面に既に形成された塗布膜のエッジを検出する。前記塗布位置制御部は、前記塗布位置検出センサの検出結果に基づいて、前記ノズルの初期位置を調整するように、前記搬送機構、前記第1のノズル水平移動機構および前記第2のノズル水平移動機構の駆動を個別に制御する。   For adjustment of the application position, an application position detection sensor and an application position controller are used. The application position detection sensor detects an edge of the web or an edge of a coating film already formed on the upper surface of the web. The application position control unit is configured to adjust the initial position of the nozzle based on a detection result of the application position detection sensor, so that the transport mechanism, the first nozzle horizontal movement mechanism, and the second nozzle horizontal movement are adjusted. The mechanism drive is individually controlled.

このようなウエブ塗布装置では、塗布ギャップの再現性が塗布膜厚の歩留まりに多大な影響を及ぼす。本発明では、塗布面を形成する際に、吸着定盤を上昇させるのではなく、吸着定盤は不動にしてウエブ昇降機構によりウエブを下降させるので、吸着定盤の上昇量の誤差を懸念することなく、再現良く所定の塗布ギャップを形成することが可能となる。   In such a web coating apparatus, the reproducibility of the coating gap greatly affects the yield of the coating film thickness. In the present invention, when forming the coating surface, the suction platen is not raised, but the suction platen is fixed and the web is lowered by the web lifting mechanism. Therefore, a predetermined coating gap can be formed with good reproducibility.

また、平滑で均一な搬送面を形成するには、ウエブを吸着定盤に吸着固定する際に、ウエブに皺が発生したり、ウエブと吸着定盤との間に空気溜まりが発生するのを防ぐ必要がある。このため、前記ウエブ昇降機構は、第1のウエブ支持部材、第2のウエブ支持部材、第1のウエブ支持部材昇降機構、第2のウエブ支持部材昇降機構およびウエブ昇降制御部を備える。また、前記吸着力発生機構は、ウエブ吸着力制御部を有する。   In addition, in order to form a smooth and uniform conveyance surface, when the web is sucked and fixed to the suction surface plate, wrinkles are generated on the web or an air pocket is generated between the web and the suction surface plate. It is necessary to prevent. Therefore, the web lifting mechanism includes a first web support member, a second web support member, a first web support member lifting mechanism, a second web support member lifting mechanism, and a web lifting control unit. The adsorption force generation mechanism includes a web adsorption force control unit.

前記第1のウエブ支持部材は、前記ウエブの前記ウエブの搬送方向について前記吸着定盤の上流側に昇降可能に配置され、ウエブを支持する。前記第2のウエブ支持部材は、前記ウエブの搬送方向について前記吸着定盤の下流側に昇降可能に配置され、前記ウエブを支持する。前記第1のウエブ支持部材昇降機構は、前記第1のウエブ支持部材を昇降させる。前記第2のウエブ支持部材昇降機構は、前記第2のウエブ支持部材を昇降させる。ウエブ昇降制御部は、前記吸着定盤の上方に位置する前記ウエブを、その搬送方向の上流側から下流側へと漸次下降させるように、前記第1のウエブ支持部材昇降機構および前記第2のウエブ支持部材昇降機構の駆動を時間差で個別に制御する。前記ウエブ吸着制御部は、複数の吸着エリアを前記ウエブの搬送方向に段階的かつ追加的に動作させる。複数の吸着エリアとは、前記吸着定盤において前記ウエブの搬送方向に分割されたエリアである。   The first web support member is arranged to be movable up and down on the upstream side of the suction surface plate in the web conveyance direction of the web, and supports the web. The second web support member is arranged to be movable up and down on the downstream side of the suction surface plate in the conveyance direction of the web, and supports the web. The first web support member elevating mechanism elevates and lowers the first web support member. The second web support member elevating mechanism elevates and lowers the second web support member. The web lifting / lowering control unit includes the first web support member lifting / lowering mechanism and the second web lifting / lowering mechanism so as to gradually lower the web positioned above the suction surface plate from the upstream side to the downstream side in the transport direction. The driving of the web support member lifting mechanism is individually controlled with a time difference. The web suction control unit operates a plurality of suction areas stepwise and additionally in the web transport direction. The plurality of suction areas are areas divided in the web transport direction on the suction surface plate.

また、ウエブの張力制御だけでは吸着が行えない厚みの厚いウエブや、皺が入りやすく伸縮性のあるウエブでは、ウエブを上方から押さえ付ける強制力を作用させるのが良い。このため、本発明のウエブ塗布装置は、前記ウエブの上方から前記ウエブの搬送方向に直交する方向に平行な線形圧力を付加する部材を、前記ウエブの搬送方向に走査する機構をさらに備える。   Further, in a thick web that cannot be adsorbed only by controlling the web tension, or a web that is easily stretched and stretched, it is preferable to apply a forcing force that presses the web from above. For this reason, the web coating apparatus of the present invention further includes a mechanism that scans a member that applies linear pressure parallel to a direction orthogonal to the web conveyance direction from above the web in the web conveyance direction.

前記線形圧力を付加する部材は、前記ウエブの上面に当接し、前記ウエブの搬送方向に直交する方向に配向された軸で回転自在に支持されたローラを用いることが出来る。   The member that applies the linear pressure may be a roller that is in contact with the upper surface of the web and is rotatably supported by an axis oriented in a direction orthogonal to the web conveyance direction.

あるいは、前記線形圧力を付加する部材は、前記ウエブの上面との間にギャップを保持する噴出口を有するエア噴出ノズルでも構わない。この場合、空気の噴出方向を可変できるように、前記エア噴出ノズルを、前記ウエブの搬送方向に揺動させる機構をさらに備えるとなお良い。   Alternatively, the member for applying the linear pressure may be an air jet nozzle having a jet port that holds a gap with the upper surface of the web. In this case, it is more preferable to further include a mechanism for swinging the air ejection nozzle in the web conveyance direction so that the air ejection direction can be varied.

本発明によると、塗布開始前にウエブの塗布面に対するノズルの相対的な位置を調整することができる。したがって、ウエブ上に塗布膜を歩留まり良く形成することが出来る。   According to the present invention, the relative position of the nozzle with respect to the application surface of the web can be adjusted before the start of application. Therefore, a coating film can be formed on the web with a good yield.

本発明の実施形態に係るウエブ塗布装置を示す概略構成図である。It is a schematic structure figure showing a web application device concerning an embodiment of the present invention. 同ウエブ塗布装置のノズル移動機構を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the nozzle moving mechanism of the web application | coating apparatus. 同ウエブ塗布装置のノズル移動機構の別実施形態を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows another embodiment of the nozzle moving mechanism of the web application | coating apparatus. 同ウエブ塗布装置のノズル移動機構のさらに別実施形態を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows another embodiment of the nozzle moving mechanism of the web application | coating apparatus. 同ウエブ塗布装置の塗布位置制御系統を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the application | coating position control system of the web application | coating apparatus. 同ウエブ塗布装置の塗布位置制御例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the example of application | coating position control of the web application | coating apparatus. 塗布位置検出センサによる検出位置の一例を示すウエブの平面図である。It is a top view of the web which shows an example of the detection position by an application position detection sensor. ウエブ昇降制御部およびウエブ吸着制御部による制御例を説明するウエブ塗布装置要部の概略側面図である。It is a schematic side view of the principal part of a web application | coating apparatus explaining the example of control by a web raising / lowering control part and a web adsorption | suction control part. 押えローラの動作を説明するウエブ塗布装置要部の概略側面図である。It is a schematic side view of the principal part of a web application | coating apparatus explaining the operation | movement of a pressing roller. エア噴出ノズルの動作を説明するウエブ塗布装置要部の概略側面図である。It is a schematic side view of the principal part of a web application | coating apparatus explaining the operation | movement of an air ejection nozzle. エア噴出ノズルを揺動させる機構を説明するウエブ塗布装置要部の概略側面図である。It is a schematic side view of the principal part of a web application | coating apparatus explaining the mechanism to rock | fluctuate an air ejection nozzle.

図1は、本発明の実施形態に係るウエブ塗布装置を示す概略構成図である。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a web coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

本発明のウエブ塗布装置1は、例えば、図1に示すように、ウエブWが巻き出し部301から巻き出され、前処理工程でウエブWの洗浄・除塵・表面改質などが行われ、その後、塗布工程で、ウエブW上に塗布液が塗布され、その後、乾燥・冷却などの後処理工程が行われた後に、巻き取り機構の巻き取り部302によりウエブWが巻き取られるようなロール・ツー・ロールの間欠送りで搬送される装置の塗布装置として用いることが出来る。   In the web coating apparatus 1 of the present invention, for example, as shown in FIG. 1, the web W is unwound from the unwinding section 301, and the web W is cleaned, dust-removed, surface-modified, and the like in the pretreatment process. In the coating process, the coating liquid is applied onto the web W, and after the post-processing process such as drying / cooling is performed, the roll W is wound by the winding unit 302 of the winding mechanism. It can be used as a coating device for a device that is conveyed by two-roll intermittent feeding.

このため本発明の塗布装置1は、主たる構成として、図1に示すように、搬送機構10、吸着定盤13、吸着力発生機構(不図示。)、ノズル14、給送機構15、ノズル昇降機構16、第1のノズル水平移動機構17、第2のノズル水平移動機構18、塗布位置検出センサ65,66、第1のウエブ支持ローラ20、第2のウエブ支持ローラ21、第1のウエブ支持ローラ昇降機構22、および第2のウエブ支持ローラ昇降機構23を備える。   For this reason, as shown in FIG. 1, the coating apparatus 1 of the present invention has, as shown in FIG. Mechanism 16, first nozzle horizontal movement mechanism 17, second nozzle horizontal movement mechanism 18, application position detection sensors 65 and 66, first web support roller 20, second web support roller 21, and first web support A roller lifting mechanism 22 and a second web support roller lifting mechanism 23 are provided.

また、ウエブ塗布装置1は本発明に必須の構成ではないが、副次的な構成として、前処理装置30、後処理装置40およびノズル管理ユニット50を備える。   In addition, the web coating apparatus 1 includes a pre-processing apparatus 30, a post-processing apparatus 40, and a nozzle management unit 50 as secondary structures, although the structure is not essential to the present invention.

前処理装置30は、ウエブWの搬送方向について、ウエブ塗布装置1の塗布工程を行う主要部の上流側に配置される。前処理装置30は、塗布工程を行う前のウエブWの塗布面に前処理を施す。例えば、洗浄・除塵・表面改質を行う。   The pretreatment device 30 is arranged on the upstream side of the main part that performs the coating process of the web coating device 1 in the conveyance direction of the web W. The pretreatment device 30 performs pretreatment on the coated surface of the web W before performing the coating process. For example, cleaning, dust removal, and surface modification are performed.

後処理装置40は、ウエブWの搬送方向について、ウエブ塗布装置1の塗布工程を行う主要部の下流側に配置される。後処理装置40は、塗布工程を行った後のウエブWに後処理を施す。例えば、乾燥・冷却を行う。   The post-processing device 40 is arranged on the downstream side of the main part that performs the coating process of the web coating device 1 in the conveyance direction of the web W. The post-processing device 40 performs post-processing on the web W after performing the coating process. For example, drying and cooling are performed.

ノズル管理ユニット50は、薄膜・低粘度塗布、間欠塗布における塗布膜開始部および塗布膜終了部の膜厚精度確保のために設置される。ノズル管理ユニット50は、一例としてプライミングローラ、ノズル先端洗浄装置およびディップ槽(いずれも不図示。)を備える。回転されるプライミングローラの表面にノズル14の吐出口から塗布液を塗布することで、ノズル14の吐出口の液量調整を行う。ノズル洗浄装置はノズル14の吐出口の汚れを自動清掃する。長期装置停止時、トラブルによる装置停止時、メンテナンス時など塗布液がノズル14に供給されないまま放置しておくとノズル14の吐出口が乾燥して塗布液が固まり、塗布不良の発生またはノズルの分解清掃が必要となる。よって、ディップ槽に塗布液または洗浄液を入れ、ノズル14先端部を浸漬もしくは液上面位置にノズル14を近づけておくことで乾燥を防ぐことが出来る。   The nozzle management unit 50 is installed in order to ensure the film thickness accuracy of the coating film start part and coating film end part in thin film / low viscosity coating and intermittent coating. As an example, the nozzle management unit 50 includes a priming roller, a nozzle tip cleaning device, and a dip tank (all not shown). By applying the coating liquid from the discharge port of the nozzle 14 to the surface of the rotating priming roller, the liquid amount of the discharge port of the nozzle 14 is adjusted. The nozzle cleaning device automatically cleans the discharge outlet of the nozzle 14. If the coating liquid is not supplied to the nozzle 14 such as when the apparatus is stopped for a long period of time, when the apparatus is stopped due to trouble, or during maintenance, the discharge port of the nozzle 14 dries and the coating liquid solidifies, resulting in defective coating or nozzle disassembly Cleaning is required. Therefore, drying can be prevented by putting the coating liquid or the cleaning liquid in the dip tank and immersing the tip of the nozzle 14 or keeping the nozzle 14 close to the liquid upper surface position.

搬送機構10は、巻き出し部11および巻き取り部12を備える。巻き出し部11は一例としてローラが用いられ、長尺のウエブWがロール状に巻回される。巻き取り部12は一例としてローラが用いられ、ウエブWの末端が取付けられる。巻き取り部12は図示しない駆動機構から回転力を得て回転される。これによって、巻き取り部12にウエブWが巻き取られ、ウエブWが前処理工程、塗布工程、後処理工程の順に搬送される。駆動機構は所定の間隔で駆動と休止を交互に繰り返すように、搬送機構10を間欠駆動する。すなわち、ウエブWは間欠搬送される。塗布工程は、搬送機構10の間欠駆動の休止期間に行われる。   The transport mechanism 10 includes an unwinding unit 11 and a winding unit 12. As an example, the unwinding unit 11 is a roller, and a long web W is wound into a roll. As an example, the winding unit 12 uses a roller, and the end of the web W is attached thereto. The winding unit 12 is rotated by obtaining a rotational force from a driving mechanism (not shown). As a result, the web W is wound around the winding unit 12, and the web W is conveyed in the order of the pretreatment process, the coating process, and the post-treatment process. The drive mechanism intermittently drives the transport mechanism 10 so as to alternately repeat driving and pausing at predetermined intervals. That is, the web W is intermittently conveyed. The coating process is performed during a pause period of intermittent driving of the transport mechanism 10.

ニップ装置64はウエブWの搬送方向について前処理装置30の下流側に配置される。ダンサー機構63はウエブWの搬送方向について後処理装置40の下流側に配置される。ニップ装置64およびダンサー機構63は、搬送機構10の間欠駆動の間、常時動作して、両者の間に存在するウエブWに張力を付加し、塗布工程でウエブWにたるみが生ずるのを防止する。また、参照符号の附設を省略するが、巻き出し部11と巻き取り部12の間には、搬送機構10の駆動時にウエブWに張力を付加してたるみを防止するための従動ローラが随所に配置されている。ウエブWは、塗布工程から後処理工程にかけて、図1に示すような水平な搬送面Tを形成するように搬送される。   The nip device 64 is disposed on the downstream side of the pretreatment device 30 in the web W conveyance direction. The dancer mechanism 63 is arranged on the downstream side of the post-processing device 40 in the web W conveyance direction. The nip device 64 and the dancer mechanism 63 always operate during intermittent driving of the transport mechanism 10 to apply tension to the web W existing between them, and prevent the web W from sagging in the coating process. . Further, although reference numerals are omitted, a driven roller is provided between the unwinding unit 11 and the winding unit 12 to prevent slack by applying tension to the web W when the transport mechanism 10 is driven. Has been placed. The web W is transported from the coating process to the post-processing process so as to form a horizontal transport surface T as shown in FIG.

次に、前処理装置30と後処理装置40との間に配置された、ウエブ塗布装置1の塗布工程を行う主要部の構成について詳細に説明する。架台24は脚部によって床面F上に水平支持され、所定の高さに固定的に設置される。塗布工程を行う部分はこの架台24上に設置される。   Next, the structure of the main part which performs the application | coating process of the web application | coating apparatus 1 arrange | positioned between the pre-processing apparatus 30 and the post-processing apparatus 40 is demonstrated in detail. The gantry 24 is horizontally supported on the floor surface F by legs and is fixedly installed at a predetermined height. A portion for performing the coating process is installed on the gantry 24.

吸着定盤13は、搬送面Tの下方に配置される。吸着定盤13は架台24上に固定的に設置され、高さ位置は不変である。後述するように、ウエブ塗布装置1はウエブWを吸着定盤13上に密着させるために、吸着定盤13を上昇させるのではなく、ウエブWを昇降させるウエブ昇降機構を備える。吸着定盤13は吸着力発生機構に接続される。   The suction surface plate 13 is disposed below the transport surface T. The suction surface plate 13 is fixedly installed on the gantry 24, and the height position is unchanged. As will be described later, the web coating apparatus 1 includes a web lifting mechanism that lifts and lowers the web W instead of lifting the suction surface plate 13 in order to bring the web W into close contact with the suction surface plate 13. The adsorption surface plate 13 is connected to an adsorption force generation mechanism.

吸着力発生機構(不図示。)は吸着定盤13の上面に吸着力を発生させるもので、好適には吸引吸着力を発生する真空ポンプが用いられる。真空ポンプを用いて吸着定盤13の上面に吸引吸着力を発生させることで、ウエブWが吸着定盤13上に吸着固定される。なお、吸着力発生機構は、静電吸着力を発生させる手段を用いることも可能である。   The suction force generating mechanism (not shown) generates suction force on the upper surface of the suction surface plate 13, and a vacuum pump that generates suction suction force is preferably used. The web W is sucked and fixed on the suction surface plate 13 by generating a suction force on the upper surface of the suction surface plate 13 using a vacuum pump. The attracting force generating mechanism can use means for generating an electrostatic attracting force.

吸着定盤13は、ウエブWの搬送方向に分割された複数(本実施形態では一例として3つ。)の吸着エリア131〜133(図8(C)参照。)を有する。3つの吸着エリア131〜133は吸着力発生機構によって動作し、その動作はウエブ吸着制御部(不図示。)により制御される。3つの吸着エリア131〜133はウエブWの搬送方向に段階的かつ追加的に動作するように制御される。   The suction surface plate 13 has a plurality of (three in the present embodiment as an example) suction areas 131 to 133 (see FIG. 8C) divided in the web W conveyance direction. The three suction areas 131 to 133 are operated by a suction force generation mechanism, and the operation is controlled by a web suction control unit (not shown). The three suction areas 131 to 133 are controlled to operate stepwise and additionally in the web W conveyance direction.

ノズル14は、搬送面Tの上方に配置される。ノズル14は一例としてスリット状の吐出口を有するスリットダイが用いられる。ノズル14は、スリット状の吐出口がウエブWの搬送方向に直交する方向(すなわち、ウエブWの幅方向。)に平行となる配向で設置される。   The nozzle 14 is disposed above the transport surface T. As an example of the nozzle 14, a slit die having a slit-like discharge port is used. The nozzles 14 are installed in an orientation in which the slit-shaped discharge ports are parallel to the direction orthogonal to the web W conveyance direction (that is, the width direction of the web W).

後述するように、ノズル14は、垂直方向(Z軸方向。)およびウエブWの搬送方向(X軸方向。)に移動可能である。ノズル14は、ウエブWの搬送方向(X軸方向。)の移動により、ウエブWの上方を走行して吐出口から吐出される塗布液をウエブWの表面に塗布する。また、ノズル14は、垂直方向(Z軸方向。)の移動により、ウエブWとの間に所定の塗布ギャップを形成する。塗布ギャップを維持してノズル14がウエブWの搬送方向に走行することで吐出口から吐出される塗布液がウエブW上に塗布される。また、ノズル14は、これらの2方向に加えて、ウエブWの搬送方向に直交する方向(Y軸方向。)にも移動可能である。   As will be described later, the nozzle 14 is movable in the vertical direction (Z-axis direction) and the web W conveyance direction (X-axis direction). The nozzle 14 travels above the web W and moves the web W in the transport direction (X-axis direction) to apply the coating liquid discharged from the discharge port onto the surface of the web W. The nozzle 14 forms a predetermined coating gap with the web W by moving in the vertical direction (Z-axis direction). The coating liquid discharged from the discharge port is applied onto the web W by the nozzle 14 traveling in the conveyance direction of the web W while maintaining the application gap. In addition to these two directions, the nozzle 14 is also movable in a direction (Y-axis direction) perpendicular to the web W conveyance direction.

給送機構15はノズル14に塗布液を供給するもので、一例として塗布液タンクおよび定量ポンプで構成される。定量ポンプは機械的に高精度な塗布液吐出量制御が行えるため、塗布膜開始部および塗布膜終了部の膜厚のコントロールが可能で、さらにスマートフィッティング制御を組み合わせることで膜厚の均一性をより向上させることができる。塗布液種・塗布液粘土が変更になっても塗布液供給ユニットとしてコートワゴンユニットを設置することで、塗布液監視および自動液交換が行える。また、塗布液タンクに洗浄液を入れることで自動配管内洗浄も可能となるなど、塗布用途に合わせていろいろな配管システムの組み合わせが可能である。   The feeding mechanism 15 supplies a coating liquid to the nozzle 14 and includes a coating liquid tank and a metering pump as an example. Since the metering pump can control the discharge rate of the coating liquid with high precision mechanically, it is possible to control the film thickness at the coating film start part and coating film end part, and by combining smart fitting control, film thickness uniformity can be achieved. It can be improved further. Even if the coating liquid type and the coating liquid clay are changed, the coating liquid monitoring unit and automatic liquid replacement can be performed by installing a coat wagon unit as a coating liquid supply unit. In addition, various piping systems can be combined in accordance with the application application, such as automatic piping cleaning can be performed by putting a cleaning solution into the coating solution tank.

図2はノズル移動機構の概略構成を、搬送面を搬送方向に直交する方向に横切る断面で示す図である。ステージ25は架台24(図1参照。)に固定的に設置され、高さ位置は不変である。ノズル移動機構はこのステージ25上に構成される。ノズル移動機構は、ノズル昇降機構16、第1のノズル水平移動機構17および第2のノズル水平移動機構18から構成される。   FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of the nozzle moving mechanism in a cross section that crosses the transport surface in a direction orthogonal to the transport direction. The stage 25 is fixedly installed on the gantry 24 (see FIG. 1), and the height position is unchanged. The nozzle moving mechanism is configured on this stage 25. The nozzle moving mechanism includes a nozzle lifting / lowering mechanism 16, a first nozzle horizontal moving mechanism 17, and a second nozzle horizontal moving mechanism 18.

ステージ25には、ウエブWの搬送経路の外側に、ウエブWの搬送方向に直交する方向に対向してガントリー型XZ軸ロボットが構築される。このロボットは、一例として直交軸を有する2軸のリニアアクチュエータが用いられる。このロボットにより、ノズル14を保持するスライダ26を垂直方向(Z軸方向。)およびウエブWの搬送方向(X軸方向。)に移動させるノズル昇降機構16および第1のノズル水平移動機構17がそれぞれ実現される。   On the stage 25, a gantry-type XZ-axis robot is constructed on the outside of the web W conveyance path so as to face the direction perpendicular to the web W conveyance direction. As an example, this robot uses a biaxial linear actuator having orthogonal axes. With this robot, a nozzle lifting mechanism 16 and a first nozzle horizontal moving mechanism 17 that move the slider 26 holding the nozzle 14 in the vertical direction (Z-axis direction) and the conveyance direction of the web W (X-axis direction), respectively. Realized.

また、ウエブ塗布装置1は、上記2方向に加えて、ウエブWの搬送方向に直交する方向(Y軸方向。)にもスライダ26を移動可能な第2のノズル水平移動機構18を備える。本実施の形態では、第2のノズル水平移動機構18はスライダ26とノズル14との間に設けられる。この他、図3に第2のノズル水平移動機構の別実施形態を示すように、第2のノズル水平移動機構18をノズル昇降機構16と第1のノズル水平移動機構17との間に設けても良いし、図4に第2のノズル水平移動機構のさらに別実施形態を示すように、第2のノズル水平移動機構18を架台24とステージ25との間に設けても良い。   Further, the web coating apparatus 1 includes a second nozzle horizontal movement mechanism 18 that can move the slider 26 in a direction (Y-axis direction) orthogonal to the conveyance direction of the web W in addition to the above two directions. In the present embodiment, the second nozzle horizontal movement mechanism 18 is provided between the slider 26 and the nozzle 14. In addition, as shown in another embodiment of the second nozzle horizontal movement mechanism in FIG. 3, a second nozzle horizontal movement mechanism 18 is provided between the nozzle lifting / lowering mechanism 16 and the first nozzle horizontal movement mechanism 17. Alternatively, the second nozzle horizontal movement mechanism 18 may be provided between the gantry 24 and the stage 25 as shown in FIG. 4 showing still another embodiment of the second nozzle horizontal movement mechanism.

第2のノズル水平移動機構18は一例として、リニアアクチュエータ、電動アクチュエータ、エアベアリングを用いたリニアモータ、空気圧・油圧式アクチュエータ等の自動駆動方式、送りネジ、押し引きネジ等による手動調整方式がある。   As an example, the second nozzle horizontal moving mechanism 18 includes a linear actuator, an electric actuator, a linear motor using an air bearing, an automatic drive system such as a pneumatic / hydraulic actuator, a manual adjustment system using a feed screw, a push-pull screw, and the like. .

再び、図1を参照し、第1の塗布位置検出センサ65は、ウエブWの搬送方向について前処理装置30の上流側に配置される。第2の塗布位置検出センサ66は、ウエブWの搬送方向についてノズル14の上流側に配置される。第1の塗布位置検出センサ65および第2の塗布位置検出センサ66は、ウエブWのエッジまたはウエブWの上面に形成された塗布膜のエッジを検出することにより、ノズル14の初期位置(塗布位置)の制御に用いられる。このような塗布位置検出センサは一例として画像処理センサ、色識別センサ、超音波センサ、バーコード、レーザセンサ、サーモグラフィセンサが用いられる。   Referring to FIG. 1 again, the first application position detection sensor 65 is arranged on the upstream side of the pretreatment device 30 in the web W conveyance direction. The second application position detection sensor 66 is disposed on the upstream side of the nozzle 14 in the web W conveyance direction. The first application position detection sensor 65 and the second application position detection sensor 66 detect the initial position (application position) of the nozzle 14 by detecting the edge of the web W or the edge of the coating film formed on the upper surface of the web W. ) Is used for control. As such an application position detection sensor, an image processing sensor, a color identification sensor, an ultrasonic sensor, a barcode, a laser sensor, and a thermography sensor are used as an example.

図5に、塗布位置制御系統のブロック図を示す。塗布位置制御部27は第1の塗布位置検出センサ65および第2の塗布位置検出センサ66の検出信号に基づいて搬送機構10、第1のノズル水平移動機構17および第2のノズル水平移動機構18の駆動を個別に制御する。塗布位置制御部27はノズル14の位置を把握している。   FIG. 5 shows a block diagram of the application position control system. The application position control unit 27 is based on detection signals from the first application position detection sensor 65 and the second application position detection sensor 66, and includes the transport mechanism 10, the first nozzle horizontal movement mechanism 17, and the second nozzle horizontal movement mechanism 18. Are controlled individually. The application position control unit 27 grasps the position of the nozzle 14.

図6のフローチャートを用いて、塗布位置制御部27による塗布位置決め制御例を説明する。まず、第1の塗布位置検出センサ65によりウエブWのエッジを検出し(ステップS1。)、搬送機構10を駆動して塗布工程を行うために設定された初期位置までウエブWを搬送する(ステップS2)。再度、第2の塗布位置検出センサ66により、ウエブWのウエブWのエッジを検出し(ステップS3)、塗布位置制御部27はウエブWの搬送方向(X軸方向)について、ノズル14の現在位置が適正位置からズレているか否かを判断し(ステップS4)、ズレが生じていると判断したときは、第1のノズル水平移動機構17を動作させてノズル14を同方向に移動させ、位置合わせを行う(ステップS5)。続いて、塗布位置制御部27はウエブWの搬送方向に直交する方向(Y軸方向)について、ノズル14の現在位置が適正位置よりもズレているか否かを判断し(ステップS6)、ズレが生じていると判断したときは、第2のノズル水平移動機構18を動作させてノズル14を同方向に移動させ、位置合わせを行う。   An example of application positioning control by the application position control unit 27 will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the edge of the web W is detected by the first coating position detection sensor 65 (step S1), and the web W is transported to an initial position set for performing the coating process by driving the transport mechanism 10 (step S1). S2). Again, the edge of the web W of the web W is detected by the second application position detection sensor 66 (step S3), and the application position controller 27 determines the current position of the nozzle 14 in the web W conveyance direction (X-axis direction). Is determined to be displaced from the appropriate position (step S4), and when it is determined that the displacement has occurred, the first nozzle horizontal movement mechanism 17 is operated to move the nozzle 14 in the same direction, Matching is performed (step S5). Subsequently, the application position control unit 27 determines whether or not the current position of the nozzle 14 is shifted from the appropriate position in the direction (Y-axis direction) orthogonal to the conveyance direction of the web W (step S6). When it is determined that the nozzle has occurred, the second nozzle horizontal movement mechanism 18 is operated to move the nozzle 14 in the same direction, and alignment is performed.

このような塗布位置調整は、未塗布のウエブWに初めて塗布膜を形成する場合にも使用出来るが、塗布膜を既に形成したウエブWに重ね塗りまたは多層塗りをする際に有用である。重ね塗りまたは多層塗りでは、第1の塗布位置検出センサ65および第2の塗布位置検出センサ66の検出位置を、図7の平面図に示すように、ウエブWのエッジではなく、塗布膜のエッジに設定することで、精度良く塗布膜の上方の適正位置にノズル14の吐出口を重ねるように塗布位置を調整することが可能となる。   Such application position adjustment can be used when a coating film is formed for the first time on an uncoated web W, but is useful when overcoating or multilayer coating on a web W on which a coating film has already been formed. In the overcoating or the multi-layer coating, the detection positions of the first application position detection sensor 65 and the second application position detection sensor 66 are not the edge of the web W but the edge of the application film as shown in the plan view of FIG. By setting to, it becomes possible to adjust the application position so that the discharge port of the nozzle 14 overlaps the appropriate position above the coating film with high accuracy.

再度図1を参照し、ウエブ昇降機構の構成を説明する。第1のウエブ支持ローラ20は搬送面Tの下側にあって、ウエブWの搬送方向について吸着定盤13の上流側に昇降可能に配置され、該位置でウエブWを支持している。第2のウエブ支持ローラ21は搬送面Tの下側にあって、ウエブWの搬送方向について吸着定盤13の上流側に昇降可能に配置され、該位置でウエブWを支持している。第1のウエブ支持ローラ20および第2のウエブ支持ローラ21は、本発明のウエブ支持部材の一例である。第1のウエブ支持ローラ20および第2のウエブ支持ローラ21は、ウエブWの搬送に伴って従動回転する。   With reference to FIG. 1 again, the configuration of the web lifting mechanism will be described. The first web support roller 20 is disposed below the conveyance surface T and is arranged to be movable up and down upstream of the suction surface plate 13 in the conveyance direction of the web W, and supports the web W at this position. The second web support roller 21 is located below the transport surface T and is arranged to be movable up and down upstream of the suction surface plate 13 in the transport direction of the web W, and supports the web W at this position. The first web support roller 20 and the second web support roller 21 are examples of the web support member of the present invention. The first web support roller 20 and the second web support roller 21 are driven to rotate as the web W is conveyed.

第1のウエブ支持ローラ昇降機構22は、第1のウエブ支持ローラ20の近傍に配置され、第1のウエブ支持ローラ20を昇降させるように構成される。第2のウエブ支持ローラ昇降機構23は、第2のウエブ支持ローラ21の近傍に配置され、第2のウエブ支持ローラ21を昇降させるように構成される。第1のウエブ支持ローラ昇降機構22および第2のウエブ支持ローラ昇降機構23は一例として、リニアアクチュエータなどが好意的に用いられる。   The first web support roller raising / lowering mechanism 22 is disposed in the vicinity of the first web support roller 20 and is configured to raise and lower the first web support roller 20. The second web support roller raising / lowering mechanism 23 is disposed in the vicinity of the second web support roller 21 and is configured to raise and lower the second web support roller 21. As the first web support roller lifting mechanism 22 and the second web support roller lifting mechanism 23, for example, a linear actuator or the like is favorably used.

第1のウエブ支持ローラ昇降機構22および第2のウエブ支持ローラ昇降機構23の駆動はウエブ昇降制御部(不図示。)により制御される。ウエブ昇降制御部は吸着定盤13の上方に位置する部分のウエブWを、その搬送方向の搬送方向の上流側から下流側へと漸次下降させるように、第1のウエブ支持ローラ昇降機構22および第2のウエブ支持ローラ昇降機構23を時間差で制御する。   The driving of the first web support roller lifting mechanism 22 and the second web support roller lifting mechanism 23 is controlled by a web lifting controller (not shown). The web raising / lowering control unit includes a first web support roller raising / lowering mechanism 22 and a first web support roller raising / lowering mechanism 22 so as to gradually lower the web W located above the suction surface plate 13 from the upstream side to the downstream side in the carrying direction of the carrying direction. The second web support roller lifting mechanism 23 is controlled with a time difference.

図8を参照してウエブ昇降制御部およびウエブ吸着制御部による制御例を説明する。以下に説明する一連の動作では、特に図示はしていないが、ニップ装置64およびダンサー機構63が駆動され、ウエブWに対して搬送方向に均一の張力を掛けながら行われる。   A control example by the web lifting control unit and the web suction control unit will be described with reference to FIG. In a series of operations described below, although not particularly illustrated, the nip device 64 and the dancer mechanism 63 are driven to perform a uniform tension on the web W in the transport direction.

上述した塗布位置調整の後、まず図8(A)に示す状態で、第1のウエブ支持ローラ20および第2のウエブ支持ローラ21は共に同一の高さに位置して、吸着定盤13よりも上方でウエブWを支持している。このときのウエブWの高さは搬送面Tの高さと同一である。   After the above-described application position adjustment, first, in the state shown in FIG. 8A, the first web support roller 20 and the second web support roller 21 are both positioned at the same height, and from the suction surface plate 13. Also supports the web W above. The height of the web W at this time is the same as the height of the conveyance surface T.

次に、ウエブ昇降制御部は、第1のウエブ支持ローラ昇降機構22を駆動し、図8(B)に示すように、第1のウエブ支持ローラ20を下降させる。第1のウエブ支持ローラ20の下降量は搬送面Tと吸着定盤13の上面の高さの差に設定されている。このとき、第2のウエブ支持ローラ21は下降せず、初期の高さに維持されている。したがって、吸着定盤13の上方に位置するウエブWは、図示のごとく、ウエブWの搬送方向の上流側が低く、下流側が高くなるような傾斜を持って支持される。   Next, the web lifting control unit drives the first web support roller lifting mechanism 22 and lowers the first web support roller 20 as shown in FIG. 8B. The descending amount of the first web support roller 20 is set to the difference in height between the transport surface T and the upper surface of the suction surface plate 13. At this time, the second web support roller 21 does not descend and is maintained at the initial height. Therefore, as shown in the drawing, the web W positioned above the suction surface plate 13 is supported with an inclination such that the upstream side in the conveyance direction of the web W is low and the downstream side is high.

その後、図8(C)〜(E)に示すように、ウエブ昇降制御部は、第2のウエブ支持ローラ昇降機構23を駆動して、第2のウエブ支持ローラ21を下降させる。第2のウエブ支持ローラ21の下降量は、第1のウエブ支持ローラ20と同一に設定される。   Thereafter, as shown in FIGS. 8C to 8E, the web lifting control unit drives the second web support roller lifting mechanism 23 to lower the second web support roller 21. The lowering amount of the second web support roller 21 is set to be the same as that of the first web support roller 20.

ウエブ吸着制御部は、第2のウエブ支持ローラ21の下降中における序盤、中盤、終盤の3つの時間帯に同期させるように、吸着定盤13を搬送方向に分割して形成された3つの吸着エリア131〜133を段階的かつ追加的に動作させる。すなわち、序盤で最も上流側に位置する第1の吸着エリア131のみを動作させ(図8(C)参照。)、中盤で中央部に位置する第2の吸着エリア132を追加的に動作させ(図8(D)参照。)、終盤で最も下流側に位置する第3の吸着エリア133をさらに追加的に動作させる(図8(E)参照。)。   The web suction control unit divides the suction platen 13 in the transport direction so as to synchronize with the three time zones of the early stage, the middle stage, and the final stage when the second web support roller 21 is lowered. The areas 131 to 133 are operated stepwise and additionally. That is, only the first suction area 131 located on the most upstream side in the early stage is operated (see FIG. 8C), and the second suction area 132 located in the center in the middle stage is additionally operated ( 8D), the third suction area 133 located on the most downstream side in the final stage is further operated (see FIG. 8E).

このようなウエブ昇降制御部およびウエブ吸着制御部の協働により、ウエブWに対し搬送方向に均一の張力が掛けられた状態で、ウエブWの傾斜が小さくなるのに合わせて、ウエブWの搬送方向の上流側から下流側へとウエブWが吸着定盤13上に漸次吸着される。これにより、吸着されたウエブWに皺が発生したり、ウエブWと吸着定盤13との間に空気溜りが発生することを防止することが出来る。この結果、可撓性を有するウエブWであっても、ウエハなどの枚葉状のワークと同様に定形性および平滑性を有する水平な塗布面P(図8(E)参照。)を形成することが可能である。なお、ウエブ支持ローラ20,21にエキスパンダーローラ(弓形湾曲ローラ)を採用すると、ウエブWに発生する皺を効果的に防ぐことができる。   By the cooperation of the web lifting / lowering control unit and the web suction control unit, the web W is transported as the inclination of the web W becomes smaller in a state where the web W is uniformly tensioned in the transport direction. The web W is gradually adsorbed on the adsorption surface plate 13 from the upstream side to the downstream side in the direction. As a result, it is possible to prevent wrinkles from occurring on the adsorbed web W and air accumulation from occurring between the web W and the adsorption surface plate 13. As a result, even with the flexible web W, a horizontal application surface P (see FIG. 8E) having a regularity and smoothness is formed in the same manner as a single-wafer workpiece such as a wafer. Is possible. If an expander roller (bowed curved roller) is employed as the web support rollers 20 and 21, wrinkles generated on the web W can be effectively prevented.

このようにして塗布面Pが形成された後、ノズル昇降機構16が駆動されてノズル14の吐出口と塗布面Pとの間に所定の塗布ギャップが保持される。そして、給送機構15が駆動されてノズル14から吐出される微量の塗布液により、塗布ギャップに塗布液溜まり(ビード)が作られる。そして、第1のノズル水平移動機構17が駆動され、ウエブWの搬送方向に吸着定盤13の長さを越えない所定の距離だけノズル14を連続的もしくは間欠的に走査することにより、ビードがノズル14の移動に追従し塗布面Pに塗布液が全面もしくは間欠塗布される。   After the application surface P is thus formed, the nozzle lifting mechanism 16 is driven to maintain a predetermined application gap between the discharge port of the nozzle 14 and the application surface P. The feeding mechanism 15 is driven and a small amount of coating liquid discharged from the nozzle 14 forms a coating liquid pool (bead) in the coating gap. Then, the first nozzle horizontal moving mechanism 17 is driven, and the nozzle 14 is continuously or intermittently scanned by a predetermined distance not exceeding the length of the suction surface plate 13 in the conveyance direction of the web W. Following the movement of the nozzle 14, the coating solution is applied to the coating surface P entirely or intermittently.

上述したウエブ昇降機構の時間差の駆動および複数の吸着エリアの段階的かつ追加的な動作に加えて、ウエブWに上方から力を加えて吸着定盤13上に押さえつける構造を設けても良い。例えば、吸着定盤13上に吸着固定されたウエブWに対してウエブWの搬送方向に直交する方向に平行な線形圧力を付加する部材を、ウエブWの搬送方向に走査する機構である。走査機構の一例としてはリニアアクチュエータが用いられる。   In addition to the above-described time difference drive of the web lifting mechanism and the stepwise and additional operations of the plurality of suction areas, a structure may be provided in which a force is applied to the web W from above to hold it onto the suction surface plate 13. For example, it is a mechanism that scans, in the web W conveyance direction, a member that applies linear pressure parallel to a direction perpendicular to the web W conveyance direction to the web W that is adsorbed and fixed on the adsorption platen 13. A linear actuator is used as an example of the scanning mechanism.

図9は線形圧力を付加する部材が押えローラである場合を例示する。押えローラ28は、ウエブWの搬送方向に直交する方向に配向された軸で回転可能に支持される。押えローラ28は搬送面Tの上方に配置され(図9(A)参照。)、昇降機構(不図示。)により吸着定盤13上に支持されたウエブWの上面に当接する位置まで下降し、ウエブWの搬送方向に直交する方向に平行な線形の押圧をウエブWに付与する(図9(B)参照。)。押えローラ28は走査機構(不図示。)によりウエブWの搬送方向の下流側から上流側へ走査され、押えローラ28はウエブW上を回転しながら走行する(図9(C)〜(E)参照。)。なお、押えローラ28の昇降機構部に空気圧式シリンダ等を採用することで、押えローラ28による押圧を、内部空気圧の変更で任意に設定できるため、ウエブWにストレスを与えることがない。   FIG. 9 illustrates the case where the member for applying linear pressure is a presser roller. The presser roller 28 is rotatably supported by an axis oriented in a direction orthogonal to the conveyance direction of the web W. The presser roller 28 is disposed above the conveyance surface T (see FIG. 9A) and is lowered to a position where it comes into contact with the upper surface of the web W supported on the suction surface plate 13 by an elevating mechanism (not shown). Then, linear pressing parallel to the direction orthogonal to the conveying direction of the web W is applied to the web W (see FIG. 9B). The pressing roller 28 is scanned from the downstream side to the upstream side in the conveyance direction of the web W by a scanning mechanism (not shown), and the pressing roller 28 travels while rotating on the web W (FIGS. 9C to 9E). reference.). By adopting a pneumatic cylinder or the like for the lifting mechanism portion of the presser roller 28, the pressing by the presser roller 28 can be arbitrarily set by changing the internal air pressure, so that the web W is not stressed.

また、図10は線形圧力を付加する部材がエア噴出ノズル29である場合を例示する。エア噴出ノズル29は搬送面Tの上方に配置される(図10(A)参照。)。エア噴出ノズル29は、下端にウエブWの上面との間にギャップを保持する噴出口を有する。噴出口は一例としてウエブWの搬送方向に直交する方向に延びたスリット形状であるが、これに限定されず、同方向に等間隔で配置された複数の小孔で噴出口を構成しても良い。エア噴出ノズル29は空気を圧送するエアポンプなどに接続され、噴出口から噴出される高圧空気により、ウエブWの搬送方向に直交する方向に平行な線形の空気圧をウエブWに付与する(図10(B)参照。)。空気を吐出するエア噴出ノズル29は、走行機構(不図示。)によりウエブWの搬送方向の下流側から上流側へ走査される(図10(C)〜(E)参照。)。エア噴出ノズル29は塗布面Pと非接触状態で走査されるため、ウエブWに傷をつけることがなく、重ね塗りや多層塗りのときに塗布膜に影響を及ぼさない。また、塗布面Pに存在する粉じんの除去効果も期待出来る。エア噴出ノズル29による空気圧はレギュレータ等で調整でき、空気噴出流量は流量計またはスリット状の噴出口の開口幅をシム等で変更することで調整できる。   FIG. 10 illustrates the case where the member that applies the linear pressure is the air ejection nozzle 29. The air ejection nozzle 29 is disposed above the transport surface T (see FIG. 10A). The air ejection nozzle 29 has an ejection port that maintains a gap between the lower surface and the upper surface of the web W. For example, the spout has a slit shape extending in a direction orthogonal to the conveyance direction of the web W, but is not limited thereto, and the spout may be configured by a plurality of small holes arranged at equal intervals in the same direction. good. The air ejection nozzle 29 is connected to an air pump or the like that pumps air, and applies high pressure air ejected from the ejection port to the web W with linear air pressure parallel to a direction orthogonal to the web W conveyance direction (FIG. 10 ( See B). The air ejection nozzle 29 that discharges air is scanned from the downstream side to the upstream side in the conveyance direction of the web W by a traveling mechanism (not shown) (see FIGS. 10C to 10E). Since the air ejection nozzle 29 is scanned in a non-contact state with the coating surface P, the web W is not damaged and does not affect the coating film during overcoating or multilayer coating. Moreover, the removal effect of the dust which exists in the application surface P can also be expected. The air pressure by the air ejection nozzle 29 can be adjusted by a regulator or the like, and the air ejection flow rate can be adjusted by changing the opening width of the flow meter or the slit-shaped ejection port with a shim or the like.

なお、空気の噴出方向の変更用に、図11に示すように、エア噴出ノズル29をウエブWの搬送方向に直交する方向の揺動軸291で揺動可能に支持し、このエア噴出ノズル29をウエブWの搬送方向に揺動させる機構を設けても良い。   In order to change the air ejection direction, as shown in FIG. 11, the air ejection nozzle 29 is supported by a rocking shaft 291 in a direction perpendicular to the conveying direction of the web W so that the air ejection nozzle 29 can swing. A mechanism for swinging the web W in the conveyance direction of the web W may be provided.

このように、押えローラ28をウエブW上で走行させたり、エア噴出ノズル29をウエブWの上方で走査することにより、ウエブWの張力制御だけでは吸着が行えない厚みの厚いウエブ、皺が入りやすい伸縮性のあるウエブに対し、吸着定盤13上へ均一に吸着が行える。   In this way, by causing the presser roller 28 to run on the web W and scanning the air ejection nozzle 29 above the web W, thick webs and wrinkles that cannot be adsorbed only by controlling the tension of the web W enter. The easily stretchable web can be uniformly sucked onto the suction surface plate 13.

上述の実施形態では、塗布工程で第1のノズル水平移動機構17によりウエブWの搬送方向にノズル14を走査して塗布を行う。このため、第1のノズル水平移動機構17によるノズル移動可能量は、もっぱらノズル14の初期位置調整用の第2のノズル水平機構18によるノズル移動可能距離よりもかなり大きくなるように設定されている。これに対して、ステージ25をウエブWの搬送方向に対し直交に配置することを可能に構成しても良い。これによると、塗布工程でのノズル走査方向が本実施形態の場合に対して直角に反転される。すなわち、ウエブWの搬送方向とは直交する方向に塗布を行うことが可能となる。   In the above-described embodiment, coating is performed by scanning the nozzle 14 in the web W conveyance direction by the first nozzle horizontal movement mechanism 17 in the coating process. For this reason, the nozzle movable amount by the first nozzle horizontal moving mechanism 17 is set to be considerably larger than the nozzle movable distance by the second nozzle horizontal mechanism 18 for adjusting the initial position of the nozzle 14 exclusively. . On the other hand, the stage 25 may be configured to be orthogonal to the conveyance direction of the web W. According to this, the nozzle scanning direction in the coating process is reversed at right angles to the case of the present embodiment. That is, it is possible to apply in a direction orthogonal to the conveyance direction of the web W.

上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The above description of the embodiment is to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiments but by the claims. Furthermore, the scope of the present invention is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.

1…ウエブ塗布装置
10…搬送機構
13…吸着定盤
131…第1の吸着エリア
132…第2の吸着エリア
133…第3の吸着エリア
14…ノズル
15…給送機構
16…ノズル昇降機構
17…第1のノズル水平移動機構
18…第2のノズル水平移動機構
20…第1のウエブ支持ローラ
21…第2のウエブ支持ローラ
22…第1のウエブ支持ローラ昇降機構
23…第2のウエブ支持ローラ昇降機構
24…架台
25…ステージ
26…スライダ
27…塗布位置制御部
28…押えローラ
29…エア噴出ノズル
30…前処理装置
40…後処理装置
50…ノズル管理ユニット
63…ダンサー機構
64…ニップ装置
65…第1の塗布位置検出センサ
66…第2の塗布位置検出センサ
W…ウエブ
P…塗布面
T…搬送面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Web coating apparatus 10 ... Conveyance mechanism 13 ... Adsorption | suction surface plate 131 ... 1st adsorption area 132 ... 2nd adsorption area 133 ... 3rd adsorption area 14 ... Nozzle 15 ... Feeding mechanism 16 ... Nozzle raising / lowering mechanism 17 ... 1st nozzle horizontal movement mechanism 18 ... 2nd nozzle horizontal movement mechanism 20 ... 1st web support roller 21 ... 2nd web support roller 22 ... 1st web support roller raising / lowering mechanism 23 ... 2nd web support roller Elevating mechanism 24 ... Stand 25 ... Stage 26 ... Slider 27 ... Coating position controller 28 ... Presser roller 29 ... Air ejection nozzle 30 ... Pre-processing device 40 ... Post-processing device 50 ... Nozzle management unit 63 ... Dance mechanism 64 ... Nip device 65 ... first application position detection sensor 66 ... second application position detection sensor W ... web P ... application surface T ... conveying surface

Claims (9)

長尺のウエブを水平な搬送面を形成するように間欠搬送する搬送機構と、
前記搬送面の下方に配置され、前記ウエブが吸着固定される吸着定盤と、
前記吸着定盤の上面に吸着力を発生させる吸着力発生機構と、
前記搬送面の上方に配置され、前記ウエブの上面と所定の塗布ギャップを維持する吐出口を有し、該吐出口から塗布液を吐出するノズルと、
前記ノズルに塗布液を給送する給送機構と、
前記ウエブの搬送方向に前記ノズルを水平移動可能に構成された第1のノズル水平移動機構と、
前記ウエブの搬送方向に直交する方向に前記ノズルを水平移動可能に構成された第2のノズル水平移動機構と、
前記搬送面と前記吸着定盤との間で前記ウエブを昇降可能に構成されたウエブ昇降機構と、
を備えるウエブ塗布装置。
A transport mechanism for intermittently transporting a long web so as to form a horizontal transport surface;
An adsorption surface plate disposed below the conveying surface, on which the web is adsorbed and fixed;
An adsorption force generating mechanism for generating an adsorption force on the upper surface of the adsorption surface plate;
A nozzle that is disposed above the transport surface and has a discharge port that maintains a predetermined coating gap with the upper surface of the web; and a nozzle that discharges the coating liquid from the discharge port;
A feeding mechanism for feeding the coating liquid to the nozzle;
A first nozzle horizontal movement mechanism configured to be capable of horizontally moving the nozzle in the web conveying direction;
A second nozzle horizontal movement mechanism configured to be capable of horizontally moving the nozzle in a direction orthogonal to the web conveyance direction;
A web lifting mechanism configured to be able to lift and lower the web between the transport surface and the suction surface plate;
A web coating apparatus comprising:
前記ウエブのエッジまたは前記ウエブの上面に既に形成された塗布膜のエッジを検出する塗布位置検出センサと、
前記塗布位置検出センサの検出結果に基づいて、前記ノズルの初期位置を調整するように、前記搬送機構、前記第1のノズル水平移動機構および前記第2のノズル水平移動機構の駆動を個別に制御する塗布位置制御部と、
を備える、請求項1に記載のウエブ塗布装置。
An application position detection sensor for detecting an edge of the web or an edge of a coating film already formed on the upper surface of the web;
Based on the detection result of the application position detection sensor, the transport mechanism, the first nozzle horizontal movement mechanism, and the second nozzle horizontal movement mechanism are individually controlled to adjust the initial position of the nozzle. An application position control unit,
The web coating apparatus according to claim 1, comprising:
前記ウエブ昇降機構は、
前記ウエブの搬送方向について前記吸着定盤の上流側に昇降可能に配置され、前記ウエブを支持する第1のウエブ支持部材と、
前記ウエブの搬送方向について前記吸着定盤の下流側に昇降可能に配置され、前記ウエブを支持する第2のウエブ支持部材と、
前記第1のウエブ支持部材を昇降させる第1のウエブ支持部材昇降機構と、
前記第2のウエブ支持部材を昇降させる第2のウエブ支持部材昇降機構と、
前記吸着定盤の上方に位置する前記ウエブを、その搬送方向の上流側から下流側へと漸次下降させるように、前記第1のウエブ支持部材昇降機構および前記第2のウエブ支持部材昇降機構の駆動を時間差で個別に制御するウエブ昇降制御部と、
を有する、請求項1または2に記載のウエブ塗布装置。
The web lifting mechanism is
A first web support member arranged to be movable up and down on the upstream side of the suction surface plate with respect to a conveyance direction of the web, and supporting the web;
A second web support member arranged to be movable up and down on the downstream side of the suction surface plate in the web conveyance direction, and supporting the web;
A first web support member elevating mechanism for elevating and lowering the first web support member;
A second web support member lifting mechanism for lifting and lowering the second web support member;
The first web support member elevating mechanism and the second web support member elevating mechanism are configured to gradually lower the web located above the suction surface plate from the upstream side to the downstream side in the transport direction. A web lifting control unit that individually controls the driving with a time difference;
The web coating apparatus according to claim 1, comprising:
前記吸着定盤は、前記ウエブの搬送方向に分割された複数の吸着エリアを有し、
前記吸着力発生機構は、前記複数の吸着エリアを、前記ウエブの搬送方向に段階的かつ追加的に動作させるウエブ吸着制御部を備える、請求項3に記載のウエブ塗布装置。
The suction surface plate has a plurality of suction areas divided in the web conveyance direction,
The web application apparatus according to claim 3, wherein the adsorption force generation mechanism includes a web adsorption control unit that causes the plurality of adsorption areas to operate stepwise and additionally in a conveyance direction of the web.
前記ウエブの上方から前記ウエブの搬送方向に直交する方向に平行な線形圧力を付加する部材を、前記ウエブの搬送方向に走査する機構をさらに備える、請求項4に記載のウエブ塗布装置。   The web coating apparatus according to claim 4, further comprising a mechanism that scans a member that applies a linear pressure parallel to a direction orthogonal to the web conveyance direction from above the web in the web conveyance direction. 前記線形圧力を付加する部材は、前記ウエブの上面に当接し、前記ウエブの搬送方向に直交する方向に配向された軸で回転自在に支持されたローラである、請求項5に記載のウエブ塗布装置。   The web application according to claim 5, wherein the member that applies the linear pressure is a roller that is in contact with the upper surface of the web and is rotatably supported by an axis oriented in a direction orthogonal to the conveyance direction of the web. apparatus. 前記線形圧力を付加する部材は、前記ウエブの上面との間にギャップを保持する噴出口を有するエア噴出ノズルである、請求項5に記載のウエブ塗布装置。   The web coating apparatus according to claim 5, wherein the member that applies the linear pressure is an air jet nozzle having a jet port that holds a gap between the member and the upper surface of the web. 前記エア噴出ノズルを、前記ウエブの搬送方向に揺動させる機構をさらに備える、請求項7に記載のウエブ塗布装置。   The web coating apparatus according to claim 7, further comprising a mechanism that swings the air ejection nozzle in a conveyance direction of the web. 前記第1のノズル水平移動機構および前記第2のノズル水平移動機構が構築されたステージを、前記ウエブの搬送方向に対して直交に配置することが可能に構成された、請求項1〜8にいずれかに記載のウエブ塗布装置。   The stage in which the first nozzle horizontal movement mechanism and the second nozzle horizontal movement mechanism are constructed is configured to be arranged to be orthogonal to the conveyance direction of the web. The web coating apparatus according to any one of the above.
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