JP5542811B2 - マイクロニードル、マイクロニードルアレイ、およびそれらの作製方法 - Google Patents
マイクロニードル、マイクロニードルアレイ、およびそれらの作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5542811B2 JP5542811B2 JP2011516165A JP2011516165A JP5542811B2 JP 5542811 B2 JP5542811 B2 JP 5542811B2 JP 2011516165 A JP2011516165 A JP 2011516165A JP 2011516165 A JP2011516165 A JP 2011516165A JP 5542811 B2 JP5542811 B2 JP 5542811B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microneedle
- substrate
- tip
- plane
- walls
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 108
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 103
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 56
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 33
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 29
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 21
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 5
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 4
- 230000037368 penetrate the skin Effects 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000000347 anisotropic wet etching Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012377 drug delivery Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001815 facial effect Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000008177 pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 239000000825 pharmaceutical preparation Substances 0.000 description 1
- 229940127557 pharmaceutical product Drugs 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- -1 resistance Substances 0.000 description 1
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000037380 skin damage Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000012899 standard injection Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000008733 trauma Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M37/00—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin
- A61M37/0015—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin by using microneedles
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M37/00—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin
- A61M37/0015—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin by using microneedles
- A61M2037/003—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin by using microneedles having a lumen
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M37/00—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin
- A61M37/0015—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin by using microneedles
- A61M2037/0046—Solid microneedles
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M37/00—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin
- A61M37/0015—Other apparatus for introducing media into the body; Percutany, i.e. introducing medicines into the body by diffusion through the skin by using microneedles
- A61M2037/0053—Methods for producing microneedles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/05—Microfluidics
- B81B2201/055—Microneedles
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Anesthesiology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Hematology (AREA)
- Dermatology (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Media Introduction/Drainage Providing Device (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
少なくとも2つの壁を有する単結晶材料のシャフトであって、それらの壁が、その材料の比較的エッチングが遅い結晶面によって形成される、シャフトと、
シャフトの端部に結合され、単結晶材料の比較的エッチングが遅い結晶面によって形成された少なくとも3つの壁を備える先端と
を備える単結晶材料から作られる面内マイクロニードルによって実現される。
ほぼ平坦な端部を備えたホルダと、
そのホルダの端部に取り付けられた1つまたは複数のマイクロニードルと
を備えるマイクロニードルアレイを提供する。
12 先端
14 シャフト
16 ベース
18 平面、壁
20 壁
22 壁
24 平面
25 壁
26 交差線
28 とがった端部
30 チャネル
32 平面
34 交差線
Claims (25)
- 単結晶材料から作られる面内マイクロニードルであって、
少なくとも2つの壁を有するシャフトであって、前記壁がそれぞれ、前記単結晶材料の比較的エッチングが遅い結晶面によって形成されるとともに、前記比較的エッチングが遅い結晶面が<111>結晶面である、シャフトと、
前記シャフトの端部に結合され、少なくとも3つの壁を備える先端であって、前記壁が それぞれ、前記単結晶材料の比較的エッチングが遅い結晶面によって形成されるとともに、前記比較的エッチングが遅い結晶面が<111>結晶面である、先端と
を備える、面内マイクロニードル。 - 前記先端の前記壁のうちの2つが、前記シャフトの2つの壁と同じ結晶面によって形成される、請求項1に記載のマイクロニードル。
- 前記先端の前記2つの壁が、前記シャフトの前記2つの壁と同じ結晶面によって形成され、比較的エッチングが遅い結晶面によって形成される、請求項2に記載のマイクロニードル。
- 比較的エッチングが遅い結晶面によって、前記先端の3つの壁が形成される、請求項1から3のいずれか一項に記載のマイクロニードル。
- 前記比較的エッチングが遅い結晶面が互いに平行ではない、請求項1から4のいずれか一項に記載のマイクロニードル。
- 前記先端が、前記マイクロニードルを形成する前記単結晶材料の基板の表面と同一の第4の壁を備える、請求項5に記載のマイクロニードル。
- 前記先端の前記壁のうちの3つが、前記シャフトの3つの壁と同じ結晶面から形成される、請求項1から6のいずれか一項に記載のマイクロニードル。
- 前記先端の前記3つの壁が、原子レベルで鋭利に一端部に集まる、請求項1から7の一項に記載のマイクロニードル。
- 前記3つの壁が、70°という内角で互いに隣接する、請求項8に記載のマイクロニードル。
- 前記マイクロニードルが、前記先端の所望の鋭利度に合うある一定の結晶方位の表面を有する単結晶シリコン基板から形成される、請求項1から9のいずれか一項に記載のマイクロニードル。
- 前記単結晶材料が、単結晶シリコン<100>、単結晶シリコン<211>、または単結晶シリコン<110>のうちの1つである、請求項1から10のいずれか一項に記載のマイクロニードル。
- 前記シャフトおよび/または前記先端中にチャネルが設けられる、請求項1から11のいずれか一項に記載のマイクロニードル。
- 前記チャネルが長手方向に開放している、請求項12に記載のマイクロニードル。
- 単結晶材料から作られる面内マイクロニードルであって、
少なくとも3つの壁を備える先端であって、前記壁が前記単結晶材料の比較的エッチングが遅い結晶面によって形成されるとともに、前記比較的エッチングが遅い結晶面が<111>結晶面である、先端を備えるマイクロニードル。 - 前記単結晶材料がシリコンであり、
前記先端の前記3つの壁が、比較的エッチングが遅い結晶面によって形成され、前記シリコンの<111>結晶面によって形成される、請求項14に記載のマイクロニードル。 - 前記比較的エッチングが遅い結晶面が互いに平行ではない、請求項14または15に記載のマイクロニードル
- 略平坦な端部を備えるホルダと、
前記ホルダの端部に取り付けられる、請求項1から16のいずれか一項に記載の1つまたは複数のマイクロニードルと、
を備えるマイクロニードルアレイ。 - 前記ホルダが熱可塑性物質を含む、請求項17に記載のマイクロニードルアレイ。
- 前記熱可塑性物質がPE、PPおよび/またはPOMを含む、請求項18に記載のマイクロニードルアレイ。
- 前記マイクロニードルが、任意の構成で前記ホルダの前記端部に取り付けられる、請求項17〜19のいずれか一項に記載のマイクロニードルアレイ。
- 前記1つまたは複数のマイクロニードルが、前記ホルダの前記端部の材料中に融合される、請求項17〜20のいずれか一項に記載のマイクロニードルアレイ。
- マイクロニードルを作製する方法であって、
i)第1の表面、および前記第1の表面に平行な第2の表面を有する単結晶材料の基板を用意するステップと、
ii)第1のスロットが前記基板の中心にある状態で第1の凹所を形成するために、保護層の第1の開口を通して前記基板の前記第1の表面を異方性エッチングするステップであって、前記第1の凹所を<111>結晶面によって形成するステップと、
iii)第2のスロットが前記基板の中心にある状態で第2の凹所を形成するために、保護層の第2の開口を通して前記基板の第1の表面を異方性エッチングするステップであって、前記第2の凹所を<111>結晶面によって形成するステップと、
iv)前記マイクロニードルの先端を形成するために、保護層の第3の開口を通して前記基板の前記第2の表面を異方性エッチングするステップであって、前記先端のうちのエッチングが遅い<111>結晶面を見えるようにするステップと、
v)前記基板から前記マイクロニードルを取り外すステップと
を含む、マイクロニードル作製方法。 - vi)前記基板にチャネルを構成するステップを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記ステップii)およびiii)が同時に実行される、請求項22または23に記載の方法。
- 前記ステップii)を実行した後で前記ステップiii)を実行する、請求項22または23に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL2001718A NL2001718C2 (nl) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | Micronaald, micronaaldarray en fabricagewerkwijze daarvoor. |
NL2001718 | 2008-06-24 | ||
PCT/NL2009/000140 WO2009157765A2 (en) | 2008-06-24 | 2009-06-24 | Microneedle, microneedle array and production method therefor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011525402A JP2011525402A (ja) | 2011-09-22 |
JP5542811B2 true JP5542811B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=41445133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011516165A Active JP5542811B2 (ja) | 2008-06-24 | 2009-06-24 | マイクロニードル、マイクロニードルアレイ、およびそれらの作製方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9597490B2 (ja) |
EP (1) | EP2303766B1 (ja) |
JP (1) | JP5542811B2 (ja) |
CN (1) | CN102123759B (ja) |
ES (1) | ES2881790T3 (ja) |
NL (1) | NL2001718C2 (ja) |
WO (1) | WO2009157765A2 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8834423B2 (en) | 2009-10-23 | 2014-09-16 | University of Pittsburgh—of the Commonwealth System of Higher Education | Dissolvable microneedle arrays for transdermal delivery to human skin |
NL2007382C2 (en) | 2011-09-09 | 2013-03-12 | Univ Leiden | Method to coat an active agent to a surface. |
WO2013061290A1 (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-02 | Nanopass Technologies Ltd. | Microneedle intradermal drug delivery device with auto-disable functionality |
US9944019B2 (en) * | 2012-05-01 | 2018-04-17 | University of Pittsburgh—of the Commonwealth System of Higher Education | Tip-loaded microneedle arrays for transdermal insertion |
AU2013280769A1 (en) * | 2012-06-29 | 2015-01-22 | Elc Management Llc | Dissolvable microneedles comprising one or more encapsulated cosmetic ingredients |
KR20150016355A (ko) * | 2012-06-29 | 2015-02-11 | 이엘씨 매니지먼트 엘엘씨 | 하나 이상의 화장 성분을 포함하는 미세바늘 |
JP6273827B2 (ja) * | 2012-12-28 | 2018-02-07 | 大日本印刷株式会社 | 穿刺器具およびその製造方法 |
JP6269111B2 (ja) * | 2013-01-31 | 2018-01-31 | 生化学工業株式会社 | マイクロニードル及びマイクロニードルアレイ |
WO2015009531A1 (en) | 2013-07-16 | 2015-01-22 | 3M Innovative Properties Company | Article comprising a microneedle |
WO2015009530A1 (en) | 2013-07-16 | 2015-01-22 | 3M Innovative Properties Company | Hollow microneedle array article |
US10232157B2 (en) | 2013-07-16 | 2019-03-19 | 3M Innovative Properties Company | Hollow microneedle with beveled tip |
EP3021929B1 (en) * | 2013-07-16 | 2020-02-26 | 3M Innovative Properties Company | Hollow microneedle with bevel opening |
CN104056346B (zh) * | 2014-06-16 | 2017-04-26 | 游学秋 | 异平面微针阵列及其制作方法 |
US10441768B2 (en) | 2015-03-18 | 2019-10-15 | University of Pittsburgh—of the Commonwealth System of Higher Education | Bioactive components conjugated to substrates of microneedle arrays |
US11684763B2 (en) | 2015-10-16 | 2023-06-27 | University of Pittsburgh—of the Commonwealth System of Higher Education | Multi-component bio-active drug delivery and controlled release to the skin by microneedle array devices |
WO2017120322A1 (en) | 2016-01-05 | 2017-07-13 | University Of Pittsburgh-Of The Commonwealth System Of Higher Education | Skin microenvironment targeted delivery for promoting immune and other responses |
WO2017209311A1 (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-07 | 国立大学法人東北大学 | 薬液注入装置 |
WO2018181700A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | 凸版印刷株式会社 | 経皮投与デバイス |
CN108998032B (zh) * | 2017-06-06 | 2021-06-04 | 关东鑫林科技股份有限公司 | 蚀刻液组成物及使用该蚀刻液组成物的蚀刻方法 |
JP1601442S (ja) * | 2017-07-28 | 2018-04-09 | ||
CN110812686B (zh) * | 2019-11-07 | 2021-07-30 | 河南大学 | 一种制造微针阵列的微加工工艺和微针 |
TW202143917A (zh) * | 2020-02-11 | 2021-12-01 | 瑞典商艾瑟莉恩公司 | 用於收集流體的微針和流體通道系統 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5591139A (en) * | 1994-06-06 | 1997-01-07 | The Regents Of The University Of California | IC-processed microneedles |
US5928207A (en) | 1997-06-30 | 1999-07-27 | The Regents Of The University Of California | Microneedle with isotropically etched tip, and method of fabricating such a device |
JP3696513B2 (ja) * | 2001-02-19 | 2005-09-21 | 住友精密工業株式会社 | 針状体の製造方法 |
KR100384283B1 (ko) * | 2001-04-19 | 2003-05-16 | 주식회사 디지탈바이오테크놀러지 | 단결정 실리콘 마이크로 니들 및 그 제조방법 |
AU2002312315A1 (en) * | 2001-06-08 | 2002-12-23 | The Regents Of The University Of California | Microfabricated surgical devices and methods of making the same |
SE0102736D0 (sv) | 2001-08-14 | 2001-08-14 | Patrick Griss | Side opened out-of-plane microneedles for microfluidic transdermal interfacing and fabrication process of side opened out-of-plane microneedles |
KR100563330B1 (ko) * | 2003-01-16 | 2006-03-22 | 포스트마이크로 주식회사 | Liga공정을 이용한 폴리머 재질의 미세 바늘 어레이제조방법 |
WO2006055844A2 (en) | 2004-11-18 | 2006-05-26 | 3M Innovative Properties Company | Method of contact coating a microneedle array |
JP2006341089A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-12-21 | Fujikura Ltd | 医薬物運搬用器具およびその製造方法 |
JP2006334225A (ja) | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Univ Kansai | 微細針の成形鋳型の製造方法 |
US20070060837A1 (en) | 2005-08-18 | 2007-03-15 | Seoul National University Industry Foundation | Barb-wired micro needle made of single crystalline silicon and biopsy method and medicine injecting method using the same |
CN1830496A (zh) * | 2006-04-10 | 2006-09-13 | 清华大学 | “-”字形结构三维微型实心、空心硅针或刀 |
JP4265696B2 (ja) * | 2006-07-04 | 2009-05-20 | 凸版印刷株式会社 | マイクロニードルの製造方法 |
JP4930899B2 (ja) | 2006-08-01 | 2012-05-16 | 凸版印刷株式会社 | 針状体の製造方法 |
-
2008
- 2008-06-24 NL NL2001718A patent/NL2001718C2/nl not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-06-24 US US13/001,349 patent/US9597490B2/en active Active
- 2009-06-24 ES ES09770428T patent/ES2881790T3/es active Active
- 2009-06-24 CN CN200980128625.3A patent/CN102123759B/zh active Active
- 2009-06-24 EP EP09770428.2A patent/EP2303766B1/en active Active
- 2009-06-24 WO PCT/NL2009/000140 patent/WO2009157765A2/en active Application Filing
- 2009-06-24 JP JP2011516165A patent/JP5542811B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL2001718C2 (nl) | 2009-12-28 |
WO2009157765A2 (en) | 2009-12-30 |
EP2303766A2 (en) | 2011-04-06 |
US20110172605A1 (en) | 2011-07-14 |
WO2009157765A9 (en) | 2011-01-27 |
CN102123759A (zh) | 2011-07-13 |
WO2009157765A3 (en) | 2010-12-23 |
ES2881790T3 (es) | 2021-11-30 |
EP2303766B1 (en) | 2021-05-19 |
CN102123759B (zh) | 2015-05-13 |
US9597490B2 (en) | 2017-03-21 |
JP2011525402A (ja) | 2011-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5542811B2 (ja) | マイクロニードル、マイクロニードルアレイ、およびそれらの作製方法 | |
AU2001282489B2 (en) | Microneedle structure and production method therefor | |
US6406638B1 (en) | Method of forming vertical, hollow needles within a semiconductor substrate, and needles formed thereby | |
CA2424520C (en) | Microneedle array module and method of fabricating the same | |
US20040060902A1 (en) | Microprotrusion array and methods of making a microprotrusion | |
JP2004524172A (ja) | マイクロ突起物アレイおよびマイクロ突起物の製造方法 | |
AU2001282489A1 (en) | Microneedle structure and production method therefor | |
JP2007260889A (ja) | 針状体の製造方法 | |
WO2014073531A1 (ja) | 針状構造体及びその製造方法 | |
Wilke et al. | The evolution from convex corner undercut towards microneedle formation: theory and experimental verification | |
JP5889232B2 (ja) | 凹凸構造体の製造方法 | |
JP2006502831A (ja) | 樹脂製のマイクロニードル | |
Guenat et al. | Generic technological platform for microfabricating silicon nitride micro-and nanopipette arrays | |
CN110693503A (zh) | 生物传感用微针及其制造方法 | |
US9526885B1 (en) | Microneedles with sharpened tips and corresponding method of fabrication | |
Shikida et al. | Fabrication of pen-shaped microneedle structure by using non-photolithographic pattern transfer | |
SE531049C2 (sv) | Metoder för tillverkning av mikronålar | |
Hasada et al. | Densely arrayed microneedles having flow channel fabricated by mechanical dicing and anisotropic wet etching of silicon | |
Swaminathan | Fabrication of Nano-Injection Needles for Neural Pathway Study in Mice |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130827 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20131126 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20131203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140407 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5542811 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |